熱アシスト磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ及びハードディスク装置
【課題】光導波路からの出射光の出射位置と磁極端部とを近づけつつ、磁気記録媒体への高密度の書き込みを実現する。
【解決手段】熱アシスト磁気ヘッド21は、磁気ディスク10に対向する媒体対向面Sに露出する磁極端部340aを有する主磁極層340と、入射されたレーザ光を積層方向に偏向させる光導波路35とを備える。主磁極層340は、光導波路35によって光が偏向される側に位置している。磁極端部340aは、光導波路35によって光が偏向される側に向けて突出している。光導波路35は、媒体対向面S側において、磁極端部340aよりも突出している。
【解決手段】熱アシスト磁気ヘッド21は、磁気ディスク10に対向する媒体対向面Sに露出する磁極端部340aを有する主磁極層340と、入射されたレーザ光を積層方向に偏向させる光導波路35とを備える。主磁極層340は、光導波路35によって光が偏向される側に位置している。磁極端部340aは、光導波路35によって光が偏向される側に向けて突出している。光導波路35は、媒体対向面S側において、磁極端部340aよりも突出している。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、熱アシスト磁気記録方式により信号の書き込みを行う熱アシスト磁気ヘッド、この熱アシスト磁気ヘッドを備えたヘッドジンバルアセンブリ(HGA:Head Gimbals Assembly)、及び、HGAを備えたハードディスク装置に関する。
【背景技術】
【0002】
ハードディスク装置の高記録密度化に伴い、薄膜磁気ヘッドのさらなる性能の向上が要求されている。薄膜磁気ヘッドとしては、磁気抵抗(MR:Magneto Resistive)効果素子等の磁気検出素子と電磁コイル素子等の磁気記録素子とを積層した構造である複合型薄膜磁気ヘッドが広く用いられており、これらの素子によって磁気記録媒体である磁気ディスクにデータ信号が読み書きされる。
【0003】
一般に、磁気記録媒体は、いわば磁性微粒子が集合した不連続体であり、それぞれの磁性微粒子は単磁区構造となっている。ここで、1つの記録ビットは、複数の磁性微粒子から構成されている。従って、記録密度を高めるためには、磁性微粒子を小さくして、記録ビットの境界の凹凸を減少させなければならない。しかし、磁性微粒子を小さくすると、体積減少に伴う磁化の熱安定性の低下が問題となる。
【0004】
磁化の熱安定性の目安は、KUV/kBTで与えられる。ここで、KUは磁性微粒子の磁気異方性エネルギー、Vは1つの磁性微粒子の体積、kBはボルツマン定数、Tは絶対温度である。磁性微粒子を小さくするということは、まさにVを小さくすることであり、そのままではKUV/kBTが小さくなって熱安定性が損なわれる。この問題への対策として、同時にKUを大きくすることが考えられるが、このKUの増加は、磁気記録媒体の保磁力の増加をもたらす。これに対して、磁気ヘッドによる書き込み磁界強度は、ヘッド内の磁極を構成する軟磁性材料の飽和磁束密度でほぼ決定されてしまう。従って、保磁力がこの書き込み磁界強度の限界から決まる許容値を超えると、書き込みが不可能となってしまう。
【0005】
このような磁化の熱安定性の問題を解決する方法として、KUの大きな磁性材料を用いる一方で、書き込み磁界印加の直前に磁気記録媒体に熱を加えることによって、保磁力を小さくして書き込みを行う、いわゆる熱アシスト磁気記録方式が提案されている。この方式は、磁気ドミネント記録方式と光ドミネント記録方式とに大別される。磁気ドミネント記録方式においては、書き込みの主体は電磁コイル素子であり、光の放射径はトラック幅(記録幅)に比べて大きくなっている。一方、光ドミネント記録方式においては、書き込みの主体は光放射部であり、光の放射径はトラック幅(記録幅)とほぼ同じとなっている。すなわち、磁気ドミネント記録方式は、空間分解能を磁界に持たせているのに対し、光ドミネント記録方式は、空間分解能を光に持たせている。
【0006】
このような熱アシスト磁気ヘッド記録装置として、特許文献1〜2及び非特許文献1には、磁界を発生する磁気記録素子を備えたスライダとは離れた位置に半導体レーザ等の光源を設け、この光源からの光を光ファイバやレンズ等を介してスライダの媒体対向面まで導く構造が開示されている。
【0007】
また、特許文献3〜4には、スライダの側面に磁気記録素子及び光源を集積した熱アシスト磁気ヘッドや、スライダの媒体対向面に磁気記録素子及び光源を集積した熱アシスト磁気ヘッドが開示されている。
【0008】
また、特許文献5〜6には、電磁コイル素子に対して、磁気ヘッドの積層方向(ビット長方向)に近接した位置に光導波路を設けた熱アシスト磁気ヘッドが開示されている。この構成においては、発光素子の出射光を光導波路内に導入し、媒体対向面内にある光導波路の光出射面から出射させて、磁気記録媒体を局所的に加熱する。続いて、局所的に加熱され保磁力が低下している磁気記録媒体の局所領域に対して、電磁コイル素子によって書き込み磁界を印加して書き込みを行う。
【0009】
また、非特許文献2には、主磁極層のうち媒体対向面に露出している部分である磁極端部が、光導波路に近づく方向に突出している熱アシスト磁気ヘッドが開示されている。
【0010】
また、非特許文献3には、上記のような熱アシスト磁気記録に用いられる磁気記録媒体が開示されている。
【0011】
さらに、特許文献7には、コアを伝搬してきた光等の電磁波を、偏向構造によって、磁気ヘッド等が形成された基底部に向けて偏向させる光照射素子が開示されている。
【特許文献1】特開平10−162444号公報
【特許文献2】特開2001−255254号公報
【特許文献3】特開2004−158067号公報
【特許文献4】特開2005−004901号公報
【特許文献5】特開2005−190655号公報
【特許文献6】特開2006−185548号公報
【特許文献7】特開2006−331508号公報
【非特許文献1】Shintaro Miyanishi, et al., “Near-Field Assisted Magnetic Recording”, IEEE Transactions on Magnetics, 2005, Vol.41, No.10, pp.2817-2821
【非特許文献2】Micheal A. Seigler, et al., “Progress and Prospects in Heat Assisted Magnetic Recording”,in Optical Data Storage, OSA Technical Digest Series (CD) (Optical Society of America, 2007), paper TuA1
【非特許文献3】Jan-Ulrich Thiele, et al., “Magnetic and Structural Properties of FePt-FeRh Exchange Spring Films for Thermally Assisted Magnetic Recording Media”, IEEE Transactions on Magnetics, 2004, Vol.40, No.4, p.2537
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0012】
