溶存酸素濃度管理システム
【課題】 密閉配管流路の溶存酸素濃度を連続的に検出することである。
【解決手段】密閉配管流路１と、密閉配管流路１に両端が接続され給水ポンプ２および脱気装置３を設けた脱気処理流路４とを備える溶存酸素濃度管理システムにおいて、脱気処理流路４の被脱気水の溶存酸素濃度を検出するセンサ２２と、脱気装置３と並列に接続されるバイパス流路５と、脱気装置３およびバイパス流路５への被脱気水の流れを制御する流れ制御弁手段６，８と、脱気装置３の運転を制御するとともに、脱気装置３の運転停止時にバイパス流路５へ被脱気水を流すように流れ制御弁手段６，８を制御する制御器９とを備える。
【解決手段】密閉配管流路１と、密閉配管流路１に両端が接続され給水ポンプ２および脱気装置３を設けた脱気処理流路４とを備える溶存酸素濃度管理システムにおいて、脱気処理流路４の被脱気水の溶存酸素濃度を検出するセンサ２２と、脱気装置３と並列に接続されるバイパス流路５と、脱気装置３およびバイパス流路５への被脱気水の流れを制御する流れ制御弁手段６，８と、脱気装置３の運転を制御するとともに、脱気装置３の運転停止時にバイパス流路５へ被脱気水を流すように流れ制御弁手段６，８を制御する制御器９とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、密閉配管流路の溶存酸素濃度を管理する溶存酸素濃度管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
密閉配管流路と、この密閉配管流路に両端が接続され給水ポンプおよび脱気装置を設けた脱気処理流路とを備える脱気システムは、特許文献１により公知である。
【０００３】
この従来の脱気システムにおいて、脱気処理流路に溶存酸素濃度を検出するセンサを設けて、密閉配管流路の溶存酸素濃度を検出することが考えられる。その場合、脱気装置を連続運転するときは、問題無く、溶存酸素濃度を連続的に検出することができるが、省エネを目的として脱気装置の運転を停止する場合には、溶存酸素濃度を連続的に検出することは、困難である。また、溶存酸素濃度を連続的に検出することが困難であるが故に、密閉配管流路の溶存酸素濃度に基づき脱気装置の運転を制御することも困難となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第２９２１４２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この発明が解決しようとする主たる課題は、密閉配管流路の溶存酸素濃度を連続的に検出することであり、副課題は、密閉配管流路の溶存酸素濃度を連続的に報知することであり、密閉配管流路の溶存酸素濃度に基づき脱気装置の運転を制御可能とすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明は、前記課題を解決するためになされたもので、請求項１に記載の発明は、密閉配管流路と、この密閉配管流路に両端が接続され給水ポンプおよび脱気装置を設けた脱気処理流路とを備える溶存酸素濃度管理システムにおいて、前記脱気処理流路の被脱気水の溶存酸素濃度を検出するセンサと、前記脱気装置と並列に接続されるバイパス流路と、前記脱気装置および前記バイパス流路への被脱気水の流れを制御する流れ制御弁手段と、前記脱気装置の運転を制御するとともに、前記脱気装置の運転停止時に前記バイパス流路へ被脱気水を流すように前記流れ制御弁手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴としている。
【０００７】
請求項１に記載の発明によれば、前記脱気装置の運転停止時にも前記センサへ被脱気水を流すことができ、前記センサにより前記密閉配管流路の溶存酸素濃度を連続的に検出することができる。
【０００８】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１において、前記センサの出力を報知する報知手段を備え、前記制御手段は、前記センサの検出値を入力して、前記検出値に基づく溶存酸素濃度を前記報知手段にて報知することを特徴としている。
【０００９】
請求項２に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明による効果に加えて、前記密閉配管流路の溶存酸素濃度を連続的に報知することができるという効果を奏する。
【００１０】
さらに、請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２において、前記制御手段は
、前記センサの検出値が第一設定値以上か、または前記脱気装置の運転停止時から設定時間が経過すると前記脱気装置を運転し、前記検出値が前記第一設定値より低い第二設定値以下となると前記脱気装置の運転を停止することを特徴としている。
【００１１】
請求項３に記載の発明によれば、請求項１または請求項２に記載の発明による効果に加えて、前記密閉配管流路の溶存酸素濃度を適確に検出して、前記脱気装置の運転を制御し、前記密閉配管流路の溶存酸素濃度を適確に管理することができるという効果を奏する。
【発明の効果】
【００１２】
この発明によれば、前記密閉配管流路の溶存酸素濃度を連続的に検出することが可能な溶存酸素濃度管理システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】この発明に係る溶存酸素濃度管理システムの実施例１の構成を示す概略的な説明図である。
【図２】同実施例１の制御手順の要部を説明するフローチャート図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
つぎに、この発明の溶存酸素濃度管理システムの実施の形態について説明する。この発明の実施の形態は、密閉配管流路の溶存酸素濃度を管理する溶存酸素濃度管理システムに好適に実施される。
【００１５】
この実施の形態を具体的に説明する。この実施の形態は、密閉配管流路と、この密閉配管流路に両端が接続され、給水ポンプ（循環ポンプと称することもできる。）および脱気装置を設けた脱気処理流路とを備える溶存酸素濃度管理システムである。
【００１６】
この実施の形態においては、さらに、前記脱気処理流路の被脱気水の溶存酸素濃度（以下、ＤＯと称する。）を検出するセンサと、前記脱気装置と並列に接続されるバイパス流路と、前記脱気装置および前記バイパス流路への被脱気水の流れを制御する流れ制御弁手段と、前記脱気装置の運転を制御するとともに、前記脱気装置の運転時に前記脱気装置へ被脱気水を流すとともに、前記脱気装置の運転停止時に前記バイパス流路へ被脱気水を流すように前記流れ制御弁手段を制御する制御手段とを備えている。
