洗浄装置
【課題】周囲の環境に悪影響を及ぼすことのない洗浄装置を提供する。
【解決手段】２流体ノズル２と、２流体ノズル２に加圧された気体を供給するための気体供給手段３と、２流体ノズル２に洗浄液を供給するための専用のポンプ４を備えた洗浄液供給手段５と、２流体ノズル２に対する加圧された気体の供給および停止を行うために、２流体ノズル２と気体供給手段３とを接続する気体導入路６に配設されている気体用電磁弁９とを有している洗浄装置１において、気体導入路６に配設する気体用電磁弁９を２ポート電磁弁とする。
【解決手段】２流体ノズル２と、２流体ノズル２に加圧された気体を供給するための気体供給手段３と、２流体ノズル２に洗浄液を供給するための専用のポンプ４を備えた洗浄液供給手段５と、２流体ノズル２に対する加圧された気体の供給および停止を行うために、２流体ノズル２と気体供給手段３とを接続する気体導入路６に配設されている気体用電磁弁９とを有している洗浄装置１において、気体導入路６に配設する気体用電磁弁９を２ポート電磁弁とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄装置に係り、特に、２流体ノズルを用いた洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液晶表示パネルなどの各種の光学パネルの基板、シリコンウエハなどの半導体基板、光ディスクの基板、回路基板などの各種の基板を始め多種多様の洗浄対象物に付着した異物の除去などの洗浄を２流体ノズルを用いて行う洗浄装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
２流体ノズルは、洗浄液と圧縮空気などの加圧された気体とを混合してミスト化した洗浄液を生成して噴霧することができるように形成されている。また、加圧された気体は、洗浄に供するために２流体ノズルからミスト化されて噴霧される洗浄液の微細な粒子を洗浄対象物に搬送するキャリアとして機能するようになっている。
【０００４】
このような従来の洗浄装置は、２流体ノズルと、２流体ノズルに加圧された気体、例えば圧縮空気を供給するため気体供給手段と、２流体ノズルに洗浄液を供給するための専用のポンプを備えた洗浄液供給手段とを有している。また、２流体ノズルと気体供給手段とを接続する気体導入路には、２流体ノズルに対する加圧された気体の供給および停止を行うための気体用電磁弁が配設されている。この気体用電磁弁としては、入口、出口および排出口の３ポートを備え、非通電状態において入口が閉じ、出口と排出口が連通する常時閉（ＮＣ）タイプの３ポート電磁弁が用いられており、洗浄終了後にポンプを停止させた際に、２流体ノズルを介して気体導入路に入り込んだ洗浄液を排出口から外部に排出することができるようになっている。
【０００５】
なお、洗浄液が２流体ノズルを介して気体導入路に入り込むのは、ポンプを停止させても、２流体ノズルで消費されずに洗浄液導入路に存在する洗浄液が残圧として残っており、この残圧により、洗浄液が２流体ノズルを介して気体導入路に入り込むからである。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−００１１９９号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、従来の洗浄装置においては、洗浄終了後に、残圧により気体導入路に入り込んだ洗浄液を気体用電磁弁により外部に排出する構成とされているために、気体用電磁弁から外部に排出される洗浄液が周囲に飛散したりして、周囲の環境に悪影響を及ぼすという問題点があった。
【０００８】
なお、従来の洗浄装置においては、２流体ノズルを介しての気体導入路への洗浄液の入り込み、あるいは、洗浄液導入路への加圧された気体の入り込みが発生し、洗浄に供するために２流体ノズルから噴霧されるミスト化された洗浄液の粒子径や密度が安定せずに、洗浄能力が不安定になるという問題点もあった。
【０００９】
本発明はこの点に鑑みてなされたものであり、周囲の環境に悪影響を及ぼすことのない洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前述した目的を達成するため、本発明に係る洗浄装置の特徴は、２流体ノズルと、前記２流体ノズルに加圧された気体を供給するための気体供給手段と、前記２流体ノズルに洗浄液を供給するための専用のポンプを備えた洗浄液供給手段と、前記２流体ノズルに対する加圧された気体の供給および停止を行うために、前記２流体ノズルと前記気体供給手段とを接続する気体導入路に配設されている気体用電磁弁とを有している洗浄装置において、前記気体用電磁弁が２ポート電磁弁である点にある。そして、このような構成を採用したことにより、洗浄終了後に、残圧により気体導入路に入り込んだ洗浄液が気体用電磁弁から外部に排出されることがないので、周囲の環境に悪影響を及ぼすのを確実かつ容易に防止することができる。
【００１１】
前記気体用電磁弁の開動作と前記ポンプの駆動とを同時に行わせるとともに、前記気体用電磁弁の閉動作と前記ポンプの停止とを同時に行わせる制御手段が配設されていることが好ましい。そして、このような構成を採用したことにより、２流体ノズルを介しての気体導入路への洗浄液の入り込み、あるいは、洗浄液導入路への加圧された気体の入り込みを防止することができる。
【００１２】
また、本発明に係る他の洗浄装置の特徴は、２流体ノズルと、前記２流体ノズルに加圧された気体を供給するための気体供給手段と、前記２流体ノズルに洗浄液を供給するための洗浄液供給手段と、前記２流体ノズルに対する加圧された気体の供給および停止を行うために、前記２流体ノズルと前記気体供給手段とを接続する気体導入路に配設されている気体用電磁弁と、前記２流体ノズルに対する洗浄液の供給および停止を行うために、前記２流体ノズルと前記洗浄液供給手段とを接続する洗浄液導入路に配設されている洗浄液用電磁弁とを有している洗浄装置において、前記気体用電磁弁および前記洗浄液用電磁弁のそれぞれが２ポート電磁弁である点にある。そして、このような構成を採用したことにより、洗浄終了後に、残圧により気体導入路に入り込んだ洗浄液が気体用電磁弁から外部に排出されることがないので、周囲の環境に悪影響を及ぼすのを確実かつ容易に防止することができる。
【００１３】
前記気体用電磁弁および前記洗浄液用電磁弁のそれぞれを同時に開動作または閉動作させる制御手段が配設されていることが好ましい。そして、このような構成を採用したことにより、気体導入路への洗浄液の入り込み、あるいは、洗浄液導入路への加圧された気体の入り込みを防止することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る洗浄装置によれば、気体用電磁弁を２ポート電磁弁とすることで、洗浄終了後において気体導入路に入り込んだ洗浄液が気体用電磁弁から外部に排出されないので、周囲の環境に悪影響を及ぼすのを確実かつ容易に防止することができるなどの優れた効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を図面に示す実施形態により説明する。
【００１６】
図１は本発明に係る洗浄装置の第１実施形態の要部の構成を示すブロック図である。
【００１７】
図１に示すように、本実施形態の洗浄装置１は、２流体ノズル２と、この２流体ノズル２に加圧された気体を供給するための気体供給手段３と、２流体ノズル２に洗浄液を供給するための専用のポンプ４を備えた洗浄液供給手段５とを有している。
