液体供給を管理するためのタンクロック装置・システムとそれを使用する方法
【目的】タンクロック装置を備えて作業員の勝手な取り替えを禁止し、正確な対照を行って、空になった液体タンクを正確な新しい液体タンクに取り替えることを管理するために、液体供給を管理するシステムとその方法を提供する。
【解決手段】液体タンクを備える工程設備に適した液体供給を管理するシステムが開示される。システムは、ホストと、データ読み出しツールと、システムコントローラーと、タンクロック装置とを含む。ホストが内蔵の液体データベースを蓄積している。液体タンクに関連するデータを読み出すために使用されるデータ読み出しツールがホストに電気接続される。ホストは、データ読み出しツールから液体タンクに関連するデータを受信し、かつ受信したデータを液体データベースと対照する。システムコントローラーがホストからの液体タンクの取り替えを許容するか否かの信号に従ってタンクロック装置を駆動する。
【解決手段】液体タンクを備える工程設備に適した液体供給を管理するシステムが開示される。システムは、ホストと、データ読み出しツールと、システムコントローラーと、タンクロック装置とを含む。ホストが内蔵の液体データベースを蓄積している。液体タンクに関連するデータを読み出すために使用されるデータ読み出しツールがホストに電気接続される。ホストは、データ読み出しツールから液体タンクに関連するデータを受信し、かつ受信したデータを液体データベースと対照する。システムコントローラーがホストからの液体タンクの取り替えを許容するか否かの信号に従ってタンクロック装置を駆動する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、一般的に工程設備を管理するためのシステムとそれを使用する方法に関し、特に、 液体供給を管理するためのシステムとそれを使用する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体プロセスにおいて、様々な液体がプロセスを実行するためによく使用される。一例としてリソグラフィー工程を挙げると、フォトレジスト塗布工程中、チップ表面が異なる工程条件に基づいて選択されたフォトレジストタイプの液体フォトレジストによりスピンコーティングされる。
【０００３】
プロセス機械中のフォトレジストが使い尽くされた時、登録および対照（mapping）手続が手動で通常は行われるとともに、作業員が使い尽くされたフォトレジストを新しいフォトレジストに取り替えることを決定する。詳細には、一度、機械中のフォトレジストが使い尽くされると、信号が機械から作業員に送られて新しいフォトレジストを補給するよう促すので、生産ラインの中断が回避される。それに応じて、作業員が使い果たされたフォトレジストタンクを取り替えるために同一タイプの新しいフォトレジストタンクを移動させに行く。さらに、作業員がコンピューター末端中の使い果たされたフォトレジストタンクに関連するデータを手動で削除し、新しいフォトレジストタンクに関連するデータを記入する（enter）とともに、対照ならびに確認（verification）を行う。最後に、作業員が機械のフォトレジストキャビン中の使い果たされたフォトレジストタンクを見つけて、使い果たされたフォトレジストタンクを新しいフォトレジストタンクに取り替えるとともに、機械を再スタートさせる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記プロセスの間、新しいフォトレジストタンクに関連するデータがコンピューター中に確立されたデータベースと対照されて、移送された新しいフォトレジストタンクが正しいものか否か判定されるが、もちろん、制御および管理の強制的なメカニズムではない。フォトレジストには、様々なタイプがあり、幾つかのフォトレジストは、類似した非常に近い名称を有するから、人的不注意による間違った受け出しを引き起こしやすい。一度、作業員が対照手続を実施しない又はフォトレジストタンクを正しいものに取り替えるための対照エラーメッセージを無視すると、取り替えの致命的な誤りが発生し、更には製品全体の歩留まり及びコストに影響する。
〔発明の目的〕
【０００５】
そこで、この発明の目的は、空になった液体タンクを正確な新しい液体タンクに取り替えることを管理するために、液体供給を管理するためのシステムを提供することにある。
【０００６】
この発明の別な目的は、正しくない液体タンクと取り替えることを防止するために正確な対照を促進する液体供給を管理するためのシステムを提供することにある。
【０００７】
この発明の他の目的は、作業員が勝手に液体タンクを取り替えることを禁ずることの助けとなるアイリングを有する液体タンクをロックするためのタンクロック装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明は、液体タンクを使用する工程設備中に配置されるのに適した液体供給を管理するためのシステムを提供する。システムがホストと液体タンクとデータ読み出しツールとシステムコントローラーとタンクロック装置とを含む。ホストがビルトイン液体データベースを有する。データ読み出しツールが液体タンクに関連するデータを読み出すためにホストに電気接続される。システムコントローラーがホストに電気接続される。タンクロック装置がシステムコントローラーに電気接続されるとともに、液体タンク上に配置され、タンクロック装置が滑動可能なロック手段を含む。ホストがデータ読み出しツールからの液体タンクに関連するデータを受信するとともに、液体タンクに関連するデータおよび液体データベース間での対照を行う。システムコントローラーがホストからの信号に従ってタンクロック装置を駆動する。タンクロック装置がロック状態にある時、ロック手段が液体タンクのアイリングを締め；タンクロック装置が解放状態にある時、ロック手段が液体タンクのアイリングを解放する。
【０００９】
この発明の実施形態中、上記したロック手段が中空部分を含む。
【００１０】
この発明の実施形態中、タンクロック装置がロック状態にある時、中空部分が液体タンクのアイリングをロックする。
【００１１】
この発明の実施形態中、ホストに電気接続された液体レベルセンサーが更に液体タンク中の液体レベルを検出するために含まれる。
【００１２】
この発明の実施形態中、データ読み出しツールが例えばバーコードスキャナーである。
【００１３】
この発明の実施形態中、システムコントローラーが液体供給器を含む。
【００１４】
この発明の実施形態中、液体供給器が例えば気圧供給器である。
【００１５】
この発明の実施形態中、気圧供給器が1kg/cm2〜7 kg/cm2範囲の駆動圧力を有する。
【００１６】
この発明の実施形態中、ロック手段が6.78/cm2の最大支出（outcome）圧力を有する。
【００１７】
この発明の実施形態中、ロック手段が50mm/sec〜500mm/sec範囲の移動速度を有する。
【００１８】
この発明の実施形態中、工程設備が例えばフォトレジスト塗布現像機械である。
【００１９】
この発明の実施形態中、液体タンクが例えばフォトレジストタンクである。
【００２０】
この発明は、また、液体タンクを使用する工程設備に適した液体供給を管理するための方法を提供するものであり、そのうち、ロック状態にあるタンクロック装置が液体タンク上に配置される。先ず、液体タンクが取り替えられる必要のある時、新しい液体タンクが新しい液体タンクについてのデータを読み出すために取り出される。次に、新しい液体タンクに関連するデータおよび取り替えられる液体タンクに関連するデータ間での対照手続が行われて、それらが互いに一致することを確認する。新しい液体タンクに関連するデータおよび取り替えられる液体タンクに関連するデータが互いに一致する時、タンクロック装置が駆動されて解放状態に切り換えられる。そして、液体タンクが正確な新しい液体タンクに取り替えられる。
【００２１】
この発明の実施形態中、液体タンクに関連するデータが例えばバーコードスキャナーの使用により新しい液体タンク上のバーコードを読み取るものである。
【００２２】
この発明の実施形態中、新しい液体タンクに関連するデータが液体タンクに関連するデータと一致しない時、タンクロック装置がロック状態を保つものである。
【００２３】
この発明の実施形態中、工程設備が例えばフォトレジスト塗布現像機械である。
【００２４】
この発明の実施形態中、液体タンクが例えばフォトレジストタンクである。
【００２５】
この発明の実施形態中、新しい液体タンクが例えば新しいフォトレジストタンクである。
【００２６】
この発明は、また、アイリングを有する液体タンクに適したタンクロック装置を提供する。装置が本体と留め部分と缶体とピストンと駆動ロッドとロック手段とを含む。留め部分が本体の一側に接続されて装置自体を液体タンク上に締め付ける。缶体が本体中に嵌め込まれると同時に、缶体の液体入口が本体から突き出る。ピストンが缶体中に配置される。駆動ロッドが缶体中に滑動可能に配置されるとともに、駆動ロッドの一端がピストンに接続される。ロック手段が駆動ロッドの他端に接続されるとともに、中空部分を有する。ピストンが液体入口からの液体圧力により押される時、ピストンが駆動ロッドを駆動してロック手段を移動軸に沿って解放位置からロック位置へ移動させて、中空部分にアイリングをロックさせる。
【００２７】
この発明の実施形態中、タンクロック装置がピストンおよび缶体の内壁間に配置された弾性部材を含み、ピストンが缶体の底面に対して弾性力を働かせるようにして、駆動ロッドを駆動してロック手段が解放位置からロック位置へ移動するようにする。
【００２８】
この発明の実施形態中、上記した弾性部材が例えば駆動ロッドに被せられたスプリングコイルである。
【００２９】
この発明の実施形態中、タンクロック装置が更に２つのガイドレールを含んで、駆動ロッドの両側にそれぞれ配置し、ロック手段がガイドレールに押し付けられるとともに、ロック手段が確実に移動軸に沿って実質的に滑動できるようにする。
【００３０】
この発明の実施形態中、本体が収容溝を含む。
【００３１】
この発明の実施形態中、ロック手段が収容溝中に滑動可能に配置される。
【００３２】