ところで、光を照射することで磁気記録媒体を加熱し、磁気記録媒体の保磁力を低下させた場合でも、時間の経過に伴い磁気記録媒体が冷却され、磁気記録媒体の保磁力が元に戻ってしまう。そのため、光導波路からの出射光の出射位置と磁極端部とができる限り近くなるようにして、磁気記録媒体を加熱した直後に、加熱された当該部分の磁気記録を行うことが望ましい。ここで、上記非特許文献2に記載された発明のように磁極端部を光導波路に近づく方向に突出させたり、上記特許文献7に記載された発明のように光導波路によって光を偏向させたりすることは、光導波路からの出射光の出射位置と磁極端部とを近づけるための有効な手段となる。
【0013】
しかしながら、これらの手段によって光導波路からの出射光の出射位置と磁極端部とを更に近づけようとすると、光導波路によって偏向された光の一部が磁極端部に照射されてしまう虞がある。このとき、磁極端部が加熱されてその保磁力が低下してしまい、磁気記録媒体への書き込みが良好に行えなくなるという問題が生じてしまう。
【0014】
そこで、本発明は、光導波路からの出射光の出射位置と磁極端部とを近づけつつ、磁気記録媒体への高密度の書き込みを実現することが可能な熱アシスト磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ及びハードディスク装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0015】
本発明に係る熱アシスト磁気ヘッドは、磁気記録媒体に対向する媒体対向面に露出する磁極端部を有する主磁極層と、一の層と、当該一の層と隣り合うと共に当該一の層よりも屈折率が高い他の層とを有し、入射された熱アシスト用の光を積層方向に偏向させる光導波路とを備え、主磁極層は、光導波路によって光が偏向される側に位置し、磁極端部は、光導波路によって光が偏向される側に向けて突出しており、光導波路は、媒体対向面側において、磁極端部よりも突出している。
【0016】
本発明に係る熱アシスト磁気ヘッドでは、主磁極層が光導波路によって光が偏向される側に位置しており、磁極端部が光導波路によって光が偏向される側に向けて突出している。そのため、従来の熱アシスト磁気ヘッドと比較して、光導波路からの出射光の出射位置と磁極端部とがより近づいており、磁気記録媒体を加熱した直後に、加熱された当該部分の磁気記録を行うことができるようになっている。そして、本発明に係る熱アシスト磁気ヘッドでは、光導波路が媒体対向面側において磁極端部よりも突出している。そのため、従来の熱アシスト磁気ヘッドのように光導波路の光出射面と媒体対向面とが同一面であった場合と比較して、光の進行に伴い光が主磁極(磁極端部)に近づく方向に偏向されたとしても、光が磁極端部の近傍を通過する際の光と磁極端部との距離を離間させることができるようになっている。その結果、磁極端部が加熱されることによる保磁力の低下が極めて生じにくくなっているので、本発明に係る熱アシスト磁気ヘッドによれば、光導波路からの出射光の出射位置と磁極端部とを近づけつつ、磁気記録媒体への高密度の書き込みを実現することが可能となる。
【0017】
さらに、本発明に係る熱アシスト磁気ヘッドでは、光導波路が媒体対向面側において磁極端部よりも突出しているので、磁気記録媒体からの浮上量を同一とした場合に、従来の熱アシスト磁気ヘッドよりも光導波路の光出射面が磁気記録媒体に近づくこととなる。そのため、光導波路からの出射光の発光強度がより大きい状態で出射光が磁気記録媒体に照射されるようになる。その結果、本発明に係る熱アシスト磁気ヘッドによれば、磁気記録媒体の加熱不足が効果的に防止され、磁気記録媒体への良好な書き込みを行うことが可能となっている。
【0018】
好ましくは、化学機械研磨にて用いられるアルカリ性の研磨溶剤に対して、光導波路のエッチングレートが、主磁極層及び主磁極層の周りを取り囲むように設けられた絶縁層のエッチングレートよりも小さい。このようにすると、熱アシスト磁気ヘッドの製造過程において、媒体対向面を化学機械研磨によってラッピング加工することで、熱アシスト磁気ヘッドを、光導波路が媒体対向面側において磁極端部よりも突出した構造とすることが可能となる。
【0019】
より好ましくは、光導波路は、酸化タンタル、酸化チタン、酸化シリコン等の酸化物、窒化タンタル、窒化チタン、窒化シリコン等の窒化物又は酸窒化タンタル、酸窒化チタン、酸窒化シリコン等の酸窒化物によって形成されており、特に好ましくは、酸化タンタル、酸化チタン、酸化シリコン、窒化タンタル、窒化チタン、窒化シリコン、酸窒化タンタル、酸窒化チタン、酸窒化シリコン又はこれらを主成分とする材料によって形成されている。なお、光導波路が窒化シリコン(SiN)や酸窒化シリコン(SiON)によって形成されている場合には、窒化シリコンや酸窒化シリコンの耐アルカリ性を向上させるため、ZrO2、SnO2、Cr2O3又はLa2O3によって3重量%〜15重量%程度置換したものを用いることが好ましい。
【0020】
好ましくは、光導波路には、媒体対向面の側の端面に近接場光発光部が設けられている。このようにすると、近接場光によって磁気記録媒体を局所的に加熱することが可能となる。
【0021】
好ましくは、磁極端部は、光導波路に接触している。このようにすると、光導波路からの出射光の出射位置と磁極端部とをさらに近づけることが可能となる。
【0022】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、上記のいずれかの熱アシスト磁気ヘッドと、熱アシスト磁気ヘッドを支持するサスペンションとを備える。
【0023】
また、本発明に係るハードディスク装置は、上記のヘッドジンバルアセンブリと、媒体対向面に対向する磁気記録媒体とを備える。
【発明の効果】
【0024】
本発明によれば、光導波路からの出射光の出射位置と磁極端部とを近づけつつ、磁気記録媒体への高密度の書き込みを実現することが可能な熱アシスト磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ及びハードディスク装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0025】
本発明の好適な実施形態について、図面を参照して説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。また、図面中の構成要素内及び構成要素間の寸法比は、図面の見やすさのため、それぞれ任意となっている。
【0026】
[1]ハードディスク装置の構成
まず、図1を参照して、ハードディスク装置1の構成について説明する。ハードディスク装置1は、スピンドルモータ11の回転軸の周りを回転する複数の磁気ディスク(磁気記録媒体)10と、熱アシスト磁気ヘッド21をトラック上に位置決めするためのアセンブリキャリッジ装置12と、この熱アシスト磁気ヘッド21による書き込み動作及び読み出し動作を制御すると共に、熱アシスト磁気記録用のレーザ光を発光させる光源であるレーザダイオード40を制御するための記録再生及び発光制御回路13とを備えている。
【0027】
アセンブリキャリッジ装置12には、複数の駆動アーム14が設けられている。これらの駆動アーム14は、ボイスコイルモータ(VCM:Voice Coil Motor)15によってピボットベアリング軸16を中心に揺動可能であり、ピボットベアリング軸16に沿った方向に積層されている。各駆動アーム14の先端部には、ヘッドジンバルアセンブリ(HGA)17が取り付けられている。各HGA17には、熱アシスト磁気ヘッド21が、各磁気ディスク10の表面に対向するように設けられている。熱アシスト磁気ヘッド21において、磁気ディスク10の表面に対向する面が媒体対向面(エアベアリング面(ABS:Air Bearing Surface)ともいう)Sである。なお、磁気ディスク10、駆動アーム14、HGA17及び熱アシスト磁気ヘッド21は、単数であってもよい。
【0028】