【００１８】
前記気体供給手段３は、２流体ノズル２に供給する加圧された気体の供給源となるものである。
【００１９】
本実施形態においては、加圧された気体として、製造工場などで一般的に使用されている圧縮空気が用いられている。なお、加圧された気体としては、窒素ガス、アルゴンガスなどの不活性ガスその他各種のガスを用いてもよく、特に限定されるものではない。
【００２０】
本実施形態の気体供給手段３としては、洗浄装置１だけでなく製造工場の各部に圧縮空気を供給するために配設されたエア配管に、空気タンクおよびアフタークーラなどをこの順に介して圧縮空気の生成源となる空気圧縮機が接続されて構成されている。
【００２１】
なお、製造工場などで一般的に用いられている空気圧縮機による空気圧は、０．５ＭＰａ程度とされている。また、エア配管には、少なくとも工場の操業時において圧縮空気が常時供給されるようになっている。
【００２２】
前記２流体ノズル２と気体供給手段３とは、気体導入路としての気体導入配管６により接続されている。
【００２３】
すなわち、本実施形態の気体導入配管６は、一端が２流体ノズル２、詳しくは２流体ノズル２の気体導入口を備えた気体導入部７に接続されており、他端が気体供給手段３、詳しくは気体供給手段３のエア配管に接続されている。
【００２４】
前記気体導入配管６には、２流体ノズル２側から気体用逆止弁８、気体用電磁弁９、気体用減圧弁１０およびフィルタ１１がこの順に配設されている。
【００２５】
前記気体用逆止弁８は、２流体ノズル２側からの洗浄液の入り込みを防止するためのものであり、気体用電磁弁９から２流体ノズル２に向かう方向の圧縮空気の流動を許容し、２流体ノズル２から気体用電磁弁９に向かう方向の圧縮空気の流動を阻止するようになっている。したがって、気体用逆止弁８は、２流体ノズル２にできるだけ近接させて配置することが好ましい。勿論、支障がなければ、２流体ノズル２の気体導入部７に気体用逆止弁８を直接取り付けるようにしてもよい。
【００２６】
前記気体用電磁弁９は、２流体ノズル２に対する圧縮空気の供給および停止を行うためのものであり、本実施形態においては、入口および出口の２ポートを備え、非通電状態において流路が閉じる常時閉（ＮＣ）タイプの２ポート電磁弁が用いられている。この気体用電磁弁９は、後述する制御手段としての制御部１２と電気的に接続されており、制御部１２から送出される制御指令に基づいて所定のタイミングで開閉動作、すなわち、流路が閉じた閉状態と、流路が開いた閉状態との切り換えが制御されるようになっている。
【００２７】
前記気体用減圧弁１０は、気体用供給手段３のエア配管から気体導入配管６に導入された圧縮空気が所定の流量となるように一定の圧力に減圧して２流体ノズル２に向かって吐出するためのものである。なお、気体用減圧弁１０としては、圧力計が付設されたものが２流体ノズル２に供給する圧縮空気の圧力設定や圧力の確認を容易に行うことができるという意味で好ましい。
【００２８】
前記フィルタ１１は、気体用減圧弁１０に導入される圧縮空気に含まれる異物の除去に用いられるものである。
【００２９】
なお、気体導入配管６が、空気圧縮機からの距離が長い位置でエア配管と接続されているなどの理由により圧縮空気の圧力降下がある場合や、洗浄性を向上するためなどの理由により、より高い圧力を必要とする場合など、圧縮空気の圧力を増圧（昇圧）する必要がある場合には、圧縮空気の圧力を昇圧するための増圧器（ブースタ）を気体用減圧弁１０とフィルタ１１との間、あるいは、フィルタ１１と気体供給手段３のエア配管との間に配設するとよい。
【００３０】
前記洗浄液供給手段５は、２流体ノズル２への洗浄液の供給源となるものであり、本実施形態の洗浄液供給手段５は、専用のポンプ４により、液体タンクに貯留されている洗浄液を汲み上げて所定の圧力で２流体ノズル２に向かって移送することができるように構成されている。また、ポンプ４は、後述する制御部１２と電気的に接続されており、制御部１２から送出される制御指令に基づいて所定のタイミングで駆動および停止の動作が制御されるようになっている。
【００３１】
前記洗浄液としては、水そのものであってもよいし、水に洗浄剤を混合あるいは溶解させたものなど、洗浄対象物に応じて従来公知の各種のものから選択使用することができる。
【００３２】
前記２流体ノズル２と洗浄液供給手段５とは、洗浄液導入路としての洗浄液導入配管１３により接続されている。
【００３３】
すなわち、本実施形態の洗浄液導入配管１３は、一端が２流体ノズル２の洗浄液導入口を備えた洗浄液導入部１４に接続されており、他端が洗浄液供給手段５、詳しくは洗浄液供給手段５のポンプ４の吐出口に接続されている。
【００３４】
前記洗浄液導入配管１３には、２流体ノズル２側から洗浄液用逆止弁１５、洗浄液用減圧弁１６およびストレーナ１７がこの順に配設されている。
【００３５】
前記洗浄液用逆止弁１５は、２流体ノズル２側からの圧縮空気の入り込みを防止するためのものであり、洗浄液用減圧弁１６から２流体ノズル２に向かう方向の洗浄液の流動を許容し、２流体ノズル２から洗浄液用減圧弁１６に向かう方向の洗浄液の流動を阻止するようになっている。したがって、洗浄液用逆止弁１５は、２流体ノズル２にできるだけ近接させて配置することが好ましい。勿論、支障がなければ、２流体ノズル２の洗浄液導入部１４に洗浄液用逆止弁１５を直接取り付けるようにしてもよい。
【００３６】
前記洗浄液用減圧弁１６は、洗浄液供給手段５のポンプ４により圧送される洗浄液が所定の流量となるように一定の圧力に減圧して２流体ノズル２に向かって吐出するためのものである。なお、洗浄液用減圧弁１６としては、圧力計が付設されたものが２流体ノズル２に供給する洗浄液の圧力設定や圧力の確認を容易に行うことができるという意味で好ましい。
【００３７】
前記ストレーナ１７は、洗浄液用減圧弁１６に導入される洗浄液に含まれる異物の除去に用いられるものである。
【００３８】
なお、設計コンセプトなどの必要に応じて、ポンプ４により洗浄液導入配管１３を加圧されて移送される洗浄液の少なくとも周期的な圧力の変動である脈動を吸収するためのアキュムレータを洗浄液用減圧弁１６とストレーナ１７との間、あるいは、ストレーナ１７とポンプ４との間に配設するとよい。
【００３９】
前記制御部１２は、洗浄装置１の各部の動作制御を司るためのものであり、少なくともＣＰＵと、適宜な容量のＲＯＭ、ＲＡＭなどにより形成されたメモリとを有している。そして、メモリには、少なくとも洗浄対象物の洗浄を行う場合に、起動スイッチからの信号を受けて、気体用電磁弁９の開動作とポンプ４の駆動とを同時に行うことができるように気体用電磁弁９とポンプ４とを動作させるプログラムが記憶されている。また、メモリには、少なくとも洗浄対象物の洗浄を終了した場合に、図示しない停止スイッチからの信号を受けて、気体用電磁弁９の閉動作とポンプ４の停止とを同時に行うことができるように気体用電磁弁９とポンプ４とを動作させるプログラムが記憶されている。
【００４０】
すなわち、本実施形態の洗浄装置１においては、制御部１２からの制御指令に基づいて、気体用電磁弁９の開動作とポンプ４の駆動とを同時に行うことができるとともに、気体用電磁弁９の閉動作とポンプ４の停止とを同時に行うことができるように形成されている。
【００４１】
なお、２流体ノズル２の数を複数としてもよい。この場合、気体導入配管６のうちの気体用逆止弁８と２流体ノズル２とを接続する部位を２流体ノズル２の数に応じて分岐させるとともに、洗浄液導入配管１３のうちの洗浄液用逆止弁１５と２流体ノズル２とを接続する部位を２流体ノズル２の数に応じて分岐させればよい。