この発明の実施形態中、タンクロック装置が更に液体入口に接続された液体供給装置を含む。
【００３３】
この発明の実施形態中、液体供給装置が例えば気圧供給器である。
〔作用〕
【００３４】
上述した記載に従って、この発明にかかる液体供給を管理するシステムは、液体供給装置が使用中は液体タンクをロックすることを採用しているため、液体タンクが勝手に取り替えられることを防止できる。更に、システムコントローラーは、ホストがデータ対照を行った後の結果に基づいて状態を切り換えるよう、タンクロック装置を制御する。従って、液体供給を管理するシステムは、液体供給を効率よく対照ならびに管理することができるとともに、作業員が誤って正しくない液体タンクと取り替えることを防止できる。
【００３５】
この発明の実施形態中、タンクロック装置が使用中はロック状態にある。新しい液体タンクに関連するデータが先行使用されている液体タンクに関連するデータと一致した時だけ、タンクロック装置が新しい液体タンクに取り替えるために非ロック状態に切り換わることを許容する。このようにして、この発明にかかる液体供給を管理する方法は、正確な液体タンクとの液体タンクのタイムリーな交換を促進することができる。
【００３６】
更に、この発明の液体供給装置が滑動可能なロック手段を採用しているので、それが解放位置からロック位置へ移動するとともに液体供給システムを駆動することにより液体タンクのアイリングをロックすることができる。従って、液体タンクを誤って正しくない液体タンクに交換することを有効に防止できる。
【発明の効果】
【００３７】
つまり、液体供給が十分でない又は液体タンクの交換が必要な時、液体供給を管理するためのシステムおよびそれを使用する方法は、データ読み出しツールを使用して新しい液体タンクのバーコードを走査することができ、液体タンクに関連するデータがホストへ送られるとともに、対照ならびに確認手続がホストによって行われるので、作業員の判断ミスによる間違った判定を防止できる。また、タンクロック装置は、ホストが対照を行った後の結果に従ってシステムコントローラーにより駆動されるから、それによって液体タンクの液体レベルが予め設定したレベルに達していない時に作業員が液体タンクを交換することを防止する。従って、この発明は、人為的ミスによる誤った液体タンクの交換を防止できるとともに、それによる液体ロスを有効に防止できる。
【００３８】
その一方で、液体供給を管理するためのシステム及びそれを使用する方法は、単純なシステムおよび工程ステップという手段により新しい液体タンクに関連するデータを読み取ること、使用中に新しい液体タンクに関連するデータおよび液体タンクに関連するデータ間で対照を行うことを含んで、それらが互いに一致するか否かを検証するから、ダブルチェックならびに訂正を可能にする。
【００３９】
さらに、この発明のタンクロック装置は、電気制御モードを使用してではなく、液体圧力モードを使用してロック手段の動きをコントロールする。それにより、どのような電子部品も可燃性液体と接触することがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
以下、この発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、この発明の実施形態にかかる液体供給装置（タンクロック装置）を示す３次元図面（斜視図）であり、図２Ａおよび図２Ｂは、図１中の液体供給装置（タンクロック装置）の動作を示す要部断面図である。
【００４１】
図１と図２Ａとにおいて、液体供給装置（タンクロック装置）１００は、アイリングを有する液体タンク（図示せず）に適したものである。液体供給装置（タンクロック装置）１００は、本体１０２と、留め部分（fastening portion）１０４と、缶体（vessel body）１１０と、ピストン１２０と、駆動ロッド１３０と、ガイドレール１４０，１４０と、ロック手段（locking detent）１５０とを含む。本体１０２は、例えば、中空のケースであり、収容溝（accommodating groove）１０２ａが本体１０２中に配置される。留め部分１０４が本体１０２の一側に連結されている。缶体１１０が例えば本体１０２中に嵌め込まれる。ピストン１２０が例えば缶体１１０中に配置される。駆動ロッド１３０が滑動可能に（slideably）缶体１１０中に配置されるとともに、ピストン１２０に連結される。ロック手段１５０が例えば収容溝１０２ａ中に滑動可能に配置され、駆動ロッド１３０に連結されている。また、ガイドレール１４０，１４０が例えば駆動ロッド１３０の両側にそれぞれ配置されて、ロック手段１５０をガイドレール１４０，１４０に寄り添う（lean on）ようにさせている。
【００４２】
図１に示したように、留め部分１０４が例えば中空リング構造を含んでいる。留め部分１０４と本体１０２との連結は、例えば、固定された連結であり、リング形状の留め部分１０４が液体タンクのタンク開口に近接した部分を取り囲んで、液体タンク上に液体供給装置（タンクロック装置）１００を留めている。しかしながら、別な実施形態中、留め部分１０４は、任意の他の適切な幾何学的形状を有することができ、留め部分１０４が液体供給装置（タンクロック装置）１００を安定して液体タンクに寄り添わせることができる限り、留め部分１０４と本体１０２との連結が滑動可能な連結であることもでき、この発明は、制限するものではない。
【００４３】
缶体１１０は、例えば、円筒形状を有するシリンダーおよびシャンバーであり、ピストン１２０をその中に収容して往復運動させる。缶体１１０の底面は、例えば、底面を貫通する開口１１０ａを含んでいる。開口１１０ａは、ピストン１２０と他の部材、例えば、ロック手段１５０とを連結するために連結孔として供される。
【００４４】
また、例えば、液体入口１１２が缶体１１０を越えるように配置されるとともに、缶体１１０中のシャンバーと通じることができる。液体入口１１２は、例えば、本体１０２から突き出ている。ある実施形態中、液体入口１１２が液体供給装置（図示せず）へ連続する時、液体供給装置により提供される液体が液体入口１１２から缶体１１０へ流れる。ピストン１２０は、ピストン１２０に対する液体圧力の働きによって缶体１１０中を移動することができる。
【００４５】
駆動ロッド１３０は、例えば、移動軸１７０に整合する（align）とともに、ピストン１２０およびロック手段１５０間に配置される。駆動ロッド１３０が一端１３０ａと他端１３０ｂとを含み、それぞれピストン１２０およびロック手段１５０に連結している。この実施形態中、駆動ロッド１３０の一端１３０ａがピストン１２０の下部に連結する一方、駆動ロッド１３０の他端１３０ｂが缶体１１０の底面で開口１１０ａを通過してロック手段１５０の上部に連結している。
【００４６】
ロック手段１５０が中空部分（cavity portion）１５０ａを有し、それが例えば移動軸１７０を中心軸としているとともに、ロック手段１５０の底部に配置されている。中空部分１５０ａの形状は、例えば、液体タンクのアイリングに対応している。液体タンクのアイリング上部は、中空部分１５０ａにより囲い込まれることができ、ロック手段１５０がちょうど液体タンクの凸状アイリングを掴むものとなる。
【００４７】
また、ガイドレール１４０，１４０は、例えば、移動軸１７０の両側に対称に配置され、ガイドレール１４０，１４０がそれぞれロック手段１５０を貫通するとともに、中空部分１５０ａの両側に位置して、ロック手段１５０がガイドレール１４０，１４０に沿って滑動できるようになっている。このように、ロック手段１５０は、ガイドレール１４０，１４０により実質的に移動軸１７０に沿って前後（上下）に滑動することが確実なものとなっている。
【００４８】
ロック手段１５０がガイドレール１４０，１４０に沿って往復できるようにするために、この発明のタンクロック装置１００は、弾性部材１６０を採用して、例えば、ピストン１２０と缶体１１０の底面との間に配置する。ピストン１２０上に働く弾性部材１６０の復原力という手段により、駆動ロッド１３０は、ロック手段１５０を運ぶことができ、ガイドレール１４０，１４０に沿って、缶体１１０に対して上方へ移動する。この実施形態中、弾性部材１６０は、例えば、駆動ロッド１３０上に被せられたコイルスプリングを含む。
【００４９】
図２Ａと図２Ｂとは、液体供給装置（タンクロック装置）１００の断面図を示している。図２Ａに示すように、液体入口１１２からの液体圧力がピストン１２０に働かない時、タンクロック装置１００は、非ロック状態を維持し；同時に、ピストン１２０が駆動ロッド１３０を駆動してロック手段１５０を押すことがないとともに、ロック手段１５０が非ロック状態を維持する。
【００５０】
図２Ｂにおいて、液体供給装置（図示せず）が液体入口１１２を介して液体を缶体１１０へ出力する時、ピストン１２０が液体入口１１２からの液体圧力１８０により働かされるとともに、液体圧力１８０のもと弾性部材１６０の方へ移動し、それが弾性部材１６０を圧縮してピストン１２０が缶体１１０の底面の方へ移動する。この時、駆動ロッド１３０もピストン１２０とともに移動し、かつロック手段１５０を駆動して解放位置Ｐ１からロック位置Ｐ２へガイドレール１４０，１４０および移動軸１７０に沿って移動し、それが更に中空部分１５０ａを液体タンクのアイリングをロックできるようにすると同時に、タンクロック装置１００がロック状態となる。
【００５１】
次に、図２Ａに示すように、液体供給装置が液体の出力を停止した時、ピストン１２０が液体入口１１２からの液体圧力１８０を免れて、弾性部材１６０が弾性力を缶体１１０の底面の方へピストン１２０の下部に対して働かせる。弾性部材１６０のピストン１２０への蓄積された動作のもと、駆動ロッド１３０がピストン１２０によって引っ張られ、ピストン１２０がロック手段１５０を駆動して解放位置Ｐ１へガイドレール１４０，１４０に沿って移動させる。
【００５２】
言い換えれば、タンクロック装置１００中のピストン１２０は、それに働く液体圧力１８０および弾性部材１６０の復原力のもとで往復運動をする。ピストン１２０が駆動ロッド１３０を引っ張ってロック手段１５０を移動させ、タンクロック装置１００を異なる状態に切り換える。