【００１７】
この実施の形態の溶存酸素濃度管理システムにおいては、前記脱気装置の運転中は、前記密閉配管流路からの被脱気水が前記脱気装置に供給され、前記脱気装置の運転停止（以下、単に停止という。）中は、前記脱気装置への被脱気水の供給が停止され、前記バイパス流路へ被脱気水が供給される。このバイパス流路への被脱気水の流れを形成するのは、前記脱気装置停止時においても前記密閉配管流路から前記センサのＤＯ検出部への被脱気水の流れを形成するためである。こうして、前記センサは、被脱気水のＤＯを連続的に検出する。なお、前記脱気装置停止時にバイパス流路に被脱気水を流さなくても前記センサによりＤＯの検出は可能であるが、被脱気水の流れが停止した状態での検出であるので、前記密閉配管流路の水のＤＯを測定していることにならない。なお、前記脱気装置の運転中にバイパス流路に僅かな量の被脱気水を流すように構成することもできる。
【００１８】
前記センサのＤＯの連続検出値は、この実施の形態おいては、好ましくは、つぎの３つの態様で利用される。第一の態様は、前記センサの出力を報知する報知手段を備え、前記制御手段は、前記センサの検出値を入力して、前記検出値に基づく溶存酸素濃度を前記報知手段にて報知する態様である。この第一の態様では、前記検出値は、前記制御手段により、溶存酸素濃度に変換して、前記報知手段にて報知する。
【００１９】
この第一の態様によれば、システムの管理者やメンテナンス員は、前記密閉配管流路を流れる水のＤＯ値を前記脱気装置の運転、停止に関係なく前記報知手段により正確に知ることができ、システムの管理やメンテナンスに活用することができる。
【００２０】
第二の態様は、前記制御手段により、前記センサの検出値が第一設定値以上か、または、前記脱気装置の運転停止時から設定時間が経過すると前記脱気装置を運転し、前記検出値が前記第一設定値より低い第二設定値以下となると前記脱気装置の運転を停止する態様である。
【００２１】
この第二の態様おいては、前記制御手段は、前記センサの検出値が第一設定値以上となると、前記密閉配管流路内の水のＤＯが高くなった（悪化した）と判定して、前記脱気装置の運転をする。そして、前記検出値が前記第一設定値より低い第二設定値以下となると前記脱気装置の運転を停止する。こうして、前記センサの検出値に基づき、自動的に、かつ前記密閉配管流路内の水のＤＯが所定値に収まるように、前記脱気装置の運転を制御することができる。
【００２２】
また、前記制御手段は、前記脱気装置の運転停止時から設定時間が経過すると前記脱気装置を運転する。長期に亘り、前記脱気装置が停止されると、前記脱気装置内で酸素の再溶存が発生し、ＤＯが上昇するが、前記設定時間経過ごとに前記脱気装置が運転されるので、ＤＯの過度の上昇を防止できる。この脱気装置の運転は、前記検出値が前記第一設定値より低い第二設定値以下となると停止される。
【００２３】
第三の態様は、前記第一の態様の制御と前記第二の態様の制御とを組合せて行うものである。
【００２４】
この発明の実施の形態は、前記第一〜第三の実施の形態に限定されるものではなく、前記センサの検出値データを記憶手段に記憶しておき、必要なときに他の管理装置へ前記検出値データを送信して前記管理装置で利用する形態のものを含む。
【００２５】
ここで、この発明の実施の形態の溶存酸素濃度管理システムを構成する構成要素を説明する。前記密閉配管流路は、例えば半導体製造装置の冷却水循環回路とするが、これに限定されるものではない。
【００２６】
前記給水ポンプは、前記密閉配管流路を循環する水の一部を吸引して、前記脱気装置へおよび前記バイパス流路へ供給し、前記密閉配管流路へ戻すことができるポンプであれば良く、種類を問わない。
【００２７】
前記脱気装置は、好ましくは、低ＤＯ（たとえば、２０μｇ／L程度）の脱気水を生成する膜脱気装置とするが、これに限定されるものではなく、脱気膜を用いた膜脱気装置以外の脱気装置とすることができる。前記低ＤＯ脱気装置としては、特開平５−１０３９０８号公報に示される脱気装置を採用することができる。膜脱気装置を用いる場合、真空脱気のための水封式真空ポンプとこの水封式真空ポンプの封水を冷却するためのチラーを備えて前記脱気装置を構成することができる。前記脱気装置は、１台だけでなく、互いに並列接続される複数台の脱気装置により構成することができる。
【００２８】
前記センサは、特定の種類のセンサに限定されないが、前記のような低ＤＯ値を検出でき、好ましくは、センサの通水量を小流量（２００〜３００ｃｃ／ｍｉｎ）でＤＯが検出可能なものとする。そして、好ましくは、前記センサのサンプリング水を前記脱気処理流路外へ排水しないように前記給水ポンプと並列に検出流路を構成する。
【００２９】
前記流れ制御弁手段（切換手段と称することもできる。）は、好ましくは、前記密閉配管流路の被脱気水を前記脱気装置側と前記バイパス流路側とに選択的に切換える弁によって構成する。この弁としては、複数の弁により構成してもよいし、単一の三方切換弁によって構成してもよい。なお、前記脱気装置の運転時に前記バイパス流路に被脱気水の一部を流す場合は、前記バイパス流路に設ける弁を開度が調整可能な弁とすることができる。
【００３０】
前記報知手段は、好ましくは、表示器とするが、前記検出ＤＯ値を紙などにプリントアウトする印刷手段や音声による報知手段とすることができる。
【実施例１】
【００３１】
つぎに、この発明の実施１の溶存酸素濃度管理システムについて図面に基づいて詳細に説明する。図１は、同実施例１の構成を示す概略的な説明図であり、図２は、同実施例１の制御手順の要部を説明するフローチャート図である。
【００３２】
この実施の実施１の溶存酸素濃度管理システムは、密閉配管流路（流路は、ラインと称することができる。）１と、給水ポンプ２および脱気装置３を設けた脱気処理流路４と、前記脱気装置３と並列接続されるバイパス流路５とを主要部として備えている。前記脱気処理流路４は、その両端が前記密閉配管流路１と接続されている。前記密閉配管流路１には、半導体製造装置（図示省略）の冷却水が循環されている。
【００３３】