【００４２】
その他の構成については、公知の洗浄装置と同様とされているので、その詳しい説明については省略する。
【００４３】
つぎに、前述した構成からなる本実施形態の作用について説明する。
【００４４】
本実施形態の洗浄装置１によれば、気体導入配管６に気体用逆止弁８が配設されているから、洗浄終了後に、残圧により２流体ノズル２側から気体導入路としての気体導入配管６に入り込んだ洗浄液を気体用逆止弁８の配設位置で阻止することができる。
【００４５】
また、本実施形態の洗浄装置１によれば、気体用電磁弁９が２ポート電磁弁であるから、洗浄終了後に、残圧により２流体ノズル２側から気体導入路としての気体導入配管６に入り込んだ洗浄液が気体用逆止弁８から漏洩して気体用電磁弁９まで到達したとしても、気体用電磁弁９から外部に排出されることがないので、周囲の環境に悪影響を及ぼすのを確実かつ容易に防止することができる。
【００４６】
また、本実施形態の洗浄装置１によれば、気体用電磁弁９の開動作とポンプ４の駆動とを同時に行うことができるとともに、気体用電磁弁９の閉動作とポンプ４の停止とを同時に行うことができるように形成されているから、洗浄開始時、洗浄終了時および洗浄時のいずれにおいても、２流体ノズル２を介しての気体導入路としての気体導入配管６への洗浄液の入り込み、あるいは、洗浄液導入路としての洗浄液導入配管１３への加圧された気体としての圧縮空気の入り込みを防止することができる。
【００４７】
したがって、本実施形態の洗浄装置１によれば、洗浄に供するために２流体ノズル２から噴霧されるミスト化された洗浄液の粒子径や密度を安定させることができるので、安定した洗浄能力を確実かつ容易に得ることができる。
【００４８】
図２は本発明に係る洗浄装置の第２実施形態の要部の構成を示すブロック図である。
【００４９】
図２に示すように、本実施形態の洗浄装置２１は、２流体ノズル２２と、この２流体ノズル２２に加圧された気体を供給するための気体供給手段２３と、２流体ノズル２２に洗浄液を供給するための洗浄液供給手段２４とを有している。
【００５０】
前記気体供給手段２３は、２流体ノズル２２に供給する加圧された気体の供給源となるものである。
【００５１】
本実施形態においては、加圧された気体として、前述した第１実施形態の洗浄装置１と同様に、製造工場などで一般的に使用されている圧縮空気が用いられている。なお、加圧された気体としては、窒素ガス、アルゴンガスなどの不活性ガスその他各種のガスを用いてもよく、特に限定されるものではない。
【００５２】
本実施形態の気体供給手段２３としては、前述した第１実施形態の洗浄装置１における気体供給手段３と同様に、洗浄装置２１だけでなく製造工場の各部に圧縮空気を供給するために配設されたエア配管に、空気タンクおよびアフタークーラなどをこの順に介して圧縮空気の生成源となる空気圧縮機が接続されて構成されている。
【００５３】
なお、製造工場などで一般的に用いられている空気圧縮機による空気圧は、０．５ＭＰａ程度とされている。また、エア配管には、少なくとも工場の操業時において圧縮空気が常時供給されるようになっている。
【００５４】
前記２流体ノズル２２と気体供給手段２３とは、気体導入路としての気体導入配管２５により接続されている。
【００５５】
すなわち、本実施形態の気体導入配管２５は、一端が２流体ノズル２２、詳しくは２流体ノズル２２の気体導入口を備えた気体導入部２６に接続されており、他端が気体供給手段２３、詳しくは気体供給手段２３のエア配管に接続されている。
【００５６】
前記気体導入配管２５には、２流体ノズル２２側から気体用逆止弁２７、気体用電磁弁２８、気体用減圧弁２９およびフィルタ３０がこの順に配設されている。
【００５７】
前記気体用逆止弁２７は、２流体ノズル２２側からの洗浄液の入り込みを防止するためのものであり、気体用電磁弁２８から２流体ノズル２２に向かう方向の圧縮空気の流動を許容し、２流体ノズル２２から気体用電磁弁２８に向かう方向の圧縮空気の流動を阻止するようになっている。したがって、気体用逆止弁２７は、２流体ノズル２２にできるだけ近接させて配置することが好ましい。勿論、支障がなければ、２流体ノズル２２の気体導入部２６に気体用逆止弁２７を直接取り付けるようにしてもよい。
【００５８】
前記気体用電磁弁２８は、２流体ノズル２２に対する圧縮空気の供給および停止を行うためのものであり、本実施形態においては、入口および出口の２ポートを備え、非通電状態において流路が閉じる常時閉（ＮＣ）タイプの２ポート電磁弁が用いられている。この気体用電磁弁２８は、後述する制御部３１と電気的に接続されており、制御部３１から送出される制御指令に基づいて所定のタイミングで開閉動作、すなわち、流路が閉じた閉状態と、流路が開いた閉状態との切り換えが制御されるようになっている。
【００５９】
前記気体用減圧弁２９は、気体用供給手段２３のエア配管から気体導入配管２５に導入された圧縮空気が所定の流量となるように一定の圧力に減圧して２流体ノズル２２に向かって吐出するためのものである。なお、気体用減圧弁２９としては、圧力計が付設されたものが２流体ノズル２２に供給する圧縮空気の圧力設定や圧力の確認を容易に行うことができるという意味で好ましい。
【００６０】
前記フィルタ３０は、気体用減圧弁２９に導入される圧縮空気に含まれる異物の除去に用いられるものである。
【００６１】
なお、気体導入配管２５が、空気圧縮機からの距離が長い位置でエア配管と接続されているなどの理由により圧縮空気の圧力降下がある場合や、洗浄性を向上するためなどの理由により、より高い圧力を必要とする場合など、圧縮空気の圧力を増圧する必要がある場合には、圧縮空気の圧力を昇圧するための増圧器を気体用減圧弁２９とフィルタ３０との間、あるいは、フィルタ３０と気体供給手段２３のエア配管との間に配設するとよい。
【００６２】
前記洗浄液供給手段２４は、２流体ノズル２２への洗浄液の供給源となるものであり、本実施形態の洗浄液供給手段２４は、洗浄装置２１だけでなく製造工場の各部に洗浄液を供給するために配設された液体配管に、液体タンクに貯留されている洗浄液を汲み上げて所定の圧力で移送するポンプが接続されて構成されている。そして、液体配管には、少なくとも工場の操業時において洗浄液が常時供給されるようになっている。
【００６３】
なお、設計コンセプトなどの必要に応じて、ポンプにより液体配管を加圧されて移送される洗浄液の少なくとも周期的な圧力の変動である脈動を吸収するためのアキュムレータを液体配管とポンプとの間に配設してもよい。
【００６４】
前記２流体ノズル２２と洗浄液供給手段２４とは、洗浄液導入路としての洗浄液導入配管３２により接続されている。
【００６５】
すなわち、本実施形態の洗浄液導入配管３２は、一端が２流体ノズル２２、詳しくは２流体ノズル２２の洗浄液導入口を備えた洗浄液導入部３３に接続されており、他端が洗浄液供給手段２４、詳しくは洗浄液供給手段２４の液体配管に接続されている。
【００６６】
前記洗浄液導入配管３２には、２流体ノズル２２側から洗浄液用逆止弁３４、洗浄液用電磁弁３５、洗浄液用減圧弁３６およびストレーナ３７がこの順に配設されている。
【００６７】