【００５３】
以下、液体供給を管理するためのシステムにおけるタンクロック装置１００の応用を記述する。図３は、この発明の実施形態にかかる液体供給を管理するためのシステムの構成を示す説明図である。図３と図１と図２Ａと図２Ｂとにおいて、同一部材には、同一符号を付して、説明を省略する。
【００５４】
図３において、液体供給を管理するためのシステム３００は、液体タンク３６０を使用する工程設備中に配置されることに適している。その実施形態中、この発明の液体供給を管理するためのシステム３００は、例えば、フォトレジスト塗布現像機械中に使用される。液体タンク３６０は、例えば、フォトレジストタンクであり、新しい液体タンク３７０は、例えば、しかし、限定するものではないが、液体タンク３６０と取り替えるための新しいフォトレジストタンクである。確かに、半導体プロセスを除いて、液体供給を管理するためのシステム３００は、他の適切な分野に使用することもできるが、この発明は、限定するものではない。
【００５５】
液体供給を管理するためのシステム３００は、ホスト３１０と、データ読み出しツール３２０と、システムコントローラー３３０と、タンクロック装置１００と、液体レベルセンサー３５０とを含む。データ読み出しツール３２０がホスト３１０に電気接続され、システムコントローラー３３０がホスト３１０に電気接続され、タンクロック装置１００が液体供給装置３４０を介してシステムコントローラー３３０に連結され、液体レベルセンサー３５０がホスト３１０に電気接続される。
【００５６】
ホスト３１０は、例えば、液体レベルセンサー３５０およびデータ読み出しツール３２０から送られてくる信号を受信するために、フォトレジスト塗布現像機械中に配置され、ホスト３１０は、更に、操作のために信号をシステムコントローラー３３０へ送る。ホスト３１０は、例えば、液体タンク３６０に関連するデータを新しい液体タンク３７０に関連するデータと対照するために内蔵された（built-in）液体データベースを含んでいる。
【００５７】
データ読み出しツール３２０は、液体タンク３７０上のデータを読み出すために使用される。この実施形態中、データ読み出しツール３２０がワイヤレスモードでデータ伝送を行うことのできるバーコードスキャナーを含み、例えば、パーソナルデジタルアシスタント（personal digital assistant = PDA）がそうであり、データ読み出しツール３２０が新しい液体タンク３７０上のラベルを走査するために使用されるとともに、ラベル３７４のバーコードを介して新しい液体タンク３７０に関連するデータを取得する。次に、データ読み出しツール３２０が新しい液体タンク３７０に関連するデータをホスト３１０へ送り、受け取ったデータをホスト３１０中の液体データベースと対照して、新しい液体タンク３７０に関連するデータが液体タンク３６０についてのデータと一致するか否かを検証する。
【００５８】
システムコントローラー３３０がホスト３１０から信号を受け取り、タンクロック装置１００を駆動する。システムコントローラー３３０は、さらに、液体供給装置３４０を含む。液体供給装置３４０は、システムコントローラー３３０およびタンクロック装置１００間に連結される。この実施形態中、液体供給装置３４０は、例えば、気圧供給器であり、1kg/cm2〜7 kg/cm2範囲の駆動圧力を提供する。システムコントローラー３３０は、ホスト３１０からの信号に従って液体供給装置３４０の動作を制御することができ、更にタンクロック装置１００を異なる状態に切り換える。液体供給装置３４０がオンとなった時、液体圧力がタンクロック装置１００に供給され；液体供給装置３４０がオフとなった時、液体圧力がタンクロック装置１００に供給されない。
【００５９】
タンクロック装置１００は、アイリングを有する液体タンク３６０上に配置される。タンクロック装置１００は、留め部分１０４と、滑動可能なロック手段１５０とを含む。留め部分１０４は、例えば、液体タンク３６０のタンク開口に近接した部分を取り囲んで、液体タンク３６０上に液体供給装置１００を留めている。タンクロック装置１００が液体供給装置３４０による移動のためにロック手段１５０を駆動して、タンクロック装置１００が液体タンク３６０をロックおよび非ロックとするために異なる状態に切り換えられる。
【００６０】
液体供給装置３４０が液体圧力を供給してロック手段１５０を押す時、ロック手段１５０の中空部分（図示せず）が液体タンク３６０のアイリングをロックするので、この時、タンクロック装置１００がロック状態にある；液体供給装置３４０がロック手段１５０を押すための液体圧力の供給を停止する時、ロック手段１５０が液体タンク３６０のアイリングを解放するので、この時、タンクロック装置１００が非ロック状態となる。この実施形態中、ロック手段１５０の最大支出圧力は、6.78kg/cm2であり、ロック手段１５０の移動速度は、150mm/sec〜500mm/secの範囲である。
【００６１】
特記すべきことは、フォトレジスト塗布現像機械の動作中、タンクロック装置１００が例えばロック状態である。従って、ロック手段１５０が液体タンク３６０のアイリング３６２をロックすることができ、作業員は、液体タンク３６０を容易に取り替えることができない。
【００６２】
液体レベルセンサー３５０が液体タンク３６０中の液体使用状況を検出するために採用されるとともに、検出した液体レベルをホスト３１０へ送り、液体タンク３６０の取り替えを従業員に知らせるために、ホスト３１０が警戒信号を送るか否かを決定することができる。液体レベルセンサー３５０は、例えば、光学センサーまたは他の適切なセンサーであり、検出レベルが予め設定（プレセット）されるとともに、予め設定される検出レベルは、実際の状況により異なる。液体レベルセンサー３５０は、例えば、液体タンク３６０の側壁に配置されるとともに、液体タンク３６０の側壁に配置された透視窓（図示せず）が液体レベルを検出するために使用される。液体レベルセンサー３５０は、液体タンク３６０中の液体レベルを検出するために、液体タンク３６０中に直接配置することもできる。上述した技術の他に、他の適切な技術が液体レベルセンサー３５０を配置するために使用できる。
【００６３】
上記した実施形態中、液体供給を管理するシステム３００は、タンクロック装置１００セットを例示的に掲げたが、この発明は、タンクロック装置１００の数量を特別に制限するものでなく、当業者であれば実際の必要に応じて数量を調整することができる。
【００６４】
液体供給を管理するためのシステム３００は、この発明に従って、データ読み出しツール３２０を使用して新しい液体タンク３７０のラベル上のバーコードを走査するとともに、新しい液体タンク３７０に関連するデータを入手する。次に、データ読み出しツール３２０が新しい液体タンク３７０に関連するデータをホスト３１０へワイヤレスモードで送る。ホスト３１０は、液体タンク３７０についての受信したデータを内蔵の液体データベースと対照して新しい液体タンク３７０に関連するデータが液体タンク３６０についてのデータと一致するか否かを検証する。もし対照結果が正しければ、ホスト３１０がシステムコントローラー３３０へ信号を送って液体供給装置３４０をオフとし、タンクロック装置１００を非ロック状態に切り換えるとともに、液体タンク３６０のアイリング３２６を解放する。次に、液体タンク３６０が除去されて新しい液体タンク３７０に取り替えられる。
【００６５】
以下、液体供給を管理するためのシステム３００によって行われる液体を管理する方法が記述される。図４は、この発明の実施形態にかかる液体を管理する方法を示すフローチャートである。
【００６６】
この発明の液体管理方法は、タンクロック装置１００が使用された液体タンク３６０上に配置される工程設備に適したものであり、かつタンクロック装置１００がそのデフォルト（default 非指示）状態としてロック状態を維持するので、液体タンク３６０を誤って正しくない液体タンクと取り替えることを防止することができる。
【００６７】
図３と図４とにおいて、先ず、液体タンク３６０中の液体レベルを検出する（ステップＳ４００）。ステップＳ４００中、液体タンク３６０中の液体レベルは、液体レベルセンサー３５０により検出され、かつ液体レベルの信号がホスト３１０へ送り返される。
【００６８】
次に、ステップＳ４１０中、もしも液体レベルセンサー３５０が液体タンク３６０中の液体レベルが予め設定された検出レベルに達した又はそれよりも低いことを明らかにすれば、液体タンク３６０中の液体が間もなく空になることを意味する。この時、液体レベルセンサー３５０に電気接続されたホスト３１０が信号を送る、即ち、例えば、ホスト３１０のスクリーン上に表示される又は警報音あるいは警告灯が従業員に液体タンク３６０を取り替えるよう知らせる。
【００６９】
そして、ステップＳ４２０中、新しい液体３７０が運ばれ、かつ新しい液体３７０に関するデータが読み出される。この実施形態中、データ読み出しツール３２０が使われて新しい液体３７０上のラベル３７４のバーコードを走査し、新しい液体３７０に関するデータを獲得するとともに、その後でデータ読み出しツール３２０が新しい液体３７０に関するデータをホスト３１０へ例えばワイヤレスモードで送り返す。
【００７０】
次に、ステップＳ４３０中、ホスト３１０が新しい液体３７０に関するデータを液体タンク３６０に関連するデータと対照して、２つの液体タンクのデータが互いに一致するか否か判定する。対照は、例えば、新しい液体タンク３７０をホスト３１０中の液体データベースと対照して作業員により運ばれた新しい液体タンク３７０の正確性をダブルチェックするソフトウェアを使用して実施される。
【００７１】
さらに、ステップＳ４４０中、新しい液体３７０に関するデータが液体タンク３６０に関連するデータと一致する時、ホスト３１０が信号をシステムコントローラー３３０へ送る。信号は、例えば、タンクロック装置１００をオフとするための信号である。システムコントローラー３３０は、ホスト３１０により送られた信号に従って液体供給装置３４０をオフとする。一度、液体供給装置３４０が液体圧力を働かせることを停止すると、タンクロック装置１００がそれにより駆動されるとともに、非ロック状態に切り換えられて、ロック手段１５０が液体タンク３６０のアイリング３６２を解放するようにさせる。