[2]ヘッドジンバルアセンブリの構成
続いて、図2を参照して、HGA17の構成について説明する。HGA17は、サスペンション20の先端部に熱アシスト磁気ヘッド21が固着されて構成されている。サスペンション20は、主として、ロードビーム200と、ロードビーム200上に固着されて支持された、弾性を有するフレクシャ201と、ロードビーム200の基部に設けられたベースプレート202と、フレクシャ201上に形成され、リード導体及びリード導体の両端に電気的に接続された接続パッドからなる配線部材203と、フレクシャ201の先端に板バネ状に形成されたタング部204とによって構成されている。なお、HGA17におけるサスペンション20は、上記した構成に限定されるものでない。また、図示されていないが、サスペンション20の途中にヘッド駆動用ICチップを装着してもよい。
【0029】
[3]熱アシスト磁気ヘッドの構成
続いて、図3〜図9を参照して、熱アシスト磁気ヘッド21の構成について説明する。熱アシスト磁気ヘッド21は、スライダ基板220及びデータ信号の書き込み及び読み出しを行う磁気ヘッド部32を有するスライダ22と、光源支持基板230及び熱アシスト磁気記録用の光源となるレーザダイオード(発光素子)40を有する光源ユニット23とを備える。スライダ基板220と光源支持基板230とは、スライダ基板220の背面2201と光源支持基板230の接着面2300とが接面された状態で、UV硬化型エポキシ樹脂やUV硬化型アクリル樹脂等の接着剤44によって固着されている(図4参照)。
【0030】
ここで、スライダ基板220の背面2201は、スライダ22の媒体対向面Sとは反対側に位置する面である。また、光源支持基板230の底面2301は、エポキシ樹脂等の接着剤によって、フレクシャ201のタング部204に固着されている。
【0031】
[3.1]スライダ
スライダ22が有するスライダ基板220は、図3に示されるように、板状を呈している。スライダ基板220の媒体対向面Sは、熱アシスト磁気ヘッド21が適切な浮上量を得ることができるよう、所定形状に加工されている。スライダ基板220は、導電性のアルティック(Al2O3・TiC)等によって形成することができる。
【0032】
スライダ22が有する磁気ヘッド部32は、図3及び図4に示されるように、スライダ基板220の媒体対向面Sに対して略垂直な側面である集積面2202に設けられている。磁気ヘッド部32は、MR素子332を有する読取ヘッド部33と、書き込み用の誘導型の電磁変換素子としての記録ヘッド部34と、読取ヘッド部33と記録ヘッド部34との間を通して設けられている光導波路35と、磁気ディスク10の記録層部分を加熱するための近接場光を発生させる近接場光発生部(プラズモン・プローブ)36と、これらの読取ヘッド部33、記録ヘッド部34、光導波路35及び近接場光発生部36を覆うように集積面上に形成された絶縁層38とを備える。
【0033】
読取ヘッド部33は、図4に示されるように、スライダ基板220上に、下部電極を兼ねる下部磁気シールド層330と、MR素子332と、上部電極を兼ねる上部磁気シールド層332とが、この順で積層されて構成されている。また、MR素子332のトラック幅方向の両側には、絶縁層38を介して、硬磁性材料からなる一対のバイアス印加層HM(図7参照)が形成されている。
【0034】
下部磁気シールド層330及び上部磁気シールド層334は、NiFe、CoFeNi、CoFe、FeN、FeZrN等の軟磁性材料からなり、不要な外部磁界をMR素子332が感知するのを防止する。下部磁気シールド層330及び上部磁気シールド層334は、フレームめっき法を含むパターンめっき法等を用いて形成することができ、これらの厚さとしては、例えば0.5μm〜3μm程度に設定することができる。
【0035】
MR素子332は、フリー層を含む多層構造であり(図示せず)、媒体対向面Sに露出するように媒体対向面S側に配置されている。MR素子332は、磁気抵抗効果を利用して、磁気ディスク10から入力される磁界の変化を検出し、磁気ディスク10に記録されている磁気情報を読出す。なお、MR素子332の代わりに、磁気抵抗変化率の高い巨大磁気抵抗効果を利用したGMR(Giant Magneto Resistive)素子、異方性磁気抵抗効果を利用したAMR(Anisotropy Magneto Resistive)素子、トンネル接合で生じる磁気抵抗効果を利用したTMR(Tunnel Magneto Resistive)素子、CPP(Current Perpendicular to Plane)−GMR素子等を利用してもよい。
【0036】
記録ヘッド部34は、主磁極層340と、ギャップ層341aと、薄膜コイル絶縁層341bと、薄膜コイル342と、補助磁極層344とを有している。主磁極層340は、薄膜コイル342によって誘導された磁束を、書き込みがなされる磁気ディスク10の記録層まで収束させながら導くための導磁路であり、薄膜コイル342の螺旋中心から媒体対向面Sに向かうように延びている。主磁極層340は、媒体対向面S側に位置すると共に媒体対向面Sに露出する磁極端部340aを含んでいる。薄膜コイル342に通電すると、磁界が主磁極層340の磁極端部340aまで導かれ、その先端から書き込み磁界が発生することとなる。
【0037】
磁極端部340aの光導波路35側の面は、図4〜図6に示されるように、光導波路35に接している。ここで、媒体対向面Sに対して奥行方向において磁極端部340aが光導波路35に接触する長さLとしては、0.1μm〜2.0μmであると好ましい。
【0038】
磁極端部340aのトラック幅方向の幅及び積層方向(図4の左右方向)の厚みは、他の部分に比べて小さくすることが好ましい。この結果、高記録密度化に対応した微細で強い書き込み磁界を発生可能となる。具体的には、図5に示されるように、リーディング側すなわちスライダ基板220側の辺の長さがトレーリング側の辺の長さよりも短い逆台形となるように磁極端部340aの先端を先細にすることが好ましい。すなわち、磁極端部340aの端面には、ロータリーアクチュエータでの駆動により発生するスキュー角の影響によって隣接トラックに不要な書き込み等を及ぼさないように、ベベル角θが付けられている。ベベル角θの大きさは、例えば、15°程度である。書き込み磁界が主に発生するのはトレーリング側の長辺近傍であり、磁気ドミネント記録方式の場合にはこの長辺の長さによって書き込みトラックの幅が決定される。
【0039】
ここで、主磁極層340は、Ni、Fe及びCoのうちいずれか二つの元素若しくは三つの元素からなる合金、又は、これらを主成分として所定の元素が添加された合金等によって構成されていると好ましい。主磁極層340は、フレームめっき法、スパッタリング法等を用いて形成することができる。磁極端部340aの厚さとしては、例えば0.01μm〜0.5μm程度に設定することができ、主磁極層340の磁極端部340a以外の部分における厚さとしては、例えば0.5μm〜3.0μm程度に設定することができる。トラック幅は、例えば100nm程度に設定することができる。
【0040】
補助磁極層344は、媒体対向面Sと離れた側の端部344aにおいて主磁極層340と磁気的に接続されている。補助磁極層344の媒体対向面S側の端部は、補助磁極層344の他の部分よりも層断面が広いトレーリングシールド部を形成している。補助磁極層344の媒体対向面S側の端部は、媒体対向面Sに露出している。また、ギャップ層341a及び薄膜コイル絶縁層341bが主磁極層340と補助磁極層344との間に介在しているため、補助磁極層344の媒体対向面S側の端部は、所定の間隔を有して主磁極層340の磁極端部340aと対向している。
【0041】