前記脱気処理流路４には、被脱気水の溶存酸素濃度（以下、ＤＯと称する。）を検出するセンサ５と、被脱気水の流れを、前記脱気装置３と前記バイパス流路５とに選択的に切換える流れ制御弁手段としての入口側第一電磁開閉弁（以下、単に入口側第一電磁弁という。）６，出口側第一電磁開閉弁（以下、単に出口側第一電磁弁という。）７および第二電磁開閉弁（以下、単に第二電磁弁という。）８とを備えている。そして、前記脱気装置３の運転を制御するとともに、前記脱気装置３の運転時に前記脱気装置３へ被脱気水を流し、前記脱気装置３の停止時に前記バイパス流路５へ被脱気水を流すように前記各開閉弁７，８，９等を制御する制御手段としての制御器９を備えている。
【００３４】
前記脱気処理流路４は、被脱気水の入口１０から入口側前記第一電磁弁６までの間の流路を往管１１と称し、脱気水または被脱気水および脱気水の出口１２から出口側第一電磁弁７までの間を復管１４と称する。また、前記入口側第一電磁弁６と前記出口側第一電磁弁７との間の脱気装置側の流路を脱気側管１５と称する。
【００３５】
前記往管１１の前記入口１０の近傍には、第一手動開閉弁（以下、単に第一手動弁という。）１６と第三電磁開閉弁（以下、単に第三電磁弁という。）１７とを被脱気水の流れ方向に沿ってこの順に設けている。前記復管１４の前記出口１２の近傍には、第二手動開閉弁（以下、単に第二手動弁という。）１８と第四電磁開閉弁（以下、単に第四電磁弁という。）１９とを被脱気水の反流れ方向に沿ってこの順に設けている。前記第一手動弁１６および前記第二手動弁１８は、前記脱気装置３などの点検、修理時に、前記脱気処理流路４を前記密閉配管流路１から切り離すための弁である。
【００３６】
そして、前記給水ポンプ２と並列に被脱気水のＤＯを検出（測定）するための第一検出流路２１を設けている。この第一検出流路２１には、被脱気水のＤＯを検出する第一ＤＯセンサ２２と、流量調整機能を備えた第一流量センサ２３と、前記給水ポンプ２の上流側からの被脱気水の流れを阻止する第一逆止弁２４とを設けている。前記第一ＤＯセンサ２２は、小流量（２００〜３００ｃｃ／ｍｉｎ）でＤＯが検出可能なものを用いており、前記第一流量センサ２３の流量調整機能により、ＤＯ検出を可能としている。この流量調整機能は、流量センサの機能によらず、センサとは別の流量調整手段によって行うことできる。
【００３７】
前記脱気側管１５の前記脱気装置３の上流側には、流入する被脱気水の圧力を減圧するための第一減圧弁２５を設け、下流側には、流量調整機能を有する第二流量センサ２６と、前記バイパス流路５を流通した被脱気水の流入を阻止する第二逆止弁２７とを設けている。
【００３８】
前記脱気装置３は、２０μｇ／L程度の低ＤＯの脱気水を生成する膜脱気装置とし、膜脱気部（図示省略）と、水封式真空ポンプ２８と、水封式真空ポンプ２８の封水を冷却するチラー２９とを備えている。
【００３９】
前記バイパス流路５には、第二減圧弁３０と、前記脱気装置３側からの脱気水の流入を阻止する第三逆止弁３１とを備えている。
【００４０】
さらに、この実施例１では、前記脱気装置３にて脱気処理された脱気水のＤＯを検出するための第二検出流路３２を、前記復管１４と前記往管１１の前記ポンプ２の上流側とを接続するように設けている。この第二検出流路３２には、脱気水のＤＯを検出する第二ＤＯセンサ３３と、流量調整機能を備えた第三流量センサ３４と、前記往管１１側からの被脱気水の流れを阻止する第四逆止弁３５とを設けている。前記第二ＤＯセンサ３３は、前記第一ＤＯセンサ２２と同様の小流量でＤＯを検出するセンサである。前記第二検出流路３２を流れる脱気水により、前記第一ＤＯセンサ２２の被脱気水のＤＯ検出に影響を与えないように構成している。
【００４１】
前記制御器９は、マイクロプロセッサ，記憶手段等を含んで構成され、前記第一ＤＯセンサ２２，前記第二ＤＯセンサ３３，第一〜第三流量センサ２３，２６，３４等の信号を入力して、予め記憶した制御手順に基づき、前記脱気装置３，前記給水ポンプ２，前記第一〜第四電磁弁６，８，９，１７，１９および表示器３６を制御する。
【００４２】
前記制御器９の制御手順は、被脱気水のＤＯを連続的に報知するＤＯ連続報知手順と、前記密閉配管流路１内の水のＤＯ値が所定値に自動的に収まるように、前記脱気装置３の運転を制御する自動ＤＯ制御手順とを含んでいる。
【００４３】
前記ＤＯ連続報知手順は、この実施例１では、前記第一ＤＯセンサ２２および前記第二ＤＯセンサ３３の検出値に基づいて、被脱気水のＤＯ，脱気水のＤＯをそれぞれ前記報知器３６にて報知する手順として構成されている。
【００４４】
また、自動ＤＯ制御手順は、前記第一センサ２２の検出値が第一設定値ＤＯ１を超える（以上でもよい）か、または、前記脱気装置３の運転停止時から設定時間Ｔ１が経過すると前記脱気装置３を運転し、前記検出値が前記第一設定値ＤＯ１より低い第二設定値ＤＯ２未満（以下でもよい）となると前記脱気装置の運転を停止するように構成されている。この実施例１の制御手順は、図２に示される。
【００４５】
ここで、この実施例１の溶存酸素濃度管理システムの動作を図２に基づき説明する。予め、前記第一手動弁１６および前記第二手動弁１８を開いておく。図２を参照して、処理ステップＳ１（以下、処理ステップＳＮは、単にＳＮと称する。）では、自動運転スイッチ（図示省略）の操作を受付け、前記制御器９の内臓タイマの第一設定時間Ｔ１および第二設定時間Ｔ２の計時を開始する。
【００４６】
Ｓ２では、前記第三電磁弁１７および前記第四電磁弁１９を開くとともに、前記第二電磁弁８，を開き、前記第一電磁弁６，７を閉じることによる前記バイパス流路５への通水処理（以下、第一バイパス通水処理という。）を行う。
【００４７】
この第一バイパス通水処理により、前記密閉配管流路１の冷却水は、前記給水ポンプ２により吸引され、前記入口１０から前記往管１１内へ流入した後、前記バイパス流路５を流れて前記出口１２から前記密閉配管流路１へ流出する。前記給水ポンプ２により吸引された冷却水（被脱気水）の一部が、サンプル水として前記第一検出流路２１へ供給され、被脱気水が前記第一ＤＯセンサ２２に流れるとともに、前記第二検出流路３２へも被脱気水の一部が供給され、前記第二ＤＯセンサ３３にも被脱気水が流れる。
【００４８】
ついで、Ｓ３において、前記第二設定時間Ｔ２の計時が終了したかどうかを判定する。この第二設定時間Ｔ２は、前記第一ＤＯセンサ２２および前記第二ＤＯセンサ３３の作動が安定するに要する時間に設定されている。時間Ｔ２が経過すると、Ｓ３でＹＥＳが判定され、Ｓ４へ移行して、前記第一ＤＯセンサ２２および前記第二ＤＯセンサ３３による検出ＤＯを前記表示器３６にて表示する。
【００４９】