【００７２】
また、ステップＳ４５０中、タンクロック装置１００がオフとなった後、液体タンク３６０を作業員により取り出すことができ、かつ新しい液体３７０に取り替えることができるので、液体タンク３６０の正しい交換というゴールを達成する。
【００７３】
ステップＳ４３０の後、新しい液体３７０に関するデータが液体タンク３６０についてのデータと一致することを確認しない時、ホスト３１０は、また、信号をシステムコントローラー３３０へ送るが、送られる信号は、例えば、タンクロック装置１００をロックする信号である。システムコントローラー３３０は、液体供給装置３４０が継続して液体圧力をタンクロック装置１００に働かせるようにし、タンクロック装置１００がロック状態を維持する（ステップＳ４６０）から、作業員にタンクの取り替えを強制的に禁止して、液体タンク３６０を取り出すことができない。その後、正確な新しい液体タンクを移送し、かつ後続ステップを続けるために、手続は、再びステップＳ４２０へ戻る。即ち、手続は、正確な新しい液体タンクが移送され、そのデータが読み出されるとともに対照されて、その新しい液体タンクが交換するための正確なものであることを確認するまで繰り返される。その後のステップおよび詳細は、当業者であれば容易に行うことができるから、ここでは、その説明を省略する。
【００７４】
以上のごとく、この発明を最良の実施形態により開示したが、もとより、この発明を限定するためのものではなく、当業者であれば容易に理解できるように、この発明の技術思想の範囲内において、適当な変更ならびに修正が当然なされうるものであるから、その特許権保護の範囲は、特許請求の範囲および、それと均等な領域を基準として定めなければならない。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】この発明の実施形態にかかる液体供給装置（タンクロック装置）を示す３次元説明図である。
【図２Ａ】図１の液体供給装置（タンクロック装置）の動作を示す要部断面図である。
【図２Ｂ】図１の液体供給装置（タンクロック装置）の動作を示す要部断面図である。
【図３】この発明の実施形態にかかる液体供給を管理するためのシステムを示す構成図である。
【図４】この発明の実施形態にかかる液体供給を管理するためのシステムを示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００７６】
１００ タンクロック装置
１０２ 本体
１０２ａ 収容溝
１０４ 留め部分
１１０ 缶体
１１０ａ 開口
１１２ 流体入口
１２０ ピストン
１３０ 駆動ロッド
１３０ａ 一端
１３０ｂ 他端
１４０ ガイドレール
１５０ ロック手段
１５０ａ 中空部分
１６０ 弾性部材
１７０ 移動軸
１８０ 液体圧力
３００ 液体供給を管理するためのシステム
３１０ ホスト
３２０ データ読み出しツール
３３０ システムコントローラー
３４０ 液体供給装置
３５０ 液体レベルセンサー
３６０ 液体タンク
３６２ アイリング
３７０ 新しい液体タンク
３７４ ラベル
Ｐ１ 解放位置
Ｐ２ ロック位置
Ｓ４００〜Ｓ４６０ ステップ
【技術分野】
【０００１】
この発明は、一般的に工程設備を管理するためのシステムとそれを使用する方法に関し、特に、 液体供給を管理するためのシステムとそれを使用する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体プロセスにおいて、様々な液体がプロセスを実行するためによく使用される。一例としてリソグラフィー工程を挙げると、フォトレジスト塗布工程中、チップ表面が異なる工程条件に基づいて選択されたフォトレジストタイプの液体フォトレジストによりスピンコーティングされる。
【０００３】
プロセス機械中のフォトレジストが使い尽くされた時、登録および対照（mapping）手続が手動で通常は行われるとともに、作業員が使い尽くされたフォトレジストを新しいフォトレジストに取り替えることを決定する。詳細には、一度、機械中のフォトレジストが使い尽くされると、信号が機械から作業員に送られて新しいフォトレジストを補給するよう促すので、生産ラインの中断が回避される。それに応じて、作業員が使い果たされたフォトレジストタンクを取り替えるために同一タイプの新しいフォトレジストタンクを移動させに行く。さらに、作業員がコンピューター末端中の使い果たされたフォトレジストタンクに関連するデータを手動で削除し、新しいフォトレジストタンクに関連するデータを記入する（enter）とともに、対照ならびに確認（verification）を行う。最後に、作業員が機械のフォトレジストキャビン中の使い果たされたフォトレジストタンクを見つけて、使い果たされたフォトレジストタンクを新しいフォトレジストタンクに取り替えるとともに、機械を再スタートさせる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記プロセスの間、新しいフォトレジストタンクに関連するデータがコンピューター中に確立されたデータベースと対照されて、移送された新しいフォトレジストタンクが正しいものか否か判定されるが、もちろん、制御および管理の強制的なメカニズムではない。フォトレジストには、様々なタイプがあり、幾つかのフォトレジストは、類似した非常に近い名称を有するから、人的不注意による間違った受け出しを引き起こしやすい。一度、作業員が対照手続を実施しない又はフォトレジストタンクを正しいものに取り替えるための対照エラーメッセージを無視すると、取り替えの致命的な誤りが発生し、更には製品全体の歩留まり及びコストに影響する。
〔発明の目的〕
【０００５】
そこで、この発明の目的は、空になった液体タンクを正確な新しい液体タンクに取り替えることを管理するために、液体供給を管理するためのシステムを提供することにある。
【０００６】
この発明の別な目的は、正しくない液体タンクと取り替えることを防止するために正確な対照を促進する液体供給を管理するためのシステムを提供することにある。
【０００７】
この発明の他の目的は、作業員が勝手に液体タンクを取り替えることを禁ずることの助けとなるアイリングを有する液体タンクをロックするためのタンクロック装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明は、液体タンクを使用する工程設備中に配置されるのに適した液体供給を管理するためのシステムを提供する。システムがホストと液体タンクとデータ読み出しツールとシステムコントローラーとタンクロック装置とを含む。ホストがビルトイン液体データベースを有する。データ読み出しツールが液体タンクに関連するデータを読み出すためにホストに電気接続される。システムコントローラーがホストに電気接続される。タンクロック装置がシステムコントローラーに電気接続されるとともに、液体タンク上に配置され、タンクロック装置が滑動可能なロック手段を含む。ホストがデータ読み出しツールからの液体タンクに関連するデータを受信するとともに、液体タンクに関連するデータおよび液体データベース間での対照を行う。システムコントローラーがホストからの信号に従ってタンクロック装置を駆動する。タンクロック装置がロック状態にある時、ロック手段が液体タンクのアイリングを締め；タンクロック装置が解放状態にある時、ロック手段が液体タンクのアイリングを解放する。
【０００９】
この発明の実施形態中、上記したロック手段が中空部分を含む。
【００１０】
この発明の実施形態中、タンクロック装置がロック状態にある時、中空部分が液体タンクのアイリングをロックする。
【００１１】
この発明の実施形態中、ホストに電気接続された液体レベルセンサーが更に液体タンク中の液体レベルを検出するために含まれる。
【００１２】
この発明の実施形態中、データ読み出しツールが例えばバーコードスキャナーである。
【００１３】
この発明の実施形態中、システムコントローラーが液体供給器を含む。
【００１４】
この発明の実施形態中、液体供給器が例えば気圧供給器である。
【００１５】
この発明の実施形態中、気圧供給器が1kg/cm2〜7 kg/cm2範囲の駆動圧力を有する。
【００１６】
この発明の実施形態中、ロック手段が6.78/cm2の最大支出（outcome）圧力を有する。
【００１７】
この発明の実施形態中、ロック手段が50mm/sec〜500mm/sec範囲の移動速度を有する。
【００１８】
この発明の実施形態中、工程設備が例えばフォトレジスト塗布現像機械である。
【００１９】
この発明の実施形態中、液体タンクが例えばフォトレジストタンクである。
【００２０】
この発明は、また、液体タンクを使用する工程設備に適した液体供給を管理するための方法を提供するものであり、そのうち、ロック状態にあるタンクロック装置が液体タンク上に配置される。先ず、液体タンクが取り替えられる必要のある時、新しい液体タンクが新しい液体タンクについてのデータを読み出すために取り出される。次に、新しい液体タンクに関連するデータおよび取り替えられる液体タンクに関連するデータ間での対照手続が行われて、それらが互いに一致することを確認する。新しい液体タンクに関連するデータおよび取り替えられる液体タンクに関連するデータが互いに一致する時、タンクロック装置が駆動されて解放状態に切り換えられる。そして、液体タンクが正確な新しい液体タンクに取り替えられる。
【００２１】
この発明の実施形態中、液体タンクに関連するデータが例えばバーコードスキャナーの使用により新しい液体タンク上のバーコードを読み取るものである。
【００２２】
この発明の実施形態中、新しい液体タンクに関連するデータが液体タンクに関連するデータと一致しない時、タンクロック装置がロック状態を保つものである。
【００２３】
この発明の実施形態中、工程設備が例えばフォトレジスト塗布現像機械である。
【００２４】
この発明の実施形態中、液体タンクが例えばフォトレジストタンクである。
【００２５】
この発明の実施形態中、新しい液体タンクが例えば新しいフォトレジストタンクである。
【００２６】