補助磁極層344は、Ni、Fe及びCoのうちいずれか二つの元素若しくは三つの元素からなる合金、又は、これらを主成分として所定の元素が添加された合金等によって構成されていると好ましい。補助磁極層344は、フレームめっき法、スパッタリング法等を用いて形成することができる。補助磁極層344の厚さとしては、例えば0.5μm〜5μm程度に設定することができる。
【0042】
ギャップ層341aは、主磁極層340と薄膜コイル342とを電気的に絶縁するため、Al2O3やAlN等によって構成されており、スパッタリング法、CVD法等を用いて形成することができる。ギャップ層341aの厚さとしては、例えば0.01μm〜0.5μm程度に設定することができる。
【0043】
薄膜コイル絶縁層341bは、薄膜コイル342と補助磁極層344とを電気的に絶縁するため、アルミナや有機絶縁材料であるレジスト等によって構成されている。薄膜コイル絶縁層341bの厚さとしては、例えば0.1μm〜5μm程度に設定することができる。
【0044】
薄膜コイル342は、補助磁極層344の端部344aの周りに導線が巻回されたスパイラル状に構成されている。薄膜コイル342は、Cu等によって構成することができる。薄膜コイル342の厚さとしては、例えば0.5μm〜3μm程度に設定することができる。
【0045】
光導波路35は、図4に示されるように、読取ヘッド部33と記録ヘッド部34との間に配置されており、集積面2202と平行となるように磁気ヘッド部32の媒体対向面Sから磁気ヘッド部32の媒体対向面Sとは反対側の面32aまで延在している。より詳細には、図4に示されるように、媒体対向面Sにおいて、光導波路35の媒体対向面S側の端部が磁極端部340aよりも突出している。この光導波路35の媒体対向面S側の端面は、レーザダイオード40によるレーザ光が出射される光出射面353となっており、光出射面353とは反対側の端面は、レーザダイオード40によるレーザ光が入射される光入射面354となっている(図4及び図7参照)。
【0046】
光導波路35は、図7に示されるように、その大部分が略矩形の板状体を呈しているが、その媒体対向面S側の端部のうちトラック幅方向の両角部分が面取りされている。そのため、光導波路35の媒体対向面Sの端部は、媒体対向面S側に向かうにつれてトラック幅方向における幅が小さくなっている。これにより、光導波路35では、トラック幅方向において中央部分にレーザダイオード40によるレーザ光を集光することができるようになっている。なお、面32aは、媒体対向面Sと略平行とされている。
【0047】
光導波路35は、図6に示されるように、複数のコア35A1〜35A6,35B1〜35B6を有しており、コア35A1〜35A6とコア35B1〜35B6とは、交互に積層されている。コア35A1〜35A6は、SiONによって構成され、屈折率が1.80程度となるように設定されている。また、コア35A1〜35A6の厚さは、それぞれ400nm程度、300nm程度、250nm程度、200nm程度、150nm程度、100nm程度となるように設定されている。すなわち、コア35A1〜35A6は、記録ヘッド部34から読取ヘッド部33へと厚さの大きなものから順に並んでいる。
【0048】
一方、内部コア35B1〜35B6は、SiONによって構成され、屈折率がコア35A1〜35A6よりも低い1.72程度となるように設定されている。また、コア35B1〜35B6の厚さは、それぞれ50nm程度、100nm程度、150nm程度、200nm程度、250nm程度、350nm程度となるように設定されている。すなわち、コア35B1〜35B6は、記録ヘッド部34から読取ヘッド部33へと厚さの小さなものから順に並んでいる。
【0049】
このような構成を有する光導波路35にレーザダイオード40からレーザ光が入射すると、レーザ光は、図8に示されるように、レーザ光が進行するにつれて積層方向すなわち読取ヘッド部33から記録ヘッド部34へと向かう方向に偏向する。これは、このような光導波路35の構造は、屈折率が読取ヘッド部33から記録ヘッド部34へと向かうにつれて高くなっている構造と同視でき、光は屈折率の低い方から高い方に偏向する性質を有しているためである。従って、主磁極層340は光導波路35によってレーザ光が偏向される側に位置しており、磁極端部340aは光導波路35によってレーザ光が偏向される側に向けて突出していることとなる(特に図5参照)。
【0050】
また、このような構成を有する光導波路35にレーザダイオード40からレーザ光が入射すると、図8の(a)に示されるように、レーザ光の強度が周期的に変化する。そのため、光導波路35の光出射面353においてレーザ光の強度が最も大きくなるように光導波路35の長さを決定することが好ましい。
【0051】
図4に戻って、光導波路35は、光出射面353及び光入射面354、並びに、外部に露出している部分(媒体対向面S側において磁極端部340aよりも突出している部分)及び磁極端部340aと接している部分を除き、絶縁層38及びギャップ層341aによって覆われている。絶縁層38及びギャップ層341aは、光導波路35を構成しているコア35A1〜35A6,35B1〜35B6よりも屈折率が低い材料であるAl2O3やAlN等によって構成され、光導波路35のコア35A1〜35A6,35B1〜35B6に対するクラッドとして機能する。
【0052】
なお、光導波路35を構成する材料としては、化学機械研磨(CMP:Chemical Mechanical Polishing)にて用いられるアルカリ性の研磨溶剤に対して、そのエッチングレートが、他の構成要素のエッチングレートよりも小さいものであると好ましい。具体的には、光導波路35を構成する材料として、上記のSiONの他、酸化タンタル、酸化チタン、酸化シリコン、窒化タンタル、窒化チタン、窒化シリコン、酸窒化タンタル、酸窒化チタン又はこれらを主成分とする材料等を用いることができ、これらが酸化ニオブ、酸化ビスマス、酸化アルミ、酸化シリコン等の添加物を含んでいてもよい。すなわち、これらの材料のアルカリ性の研磨溶剤に対するエッチングレートは、絶縁層38及びギャップ層341aを構成しているAl2O3やAlN等のアルカリ性の研磨溶剤に対するエッチングレートよりも小さい。なお、光導波路35が窒化シリコン(SiN)や酸窒化シリコン(SiON)によって形成されている場合には、窒化シリコンや酸窒化シリコンの耐アルカリ性を向上させるため、ZrO2、SnO2、Cr2O3又はLa2O3によって3重量%〜15重量%程度置換したものを用いることが好ましい。また、主磁極層340や補助磁極層344を構成する材料は金属であり、金属は柔らかいので、光導波路35のアルカリ性の研磨溶剤に対するエッチングレートは、主磁極層340や補助磁極層344のアルカリ性の研磨溶剤に対するエッチングレートよりも小さい。
【0053】
読取ヘッド部33と光導波路35との間には、下部シールド層330及び上部シールド層334と同様の材料によって形成された素子間シールド層148が配置されている。素子間シールド層148は、記録ヘッド部34において発生される磁界をMR素子332が感知しないように遮断して、MR素子332による読み出しの際の外来ノイズを抑制する役割を果たすものである。なお、読取ヘッド部33と光導波路35との間に、更に、バッキングコイル部が形成されていてもよい。
【0054】
近接場光発生部36は、図4〜図6に示されるように、光導波路35の光出射面353に配置された板状部材である。近接場光発生部36は、光出射面353のうち強度の大きなレーザ光が出射される部分(図6及び図8ではコア35A1の光出射面353における略中央部分)に位置しており、その端面が光出射面353に露出するようにコア35A1内に埋設されている。