こうして、前記脱気装置３の運転停止中は、前記バイパス流路５を被脱気水が流れることで、前記第一ＤＯセンサ２２において被脱気水の流れが形成される。こうして、被脱気水，すなわち前記密閉配管流路１の冷却水のＤＯを前記第一ＤＯセンサ２２により前記脱気装置３の運転停止中も検出して、管理者等へ知らせることができる。
【００５０】
Ｓ５では、前記第一センサ２２の検出値が第一設定値ＤＯ１を超えた状態が第三設定時間Ｔ３継続したという第一条件と、前記第一設定時間Ｔ１の計時が終了という第二条件のいずれかが満たされたかどうかを判定する。第一条件および第二条件のいずれも満たされない場合は、ＮＯが判定されて、Ｓ４へ戻る。
【００５１】
Ｓ５で、第一条件および第二条件のいずれかが満たされ、ＹＥＳが判定されると、Ｓ６へ移行して前記脱気装置３の運転（前記水封式真空ポンプ２８および前記チラー２９の運転を含む）を開始する。同時に第四設定時間Ｔ４の計時を開始する。この第四設定時間Ｔ４は、前記脱気装置３の運転開始から前記脱気装置３内の真空度が所定の値に低下し、封水温度が所定の値に低下するに要する時間に設定されている。
【００５２】
第一条件が満たされるとは、前記密閉配管流路１の冷却水の水質の劣化，すなわちＤＯが上昇したことを意味し、第二条件が満たされるとは、前記第一設定時間Ｔ１の間、一度も前記脱気装置３が運転されなかったことを意味する。
【００５３】
Ｓ７で、時間Ｔ４の計時が終了すると、Ｓ８へ移行して、脱気通水処理を行う。この脱気通水処理は、まず、前記第一電磁弁６，７を開き、第五設定時間Ｔ５の計時を開始する。ついで、第五設定時間Ｔ５の計時終了後、前記第二電磁弁８を閉じ、前記第一設定時間Ｔ１をリセットする。このように、脱気通水処理に先立って前記脱気装置３の運転を行うようにしているので、ＤＯの高い処理水が前記密閉配管流路１へ供給されることが防止される。
【００５４】
このＳ８の脱気通水処理により、前記密閉配管流路１の冷却水は、前記給水ポンプ２により吸引され、前記入口１０から前記往管１１内へ流入した後、前記脱気側管１５を通して前記脱気装置３へ供給されて脱気が行われる。
【００５５】
この脱気通水処理時、前記給水ポンプ２により吸引された冷却水（被脱気水）の一部が、サンプル水として前記第一検出流路２１へ供給され、被脱気水が前記第一ＤＯセンサ２２に流れる。こうして、前記脱気装置３の運転時においても被脱気水が前記第一ＤＯセンサ２２に流れるので、被脱気水のＤＯが正確に検出され、前記表示器３６にて報知される。前記第二検出流路３２へは、脱気処理された脱気水の一部が供給され、前記第二ＤＯセ
ンサ３３に脱気水が流れれて、脱気水のＤＯが検出され、前記表示器３６にて報知される。この脱気通水処理において、前記第一センサ２２の検出値に基づきＤＯ＜ＤＯ１が判定されると、第三設定時間Ｔ３がリセットされる。
【００５６】
ついで、Ｓ９へ移行して、Ｓ８の脱気通水処理により、前記第一センサ２２の検出値に基づきＤＯ＜ＤＯ２が第六設定時間Ｔ６継続して満たされるかどうかを判定する。ＹＥＳが判定，すなわち脱気処理が不要と判定して、脱気通水処理を終了して、Ｓ１０の第二バイパス通水処理を行う。
【００５７】
この第二バイパス通水処理は、前記脱気装置３側への通水を遮断して、前記バイパス流路５への通水を行う点で共通しているが、具体的な制御において、若干異なる。Ｓ１０では、まず前記第二電磁弁８を開き、第五設定時間Ｔ５をリセットする。ついで、第七設定時間Ｔ７遅れで、前記第一電磁弁６，７を閉じるとともに、前記脱気装置３を停止する。この第二バイパス通水処理において、前記第一センサ２２の検出値に基づきＤＯ＞ＤＯ２が判定されると、第六設定時間Ｔ６，第七設定時間Ｔ７がリセットされる。
【００５８】
そして、Ｓ１１において、自動運転ＯＦＦが判定されると、Ｓ１２へ移行して、自動運転の終了処理を行う。Ｓ１２では、前記第三電磁弁１７および前記第四電磁弁１９を閉じ、前記給水ポンプ２を停止し、前記脱気装置３を停止するなどの処理を行う。Ｓ１１で、自動運転ＯＦＦが判定されないと、Ｓ４へ戻り、前述のＤＯの連続報知処理と自動ＤＯ制御処理が継続して行われる。
【００５９】
この実施例１によれば、システムの管理者やメンテナンス員は、前記密閉配管流路１を流れる水のＤＯ値を前記脱気装置３の運転、停止に関係なく前記表示器３６により正確に知ることができ、システムの管理やメンテナンスに活用することができる。
【００６０】
また、この実施例１によれば、前記第一ＤＯセンサ２２により、被脱気水のＤＯを連続的に検出することができるので、前記第一ＤＯセンサ２２の検出値に基づき、前記脱気装置３の運転を適確に制御して、前記密閉配管流路１内の水のＤＯを所定範囲の値に収めることができる。
【００６１】
さらに、長期に亘り、前記脱気装置３の運転が停止されると、前記脱気装置３内のＤＯが上昇するが、この実施例１によれば、前記第一設定時間Ｔ１経過ごとに前記脱気装置３が運転されるので、ＤＯ値の過度の上昇を防止できる。
【００６２】
この発明は、前記実施例１に限定されるものではない。例えば、前記実施例１では、前記第二検出流路３２を設けているが、必要に応じて前記第二検出流路３２を設けない構成の溶存酸素濃度管理システムとすることができる。
【符号の説明】
【００６３】
１ 密閉配管流路
２ 給水ポンプ
３ 脱気装置
４ 脱気処理流路
５ バイパス流路
６ 入口側第一電磁弁（流れ制御弁手段）
８ 第二電磁弁（流れ制御弁手段）
９ 制御器（制御手段）
２２ 第一ＤＯセンサ（センサ）
【技術分野】
【０００１】
この発明は、密閉配管流路の溶存酸素濃度を管理する溶存酸素濃度管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
密閉配管流路と、この密閉配管流路に両端が接続され給水ポンプおよび脱気装置を設けた脱気処理流路とを備える脱気システムは、特許文献１により公知である。
【０００３】