前記洗浄液用逆止弁３４は、２流体ノズル２２側からの圧縮空気の入り込みを防止するためのものであり、洗浄液用電磁弁３５から２流体ノズル２２に向かう方向の洗浄液の流動を許容し、２流体ノズル２２から洗浄液用電磁弁３５に向かう方向の洗浄液の流動を阻止するようになっている。したがって、洗浄液用逆止弁３４は、２流体ノズル２２にできるだけ近接させて配置することが好ましい。勿論、支障がなければ、２流体ノズル２２の洗浄液導入部３３に洗浄液用逆止弁３４を直接取り付けるようにしてもよい。
【００６８】
前記洗浄液用電磁弁３５は、２流体ノズル２２に対する洗浄液の供給および停止を行うためのものであり、本実施形態においては、気体用電磁弁２８と同様に、入口および出口の２ポートを備え、非通電状態において流路が閉じる常時閉（ＮＣ）タイプの２ポート電磁弁が用いられている。この洗浄液用電磁弁３５は、後述する制御部３１と電気的に接続されており、制御部３１から送出される制御指令に基づいて所定のタイミングで開閉動作、すなわち、流路が閉じた閉状態と、流路が開いた閉状態との切り換えが制御されるようになっている。
【００６９】
前記洗浄液用減圧弁３６は、洗浄液供給手段２４の液体配管から洗浄液導入配管３２に圧送される洗浄液が所定の流量となるように一定の圧力に減圧して２流体ノズル２２に向かって吐出するためのものである。なお、洗浄液用減圧弁３６としては、圧力計が付設されたものが２流体ノズル２２に供給する洗浄液の圧力設定や圧力の確認を容易に行うことができるという意味で好ましい。
【００７０】
前記ストレーナ３７は、洗浄液用減圧弁３６に導入される洗浄液に含まれる異物の除去に用いられるものである。
【００７１】
なお、設計コンセプトなどの必要に応じて、洗浄液導入配管３２を加圧されて移送される洗浄液の少なくとも周期的な圧力の変動である脈動を吸収するためのアキュムレータを洗浄液用減圧弁３６とストレーナ３７との間、あるいは、ストレーナ３７と液体配管との間に配設するとよい。
【００７２】
前記制御部３１は、洗浄装置２１の各部の動作制御を司るためのものであり、少なくともＣＰＵと、適宜な容量のＲＯＭ、ＲＡＭなどにより形成されたメモリとを有している。そして、メモリには、少なくとも洗浄対象物の洗浄を行う場合に、起動スイッチからの信号を受けて、気体用電磁弁２８および洗浄液用電磁弁３５のそれぞれを同時に開閉することができるように気体用電磁弁２８および洗浄液用電磁弁３５を動作させるプログラムが記憶されている。
【００７３】
すなわち、本実施形態の洗浄装置２１においては、制御部３１からの制御指令に基づいて、気体用電磁弁２８および洗浄液用電磁弁３５のそれぞれの流路が同時に開状態あるいは閉状態となるように形成されている。
【００７４】
なお、２流体ノズル２２の数を複数としてもよい。この場合、気体導入配管２５のうちの気体用逆止弁２７と２流体ノズル２２とを接続する部位を２流体ノズル２２の数に応じて分岐させるとともに、洗浄液導入配管３２のうちの洗浄液用逆止弁３４と２流体ノズル２２とを接続する部位を２流体ノズル２２の数に応じて分岐させればよい。
【００７５】
その他の構成については、公知の洗浄装置と同様とされているので、その詳しい説明については省略する。
【００７６】
このような構成からなる本実施形態の洗浄装置２１によれば、前述した第１実施形態の洗浄装置１と同様の効果を奏することができる。
【００７７】
すなわち、本実施形態の洗浄装置２１によれば、気体導入配管２５に気体用逆止弁２７が配設されているから、洗浄終了後に、残圧により２流体ノズル２２側から気体導入路としての気体導入配管２５に入り込んだ洗浄液を気体用逆止弁２５の配設位置で阻止することができる。
【００７８】
また、本実施形態の洗浄装置２１によれば、気体導入配管２５に気体用逆止弁２７が配設されているから、洗浄終了後に、残圧により２流体ノズル２２側から気体導入路としての気体導入配管２５に入り込んだ洗浄液を気体用逆止弁２７の配設位置で阻止することができる。
【００７９】
また、本実施形態の洗浄装置１によれば、気体用電磁弁２８および洗浄液用電磁弁３５のそれぞれが２ポート電磁弁であるから、洗浄終了後に、残圧により２流体ノズル２２側から気体導入路としての気体導入配管２５に入り込んだ洗浄液が気体用逆止弁２７から漏洩して気体用電磁弁２８まで到達したとしても、気体用電磁弁２８から外部に排出されることがなので、周囲の環境に悪影響を及ぼすのを確実かつ容易に防止することができる。勿論、洗浄液が洗浄液用電磁弁３５から外部に排出されることもない。
【００８０】
また、本実施形態の洗浄装置２１によれば、気体用電磁弁２８および洗浄液用電磁弁３５のそれぞれが同時に開閉するように形成されているから、洗浄開始時、洗浄終了時および洗浄時のいずれにおいても、２流体ノズル２２を介しての気体導入路としての気体導入配管２５への洗浄液の入り込み、あるいは、洗浄液導入路としての洗浄液導入配管３２への加圧された気体としての圧縮空気の入り込みを防止することができる。
【００８１】
したがって、本実施形態の洗浄装置１によれば、洗浄に供するために２流体ノズル２２から噴霧されるミスト化された洗浄液の粒子径や密度を安定させることができるので、安定した洗浄能力を確実かつ容易に得ることができる。
【００８２】
なお、本発明は、前述した各実施形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明に係る洗浄装置の第１実施形態の要部の構成を示すブロック図
【図２】本発明に係る洗浄装置の第２実施形態の要部の構成を示す図１と同様の図
【符号の説明】
【００８４】
１、２１ 洗浄装置
２、２２ ２流体ノズル
３、２３ 気体供給手段
４ （専用の）ポンプ
５、２４ 洗浄液供給手段
６、２５ 気体導入配管
９、２７ 気体用逆止弁
１０、２９ 気体用減圧弁
１２、３１ 制御部
１３、３２ 洗浄液導入配管
１６、３６ 洗浄液用減圧弁
３５ 洗浄液用電磁弁
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄装置に係り、特に、２流体ノズルを用いた洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液晶表示パネルなどの各種の光学パネルの基板、シリコンウエハなどの半導体基板、光ディスクの基板、回路基板などの各種の基板を始め多種多様の洗浄対象物に付着した異物の除去などの洗浄を２流体ノズルを用いて行う洗浄装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
２流体ノズルは、洗浄液と圧縮空気などの加圧された気体とを混合してミスト化した洗浄液を生成して噴霧することができるように形成されている。また、加圧された気体は、洗浄に供するために２流体ノズルからミスト化されて噴霧される洗浄液の微細な粒子を洗浄対象物に搬送するキャリアとして機能するようになっている。
【０００４】
このような従来の洗浄装置は、２流体ノズルと、２流体ノズルに加圧された気体、例えば圧縮空気を供給するため気体供給手段と、２流体ノズルに洗浄液を供給するための専用のポンプを備えた洗浄液供給手段とを有している。また、２流体ノズルと気体供給手段とを接続する気体導入路には、２流体ノズルに対する加圧された気体の供給および停止を行うための気体用電磁弁が配設されている。この気体用電磁弁としては、入口、出口および排出口の３ポートを備え、非通電状態において入口が閉じ、出口と排出口が連通する常時閉（ＮＣ）タイプの３ポート電磁弁が用いられており、洗浄終了後にポンプを停止させた際に、２流体ノズルを介して気体導入路に入り込んだ洗浄液を排出口から外部に排出することができるようになっている。
【０００５】