【0055】
近接場光発生部36は、図6等に示されるように、媒体対向面Sから見て三角形状を呈しており、導電材料(例えば、Au、Ag、Al、Cu、Pd、Pt、Rn若しくはIr、又は、これらの元素を組み合わせた合金)によって構成されている。近接場光発生部36の底辺36dは、スライダ基板220の集積面2202と平行、すなわちトラック幅方向と平行に配置されており、近接場光発生部36の底辺36dと向き合う頂点36vは、底辺36dよりも記録ヘッド部34の主磁極層340側に配置されている。ここで、積層方向における近接場光発生部36の頂点36vと磁極端部340aとの直線距離Hとしては、50nm〜300nmであると好ましい。また、近接場光発生部36の形状としては、底辺36dの両端の二つの底角が共に等しい二等辺三角形であると好ましい。
【0056】
このような近接場光発生部36にレーザダイオード40からのレーザ光が照射されると、近接場光発生部36を構成する金属内の電子がプラズマ振動し、その頂点36v近傍において電界の集中が生じて、その頂点36v近傍から磁気ディスク10の記録領域R(図7参照)に向けて近接場光が発生する。この近接場光の拡がりは、近接場光発生部36の頂点36v近傍の半径程度となるので、この頂点36vの半径をトラック幅以下とすれば、擬似的に出射光を回折限界以下にまで絞り込むことができる。
【0057】
図3に戻って、スライダ22が有する磁気ヘッド部32は、読取ヘッド部33の入出力端子にそれぞれ接続された一対の信号端子用の電極パッド371(図7も参照)と、記録ヘッド部34の両端にそれぞれ接続された一対の信号電極用の電極パッド373(図7も参照)と、ビアホール375aを介してスライダ基板220と電気的に接続されたグランド用の電極パッド375(図4も参照)とを更に備えている。これらの電極パッド371,373,375は、絶縁層38の露出面上に形成されている。なお、電極パッド375は、フレクシャ201の電極パッド274とボンディングワイヤ(図示せず)によって接続されている。そのため、電極パッド274によって、スライダ基板220の電位が例えばグランド電位に制御されることとなる。
【0058】
[3.2]光源ユニット
光源ユニット23が有する光源支持基板230は、図3に示されるように、板状を呈している。光源支持基板230は、図4に示されるように、アルミナ等によって形成された断熱層230aと、導電性のアルティック(Al2O3・TiC)等によって形成された導電体層230bとを有している。断熱層230aは、スライダ基板220の背面2201と接着されており、この面が光源支持基板230の接着面2300とされている。この接着面2300と隣り合う側面である素子形成面2303上には、アルミナ等の絶縁材料によって形成された絶縁層41が設けられている。
【0059】
絶縁層41の表面で且つ媒体対向面Sと交差する面411上(スライダ基板220の集積面2202と平行な面411上)には、レーザダイオード40の駆動用の電極パッド47,48が形成されている(図3参照)。電極パッド47は、絶縁層41の面411の中央部においてトラック幅方向に延在している第1部分47aと、第1部分47aの端部から光源支持基板230の底面2301に向けて延在している第2部分47bとを有している。一方、電極パッド48は、絶縁層41の面411において電極パッド47と離間した位置に形成されており、絶縁層41の面411の中央部においてトラック幅方向に延在している第1部分48aと、第1部分48aの端部から光源支持基板230の底面2301に向けて延在している第2部分48bとを有している。そして、電極パッド47,48は、フレクシャ201の電極パッド247、248とリフロー半田によってそれぞれ電気的に接続されている。
【0060】
また、電極パッド47は、図4に示されるように、絶縁層41内に設けられたビアホール47cによって光源支持基板230の導電体層230bと電気的に接続されている。そのため、電極パッド47によって、導電体層230bの電位を例えばグランド電位に制御することが可能となっている。なお、この電極パッド47は、ビアホール47cと共に、レーザダイオード40駆動時の熱を導電体層230b側に逃がすための熱伝導路としても機能する。
【0061】
電極パッド47、48は、例えば、TaやTi等によって形成された下地層と、当該下地層上に真空蒸着法やスパッタリング法等を用いて形成されたAuやCu等の層とによって構成することができる。TaやTi等の下地層の厚さとしては、例えば10nm程度に設定することができ、AuやCu等の層の厚さとしては、例えば1μm〜3μm程度に設定することができる。
【0062】
光源ユニット23が有するレーザダイオード40は、図4に示されるように、Au−Sn等の導電性の半田材料からなる半田層42によって電極パッド47上に固着され、電極パッド47と電気的に接続されている。このとき、電極パッド47の一部は、レーザダイオード40によって覆われている。
【0063】
レーザダイオード40は、通常、光学系ディスクストレージに使用されるものと同じ構造を有していてよく、例えば、図9に示されるように、n電極40aと、n−GaAs基板40bと、n−InGaAlPクラッド層40cと、第1のInGaAlPガイド層40dと、多重量子井戸(InGaP/InGaAlP)等からなる活性層40eと、第2のInGaAlPガイド層40fと、p−InGaAlPクラッド層40gと、*n−GaAs電流阻止層40hと、p−GaAsコンタクト層40iと、p電極40jとが順次積層された構造を有する。これらの多層構造の劈開面の前後には、全反射による発振を励起するためのSiO2やAl2O3等からなる反射膜50,51が成膜されている。そして、一方の反射膜50には活性層40eに対応する位置に開口50aが設けられており、反射膜50が成膜されている面のうち開口50aに対応する領域が、レーザ光が放射される出光端400とされている。このようなレーザダイオード40においては、膜厚方向に電圧が印加されることにより、出光端400からレーザ光が出射される。
【0064】
放射されるレーザ光の波長λLは、例えば600nm〜650nm程度である。ただし、近接場光発生部36の金属材料に応じた適切な励起波長が存在することに留意しなければならない。例えば、近接場光発生部36としてAuを用いる場合、レーザ光の波長λLは、600nm近傍であることが好ましい。
【0065】
レーザダイオード40の大きさとしては、例えば、幅W40が200μm〜350μm、長さL40が250μm〜600μm、厚みT40が60μm〜200μm程度に設定することができる。ここで、レーザダイオード40の幅W40は、電流阻止層40hの対向端の間隔を下限として、例えば、100μm程度までに小さくすることができる。ただし、レーザダイオード40の長さは、電流密度と関係する量であり、それほど小さくすることはできない。いずれにしても、レーザダイオード40に関しては、搭載の際のハンドリングを考慮して、相当の大きさが確保されることが好ましい。
【0066】
また、レーザダイオード40は、ハードディスク装置1内の電源を使用することによって駆動することができる。実際、ハードディスク装置1は、通常、例えば2V程度の電源を備えており、この電圧はレーザ発振動作に十分な大きさである。また、レーザダイオード40の消費電力も、例えば、数十mW程度であるので、ハードディスク装置1内の電源で十分に賄うことができる。
【0067】