この発明は、また、アイリングを有する液体タンクに適したタンクロック装置を提供する。装置が本体と留め部分と缶体とピストンと駆動ロッドとロック手段とを含む。留め部分が本体の一側に接続されて装置自体を液体タンク上に締め付ける。缶体が本体中に嵌め込まれると同時に、缶体の液体入口が本体から突き出る。ピストンが缶体中に配置される。駆動ロッドが缶体中に滑動可能に配置されるとともに、駆動ロッドの一端がピストンに接続される。ロック手段が駆動ロッドの他端に接続されるとともに、中空部分を有する。ピストンが液体入口からの液体圧力により押される時、ピストンが駆動ロッドを駆動してロック手段を移動軸に沿って解放位置からロック位置へ移動させて、中空部分にアイリングをロックさせる。
【００２７】
この発明の実施形態中、タンクロック装置がピストンおよび缶体の内壁間に配置された弾性部材を含み、ピストンが缶体の底面に対して弾性力を働かせるようにして、駆動ロッドを駆動してロック手段が解放位置からロック位置へ移動するようにする。
【００２８】
この発明の実施形態中、上記した弾性部材が例えば駆動ロッドに被せられたスプリングコイルである。
【００２９】
この発明の実施形態中、タンクロック装置が更に２つのガイドレールを含んで、駆動ロッドの両側にそれぞれ配置し、ロック手段がガイドレールに押し付けられるとともに、ロック手段が確実に移動軸に沿って実質的に滑動できるようにする。
【００３０】
この発明の実施形態中、本体が収容溝を含む。
【００３１】
この発明の実施形態中、ロック手段が収容溝中に滑動可能に配置される。
【００３２】
この発明の実施形態中、タンクロック装置が更に液体入口に接続された液体供給装置を含む。
【００３３】
この発明の実施形態中、液体供給装置が例えば気圧供給器である。
〔作用〕
【００３４】
上述した記載に従って、この発明にかかる液体供給を管理するシステムは、液体供給装置が使用中は液体タンクをロックすることを採用しているため、液体タンクが勝手に取り替えられることを防止できる。更に、システムコントローラーは、ホストがデータ対照を行った後の結果に基づいて状態を切り換えるよう、タンクロック装置を制御する。従って、液体供給を管理するシステムは、液体供給を効率よく対照ならびに管理することができるとともに、作業員が誤って正しくない液体タンクと取り替えることを防止できる。
【００３５】
この発明の実施形態中、タンクロック装置が使用中はロック状態にある。新しい液体タンクに関連するデータが先行使用されている液体タンクに関連するデータと一致した時だけ、タンクロック装置が新しい液体タンクに取り替えるために非ロック状態に切り換わることを許容する。このようにして、この発明にかかる液体供給を管理する方法は、正確な液体タンクとの液体タンクのタイムリーな交換を促進することができる。
【００３６】
更に、この発明の液体供給装置が滑動可能なロック手段を採用しているので、それが解放位置からロック位置へ移動するとともに液体供給システムを駆動することにより液体タンクのアイリングをロックすることができる。従って、液体タンクを誤って正しくない液体タンクに交換することを有効に防止できる。
【発明の効果】
【００３７】
つまり、液体供給が十分でない又は液体タンクの交換が必要な時、液体供給を管理するためのシステムおよびそれを使用する方法は、データ読み出しツールを使用して新しい液体タンクのバーコードを走査することができ、液体タンクに関連するデータがホストへ送られるとともに、対照ならびに確認手続がホストによって行われるので、作業員の判断ミスによる間違った判定を防止できる。また、タンクロック装置は、ホストが対照を行った後の結果に従ってシステムコントローラーにより駆動されるから、それによって液体タンクの液体レベルが予め設定したレベルに達していない時に作業員が液体タンクを交換することを防止する。従って、この発明は、人為的ミスによる誤った液体タンクの交換を防止できるとともに、それによる液体ロスを有効に防止できる。
【００３８】
その一方で、液体供給を管理するためのシステム及びそれを使用する方法は、単純なシステムおよび工程ステップという手段により新しい液体タンクに関連するデータを読み取ること、使用中に新しい液体タンクに関連するデータおよび液体タンクに関連するデータ間で対照を行うことを含んで、それらが互いに一致するか否かを検証するから、ダブルチェックならびに訂正を可能にする。
【００３９】
さらに、この発明のタンクロック装置は、電気制御モードを使用してではなく、液体圧力モードを使用してロック手段の動きをコントロールする。それにより、どのような電子部品も可燃性液体と接触することがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
以下、この発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、この発明の実施形態にかかる液体供給装置（タンクロック装置）を示す３次元図面（斜視図）であり、図２Ａおよび図２Ｂは、図１中の液体供給装置（タンクロック装置）の動作を示す要部断面図である。
【００４１】
図１と図２Ａとにおいて、液体供給装置（タンクロック装置）１００は、アイリングを有する液体タンク（図示せず）に適したものである。液体供給装置（タンクロック装置）１００は、本体１０２と、留め部分（fastening portion）１０４と、缶体（vessel body）１１０と、ピストン１２０と、駆動ロッド１３０と、ガイドレール１４０，１４０と、ロック手段（locking detent）１５０とを含む。本体１０２は、例えば、中空のケースであり、収容溝（accommodating groove）１０２ａが本体１０２中に配置される。留め部分１０４が本体１０２の一側に連結されている。缶体１１０が例えば本体１０２中に嵌め込まれる。ピストン１２０が例えば缶体１１０中に配置される。駆動ロッド１３０が滑動可能に（slideably）缶体１１０中に配置されるとともに、ピストン１２０に連結される。ロック手段１５０が例えば収容溝１０２ａ中に滑動可能に配置され、駆動ロッド１３０に連結されている。また、ガイドレール１４０，１４０が例えば駆動ロッド１３０の両側にそれぞれ配置されて、ロック手段１５０をガイドレール１４０，１４０に寄り添う（lean on）ようにさせている。
【００４２】
図１に示したように、留め部分１０４が例えば中空リング構造を含んでいる。留め部分１０４と本体１０２との連結は、例えば、固定された連結であり、リング形状の留め部分１０４が液体タンクのタンク開口に近接した部分を取り囲んで、液体タンク上に液体供給装置（タンクロック装置）１００を留めている。しかしながら、別な実施形態中、留め部分１０４は、任意の他の適切な幾何学的形状を有することができ、留め部分１０４が液体供給装置（タンクロック装置）１００を安定して液体タンクに寄り添わせることができる限り、留め部分１０４と本体１０２との連結が滑動可能な連結であることもでき、この発明は、制限するものではない。
【００４３】
缶体１１０は、例えば、円筒形状を有するシリンダーおよびシャンバーであり、ピストン１２０をその中に収容して往復運動させる。缶体１１０の底面は、例えば、底面を貫通する開口１１０ａを含んでいる。開口１１０ａは、ピストン１２０と他の部材、例えば、ロック手段１５０とを連結するために連結孔として供される。
【００４４】
また、例えば、液体入口１１２が缶体１１０を越えるように配置されるとともに、缶体１１０中のシャンバーと通じることができる。液体入口１１２は、例えば、本体１０２から突き出ている。ある実施形態中、液体入口１１２が液体供給装置（図示せず）へ連続する時、液体供給装置により提供される液体が液体入口１１２から缶体１１０へ流れる。ピストン１２０は、ピストン１２０に対する液体圧力の働きによって缶体１１０中を移動することができる。
【００４５】
駆動ロッド１３０は、例えば、移動軸１７０に整合する（align）とともに、ピストン１２０およびロック手段１５０間に配置される。駆動ロッド１３０が一端１３０ａと他端１３０ｂとを含み、それぞれピストン１２０およびロック手段１５０に連結している。この実施形態中、駆動ロッド１３０の一端１３０ａがピストン１２０の下部に連結する一方、駆動ロッド１３０の他端１３０ｂが缶体１１０の底面で開口１１０ａを通過してロック手段１５０の上部に連結している。
【００４６】
ロック手段１５０が中空部分（cavity portion）１５０ａを有し、それが例えば移動軸１７０を中心軸としているとともに、ロック手段１５０の底部に配置されている。中空部分１５０ａの形状は、例えば、液体タンクのアイリングに対応している。液体タンクのアイリング上部は、中空部分１５０ａにより囲い込まれることができ、ロック手段１５０がちょうど液体タンクの凸状アイリングを掴むものとなる。
【００４７】
また、ガイドレール１４０，１４０は、例えば、移動軸１７０の両側に対称に配置され、ガイドレール１４０，１４０がそれぞれロック手段１５０を貫通するとともに、中空部分１５０ａの両側に位置して、ロック手段１５０がガイドレール１４０，１４０に沿って滑動できるようになっている。このように、ロック手段１５０は、ガイドレール１４０，１４０により実質的に移動軸１７０に沿って前後（上下）に滑動することが確実なものとなっている。
【００４８】
ロック手段１５０がガイドレール１４０，１４０に沿って往復できるようにするために、この発明のタンクロック装置１００は、弾性部材１６０を採用して、例えば、ピストン１２０と缶体１１０の底面との間に配置する。ピストン１２０上に働く弾性部材１６０の復原力という手段により、駆動ロッド１３０は、ロック手段１５０を運ぶことができ、ガイドレール１４０，１４０に沿って、缶体１１０に対して上方へ移動する。この実施形態中、弾性部材１６０は、例えば、駆動ロッド１３０上に被せられたコイルスプリングを含む。
【００４９】
図２Ａと図２Ｂとは、液体供給装置（タンクロック装置）１００の断面図を示している。図２Ａに示すように、液体入口１１２からの液体圧力がピストン１２０に働かない時、タンクロック装置１００は、非ロック状態を維持し；同時に、ピストン１２０が駆動ロッド１３０を駆動してロック手段１５０を押すことがないとともに、ロック手段１５０が非ロック状態を維持する。