なお、洗浄液が２流体ノズルを介して気体導入路に入り込むのは、ポンプを停止させても、２流体ノズルで消費されずに洗浄液導入路に存在する洗浄液が残圧として残っており、この残圧により、洗浄液が２流体ノズルを介して気体導入路に入り込むからである。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−００１１９９号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、従来の洗浄装置においては、洗浄終了後に、残圧により気体導入路に入り込んだ洗浄液を気体用電磁弁により外部に排出する構成とされているために、気体用電磁弁から外部に排出される洗浄液が周囲に飛散したりして、周囲の環境に悪影響を及ぼすという問題点があった。
【０００８】
なお、従来の洗浄装置においては、２流体ノズルを介しての気体導入路への洗浄液の入り込み、あるいは、洗浄液導入路への加圧された気体の入り込みが発生し、洗浄に供するために２流体ノズルから噴霧されるミスト化された洗浄液の粒子径や密度が安定せずに、洗浄能力が不安定になるという問題点もあった。
【０００９】
本発明はこの点に鑑みてなされたものであり、周囲の環境に悪影響を及ぼすことのない洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前述した目的を達成するため、本発明に係る洗浄装置の特徴は、２流体ノズルと、前記２流体ノズルに加圧された気体を供給するための気体供給手段と、前記２流体ノズルに洗浄液を供給するための専用のポンプを備えた洗浄液供給手段と、前記２流体ノズルに対する加圧された気体の供給および停止を行うために、前記２流体ノズルと前記気体供給手段とを接続する気体導入路に配設されている気体用電磁弁とを有している洗浄装置において、前記気体用電磁弁が２ポート電磁弁である点にある。そして、このような構成を採用したことにより、洗浄終了後に、残圧により気体導入路に入り込んだ洗浄液が気体用電磁弁から外部に排出されることがないので、周囲の環境に悪影響を及ぼすのを確実かつ容易に防止することができる。
【００１１】
前記気体用電磁弁の開動作と前記ポンプの駆動とを同時に行わせるとともに、前記気体用電磁弁の閉動作と前記ポンプの停止とを同時に行わせる制御手段が配設されていることが好ましい。そして、このような構成を採用したことにより、２流体ノズルを介しての気体導入路への洗浄液の入り込み、あるいは、洗浄液導入路への加圧された気体の入り込みを防止することができる。
【００１２】
また、本発明に係る他の洗浄装置の特徴は、２流体ノズルと、前記２流体ノズルに加圧された気体を供給するための気体供給手段と、前記２流体ノズルに洗浄液を供給するための洗浄液供給手段と、前記２流体ノズルに対する加圧された気体の供給および停止を行うために、前記２流体ノズルと前記気体供給手段とを接続する気体導入路に配設されている気体用電磁弁と、前記２流体ノズルに対する洗浄液の供給および停止を行うために、前記２流体ノズルと前記洗浄液供給手段とを接続する洗浄液導入路に配設されている洗浄液用電磁弁とを有している洗浄装置において、前記気体用電磁弁および前記洗浄液用電磁弁のそれぞれが２ポート電磁弁である点にある。そして、このような構成を採用したことにより、洗浄終了後に、残圧により気体導入路に入り込んだ洗浄液が気体用電磁弁から外部に排出されることがないので、周囲の環境に悪影響を及ぼすのを確実かつ容易に防止することができる。
【００１３】
前記気体用電磁弁および前記洗浄液用電磁弁のそれぞれを同時に開動作または閉動作させる制御手段が配設されていることが好ましい。そして、このような構成を採用したことにより、気体導入路への洗浄液の入り込み、あるいは、洗浄液導入路への加圧された気体の入り込みを防止することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る洗浄装置によれば、気体用電磁弁を２ポート電磁弁とすることで、洗浄終了後において気体導入路に入り込んだ洗浄液が気体用電磁弁から外部に排出されないので、周囲の環境に悪影響を及ぼすのを確実かつ容易に防止することができるなどの優れた効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を図面に示す実施形態により説明する。
【００１６】
図１は本発明に係る洗浄装置の第１実施形態の要部の構成を示すブロック図である。
【００１７】
図１に示すように、本実施形態の洗浄装置１は、２流体ノズル２と、この２流体ノズル２に加圧された気体を供給するための気体供給手段３と、２流体ノズル２に洗浄液を供給するための専用のポンプ４を備えた洗浄液供給手段５とを有している。
【００１８】
前記気体供給手段３は、２流体ノズル２に供給する加圧された気体の供給源となるものである。
【００１９】
本実施形態においては、加圧された気体として、製造工場などで一般的に使用されている圧縮空気が用いられている。なお、加圧された気体としては、窒素ガス、アルゴンガスなどの不活性ガスその他各種のガスを用いてもよく、特に限定されるものではない。
【００２０】
本実施形態の気体供給手段３としては、洗浄装置１だけでなく製造工場の各部に圧縮空気を供給するために配設されたエア配管に、空気タンクおよびアフタークーラなどをこの順に介して圧縮空気の生成源となる空気圧縮機が接続されて構成されている。
【００２１】
なお、製造工場などで一般的に用いられている空気圧縮機による空気圧は、０．５ＭＰａ程度とされている。また、エア配管には、少なくとも工場の操業時において圧縮空気が常時供給されるようになっている。
【００２２】
前記２流体ノズル２と気体供給手段３とは、気体導入路としての気体導入配管６により接続されている。
【００２３】
すなわち、本実施形態の気体導入配管６は、一端が２流体ノズル２、詳しくは２流体ノズル２の気体導入口を備えた気体導入部７に接続されており、他端が気体供給手段３、詳しくは気体供給手段３のエア配管に接続されている。
【００２４】
前記気体導入配管６には、２流体ノズル２側から気体用逆止弁８、気体用電磁弁９、気体用減圧弁１０およびフィルタ１１がこの順に配設されている。
【００２５】
前記気体用逆止弁８は、２流体ノズル２側からの洗浄液の入り込みを防止するためのものであり、気体用電磁弁９から２流体ノズル２に向かう方向の圧縮空気の流動を許容し、２流体ノズル２から気体用電磁弁９に向かう方向の圧縮空気の流動を阻止するようになっている。したがって、気体用逆止弁８は、２流体ノズル２にできるだけ近接させて配置することが好ましい。勿論、支障がなければ、２流体ノズル２の気体導入部７に気体用逆止弁８を直接取り付けるようにしてもよい。
【００２６】
前記気体用電磁弁９は、２流体ノズル２に対する圧縮空気の供給および停止を行うためのものであり、本実施形態においては、入口および出口の２ポートを備え、非通電状態において流路が閉じる常時閉（ＮＣ）タイプの２ポート電磁弁が用いられている。この気体用電磁弁９は、後述する制御手段としての制御部１２と電気的に接続されており、制御部１２から送出される制御指令に基づいて所定のタイミングで開閉動作、すなわち、流路が閉じた閉状態と、流路が開いた閉状態との切り換えが制御されるようになっている。
【００２７】
前記気体用減圧弁１０は、気体用供給手段３のエア配管から気体導入配管６に導入された圧縮空気が所定の流量となるように一定の圧力に減圧して２流体ノズル２に向かって吐出するためのものである。なお、気体用減圧弁１０としては、圧力計が付設されたものが２流体ノズル２に供給する圧縮空気の圧力設定や圧力の確認を容易に行うことができるという意味で好ましい。