レーザダイオード40のn電極40aは、AuSn等の半田層42によって電極パッド47に固定されている。ここで、レーザダイオード40の出光端(光出射面)400は、図4の下向き(−Z方向)となっており(接着面2300と平行となっており)、光導波路35の光入射面354と対向している。実際にレーザダイオード40を固定する際には、例えば、電極パッド47の表面に厚さ0.7μm〜1μm程度のAuSn合金の蒸着膜を成膜し、レーザダイオード40を乗せた後、熱風ブロア下でホットプレート等によって200℃〜300℃程度までの加熱を行う。
【0068】
また、レーザダイオード40のp電極40jは、ボンディングワイヤによって電極パッド48と電気的に接続されている。なお、n電極40aがボンディングワイヤによって電極パッド48と電気的に接続され、p電極40jが半田層42によって電極パッド47に固定されるようにしてもよい。さらに、レーザダイオード40の光源支持基板230と接続される側を段差状に加工することによって、ボンディングワイヤを用いないで電極パッド48と電気的に接続することも可能である。
【0069】
ここで、上述したAuSn合金による半田付けをする場合、光源ユニット23を例えば300℃前後の高温に加熱することになるが、本実施形態に係る熱アシスト磁気ヘッド21によれば、この光源ユニット23がスライダ22とは別に製造されるため、スライダ22の磁気ヘッド部32がこの高温の悪影響を受けずに済むようになっている。
【0070】
なお、レーザダイオード40及び電極パッド47,48の構成は、上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、レーザダイオード40は、GaAlAs系等、他の半導体材料を用いた他の構成のものであってもよい。また、レーザダイオード40と電極との半田付けに、他のろう材を用いて行うことも可能である。さらに、レーザダイオード40を、光源支持基板230上に直接半導体材料をエピタキシャル成長させることによって形成してもよい。
【0071】
[4]熱アシスト磁気ヘッドの回路構成
続いて、図10を参照して、熱アシスト磁気ヘッド21の回路構成について説明する。
【0072】
配線部材203を構成する配線の1つは、電極パッド247及び電極パッド47を介してレーザダイオード40のカソードに電気的に接続されており、別の配線は電極パッド248及び電極パッド48を介してレーザダイオード40のアノードに電気的に接続されている。電極パッド247,248間に駆動電流を供給するとレーザダイオード40が発光する。この光は、光導波路35及び媒体対向面Sを介して磁気ディスク10の記録領域R(図7参照)に照射される。
【0073】
配線部材203を構成する別の一対の配線は、電極パッド237、ボンディングワイヤBW及び電極パッド373を介して、記録ヘッド部34の両端にそれぞれ接続されている。一対の電極パッド237間に電圧を印加すると、記録ヘッド部34に通電が行われ、書き込み磁界が発生する。熱アシスト磁気ヘッド21では、レーザダイオード40から出射されたレーザ光は、光導波路35の光入射面354に入射して、媒体対向面Sに設けられた光出射面353から出射し、磁気ディスク10の記録領域R(図7参照)に照射される。このとき、媒体対向面Sに対向する磁気ディスク10の記録領域Rの温度が上昇し、記録領域Rの保磁力が一時的に低下する。従って、この保磁力の低下期間内に記録ヘッド部34に通電を行い、書き込み磁界を発生させることで、記録領域Rに情報を書き込むことができる。
【0074】
配線部材203を構成する別の一対の配線は、電極パッド238、ボンディングワイヤBW及び電極パッド371を介して読取ヘッド部33の両端にそれぞれ接続されている。一対の電極パッド238に電圧を印加すると読取ヘッド部33にセンス電流が流れる。記録領域Rに書き込まれた情報は、読取ヘッド部33にセンス電流を流すことで読み出すことができる。
【0075】
[5]熱アシスト磁気ヘッドの製造方法
続いて、図11を参照して、熱アシスト磁気ヘッド21の製造方法について説明する。
【0076】
まず、スライダ基板220上に、読取ヘッド部33、光導波路35及び記録ヘッド部34を順次形成し、スライダ22の前駆体22aを形成する。そして、化学機械研磨によって、MR素子332及び近接場光発生部36の高さ(ハイト)を調整するためのラッピング加工(研磨加工)を行う(図11の(a)参照)。このとき、媒体対向面S側となるラッピング面から媒体対向面Sに対して奥行方向に向けてラッピングを行い、MR素子332の高さ及び近接場光発生部36の高さが所定の大きさになったときにラッピングが終了する。
【0077】
ここで、化学機械研磨によるラッピング加工の際には、KOH、NaOH、NH4OH等のアルカリ性の水素イオン調整剤が添加された研磨溶剤(研磨用スラリー)が一般に用いられており、本実施形態に係る熱アシスト磁気ヘッド21では、アルカリ性の研磨溶剤に対して、光導波路35のエッチングレートが、他の構成要素のエッチングレートよりも小さくなっている。そのため、ラッピングの終了時には、媒体対向面S側において、光導波路35の媒体対向面S側の端部が磁極端部340aよりも突出した状態となる(図11の(b)参照)。
【0078】
[6]作用
続いて、本実施形態に係る熱アシスト磁気ヘッド21の作用について説明する。
【0079】
書き込み又は読み出し動作時には、熱アシスト磁気ヘッド21は、回転する磁気ディスク10の表面上において流体力学的に所定の浮上量をもって浮上する。この際、読取ヘッド部33及び記録ヘッド部34の媒体対向面S側の端が磁気ディスク10と微小なスペーシングを介して対向することによって、データ信号磁界の感受による読み出しとデータ信号磁界の印加による書き込みとが行われる。
【0080】
ここで、データ信号の書き込みの際、光源ユニット23から光導波路35を通って伝播してきたレーザ光が近接場光発生部36に到達し、近接場光発生部36から近接場光が発生する。この近接場光によって、熱アシスト磁気記録を行うことが可能となる。
【0081】
そして、熱アシスト磁気記録方式を採用することにより、高保磁力の磁気ディスク10に垂直磁気記録用の薄膜磁気ヘッドを用いて書き込みを行い、記録ビットを極微細化することによって、例えば、1Tbits/inch2級の記録密度を達成することも可能となり得る。
【0082】
また、以上のような本実施形態においては、主磁極層340が光導波路35によってレーザ光が偏向される側に位置しており、磁極端部340aが光導波路35によってレーザ光が偏向される側に向けて突出している。そのため、従来の熱アシスト磁気ヘッドと比較して、光導波路35からの出射光の出射位置と磁極端部340aとがより近づいており(図5参照)、磁気ディスク10の記録領域Rを加熱した直後に、加熱された当該記録領域Rの磁気記録を行うことができるようになっている。そして、本実施形態においては、光導波路35が媒体対向面S側において磁極端部340aよりも突出している。そのため、従来の熱アシスト磁気ヘッドのように光導波路の光出射面と媒体対向面とが同一面であった場合と比較して、レーザ光の進行に伴い光が主磁極340(磁極端部340a)に近づく方向に偏向されたとしても、レーザ光が磁極端部340aの近傍を通過する際のレーザ光と磁極端部340aとの距離を離間させることができるようになっている。その結果、磁極端部340aが加熱されることによる保磁力の低下が極めて生じにくくなっているので、本実施形態に係る熱アシスト磁気ヘッド21によれば、光導波路35からの出射光の出射位置と磁極端部340aとを近づけつつ、磁気ディスク10への高密度の書き込みを実現することが可能となる。
【0083】