【００５０】
図２Ｂにおいて、液体供給装置（図示せず）が液体入口１１２を介して液体を缶体１１０へ出力する時、ピストン１２０が液体入口１１２からの液体圧力１８０により働かされるとともに、液体圧力１８０のもと弾性部材１６０の方へ移動し、それが弾性部材１６０を圧縮してピストン１２０が缶体１１０の底面の方へ移動する。この時、駆動ロッド１３０もピストン１２０とともに移動し、かつロック手段１５０を駆動して解放位置Ｐ１からロック位置Ｐ２へガイドレール１４０，１４０および移動軸１７０に沿って移動し、それが更に中空部分１５０ａを液体タンクのアイリングをロックできるようにすると同時に、タンクロック装置１００がロック状態となる。
【００５１】
次に、図２Ａに示すように、液体供給装置が液体の出力を停止した時、ピストン１２０が液体入口１１２からの液体圧力１８０を免れて、弾性部材１６０が弾性力を缶体１１０の底面の方へピストン１２０の下部に対して働かせる。弾性部材１６０のピストン１２０への蓄積された動作のもと、駆動ロッド１３０がピストン１２０によって引っ張られ、ピストン１２０がロック手段１５０を駆動して解放位置Ｐ１へガイドレール１４０，１４０に沿って移動させる。
【００５２】
言い換えれば、タンクロック装置１００中のピストン１２０は、それに働く液体圧力１８０および弾性部材１６０の復原力のもとで往復運動をする。ピストン１２０が駆動ロッド１３０を引っ張ってロック手段１５０を移動させ、タンクロック装置１００を異なる状態に切り換える。
【００５３】
以下、液体供給を管理するためのシステムにおけるタンクロック装置１００の応用を記述する。図３は、この発明の実施形態にかかる液体供給を管理するためのシステムの構成を示す説明図である。図３と図１と図２Ａと図２Ｂとにおいて、同一部材には、同一符号を付して、説明を省略する。
【００５４】
図３において、液体供給を管理するためのシステム３００は、液体タンク３６０を使用する工程設備中に配置されることに適している。その実施形態中、この発明の液体供給を管理するためのシステム３００は、例えば、フォトレジスト塗布現像機械中に使用される。液体タンク３６０は、例えば、フォトレジストタンクであり、新しい液体タンク３７０は、例えば、しかし、限定するものではないが、液体タンク３６０と取り替えるための新しいフォトレジストタンクである。確かに、半導体プロセスを除いて、液体供給を管理するためのシステム３００は、他の適切な分野に使用することもできるが、この発明は、限定するものではない。
【００５５】
液体供給を管理するためのシステム３００は、ホスト３１０と、データ読み出しツール３２０と、システムコントローラー３３０と、タンクロック装置１００と、液体レベルセンサー３５０とを含む。データ読み出しツール３２０がホスト３１０に電気接続され、システムコントローラー３３０がホスト３１０に電気接続され、タンクロック装置１００が液体供給装置３４０を介してシステムコントローラー３３０に連結され、液体レベルセンサー３５０がホスト３１０に電気接続される。
【００５６】
ホスト３１０は、例えば、液体レベルセンサー３５０およびデータ読み出しツール３２０から送られてくる信号を受信するために、フォトレジスト塗布現像機械中に配置され、ホスト３１０は、更に、操作のために信号をシステムコントローラー３３０へ送る。ホスト３１０は、例えば、液体タンク３６０に関連するデータを新しい液体タンク３７０に関連するデータと対照するために内蔵された（built-in）液体データベースを含んでいる。
【００５７】
データ読み出しツール３２０は、液体タンク３７０上のデータを読み出すために使用される。この実施形態中、データ読み出しツール３２０がワイヤレスモードでデータ伝送を行うことのできるバーコードスキャナーを含み、例えば、パーソナルデジタルアシスタント（personal digital assistant = PDA）がそうであり、データ読み出しツール３２０が新しい液体タンク３７０上のラベルを走査するために使用されるとともに、ラベル３７４のバーコードを介して新しい液体タンク３７０に関連するデータを取得する。次に、データ読み出しツール３２０が新しい液体タンク３７０に関連するデータをホスト３１０へ送り、受け取ったデータをホスト３１０中の液体データベースと対照して、新しい液体タンク３７０に関連するデータが液体タンク３６０についてのデータと一致するか否かを検証する。
【００５８】
システムコントローラー３３０がホスト３１０から信号を受け取り、タンクロック装置１００を駆動する。システムコントローラー３３０は、さらに、液体供給装置３４０を含む。液体供給装置３４０は、システムコントローラー３３０およびタンクロック装置１００間に連結される。この実施形態中、液体供給装置３４０は、例えば、気圧供給器であり、1kg/cm2〜7 kg/cm2範囲の駆動圧力を提供する。システムコントローラー３３０は、ホスト３１０からの信号に従って液体供給装置３４０の動作を制御することができ、更にタンクロック装置１００を異なる状態に切り換える。液体供給装置３４０がオンとなった時、液体圧力がタンクロック装置１００に供給され；液体供給装置３４０がオフとなった時、液体圧力がタンクロック装置１００に供給されない。
【００５９】
タンクロック装置１００は、アイリングを有する液体タンク３６０上に配置される。タンクロック装置１００は、留め部分１０４と、滑動可能なロック手段１５０とを含む。留め部分１０４は、例えば、液体タンク３６０のタンク開口に近接した部分を取り囲んで、液体タンク３６０上に液体供給装置１００を留めている。タンクロック装置１００が液体供給装置３４０による移動のためにロック手段１５０を駆動して、タンクロック装置１００が液体タンク３６０をロックおよび非ロックとするために異なる状態に切り換えられる。
【００６０】
液体供給装置３４０が液体圧力を供給してロック手段１５０を押す時、ロック手段１５０の中空部分（図示せず）が液体タンク３６０のアイリングをロックするので、この時、タンクロック装置１００がロック状態にある；液体供給装置３４０がロック手段１５０を押すための液体圧力の供給を停止する時、ロック手段１５０が液体タンク３６０のアイリングを解放するので、この時、タンクロック装置１００が非ロック状態となる。この実施形態中、ロック手段１５０の最大支出圧力は、6.78kg/cm2であり、ロック手段１５０の移動速度は、150mm/sec〜500mm/secの範囲である。
【００６１】
特記すべきことは、フォトレジスト塗布現像機械の動作中、タンクロック装置１００が例えばロック状態である。従って、ロック手段１５０が液体タンク３６０のアイリング３６２をロックすることができ、作業員は、液体タンク３６０を容易に取り替えることができない。
【００６２】
液体レベルセンサー３５０が液体タンク３６０中の液体使用状況を検出するために採用されるとともに、検出した液体レベルをホスト３１０へ送り、液体タンク３６０の取り替えを従業員に知らせるために、ホスト３１０が警戒信号を送るか否かを決定することができる。液体レベルセンサー３５０は、例えば、光学センサーまたは他の適切なセンサーであり、検出レベルが予め設定（プレセット）されるとともに、予め設定される検出レベルは、実際の状況により異なる。液体レベルセンサー３５０は、例えば、液体タンク３６０の側壁に配置されるとともに、液体タンク３６０の側壁に配置された透視窓（図示せず）が液体レベルを検出するために使用される。液体レベルセンサー３５０は、液体タンク３６０中の液体レベルを検出するために、液体タンク３６０中に直接配置することもできる。上述した技術の他に、他の適切な技術が液体レベルセンサー３５０を配置するために使用できる。
【００６３】
上記した実施形態中、液体供給を管理するシステム３００は、タンクロック装置１００セットを例示的に掲げたが、この発明は、タンクロック装置１００の数量を特別に制限するものでなく、当業者であれば実際の必要に応じて数量を調整することができる。
【００６４】
液体供給を管理するためのシステム３００は、この発明に従って、データ読み出しツール３２０を使用して新しい液体タンク３７０のラベル上のバーコードを走査するとともに、新しい液体タンク３７０に関連するデータを入手する。次に、データ読み出しツール３２０が新しい液体タンク３７０に関連するデータをホスト３１０へワイヤレスモードで送る。ホスト３１０は、液体タンク３７０についての受信したデータを内蔵の液体データベースと対照して新しい液体タンク３７０に関連するデータが液体タンク３６０についてのデータと一致するか否かを検証する。もし対照結果が正しければ、ホスト３１０がシステムコントローラー３３０へ信号を送って液体供給装置３４０をオフとし、タンクロック装置１００を非ロック状態に切り換えるとともに、液体タンク３６０のアイリング３２６を解放する。次に、液体タンク３６０が除去されて新しい液体タンク３７０に取り替えられる。
【００６５】
以下、液体供給を管理するためのシステム３００によって行われる液体を管理する方法が記述される。図４は、この発明の実施形態にかかる液体を管理する方法を示すフローチャートである。
【００６６】
この発明の液体管理方法は、タンクロック装置１００が使用された液体タンク３６０上に配置される工程設備に適したものであり、かつタンクロック装置１００がそのデフォルト（default 非指示）状態としてロック状態を維持するので、液体タンク３６０を誤って正しくない液体タンクと取り替えることを防止することができる。
【００６７】
図３と図４とにおいて、先ず、液体タンク３６０中の液体レベルを検出する（ステップＳ４００）。ステップＳ４００中、液体タンク３６０中の液体レベルは、液体レベルセンサー３５０により検出され、かつ液体レベルの信号がホスト３１０へ送り返される。
【００６８】
次に、ステップＳ４１０中、もしも液体レベルセンサー３５０が液体タンク３６０中の液体レベルが予め設定された検出レベルに達した又はそれよりも低いことを明らかにすれば、液体タンク３６０中の液体が間もなく空になることを意味する。この時、液体レベルセンサー３５０に電気接続されたホスト３１０が信号を送る、即ち、例えば、ホスト３１０のスクリーン上に表示される又は警報音あるいは警告灯が従業員に液体タンク３６０を取り替えるよう知らせる。