【００２８】
前記フィルタ１１は、気体用減圧弁１０に導入される圧縮空気に含まれる異物の除去に用いられるものである。
【００２９】
なお、気体導入配管６が、空気圧縮機からの距離が長い位置でエア配管と接続されているなどの理由により圧縮空気の圧力降下がある場合や、洗浄性を向上するためなどの理由により、より高い圧力を必要とする場合など、圧縮空気の圧力を増圧（昇圧）する必要がある場合には、圧縮空気の圧力を昇圧するための増圧器（ブースタ）を気体用減圧弁１０とフィルタ１１との間、あるいは、フィルタ１１と気体供給手段３のエア配管との間に配設するとよい。
【００３０】
前記洗浄液供給手段５は、２流体ノズル２への洗浄液の供給源となるものであり、本実施形態の洗浄液供給手段５は、専用のポンプ４により、液体タンクに貯留されている洗浄液を汲み上げて所定の圧力で２流体ノズル２に向かって移送することができるように構成されている。また、ポンプ４は、後述する制御部１２と電気的に接続されており、制御部１２から送出される制御指令に基づいて所定のタイミングで駆動および停止の動作が制御されるようになっている。
【００３１】
前記洗浄液としては、水そのものであってもよいし、水に洗浄剤を混合あるいは溶解させたものなど、洗浄対象物に応じて従来公知の各種のものから選択使用することができる。
【００３２】
前記２流体ノズル２と洗浄液供給手段５とは、洗浄液導入路としての洗浄液導入配管１３により接続されている。
【００３３】
すなわち、本実施形態の洗浄液導入配管１３は、一端が２流体ノズル２の洗浄液導入口を備えた洗浄液導入部１４に接続されており、他端が洗浄液供給手段５、詳しくは洗浄液供給手段５のポンプ４の吐出口に接続されている。
【００３４】
前記洗浄液導入配管１３には、２流体ノズル２側から洗浄液用逆止弁１５、洗浄液用減圧弁１６およびストレーナ１７がこの順に配設されている。
【００３５】
前記洗浄液用逆止弁１５は、２流体ノズル２側からの圧縮空気の入り込みを防止するためのものであり、洗浄液用減圧弁１６から２流体ノズル２に向かう方向の洗浄液の流動を許容し、２流体ノズル２から洗浄液用減圧弁１６に向かう方向の洗浄液の流動を阻止するようになっている。したがって、洗浄液用逆止弁１５は、２流体ノズル２にできるだけ近接させて配置することが好ましい。勿論、支障がなければ、２流体ノズル２の洗浄液導入部１４に洗浄液用逆止弁１５を直接取り付けるようにしてもよい。
【００３６】
前記洗浄液用減圧弁１６は、洗浄液供給手段５のポンプ４により圧送される洗浄液が所定の流量となるように一定の圧力に減圧して２流体ノズル２に向かって吐出するためのものである。なお、洗浄液用減圧弁１６としては、圧力計が付設されたものが２流体ノズル２に供給する洗浄液の圧力設定や圧力の確認を容易に行うことができるという意味で好ましい。
【００３７】
前記ストレーナ１７は、洗浄液用減圧弁１６に導入される洗浄液に含まれる異物の除去に用いられるものである。
【００３８】
なお、設計コンセプトなどの必要に応じて、ポンプ４により洗浄液導入配管１３を加圧されて移送される洗浄液の少なくとも周期的な圧力の変動である脈動を吸収するためのアキュムレータを洗浄液用減圧弁１６とストレーナ１７との間、あるいは、ストレーナ１７とポンプ４との間に配設するとよい。
【００３９】
前記制御部１２は、洗浄装置１の各部の動作制御を司るためのものであり、少なくともＣＰＵと、適宜な容量のＲＯＭ、ＲＡＭなどにより形成されたメモリとを有している。そして、メモリには、少なくとも洗浄対象物の洗浄を行う場合に、起動スイッチからの信号を受けて、気体用電磁弁９の開動作とポンプ４の駆動とを同時に行うことができるように気体用電磁弁９とポンプ４とを動作させるプログラムが記憶されている。また、メモリには、少なくとも洗浄対象物の洗浄を終了した場合に、図示しない停止スイッチからの信号を受けて、気体用電磁弁９の閉動作とポンプ４の停止とを同時に行うことができるように気体用電磁弁９とポンプ４とを動作させるプログラムが記憶されている。
【００４０】
すなわち、本実施形態の洗浄装置１においては、制御部１２からの制御指令に基づいて、気体用電磁弁９の開動作とポンプ４の駆動とを同時に行うことができるとともに、気体用電磁弁９の閉動作とポンプ４の停止とを同時に行うことができるように形成されている。
【００４１】
なお、２流体ノズル２の数を複数としてもよい。この場合、気体導入配管６のうちの気体用逆止弁８と２流体ノズル２とを接続する部位を２流体ノズル２の数に応じて分岐させるとともに、洗浄液導入配管１３のうちの洗浄液用逆止弁１５と２流体ノズル２とを接続する部位を２流体ノズル２の数に応じて分岐させればよい。
【００４２】
その他の構成については、公知の洗浄装置と同様とされているので、その詳しい説明については省略する。
【００４３】
つぎに、前述した構成からなる本実施形態の作用について説明する。
【００４４】
本実施形態の洗浄装置１によれば、気体導入配管６に気体用逆止弁８が配設されているから、洗浄終了後に、残圧により２流体ノズル２側から気体導入路としての気体導入配管６に入り込んだ洗浄液を気体用逆止弁８の配設位置で阻止することができる。
【００４５】
また、本実施形態の洗浄装置１によれば、気体用電磁弁９が２ポート電磁弁であるから、洗浄終了後に、残圧により２流体ノズル２側から気体導入路としての気体導入配管６に入り込んだ洗浄液が気体用逆止弁８から漏洩して気体用電磁弁９まで到達したとしても、気体用電磁弁９から外部に排出されることがないので、周囲の環境に悪影響を及ぼすのを確実かつ容易に防止することができる。
【００４６】
また、本実施形態の洗浄装置１によれば、気体用電磁弁９の開動作とポンプ４の駆動とを同時に行うことができるとともに、気体用電磁弁９の閉動作とポンプ４の停止とを同時に行うことができるように形成されているから、洗浄開始時、洗浄終了時および洗浄時のいずれにおいても、２流体ノズル２を介しての気体導入路としての気体導入配管６への洗浄液の入り込み、あるいは、洗浄液導入路としての洗浄液導入配管１３への加圧された気体としての圧縮空気の入り込みを防止することができる。
【００４７】
したがって、本実施形態の洗浄装置１によれば、洗浄に供するために２流体ノズル２から噴霧されるミスト化された洗浄液の粒子径や密度を安定させることができるので、安定した洗浄能力を確実かつ容易に得ることができる。
【００４８】
図２は本発明に係る洗浄装置の第２実施形態の要部の構成を示すブロック図である。
【００４９】
図２に示すように、本実施形態の洗浄装置２１は、２流体ノズル２２と、この２流体ノズル２２に加圧された気体を供給するための気体供給手段２３と、２流体ノズル２２に洗浄液を供給するための洗浄液供給手段２４とを有している。
【００５０】
前記気体供給手段２３は、２流体ノズル２２に供給する加圧された気体の供給源となるものである。
【００５１】
本実施形態においては、加圧された気体として、前述した第１実施形態の洗浄装置１と同様に、製造工場などで一般的に使用されている圧縮空気が用いられている。なお、加圧された気体としては、窒素ガス、アルゴンガスなどの不活性ガスその他各種のガスを用いてもよく、特に限定されるものではない。
【００５２】
本実施形態の気体供給手段２３としては、前述した第１実施形態の洗浄装置１における気体供給手段３と同様に、洗浄装置２１だけでなく製造工場の各部に圧縮空気を供給するために配設されたエア配管に、空気タンクおよびアフタークーラなどをこの順に介して圧縮空気の生成源となる空気圧縮機が接続されて構成されている。