また、本実施形態においては、光導波路35が媒体対向面S側において磁極端部340aよりも突出しているので、磁気ディスク10からの浮上量を同一とした場合に、従来の熱アシスト磁気ヘッドよりも光導波路35の光出射面353が磁気ディスク10に近づくこととなる。そのため、光導波路35からの出射光の発光強度がより大きい状態で出射光が磁気ディスク10に照射されるようになる。その結果、本実施形態に係る熱アシスト磁気ヘッド21によれば、磁気ディスク10の加熱不足が効果的に防止され、磁気ディスク10への良好な書き込みを行うことが可能となっている。
【0084】
また、本実施形態においては、化学機械研磨にて用いられるアルカリ性の研磨溶剤に対して、光導波路35のエッチングレートが、絶縁層38、ギャップ層341a、主磁極層340等のエッチングレートよりも小さくなっている。そのため、熱アシスト磁気ヘッド21の製造過程において、媒体対向面Sを化学機械研磨によってラッピング加工することで、熱アシスト磁気ヘッド21を光導波路35が媒体対向面S側において磁極端部340aよりも突出した構造とすることが可能となる。
【0085】
また、本実施形態においては、磁極端部340aの光導波路35側の面が光導波路35に接している。そのため、光導波路35からの出射光の出射位置と磁極端部340aとをさらに近づけることが可能となっている。
【0086】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態では近接場光発生部36が三角形状を呈していたが、頂点36vが平らになった台形状としてもよく、また、三角形状又は台形状の板を、その頂点同士または短辺同士が所定距離離間して対向するように一対配置した、いわゆる「蝶ネクタイ型」構造でも実施可能である。この「蝶ネクタイ型」構造においては、その中心部に非常に強い電界の集中が発生する。
【0087】
また、近接場光発生部36として、光導波路35の媒体対向面S側にレーザ光の波長よりも小さい微小な開口を設けてもよい。
【0088】
また、本実施形態では薄膜コイル342が1層設けられていたが、薄膜コイル342を2層以上設けてもよく、又は、ヘリカルコイルとしてもよい。
【0089】
また、断熱層230aは、スライダ基板220の背面2201側に形成されていてもよく、全く設けなくても実施は可能である。
【0090】
また、光源ユニット23とスライダ22との接着に、UV硬化型接着剤以外の接着剤、例えば、レーザダイオード40と電極パッド47との接着に用いたAuSn等の半田層を用いても実施は可能である。
【図面の簡単な説明】
【0091】
【図1】図1は、ハードディスク装置を示す斜視図である。
【図2】図2は、熱アシスト磁気ヘッドの媒体対向面が上方を向いた状態で示す、ヘッドジンバルアセンブリの斜視図である。
【図3】図3は、熱アシスト磁気ヘッドを示す斜視図である。
【図4】図4は、図3のIV−IV線断面図である。
【図5】図5は、図4の磁極端部及び光導波路の近傍を拡大して示す図である。
【図6】図6は、媒体対向面から見た状態で示す、磁極端部及び光導波路の部分拡大図である。
【図7】図7は、熱アシスト磁気ヘッドの主要部を示す斜視図である。
【図8】図8の(a)は、光導波路にレーザ光を導入したときのシミュレーション結果を示す横断面図であり、図8の(b)は、光導波路にレーザ光を導入したときのシミュレーション結果を媒体対向面から見た状態で示す図である。
【図9】図9は、レーザダイオードを示す斜視図である。
【図10】図10は、熱アシスト磁気ヘッドの回路構成を示す図である。
【図11】図11は、ラッピング加工の工程を説明するための図である。
【符号の説明】
【0092】
1…ハードディスク装置、10…磁気ディスク(磁気記録媒体)、17…ヘッドジンバルアセンブリ(HGA)、20…サスペンション、21…熱アシスト磁気ヘッド、22…スライダ、220…スライダ基板、2202…集積面、23…光源ユニット、230…光源支持基板、32…磁気ヘッド部、33…読取ヘッド部、34…記録ヘッド部、340…主磁極層、340a…磁極端部、342…薄膜コイル、344…補助磁極層、35…光導波路、36…近接場光発生部、38…絶縁層、40…レーザダイオード、S…媒体対向面。
【技術分野】
【0001】
本発明は、熱アシスト磁気記録方式により信号の書き込みを行う熱アシスト磁気ヘッド、この熱アシスト磁気ヘッドを備えたヘッドジンバルアセンブリ(HGA:Head Gimbals Assembly)、及び、HGAを備えたハードディスク装置に関する。
【背景技術】
【0002】
ハードディスク装置の高記録密度化に伴い、薄膜磁気ヘッドのさらなる性能の向上が要求されている。薄膜磁気ヘッドとしては、磁気抵抗(MR:Magneto Resistive)効果素子等の磁気検出素子と電磁コイル素子等の磁気記録素子とを積層した構造である複合型薄膜磁気ヘッドが広く用いられており、これらの素子によって磁気記録媒体である磁気ディスクにデータ信号が読み書きされる。
【0003】
一般に、磁気記録媒体は、いわば磁性微粒子が集合した不連続体であり、それぞれの磁性微粒子は単磁区構造となっている。ここで、1つの記録ビットは、複数の磁性微粒子から構成されている。従って、記録密度を高めるためには、磁性微粒子を小さくして、記録ビットの境界の凹凸を減少させなければならない。しかし、磁性微粒子を小さくすると、体積減少に伴う磁化の熱安定性の低下が問題となる。
【0004】
磁化の熱安定性の目安は、KUV/kBTで与えられる。ここで、KUは磁性微粒子の磁気異方性エネルギー、Vは1つの磁性微粒子の体積、kBはボルツマン定数、Tは絶対温度である。磁性微粒子を小さくするということは、まさにVを小さくすることであり、そのままではKUV/kBTが小さくなって熱安定性が損なわれる。この問題への対策として、同時にKUを大きくすることが考えられるが、このKUの増加は、磁気記録媒体の保磁力の増加をもたらす。これに対して、磁気ヘッドによる書き込み磁界強度は、ヘッド内の磁極を構成する軟磁性材料の飽和磁束密度でほぼ決定されてしまう。従って、保磁力がこの書き込み磁界強度の限界から決まる許容値を超えると、書き込みが不可能となってしまう。
【0005】
このような磁化の熱安定性の問題を解決する方法として、KUの大きな磁性材料を用いる一方で、書き込み磁界印加の直前に磁気記録媒体に熱を加えることによって、保磁力を小さくして書き込みを行う、いわゆる熱アシスト磁気記録方式が提案されている。この方式は、磁気ドミネント記録方式と光ドミネント記録方式とに大別される。磁気ドミネント記録方式においては、書き込みの主体は電磁コイル素子であり、光の放射径はトラック幅(記録幅)に比べて大きくなっている。一方、光ドミネント記録方式においては、書き込みの主体は光放射部であり、光の放射径はトラック幅(記録幅)とほぼ同じとなっている。すなわち、磁気ドミネント記録方式は、空間分解能を磁界に持たせているのに対し、光ドミネント記録方式は、空間分解能を光に持たせている。
【0006】
このような熱アシスト磁気ヘッド記録装置として、特許文献1〜2及び非特許文献1には、磁界を発生する磁気記録素子を備えたスライダとは離れた位置に半導体レーザ等の光源を設け、この光源からの光を光ファイバやレンズ等を介してスライダの媒体対向面まで導く構造が開示されている。
【0007】
また、特許文献3〜4には、スライダの側面に磁気記録素子及び光源を集積した熱アシスト磁気ヘッドや、スライダの媒体対向面に磁気記録素子及び光源を集積した熱アシスト磁気ヘッドが開示されている。
【0008】
また、特許文献5〜6には、電磁コイル素子に対して、磁気ヘッドの積層方向(ビット長方向)に近接した位置に光導波路を設けた熱アシスト磁気ヘッドが開示されている。この構成においては、発光素子の出射光を光導波路内に導入し、媒体対向面内にある光導波路の光出射面から出射させて、磁気記録媒体を局所的に加熱する。続いて、局所的に加熱され保磁力が低下している磁気記録媒体の局所領域に対して、電磁コイル素子によって書き込み磁界を印加して書き込みを行う。