【００６９】
そして、ステップＳ４２０中、新しい液体３７０が運ばれ、かつ新しい液体３７０に関するデータが読み出される。この実施形態中、データ読み出しツール３２０が使われて新しい液体３７０上のラベル３７４のバーコードを走査し、新しい液体３７０に関するデータを獲得するとともに、その後でデータ読み出しツール３２０が新しい液体３７０に関するデータをホスト３１０へ例えばワイヤレスモードで送り返す。
【００７０】
次に、ステップＳ４３０中、ホスト３１０が新しい液体３７０に関するデータを液体タンク３６０に関連するデータと対照して、２つの液体タンクのデータが互いに一致するか否か判定する。対照は、例えば、新しい液体タンク３７０をホスト３１０中の液体データベースと対照して作業員により運ばれた新しい液体タンク３７０の正確性をダブルチェックするソフトウェアを使用して実施される。
【００７１】
さらに、ステップＳ４４０中、新しい液体３７０に関するデータが液体タンク３６０に関連するデータと一致する時、ホスト３１０が信号をシステムコントローラー３３０へ送る。信号は、例えば、タンクロック装置１００をオフとするための信号である。システムコントローラー３３０は、ホスト３１０により送られた信号に従って液体供給装置３４０をオフとする。一度、液体供給装置３４０が液体圧力を働かせることを停止すると、タンクロック装置１００がそれにより駆動されるとともに、非ロック状態に切り換えられて、ロック手段１５０が液体タンク３６０のアイリング３６２を解放するようにさせる。
【００７２】
また、ステップＳ４５０中、タンクロック装置１００がオフとなった後、液体タンク３６０を作業員により取り出すことができ、かつ新しい液体３７０に取り替えることができるので、液体タンク３６０の正しい交換というゴールを達成する。
【００７３】
ステップＳ４３０の後、新しい液体３７０に関するデータが液体タンク３６０についてのデータと一致することを確認しない時、ホスト３１０は、また、信号をシステムコントローラー３３０へ送るが、送られる信号は、例えば、タンクロック装置１００をロックする信号である。システムコントローラー３３０は、液体供給装置３４０が継続して液体圧力をタンクロック装置１００に働かせるようにし、タンクロック装置１００がロック状態を維持する（ステップＳ４６０）から、作業員にタンクの取り替えを強制的に禁止して、液体タンク３６０を取り出すことができない。その後、正確な新しい液体タンクを移送し、かつ後続ステップを続けるために、手続は、再びステップＳ４２０へ戻る。即ち、手続は、正確な新しい液体タンクが移送され、そのデータが読み出されるとともに対照されて、その新しい液体タンクが交換するための正確なものであることを確認するまで繰り返される。その後のステップおよび詳細は、当業者であれば容易に行うことができるから、ここでは、その説明を省略する。
【００７４】
以上のごとく、この発明を最良の実施形態により開示したが、もとより、この発明を限定するためのものではなく、当業者であれば容易に理解できるように、この発明の技術思想の範囲内において、適当な変更ならびに修正が当然なされうるものであるから、その特許権保護の範囲は、特許請求の範囲および、それと均等な領域を基準として定めなければならない。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】この発明の実施形態にかかる液体供給装置（タンクロック装置）を示す３次元説明図である。
【図２Ａ】図１の液体供給装置（タンクロック装置）の動作を示す要部断面図である。
【図２Ｂ】図１の液体供給装置（タンクロック装置）の動作を示す要部断面図である。
【図３】この発明の実施形態にかかる液体供給を管理するためのシステムを示す構成図である。
【図４】この発明の実施形態にかかる液体供給を管理するためのシステムを示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００７６】
１００ タンクロック装置
１０２ 本体
１０２ａ 収容溝
１０４ 留め部分
１１０ 缶体
１１０ａ 開口
１１２ 流体入口
１２０ ピストン
１３０ 駆動ロッド
１３０ａ 一端
１３０ｂ 他端
１４０ ガイドレール
１５０ ロック手段
１５０ａ 中空部分
１６０ 弾性部材
１７０ 移動軸
１８０ 液体圧力
３００ 液体供給を管理するためのシステム
３１０ ホスト
３２０ データ読み出しツール
３３０ システムコントローラー
３４０ 液体供給装置
３５０ 液体レベルセンサー
３６０ 液体タンク
３６２ アイリング
３７０ 新しい液体タンク
３７４ ラベル
Ｐ１ 解放位置
Ｐ２ ロック位置
Ｓ４００〜Ｓ４６０ ステップ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体供給を管理するためのシステムであり、液体タンクを使用する工程設備に適したものであって：
液体データベースを含むホストと；
前記液体タンクに関連するデータを読み出すために、前記ホストに電気接続されるデータ読み出しツールと；
前記ホストに電気接続されるシステムコントローラーと；
前記システムコントローラーに電気接続され、液体タンク上に配置され、かつ滑動可能なロック手段を有するタンクロック装置であり、そのうち、前記ホストが前記データ読み出しツールにより送られる前記タンクに関連する前記データを受信するとともに、前記タンクに関連する前記データおよび前記液体データベース間での対照を行い、前記システムコントローラーが前記ホストにより送られる信号に従って前記タンクロック装置を駆動し、そのうち、前記タンクロック装置がロック状態にある時、前記ロック手段が前記液体タンクの前記アイリングを締め、前記タンクロック装置が非ロック状態にある時、前記ロック手段が前記液体タンクの前記アイリングを解放する所のタンクロック装置と
を含む液体供給を管理するためのシステム。
【請求項２】
前記ロック手段が中空部分を含む請求項１記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項３】
前記タンクロック装置がロック状態にある時、前記中空部分が前記液体タンクの前記アイリングを掴む請求項２記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項４】
さらに、前記液体タンク中の液体レベルを検出するために前記ホストに電気接続された液体レベルセンサーを含む請求項１記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項５】
前記データ読み出しツールがバーコードスキャナーを含む請求項１記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項６】
前記システムコントローラーが前記ロック手段を押動ならびに移動させるために液体供給装置を含む請求項１記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項７】
前記液体供給装置が気圧供給器を含む請求項６記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項８】
前記気圧供給器の駆動圧力が１kg/cm2〜7 kg/cm2の範囲である請求項７記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項９】
前記ロック手段の最大出力圧力が6.78/cm2である請求項７記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項１０】
前記ロック手段の移動速度が50mm/sec〜500mm/secの範囲である請求項７記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項１１】
前記工程設備がフォトレジスト塗布現像機械を含むものである請求項１記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項１２】
前記液体タンクがフォトレジストタンクを含むものである請求項１記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項１３】
液体供給を管理する方法であり、ロック状態にあるタンクロック装置を含む液体タンクを使用する工程設備に適したものであって：
前記液体タンクが取り替えを必要とされる時に、新しい液体タンクを移送するとともに、前記した新しい液体タンクに関連するデータを読み取ることと；
前記した新しい液体タンクに関連するデータを前記液体タンクに関連するデータと対照して前記した２つのデータが互いに一致するか否かを検証することと；
前記した新しい液体タンクに関連する前記データが前記液体タンクに関連する前記データと一致する時、前記タンクロック装置を駆動して非ロック状態とすることと；
前記液体タンクを前記した新しい液体タンクに取り替えることと
を含む液体供給を管理する方法。
【請求項１４】
前記した新しい液体タンクに関連するデータを読み取るステップが、前記した新しい液体タンク上のバーコードをバーコードスキャナーの使用により読み取ることを含む請求項１３記載の液体供給を管理する方法。
【請求項１５】
前記した新しい液体タンクに関連する前記データが前記液体タンクに関連する前記データと一致しない時、前記タンクロック装置がロック状態にある請求項１３記載の液体供給を管理する方法。
【請求項１６】
前記工程設備がフォトレジスト塗布現像機械を含む請求項１３記載の液体供給を管理する方法。
【請求項１７】
前記液体タンクがフォトレジストタンクを含む請求項１６記載の液体供給を管理する方法。
【請求項１８】
前記した新しい液体タンクが新しいフォトレジストタンクを含む請求項１７記載の液体供給を管理する方法。
【請求項１９】
タンクロック装置であり、アイリングを有する液体タンクに適するものであって：
本体と；
前記液体タンク上で前記タンクロック装置を留めるために前記本体の一側に接続される、留め部分と；