【００５３】
なお、製造工場などで一般的に用いられている空気圧縮機による空気圧は、０．５ＭＰａ程度とされている。また、エア配管には、少なくとも工場の操業時において圧縮空気が常時供給されるようになっている。
【００５４】
前記２流体ノズル２２と気体供給手段２３とは、気体導入路としての気体導入配管２５により接続されている。
【００５５】
すなわち、本実施形態の気体導入配管２５は、一端が２流体ノズル２２、詳しくは２流体ノズル２２の気体導入口を備えた気体導入部２６に接続されており、他端が気体供給手段２３、詳しくは気体供給手段２３のエア配管に接続されている。
【００５６】
前記気体導入配管２５には、２流体ノズル２２側から気体用逆止弁２７、気体用電磁弁２８、気体用減圧弁２９およびフィルタ３０がこの順に配設されている。
【００５７】
前記気体用逆止弁２７は、２流体ノズル２２側からの洗浄液の入り込みを防止するためのものであり、気体用電磁弁２８から２流体ノズル２２に向かう方向の圧縮空気の流動を許容し、２流体ノズル２２から気体用電磁弁２８に向かう方向の圧縮空気の流動を阻止するようになっている。したがって、気体用逆止弁２７は、２流体ノズル２２にできるだけ近接させて配置することが好ましい。勿論、支障がなければ、２流体ノズル２２の気体導入部２６に気体用逆止弁２７を直接取り付けるようにしてもよい。
【００５８】
前記気体用電磁弁２８は、２流体ノズル２２に対する圧縮空気の供給および停止を行うためのものであり、本実施形態においては、入口および出口の２ポートを備え、非通電状態において流路が閉じる常時閉（ＮＣ）タイプの２ポート電磁弁が用いられている。この気体用電磁弁２８は、後述する制御部３１と電気的に接続されており、制御部３１から送出される制御指令に基づいて所定のタイミングで開閉動作、すなわち、流路が閉じた閉状態と、流路が開いた閉状態との切り換えが制御されるようになっている。
【００５９】
前記気体用減圧弁２９は、気体用供給手段２３のエア配管から気体導入配管２５に導入された圧縮空気が所定の流量となるように一定の圧力に減圧して２流体ノズル２２に向かって吐出するためのものである。なお、気体用減圧弁２９としては、圧力計が付設されたものが２流体ノズル２２に供給する圧縮空気の圧力設定や圧力の確認を容易に行うことができるという意味で好ましい。
【００６０】
前記フィルタ３０は、気体用減圧弁２９に導入される圧縮空気に含まれる異物の除去に用いられるものである。
【００６１】
なお、気体導入配管２５が、空気圧縮機からの距離が長い位置でエア配管と接続されているなどの理由により圧縮空気の圧力降下がある場合や、洗浄性を向上するためなどの理由により、より高い圧力を必要とする場合など、圧縮空気の圧力を増圧する必要がある場合には、圧縮空気の圧力を昇圧するための増圧器を気体用減圧弁２９とフィルタ３０との間、あるいは、フィルタ３０と気体供給手段２３のエア配管との間に配設するとよい。
【００６２】
前記洗浄液供給手段２４は、２流体ノズル２２への洗浄液の供給源となるものであり、本実施形態の洗浄液供給手段２４は、洗浄装置２１だけでなく製造工場の各部に洗浄液を供給するために配設された液体配管に、液体タンクに貯留されている洗浄液を汲み上げて所定の圧力で移送するポンプが接続されて構成されている。そして、液体配管には、少なくとも工場の操業時において洗浄液が常時供給されるようになっている。
【００６３】
なお、設計コンセプトなどの必要に応じて、ポンプにより液体配管を加圧されて移送される洗浄液の少なくとも周期的な圧力の変動である脈動を吸収するためのアキュムレータを液体配管とポンプとの間に配設してもよい。
【００６４】
前記２流体ノズル２２と洗浄液供給手段２４とは、洗浄液導入路としての洗浄液導入配管３２により接続されている。
【００６５】
すなわち、本実施形態の洗浄液導入配管３２は、一端が２流体ノズル２２、詳しくは２流体ノズル２２の洗浄液導入口を備えた洗浄液導入部３３に接続されており、他端が洗浄液供給手段２４、詳しくは洗浄液供給手段２４の液体配管に接続されている。
【００６６】
前記洗浄液導入配管３２には、２流体ノズル２２側から洗浄液用逆止弁３４、洗浄液用電磁弁３５、洗浄液用減圧弁３６およびストレーナ３７がこの順に配設されている。
【００６７】
前記洗浄液用逆止弁３４は、２流体ノズル２２側からの圧縮空気の入り込みを防止するためのものであり、洗浄液用電磁弁３５から２流体ノズル２２に向かう方向の洗浄液の流動を許容し、２流体ノズル２２から洗浄液用電磁弁３５に向かう方向の洗浄液の流動を阻止するようになっている。したがって、洗浄液用逆止弁３４は、２流体ノズル２２にできるだけ近接させて配置することが好ましい。勿論、支障がなければ、２流体ノズル２２の洗浄液導入部３３に洗浄液用逆止弁３４を直接取り付けるようにしてもよい。
【００６８】
前記洗浄液用電磁弁３５は、２流体ノズル２２に対する洗浄液の供給および停止を行うためのものであり、本実施形態においては、気体用電磁弁２８と同様に、入口および出口の２ポートを備え、非通電状態において流路が閉じる常時閉（ＮＣ）タイプの２ポート電磁弁が用いられている。この洗浄液用電磁弁３５は、後述する制御部３１と電気的に接続されており、制御部３１から送出される制御指令に基づいて所定のタイミングで開閉動作、すなわち、流路が閉じた閉状態と、流路が開いた閉状態との切り換えが制御されるようになっている。
【００６９】
前記洗浄液用減圧弁３６は、洗浄液供給手段２４の液体配管から洗浄液導入配管３２に圧送される洗浄液が所定の流量となるように一定の圧力に減圧して２流体ノズル２２に向かって吐出するためのものである。なお、洗浄液用減圧弁３６としては、圧力計が付設されたものが２流体ノズル２２に供給する洗浄液の圧力設定や圧力の確認を容易に行うことができるという意味で好ましい。
【００７０】
前記ストレーナ３７は、洗浄液用減圧弁３６に導入される洗浄液に含まれる異物の除去に用いられるものである。
【００７１】
なお、設計コンセプトなどの必要に応じて、洗浄液導入配管３２を加圧されて移送される洗浄液の少なくとも周期的な圧力の変動である脈動を吸収するためのアキュムレータを洗浄液用減圧弁３６とストレーナ３７との間、あるいは、ストレーナ３７と液体配管との間に配設するとよい。
【００７２】
前記制御部３１は、洗浄装置２１の各部の動作制御を司るためのものであり、少なくともＣＰＵと、適宜な容量のＲＯＭ、ＲＡＭなどにより形成されたメモリとを有している。そして、メモリには、少なくとも洗浄対象物の洗浄を行う場合に、起動スイッチからの信号を受けて、気体用電磁弁２８および洗浄液用電磁弁３５のそれぞれを同時に開閉することができるように気体用電磁弁２８および洗浄液用電磁弁３５を動作させるプログラムが記憶されている。
【００７３】
すなわち、本実施形態の洗浄装置２１においては、制御部３１からの制御指令に基づいて、気体用電磁弁２８および洗浄液用電磁弁３５のそれぞれの流路が同時に開状態あるいは閉状態となるように形成されている。
【００７４】
なお、２流体ノズル２２の数を複数としてもよい。この場合、気体導入配管２５のうちの気体用逆止弁２７と２流体ノズル２２とを接続する部位を２流体ノズル２２の数に応じて分岐させるとともに、洗浄液導入配管３２のうちの洗浄液用逆止弁３４と２流体ノズル２２とを接続する部位を２流体ノズル２２の数に応じて分岐させればよい。
【００７５】