この従来の脱気システムにおいて、脱気処理流路に溶存酸素濃度を検出するセンサを設けて、密閉配管流路の溶存酸素濃度を検出することが考えられる。その場合、脱気装置を連続運転するときは、問題無く、溶存酸素濃度を連続的に検出することができるが、省エネを目的として脱気装置の運転を停止する場合には、溶存酸素濃度を連続的に検出することは、困難である。また、溶存酸素濃度を連続的に検出することが困難であるが故に、密閉配管流路の溶存酸素濃度に基づき脱気装置の運転を制御することも困難となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第２９２１４２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この発明が解決しようとする主たる課題は、密閉配管流路の溶存酸素濃度を連続的に検出することであり、副課題は、密閉配管流路の溶存酸素濃度を連続的に報知することであり、密閉配管流路の溶存酸素濃度に基づき脱気装置の運転を制御可能とすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明は、前記課題を解決するためになされたもので、請求項１に記載の発明は、密閉配管流路と、この密閉配管流路に両端が接続され給水ポンプおよび脱気装置を設けた脱気処理流路とを備える溶存酸素濃度管理システムにおいて、前記脱気処理流路の被脱気水の溶存酸素濃度を検出するセンサと、前記脱気装置と並列に接続されるバイパス流路と、前記脱気装置および前記バイパス流路への被脱気水の流れを制御する流れ制御弁手段と、前記脱気装置の運転を制御するとともに、前記脱気装置の運転停止時に前記バイパス流路へ被脱気水を流すように前記流れ制御弁手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴としている。
【０００７】
請求項１に記載の発明によれば、前記脱気装置の運転停止時にも前記センサへ被脱気水を流すことができ、前記センサにより前記密閉配管流路の溶存酸素濃度を連続的に検出することができる。
【０００８】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１において、前記センサの出力を報知する報知手段を備え、前記制御手段は、前記センサの検出値を入力して、前記検出値に基づく溶存酸素濃度を前記報知手段にて報知することを特徴としている。
【０００９】
請求項２に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明による効果に加えて、前記密閉配管流路の溶存酸素濃度を連続的に報知することができるという効果を奏する。
【００１０】
さらに、請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２において、前記制御手段は
、前記センサの検出値が第一設定値以上か、または前記脱気装置の運転停止時から設定時間が経過すると前記脱気装置を運転し、前記検出値が前記第一設定値より低い第二設定値以下となると前記脱気装置の運転を停止することを特徴としている。
【００１１】
請求項３に記載の発明によれば、請求項１または請求項２に記載の発明による効果に加えて、前記密閉配管流路の溶存酸素濃度を適確に検出して、前記脱気装置の運転を制御し、前記密閉配管流路の溶存酸素濃度を適確に管理することができるという効果を奏する。
【発明の効果】
【００１２】
この発明によれば、前記密閉配管流路の溶存酸素濃度を連続的に検出することが可能な溶存酸素濃度管理システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】この発明に係る溶存酸素濃度管理システムの実施例１の構成を示す概略的な説明図である。
【図２】同実施例１の制御手順の要部を説明するフローチャート図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
つぎに、この発明の溶存酸素濃度管理システムの実施の形態について説明する。この発明の実施の形態は、密閉配管流路の溶存酸素濃度を管理する溶存酸素濃度管理システムに好適に実施される。
【００１５】
この実施の形態を具体的に説明する。この実施の形態は、密閉配管流路と、この密閉配管流路に両端が接続され、給水ポンプ（循環ポンプと称することもできる。）および脱気装置を設けた脱気処理流路とを備える溶存酸素濃度管理システムである。
【００１６】
この実施の形態においては、さらに、前記脱気処理流路の被脱気水の溶存酸素濃度（以下、ＤＯと称する。）を検出するセンサと、前記脱気装置と並列に接続されるバイパス流路と、前記脱気装置および前記バイパス流路への被脱気水の流れを制御する流れ制御弁手段と、前記脱気装置の運転を制御するとともに、前記脱気装置の運転時に前記脱気装置へ被脱気水を流すとともに、前記脱気装置の運転停止時に前記バイパス流路へ被脱気水を流すように前記流れ制御弁手段を制御する制御手段とを備えている。
【００１７】
この実施の形態の溶存酸素濃度管理システムにおいては、前記脱気装置の運転中は、前記密閉配管流路からの被脱気水が前記脱気装置に供給され、前記脱気装置の運転停止（以下、単に停止という。）中は、前記脱気装置への被脱気水の供給が停止され、前記バイパス流路へ被脱気水が供給される。このバイパス流路への被脱気水の流れを形成するのは、前記脱気装置停止時においても前記密閉配管流路から前記センサのＤＯ検出部への被脱気水の流れを形成するためである。こうして、前記センサは、被脱気水のＤＯを連続的に検出する。なお、前記脱気装置停止時にバイパス流路に被脱気水を流さなくても前記センサによりＤＯの検出は可能であるが、被脱気水の流れが停止した状態での検出であるので、前記密閉配管流路の水のＤＯを測定していることにならない。なお、前記脱気装置の運転中にバイパス流路に僅かな量の被脱気水を流すように構成することもできる。
【００１８】
前記センサのＤＯの連続検出値は、この実施の形態おいては、好ましくは、つぎの３つの態様で利用される。第一の態様は、前記センサの出力を報知する報知手段を備え、前記制御手段は、前記センサの検出値を入力して、前記検出値に基づく溶存酸素濃度を前記報知手段にて報知する態様である。この第一の態様では、前記検出値は、前記制御手段により、溶存酸素濃度に変換して、前記報知手段にて報知する。
【００１９】
この第一の態様によれば、システムの管理者やメンテナンス員は、前記密閉配管流路を流れる水のＤＯ値を前記脱気装置の運転、停止に関係なく前記報知手段により正確に知ることができ、システムの管理やメンテナンスに活用することができる。
【００２０】
第二の態様は、前記制御手段により、前記センサの検出値が第一設定値以上か、または、前記脱気装置の運転停止時から設定時間が経過すると前記脱気装置を運転し、前記検出値が前記第一設定値より低い第二設定値以下となると前記脱気装置の運転を停止する態様である。
【００２１】
この第二の態様おいては、前記制御手段は、前記センサの検出値が第一設定値以上となると、前記密閉配管流路内の水のＤＯが高くなった（悪化した）と判定して、前記脱気装置の運転をする。そして、前記検出値が前記第一設定値より低い第二設定値以下となると前記脱気装置の運転を停止する。こうして、前記センサの検出値に基づき、自動的に、かつ前記密閉配管流路内の水のＤＯが所定値に収まるように、前記脱気装置の運転を制御することができる。