前記本体中に嵌め込まれる缶体であり、そのうち、前記缶体の液体入口が前記本体から突き出している、缶体と；
前記缶体中に配置されるピストンと；
前記缶体中に滑動可能に配置される駆動ロッドであり、そのうち、前記駆動ロッドの一端が前記ピストンに接続されている、駆動ロッドと；
前記駆動ロッドの他端に接続されるとともに、中空部分を有するロック手段と；
を含み、
そのうち、前記ピストンが前記缶体の前記液体入口からの液体圧力により働かされる時、前記ピストンが前記駆動ロッドを駆動して前記ロック手段を移動軸に沿って解放位置からロック位置に移動させ、前記中空部分が前記アイリングを掴む、
ものであるタンクロック装置。
【請求項２０】
さらに、弾性部材を含んで、前記ピストンおよび前記缶体の内壁缶に配置されて弾性力を前記ピストンに前記缶体の底面に対して働かせ、前記駆動ロッドが前記ロック手段を前記ロック位置から解放位置へ移動させるものである請求項１９記載のタンクロック装置。
【請求項２１】
前記弾性部材が前記駆動ロッド上に被せられたスプリングコイルを含むものである請求項２０記載のタンクロック装置。
【請求項２２】
さらに、前記駆動ロッドの両側にそれぞれ配置された２つのガイドレールを含んで、前記ロック手段を前記ガイドレールに押し付けるとともに、前記ロック手段が実質的に前記移動軸に沿って確実に滑動するようにするものである請求項１９記載のタンクロック装置。
【請求項２３】
前記本体が収容溝を含むものである請求項１９記載のタンクロック装置。
【請求項２４】
前記ロック手段が前記収容溝中に滑動可能に配置される請求項２３記載のタンクロック装置。
【請求項２５】
さらに、前記液体入口に接続された液体供給装置を含む請求項１９記載のタンクロック装置。
【請求項２６】
前記液体供給装置が気圧供給器を含むものである請求項２５記載のタンクロック装置。
【請求項１】
液体供給を管理するためのシステムであり、液体タンクを使用する工程設備に適したものであって：
液体データベースを含むホストと；
前記液体タンクに関連するデータを読み出すために、前記ホストに電気接続されるデータ読み出しツールと；
前記ホストに電気接続されるシステムコントローラーと；
前記システムコントローラーに電気接続され、液体タンク上に配置され、かつ滑動可能なロック手段を有するタンクロック装置であり、そのうち、前記ホストが前記データ読み出しツールにより送られる前記タンクに関連する前記データを受信するとともに、前記タンクに関連する前記データおよび前記液体データベース間での対照を行い、前記システムコントローラーが前記ホストにより送られる信号に従って前記タンクロック装置を駆動し、そのうち、前記タンクロック装置がロック状態にある時、前記ロック手段が前記液体タンクの前記アイリングを締め、前記タンクロック装置が非ロック状態にある時、前記ロック手段が前記液体タンクの前記アイリングを解放する所のタンクロック装置と
を含む液体供給を管理するためのシステム。
【請求項２】
前記ロック手段が中空部分を含む請求項１記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項３】
前記タンクロック装置がロック状態にある時、前記中空部分が前記液体タンクの前記アイリングを掴む請求項２記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項４】
さらに、前記液体タンク中の液体レベルを検出するために前記ホストに電気接続された液体レベルセンサーを含む請求項１記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項５】
前記データ読み出しツールがバーコードスキャナーを含む請求項１記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項６】
前記システムコントローラーが前記ロック手段を押動ならびに移動させるために液体供給装置を含む請求項１記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項７】
前記液体供給装置が気圧供給器を含む請求項６記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項８】
前記気圧供給器の駆動圧力が１kg/cm2〜7 kg/cm2の範囲である請求項７記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項９】
前記ロック手段の最大出力圧力が6.78/cm2である請求項７記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項１０】
前記ロック手段の移動速度が50mm/sec〜500mm/secの範囲である請求項７記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項１１】
前記工程設備がフォトレジスト塗布現像機械を含むものである請求項１記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項１２】
前記液体タンクがフォトレジストタンクを含むものである請求項１記載の液体供給を管理するためのシステム。
【請求項１３】
液体供給を管理する方法であり、ロック状態にあるタンクロック装置を含む液体タンクを使用する工程設備に適したものであって：
前記液体タンクが取り替えを必要とされる時に、新しい液体タンクを移送するとともに、前記した新しい液体タンクに関連するデータを読み取ることと；
前記した新しい液体タンクに関連するデータを前記液体タンクに関連するデータと対照して前記した２つのデータが互いに一致するか否かを検証することと；
前記した新しい液体タンクに関連する前記データが前記液体タンクに関連する前記データと一致する時、前記タンクロック装置を駆動して非ロック状態とすることと；
前記液体タンクを前記した新しい液体タンクに取り替えることと
を含む液体供給を管理する方法。
【請求項１４】
前記した新しい液体タンクに関連するデータを読み取るステップが、前記した新しい液体タンク上のバーコードをバーコードスキャナーの使用により読み取ることを含む請求項１３記載の液体供給を管理する方法。
【請求項１５】
前記した新しい液体タンクに関連する前記データが前記液体タンクに関連する前記データと一致しない時、前記タンクロック装置がロック状態にある請求項１３記載の液体供給を管理する方法。
【請求項１６】
前記工程設備がフォトレジスト塗布現像機械を含む請求項１３記載の液体供給を管理する方法。
【請求項１７】
前記液体タンクがフォトレジストタンクを含む請求項１６記載の液体供給を管理する方法。
【請求項１８】
前記した新しい液体タンクが新しいフォトレジストタンクを含む請求項１７記載の液体供給を管理する方法。
【請求項１９】
タンクロック装置であり、アイリングを有する液体タンクに適するものであって：
本体と；
前記液体タンク上で前記タンクロック装置を留めるために前記本体の一側に接続される、留め部分と；
前記本体中に嵌め込まれる缶体であり、そのうち、前記缶体の液体入口が前記本体から突き出している、缶体と；
前記缶体中に配置されるピストンと；
前記缶体中に滑動可能に配置される駆動ロッドであり、そのうち、前記駆動ロッドの一端が前記ピストンに接続されている、駆動ロッドと；
前記駆動ロッドの他端に接続されるとともに、中空部分を有するロック手段と；
を含み、
そのうち、前記ピストンが前記缶体の前記液体入口からの液体圧力により働かされる時、前記ピストンが前記駆動ロッドを駆動して前記ロック手段を移動軸に沿って解放位置からロック位置に移動させ、前記中空部分が前記アイリングを掴む、
ものであるタンクロック装置。
【請求項２０】
さらに、弾性部材を含んで、前記ピストンおよび前記缶体の内壁缶に配置されて弾性力を前記ピストンに前記缶体の底面に対して働かせ、前記駆動ロッドが前記ロック手段を前記ロック位置から解放位置へ移動させるものである請求項１９記載のタンクロック装置。
【請求項２１】
前記弾性部材が前記駆動ロッド上に被せられたスプリングコイルを含むものである請求項２０記載のタンクロック装置。
【請求項２２】
さらに、前記駆動ロッドの両側にそれぞれ配置された２つのガイドレールを含んで、前記ロック手段を前記ガイドレールに押し付けるとともに、前記ロック手段が実質的に前記移動軸に沿って確実に滑動するようにするものである請求項１９記載のタンクロック装置。
【請求項２３】
前記本体が収容溝を含むものである請求項１９記載のタンクロック装置。
【請求項２４】
前記ロック手段が前記収容溝中に滑動可能に配置される請求項２３記載のタンクロック装置。
【請求項２５】
さらに、前記液体入口に接続された液体供給装置を含む請求項１９記載のタンクロック装置。
【請求項２６】
前記液体供給装置が気圧供給器を含むものである請求項２５記載のタンクロック装置。
【図１】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図３】
【図４】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２００９−２７８００８（Ｐ２００９−２７８００８Ａ）
【公開日】平成２１年１１月２６日（２００９．１１．２６）
【国際特許分類】
【外国語出願】
【出願番号】特願２００８−１２９９６８（Ｐ２００８−１２９９６８）
【出願日】平成２０年５月１６日（２００８．５．１６）
【出願人】（５０２２９３０６１）力晶半導體股▲ふん▼有限公司 (19)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年１１月２６日（２００９．１１．２６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１２９９６８（Ｐ２００８−１２９９６８）
【出願日】平成２０年５月１６日（２００８．５．１６）
【出願人】（５０２２９３０６１）力晶半導體股▲ふん▼有限公司 (19)
【Ｆターム（参考）】
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