その他の構成については、公知の洗浄装置と同様とされているので、その詳しい説明については省略する。
【００７６】
このような構成からなる本実施形態の洗浄装置２１によれば、前述した第１実施形態の洗浄装置１と同様の効果を奏することができる。
【００７７】
すなわち、本実施形態の洗浄装置２１によれば、気体導入配管２５に気体用逆止弁２７が配設されているから、洗浄終了後に、残圧により２流体ノズル２２側から気体導入路としての気体導入配管２５に入り込んだ洗浄液を気体用逆止弁２５の配設位置で阻止することができる。
【００７８】
また、本実施形態の洗浄装置２１によれば、気体導入配管２５に気体用逆止弁２７が配設されているから、洗浄終了後に、残圧により２流体ノズル２２側から気体導入路としての気体導入配管２５に入り込んだ洗浄液を気体用逆止弁２７の配設位置で阻止することができる。
【００７９】
また、本実施形態の洗浄装置１によれば、気体用電磁弁２８および洗浄液用電磁弁３５のそれぞれが２ポート電磁弁であるから、洗浄終了後に、残圧により２流体ノズル２２側から気体導入路としての気体導入配管２５に入り込んだ洗浄液が気体用逆止弁２７から漏洩して気体用電磁弁２８まで到達したとしても、気体用電磁弁２８から外部に排出されることがなので、周囲の環境に悪影響を及ぼすのを確実かつ容易に防止することができる。勿論、洗浄液が洗浄液用電磁弁３５から外部に排出されることもない。
【００８０】
また、本実施形態の洗浄装置２１によれば、気体用電磁弁２８および洗浄液用電磁弁３５のそれぞれが同時に開閉するように形成されているから、洗浄開始時、洗浄終了時および洗浄時のいずれにおいても、２流体ノズル２２を介しての気体導入路としての気体導入配管２５への洗浄液の入り込み、あるいは、洗浄液導入路としての洗浄液導入配管３２への加圧された気体としての圧縮空気の入り込みを防止することができる。
【００８１】
したがって、本実施形態の洗浄装置１によれば、洗浄に供するために２流体ノズル２２から噴霧されるミスト化された洗浄液の粒子径や密度を安定させることができるので、安定した洗浄能力を確実かつ容易に得ることができる。
【００８２】
なお、本発明は、前述した各実施形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明に係る洗浄装置の第１実施形態の要部の構成を示すブロック図
【図２】本発明に係る洗浄装置の第２実施形態の要部の構成を示す図１と同様の図
【符号の説明】
【００８４】
１、２１ 洗浄装置
２、２２ ２流体ノズル
３、２３ 気体供給手段
４ （専用の）ポンプ
５、２４ 洗浄液供給手段
６、２５ 気体導入配管
９、２７ 気体用逆止弁
１０、２９ 気体用減圧弁
１２、３１ 制御部
１３、３２ 洗浄液導入配管
１６、３６ 洗浄液用減圧弁
３５ 洗浄液用電磁弁
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２流体ノズルと、
前記２流体ノズルに加圧された気体を供給するための気体供給手段と、
前記２流体ノズルに洗浄液を供給するための専用のポンプを備えた洗浄液供給手段と、
前記２流体ノズルに対する加圧された気体の供給および停止を行うために、前記２流体ノズルと前記気体供給手段とを接続する気体導入路に配設されている気体用電磁弁とを有している洗浄装置において、
前記気体用電磁弁が２ポート電磁弁であることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記気体用電磁弁の開動作と前記ポンプの駆動とを同時に行わせるとともに、前記気体用電磁弁の閉動作と前記ポンプの停止とを同時に行わせる制御手段が配設されている請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
２流体ノズルと、
前記２流体ノズルに加圧された気体を供給するための気体供給手段と、
前記２流体ノズルに洗浄液を供給するための洗浄液供給手段と、
前記２流体ノズルに対する加圧された気体の供給および停止を行うために、前記２流体ノズルと前記気体供給手段とを接続する気体導入路に配設されている気体用電磁弁と、
前記２流体ノズルに対する洗浄液の供給および停止を行うために、前記２流体ノズルと前記洗浄液供給手段とを接続する洗浄液導入路に配設されている洗浄液用電磁弁とを有している洗浄装置において、
前記気体用電磁弁および前記洗浄液用電磁弁のそれぞれが２ポート電磁弁であることを特徴とする洗浄装置。
【請求項４】
前記気体用電磁弁および前記洗浄液用電磁弁のそれぞれを同時に開動作または閉動作させる制御手段が配設されている請求項３に記載の洗浄装置。
【請求項１】
２流体ノズルと、
前記２流体ノズルに加圧された気体を供給するための気体供給手段と、
前記２流体ノズルに洗浄液を供給するための専用のポンプを備えた洗浄液供給手段と、
前記２流体ノズルに対する加圧された気体の供給および停止を行うために、前記２流体ノズルと前記気体供給手段とを接続する気体導入路に配設されている気体用電磁弁とを有している洗浄装置において、
前記気体用電磁弁が２ポート電磁弁であることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記気体用電磁弁の開動作と前記ポンプの駆動とを同時に行わせるとともに、前記気体用電磁弁の閉動作と前記ポンプの停止とを同時に行わせる制御手段が配設されている請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
２流体ノズルと、
前記２流体ノズルに加圧された気体を供給するための気体供給手段と、
前記２流体ノズルに洗浄液を供給するための洗浄液供給手段と、
前記２流体ノズルに対する加圧された気体の供給および停止を行うために、前記２流体ノズルと前記気体供給手段とを接続する気体導入路に配設されている気体用電磁弁と、
前記２流体ノズルに対する洗浄液の供給および停止を行うために、前記２流体ノズルと前記洗浄液供給手段とを接続する洗浄液導入路に配設されている洗浄液用電磁弁とを有している洗浄装置において、
前記気体用電磁弁および前記洗浄液用電磁弁のそれぞれが２ポート電磁弁であることを特徴とする洗浄装置。
【請求項４】
前記気体用電磁弁および前記洗浄液用電磁弁のそれぞれを同時に開動作または閉動作させる制御手段が配設されている請求項３に記載の洗浄装置。
【図１】
【図２】
【図２】
【公開番号】特開２００８−１３６９１３（Ｐ２００８−１３６９１３Ａ）
【公開日】平成２０年６月１９日（２００８．６．１９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−３２４６７９（Ｐ２００６−３２４６７９）
【出願日】平成１８年１１月３０日（２００６．１１．３０）
【出願人】（０００１０３７４７）オプトレックス株式会社 (843)
【出願人】（０００１６７７８３）広島オプト株式会社 (95)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年６月１９日（２００８．６．１９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年１１月３０日（２００６．１１．３０）
【出願人】（０００１０３７４７）オプトレックス株式会社 (843)
【出願人】（０００１６７７８３）広島オプト株式会社 (95)
【Ｆターム（参考）】
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