【００２２】
また、前記制御手段は、前記脱気装置の運転停止時から設定時間が経過すると前記脱気装置を運転する。長期に亘り、前記脱気装置が停止されると、前記脱気装置内で酸素の再溶存が発生し、ＤＯが上昇するが、前記設定時間経過ごとに前記脱気装置が運転されるので、ＤＯの過度の上昇を防止できる。この脱気装置の運転は、前記検出値が前記第一設定値より低い第二設定値以下となると停止される。
【００２３】
第三の態様は、前記第一の態様の制御と前記第二の態様の制御とを組合せて行うものである。
【００２４】
この発明の実施の形態は、前記第一〜第三の実施の形態に限定されるものではなく、前記センサの検出値データを記憶手段に記憶しておき、必要なときに他の管理装置へ前記検出値データを送信して前記管理装置で利用する形態のものを含む。
【００２５】
ここで、この発明の実施の形態の溶存酸素濃度管理システムを構成する構成要素を説明する。前記密閉配管流路は、例えば半導体製造装置の冷却水循環回路とするが、これに限定されるものではない。
【００２６】
前記給水ポンプは、前記密閉配管流路を循環する水の一部を吸引して、前記脱気装置へおよび前記バイパス流路へ供給し、前記密閉配管流路へ戻すことができるポンプであれば良く、種類を問わない。
【００２７】
前記脱気装置は、好ましくは、低ＤＯ（たとえば、２０μｇ／L程度）の脱気水を生成する膜脱気装置とするが、これに限定されるものではなく、脱気膜を用いた膜脱気装置以外の脱気装置とすることができる。前記低ＤＯ脱気装置としては、特開平５−１０３９０８号公報に示される脱気装置を採用することができる。膜脱気装置を用いる場合、真空脱気のための水封式真空ポンプとこの水封式真空ポンプの封水を冷却するためのチラーを備えて前記脱気装置を構成することができる。前記脱気装置は、１台だけでなく、互いに並列接続される複数台の脱気装置により構成することができる。
【００２８】
前記センサは、特定の種類のセンサに限定されないが、前記のような低ＤＯ値を検出でき、好ましくは、センサの通水量を小流量（２００〜３００ｃｃ／ｍｉｎ）でＤＯが検出可能なものとする。そして、好ましくは、前記センサのサンプリング水を前記脱気処理流路外へ排水しないように前記給水ポンプと並列に検出流路を構成する。
【００２９】
前記流れ制御弁手段（切換手段と称することもできる。）は、好ましくは、前記密閉配管流路の被脱気水を前記脱気装置側と前記バイパス流路側とに選択的に切換える弁によって構成する。この弁としては、複数の弁により構成してもよいし、単一の三方切換弁によって構成してもよい。なお、前記脱気装置の運転時に前記バイパス流路に被脱気水の一部を流す場合は、前記バイパス流路に設ける弁を開度が調整可能な弁とすることができる。
【００３０】
前記報知手段は、好ましくは、表示器とするが、前記検出ＤＯ値を紙などにプリントアウトする印刷手段や音声による報知手段とすることができる。
【実施例１】
【００３１】
つぎに、この発明の実施１の溶存酸素濃度管理システムについて図面に基づいて詳細に説明する。図１は、同実施例１の構成を示す概略的な説明図であり、図２は、同実施例１の制御手順の要部を説明するフローチャート図である。
【００３２】
この実施の実施１の溶存酸素濃度管理システムは、密閉配管流路（流路は、ラインと称することができる。）１と、給水ポンプ２および脱気装置３を設けた脱気処理流路４と、前記脱気装置３と並列接続されるバイパス流路５とを主要部として備えている。前記脱気処理流路４は、その両端が前記密閉配管流路１と接続されている。前記密閉配管流路１には、半導体製造装置（図示省略）の冷却水が循環されている。
【００３３】
前記脱気処理流路４には、被脱気水の溶存酸素濃度（以下、ＤＯと称する。）を検出するセンサ５と、被脱気水の流れを、前記脱気装置３と前記バイパス流路５とに選択的に切換える流れ制御弁手段としての入口側第一電磁開閉弁（以下、単に入口側第一電磁弁という。）６，出口側第一電磁開閉弁（以下、単に出口側第一電磁弁という。）７および第二電磁開閉弁（以下、単に第二電磁弁という。）８とを備えている。そして、前記脱気装置３の運転を制御するとともに、前記脱気装置３の運転時に前記脱気装置３へ被脱気水を流し、前記脱気装置３の停止時に前記バイパス流路５へ被脱気水を流すように前記各開閉弁７，８，９等を制御する制御手段としての制御器９を備えている。
【００３４】
前記脱気処理流路４は、被脱気水の入口１０から入口側前記第一電磁弁６までの間の流路を往管１１と称し、脱気水または被脱気水および脱気水の出口１２から出口側第一電磁弁７までの間を復管１４と称する。また、前記入口側第一電磁弁６と前記出口側第一電磁弁７との間の脱気装置側の流路を脱気側管１５と称する。
【００３５】
前記往管１１の前記入口１０の近傍には、第一手動開閉弁（以下、単に第一手動弁という。）１６と第三電磁開閉弁（以下、単に第三電磁弁という。）１７とを被脱気水の流れ方向に沿ってこの順に設けている。前記復管１４の前記出口１２の近傍には、第二手動開閉弁（以下、単に第二手動弁という。）１８と第四電磁開閉弁（以下、単に第四電磁弁という。）１９とを被脱気水の反流れ方向に沿ってこの順に設けている。前記第一手動弁１６および前記第二手動弁１８は、前記脱気装置３などの点検、修理時に、前記脱気処理流路４を前記密閉配管流路１から切り離すための弁である。
【００３６】
そして、前記給水ポンプ２と並列に被脱気水のＤＯを検出（測定）するための第一検出流路２１を設けている。この第一検出流路２１には、被脱気水のＤＯを検出する第一ＤＯセンサ２２と、流量調整機能を備えた第一流量センサ２３と、前記給水ポンプ２の上流側からの被脱気水の流れを阻止する第一逆止弁２４とを設けている。前記第一ＤＯセンサ２２は、小流量（２００〜３００ｃｃ／ｍｉｎ）でＤＯが検出可能なものを用いており、前記第一流量センサ２３の流量調整機能により、ＤＯ検出を可能としている。この流量調整機能は、流量センサの機能によらず、センサとは別の流量調整手段によって行うことできる。
【００３７】
前記脱気側管１５の前記脱気装置３の上流側には、流入する被脱気水の圧力を減圧するための第一減圧弁２５を設け、下流側には、流量調整機能を有する第二流量センサ２６と、前記バイパス流路５を流通した被脱気水の流入を阻止する第二逆止弁２７とを設けている。
【００３８】
前記脱気装置３は、２０μｇ／L程度の低ＤＯの脱気水を生成する膜脱気装置とし、膜脱気部（図示省略）と、水封式真空ポンプ２８と、水封式真空ポンプ２８の封水を冷却するチラー２９とを備えている。
【００３９】
前記バイパス流路５には、第二減圧弁３０と、前記脱気装置３側からの脱気水の流入を阻止する第三逆止弁３１とを備えている。
【００４０】
さらに、この実施例１では、前記脱気装置３にて脱気処理された脱気水のＤＯを検出するための第二検出流路３２を、前記復管１４と前記往管１１の前記ポンプ２の上流側とを接続するように設けている。この第二検出流路３２には、脱気水のＤＯを検出する第二ＤＯセンサ３３と、流量調整機能を備えた第三流量センサ３４と、前記往管１１側からの被脱気水の流れを阻止する第四逆止弁３５とを設けている。前記第二ＤＯセンサ３３は、前記第一ＤＯセンサ２２と同様の小流量でＤＯを検出するセンサである。前記第二検出流路３２を流れる脱気水により、前記第一ＤＯセンサ２２の被脱気水のＤＯ検出に影響を与えないように構成している。
【００４１】
前記制御器９は、マイクロプロセッサ，記憶手段等を含んで構成され、前記第一ＤＯセンサ２２，前記第二ＤＯセンサ３３，第一〜第三流量センサ２３，２６，３４等の信号を入力して、予め記憶した制御手順に基づき、前記脱気装置３，前記給水ポンプ２，前記第一〜第四電磁弁６，８，９，１７，１９および表示器３６を制御する。
【００４２】
前記制御器９の制御手順は、被脱気水のＤＯを連続的に報知するＤＯ連続報知手順と、前記密閉配管流路１内の水のＤＯ値が所定値に自動的に収まるように、前記脱気装置３の運転を制御する自動ＤＯ制御手順とを含んでいる。
【００４３】
前記ＤＯ連続報知手順は、この実施例１では、前記第一ＤＯセンサ２２および前記第二ＤＯセンサ３３の検出値に基づいて、被脱気水のＤＯ，脱気水のＤＯをそれぞれ前記報知器３６にて報知する手順として構成されている。
【００４４】
また、自動ＤＯ制御手順は、前記第一センサ２２の検出値が第一設定値ＤＯ１を超える（以上でもよい）か、または、前記脱気装置３の運転停止時から設定時間Ｔ１が経過すると前記脱気装置３を運転し、前記検出値が前記第一設定値ＤＯ１より低い第二設定値ＤＯ２未満（以下でもよい）となると前記脱気装置の運転を停止するように構成されている。この実施例１の制御手順は、図２に示される。
【００４５】
ここで、この実施例１の溶存酸素濃度管理システムの動作を図２に基づき説明する。予め、前記第一手動弁１６および前記第二手動弁１８を開いておく。図２を参照して、処理ステップＳ１（以下、処理ステップＳＮは、単にＳＮと称する。）では、自動運転スイッチ（図示省略）の操作を受付け、前記制御器９の内臓タイマの第一設定時間Ｔ１および第二設定時間Ｔ２の計時を開始する。
【００４６】
Ｓ２では、前記第三電磁弁１７および前記第四電磁弁１９を開くとともに、前記第二電磁弁８，を開き、前記第一電磁弁６，７を閉じることによる前記バイパス流路５への通水処理（以下、第一バイパス通水処理という。）を行う。
【００４７】
この第一バイパス通水処理により、前記密閉配管流路１の冷却水は、前記給水ポンプ２により吸引され、前記入口１０から前記往管１１内へ流入した後、前記バイパス流路５を流れて前記出口１２から前記密閉配管流路１へ流出する。前記給水ポンプ２により吸引された冷却水（被脱気水）の一部が、サンプル水として前記第一検出流路２１へ供給され、被脱気水が前記第一ＤＯセンサ２２に流れるとともに、前記第二検出流路３２へも被脱気水の一部が供給され、前記第二ＤＯセンサ３３にも被脱気水が流れる。
【００４８】
ついで、Ｓ３において、前記第二設定時間Ｔ２の計時が終了したかどうかを判定する。この第二設定時間Ｔ２は、前記第一ＤＯセンサ２２および前記第二ＤＯセンサ３３の作動が安定するに要する時間に設定されている。時間Ｔ２が経過すると、Ｓ３でＹＥＳが判定され、Ｓ４へ移行して、前記第一ＤＯセンサ２２および前記第二ＤＯセンサ３３による検出ＤＯを前記表示器３６にて表示する。
【００４９】
こうして、前記脱気装置３の運転停止中は、前記バイパス流路５を被脱気水が流れることで、前記第一ＤＯセンサ２２において被脱気水の流れが形成される。こうして、被脱気水，すなわち前記密閉配管流路１の冷却水のＤＯを前記第一ＤＯセンサ２２により前記脱気装置３の運転停止中も検出して、管理者等へ知らせることができる。
【００５０】
Ｓ５では、前記第一センサ２２の検出値が第一設定値ＤＯ１を超えた状態が第三設定時間Ｔ３継続したという第一条件と、前記第一設定時間Ｔ１の計時が終了という第二条件のいずれかが満たされたかどうかを判定する。第一条件および第二条件のいずれも満たされない場合は、ＮＯが判定されて、Ｓ４へ戻る。
【００５１】
Ｓ５で、第一条件および第二条件のいずれかが満たされ、ＹＥＳが判定されると、Ｓ６へ移行して前記脱気装置３の運転（前記水封式真空ポンプ２８および前記チラー２９の運転を含む）を開始する。同時に第四設定時間Ｔ４の計時を開始する。この第四設定時間Ｔ４は、前記脱気装置３の運転開始から前記脱気装置３内の真空度が所定の値に低下し、封水温度が所定の値に低下するに要する時間に設定されている。
【００５２】
第一条件が満たされるとは、前記密閉配管流路１の冷却水の水質の劣化，すなわちＤＯが上昇したことを意味し、第二条件が満たされるとは、前記第一設定時間Ｔ１の間、一度も前記脱気装置３が運転されなかったことを意味する。
【００５３】
Ｓ７で、時間Ｔ４の計時が終了すると、Ｓ８へ移行して、脱気通水処理を行う。この脱気通水処理は、まず、前記第一電磁弁６，７を開き、第五設定時間Ｔ５の計時を開始する。ついで、第五設定時間Ｔ５の計時終了後、前記第二電磁弁８を閉じ、前記第一設定時間Ｔ１をリセットする。このように、脱気通水処理に先立って前記脱気装置３の運転を行うようにしているので、ＤＯの高い処理水が前記密閉配管流路１へ供給されることが防止される。
【００５４】
このＳ８の脱気通水処理により、前記密閉配管流路１の冷却水は、前記給水ポンプ２により吸引され、前記入口１０から前記往管１１内へ流入した後、前記脱気側管１５を通して前記脱気装置３へ供給されて脱気が行われる。
【００５５】
この脱気通水処理時、前記給水ポンプ２により吸引された冷却水（被脱気水）の一部が、サンプル水として前記第一検出流路２１へ供給され、被脱気水が前記第一ＤＯセンサ２２に流れる。こうして、前記脱気装置３の運転時においても被脱気水が前記第一ＤＯセンサ２２に流れるので、被脱気水のＤＯが正確に検出され、前記表示器３６にて報知される。前記第二検出流路３２へは、脱気処理された脱気水の一部が供給され、前記第二ＤＯセ
ンサ３３に脱気水が流れれて、脱気水のＤＯが検出され、前記表示器３６にて報知される。この脱気通水処理において、前記第一センサ２２の検出値に基づきＤＯ＜ＤＯ１が判定されると、第三設定時間Ｔ３がリセットされる。
【００５６】
ついで、Ｓ９へ移行して、Ｓ８の脱気通水処理により、前記第一センサ２２の検出値に基づきＤＯ＜ＤＯ２が第六設定時間Ｔ６継続して満たされるかどうかを判定する。ＹＥＳが判定，すなわち脱気処理が不要と判定して、脱気通水処理を終了して、Ｓ１０の第二バイパス通水処理を行う。
【００５７】
この第二バイパス通水処理は、前記脱気装置３側への通水を遮断して、前記バイパス流路５への通水を行う点で共通しているが、具体的な制御において、若干異なる。Ｓ１０では、まず前記第二電磁弁８を開き、第五設定時間Ｔ５をリセットする。ついで、第七設定時間Ｔ７遅れで、前記第一電磁弁６，７を閉じるとともに、前記脱気装置３を停止する。この第二バイパス通水処理において、前記第一センサ２２の検出値に基づきＤＯ＞ＤＯ２が判定されると、第六設定時間Ｔ６，第七設定時間Ｔ７がリセットされる。
【００５８】
そして、Ｓ１１において、自動運転ＯＦＦが判定されると、Ｓ１２へ移行して、自動運転の終了処理を行う。Ｓ１２では、前記第三電磁弁１７および前記第四電磁弁１９を閉じ、前記給水ポンプ２を停止し、前記脱気装置３を停止するなどの処理を行う。Ｓ１１で、自動運転ＯＦＦが判定されないと、Ｓ４へ戻り、前述のＤＯの連続報知処理と自動ＤＯ制御処理が継続して行われる。
【００５９】
この実施例１によれば、システムの管理者やメンテナンス員は、前記密閉配管流路１を流れる水のＤＯ値を前記脱気装置３の運転、停止に関係なく前記表示器３６により正確に知ることができ、システムの管理やメンテナンスに活用することができる。
【００６０】
また、この実施例１によれば、前記第一ＤＯセンサ２２により、被脱気水のＤＯを連続的に検出することができるので、前記第一ＤＯセンサ２２の検出値に基づき、前記脱気装置３の運転を適確に制御して、前記密閉配管流路１内の水のＤＯを所定範囲の値に収めることができる。
【００６１】
さらに、長期に亘り、前記脱気装置３の運転が停止されると、前記脱気装置３内のＤＯが上昇するが、この実施例１によれば、前記第一設定時間Ｔ１経過ごとに前記脱気装置３が運転されるので、ＤＯ値の過度の上昇を防止できる。
【００６２】
この発明は、前記実施例１に限定されるものではない。例えば、前記実施例１では、前記第二検出流路３２を設けているが、必要に応じて前記第二検出流路３２を設けない構成の溶存酸素濃度管理システムとすることができる。
【符号の説明】
【００６３】
１ 密閉配管流路
２ 給水ポンプ
３ 脱気装置
４ 脱気処理流路
５ バイパス流路
６ 入口側第一電磁弁（流れ制御弁手段）
８ 第二電磁弁（流れ制御弁手段）
９ 制御器（制御手段）
２２ 第一ＤＯセンサ（センサ）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉配管流路と、この密閉配管流路に両端が接続され給水ポンプおよび脱気装置を設けた脱気処理流路とを備える溶存酸素濃度管理システムにおいて、
前記脱気処理流路の被脱気水の溶存酸素濃度を検出するセンサと、
前記脱気装置と並列に接続されるバイパス流路と、
前記脱気装置および前記バイパス流路への被脱気水の流れを制御する流れ制御弁手段と、
前記脱気装置の運転を制御するとともに、前記脱気装置の運転停止時に前記バイパス流路へ被脱気水を流すように前記流れ制御弁手段を制御する制御手段とを備えた
ことを特徴とする溶存酸素濃度管理システム。
【請求項２】
前記センサの出力を報知する報知手段を備え、
前記制御手段は、前記センサの検出値を入力して、前記検出値に基づく溶存酸素濃度を前記報知手段にて報知することを特徴とする請求項１に記載の溶存酸素濃度管理システム。
【請求項３】
前記制御手段は、前記センサの検出値が第一設定値以上か、または前記脱気装置の運転停止時から設定時間が経過すると前記脱気装置を運転し、前記検出値が前記第一設定値より低い第二設定値以下となると前記脱気装置の運転を停止することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の溶存酸素濃度管理システム。
【請求項１】
密閉配管流路と、この密閉配管流路に両端が接続され給水ポンプおよび脱気装置を設けた脱気処理流路とを備える溶存酸素濃度管理システムにおいて、
前記脱気処理流路の被脱気水の溶存酸素濃度を検出するセンサと、
前記脱気装置と並列に接続されるバイパス流路と、
前記脱気装置および前記バイパス流路への被脱気水の流れを制御する流れ制御弁手段と、
前記脱気装置の運転を制御するとともに、前記脱気装置の運転停止時に前記バイパス流路へ被脱気水を流すように前記流れ制御弁手段を制御する制御手段とを備えた
ことを特徴とする溶存酸素濃度管理システム。
【請求項２】
前記センサの出力を報知する報知手段を備え、
前記制御手段は、前記センサの検出値を入力して、前記検出値に基づく溶存酸素濃度を前記報知手段にて報知することを特徴とする請求項１に記載の溶存酸素濃度管理システム。
【請求項３】
前記制御手段は、前記センサの検出値が第一設定値以上か、または前記脱気装置の運転停止時から設定時間が経過すると前記脱気装置を運転し、前記検出値が前記第一設定値より低い第二設定値以下となると前記脱気装置の運転を停止することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の溶存酸素濃度管理システム。
【図１】
【図２】
【図２】
【公開番号】特開２０１１−２５１２５（Ｐ２０１１−２５１２５Ａ）
【公開日】平成２３年２月１０日（２０１１．２．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１７１８４７（Ｐ２００９−１７１８４７）
【出願日】平成２１年７月２３日（２００９．７．２３）
【出願人】（０００１７５２７２）三浦工業株式会社 (1,055)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年２月１０日（２０１１．２．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年７月２３日（２００９．７．２３）
【出願人】（０００１７５２７２）三浦工業株式会社 (1,055)
【Ｆターム（参考）】
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