【0009】
また、非特許文献2には、主磁極層のうち媒体対向面に露出している部分である磁極端部が、光導波路に近づく方向に突出している熱アシスト磁気ヘッドが開示されている。
【0010】
また、非特許文献3には、上記のような熱アシスト磁気記録に用いられる磁気記録媒体が開示されている。
【0011】
さらに、特許文献7には、コアを伝搬してきた光等の電磁波を、偏向構造によって、磁気ヘッド等が形成された基底部に向けて偏向させる光照射素子が開示されている。
【特許文献1】特開平10−162444号公報
【特許文献2】特開2001−255254号公報
【特許文献3】特開2004−158067号公報
【特許文献4】特開2005−004901号公報
【特許文献5】特開2005−190655号公報
【特許文献6】特開2006−185548号公報
【特許文献7】特開2006−331508号公報
【非特許文献1】Shintaro Miyanishi, et al., “Near-Field Assisted Magnetic Recording”, IEEE Transactions on Magnetics, 2005, Vol.41, No.10, pp.2817-2821
【非特許文献2】Micheal A. Seigler, et al., “Progress and Prospects in Heat Assisted Magnetic Recording”,in Optical Data Storage, OSA Technical Digest Series (CD) (Optical Society of America, 2007), paper TuA1
【非特許文献3】Jan-Ulrich Thiele, et al., “Magnetic and Structural Properties of FePt-FeRh Exchange Spring Films for Thermally Assisted Magnetic Recording Media”, IEEE Transactions on Magnetics, 2004, Vol.40, No.4, p.2537
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0012】
ところで、光を照射することで磁気記録媒体を加熱し、磁気記録媒体の保磁力を低下させた場合でも、時間の経過に伴い磁気記録媒体が冷却され、磁気記録媒体の保磁力が元に戻ってしまう。そのため、光導波路からの出射光の出射位置と磁極端部とができる限り近くなるようにして、磁気記録媒体を加熱した直後に、加熱された当該部分の磁気記録を行うことが望ましい。ここで、上記非特許文献2に記載された発明のように磁極端部を光導波路に近づく方向に突出させたり、上記特許文献7に記載された発明のように光導波路によって光を偏向させたりすることは、光導波路からの出射光の出射位置と磁極端部とを近づけるための有効な手段となる。
【0013】
しかしながら、これらの手段によって光導波路からの出射光の出射位置と磁極端部とを更に近づけようとすると、光導波路によって偏向された光の一部が磁極端部に照射されてしまう虞がある。このとき、磁極端部が加熱されてその保磁力が低下してしまい、磁気記録媒体への書き込みが良好に行えなくなるという問題が生じてしまう。
【0014】
そこで、本発明は、光導波路からの出射光の出射位置と磁極端部とを近づけつつ、磁気記録媒体への高密度の書き込みを実現することが可能な熱アシスト磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ及びハードディスク装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0015】
本発明に係る熱アシスト磁気ヘッドは、磁気記録媒体に対向する媒体対向面に露出する磁極端部を有する主磁極層と、一の層と、当該一の層と隣り合うと共に当該一の層よりも屈折率が高い他の層とを有し、入射された熱アシスト用の光を積層方向に偏向させる光導波路とを備え、主磁極層は、光導波路によって光が偏向される側に位置し、磁極端部は、光導波路によって光が偏向される側に向けて突出しており、光導波路は、媒体対向面側において、磁極端部よりも突出している。
【0016】
本発明に係る熱アシスト磁気ヘッドでは、主磁極層が光導波路によって光が偏向される側に位置しており、磁極端部が光導波路によって光が偏向される側に向けて突出している。そのため、従来の熱アシスト磁気ヘッドと比較して、光導波路からの出射光の出射位置と磁極端部とがより近づいており、磁気記録媒体を加熱した直後に、加熱された当該部分の磁気記録を行うことができるようになっている。そして、本発明に係る熱アシスト磁気ヘッドでは、光導波路が媒体対向面側において磁極端部よりも突出している。そのため、従来の熱アシスト磁気ヘッドのように光導波路の光出射面と媒体対向面とが同一面であった場合と比較して、光の進行に伴い光が主磁極(磁極端部)に近づく方向に偏向されたとしても、光が磁極端部の近傍を通過する際の光と磁極端部との距離を離間させることができるようになっている。その結果、磁極端部が加熱されることによる保磁力の低下が極めて生じにくくなっているので、本発明に係る熱アシスト磁気ヘッドによれば、光導波路からの出射光の出射位置と磁極端部とを近づけつつ、磁気記録媒体への高密度の書き込みを実現することが可能となる。
【0017】
さらに、本発明に係る熱アシスト磁気ヘッドでは、光導波路が媒体対向面側において磁極端部よりも突出しているので、磁気記録媒体からの浮上量を同一とした場合に、従来の熱アシスト磁気ヘッドよりも光導波路の光出射面が磁気記録媒体に近づくこととなる。そのため、光導波路からの出射光の発光強度がより大きい状態で出射光が磁気記録媒体に照射されるようになる。その結果、本発明に係る熱アシスト磁気ヘッドによれば、磁気記録媒体の加熱不足が効果的に防止され、磁気記録媒体への良好な書き込みを行うことが可能となっている。
【0018】
好ましくは、化学機械研磨にて用いられるアルカリ性の研磨溶剤に対して、光導波路のエッチングレートが、主磁極層及び主磁極層の周りを取り囲むように設けられた絶縁層のエッチングレートよりも小さい。このようにすると、熱アシスト磁気ヘッドの製造過程において、媒体対向面を化学機械研磨によってラッピング加工することで、熱アシスト磁気ヘッドを、光導波路が媒体対向面側において磁極端部よりも突出した構造とすることが可能となる。
【0019】
より好ましくは、光導波路は、酸化タンタル、酸化チタン、酸化シリコン等の酸化物、窒化タンタル、窒化チタン、窒化シリコン等の窒化物又は酸窒化タンタル、酸窒化チタン、酸窒化シリコン等の酸窒化物によって形成されており、特に好ましくは、酸化タンタル、酸化チタン、酸化シリコン、窒化タンタル、窒化チタン、窒化シリコン、酸窒化タンタル、酸窒化チタン、酸窒化シリコン又はこれらを主成分とする材料によって形成されている。なお、光導波路が窒化シリコン(SiN)や酸窒化シリコン(SiON)によって形成されている場合には、窒化シリコンや酸窒化シリコンの耐アルカリ性を向上させるため、ZrO2、SnO2、Cr2O3又はLa2O3によって3重量%〜15重量%程度置換したものを用いることが好ましい。
【0020】
好ましくは、光導波路には、媒体対向面の側の端面に近接場光発光部が設けられている。このようにすると、近接場光によって磁気記録媒体を局所的に加熱することが可能となる。
【0021】
好ましくは、磁極端部は、光導波路に接触している。このようにすると、光導波路からの出射光の出射位置と磁極端部とをさらに近づけることが可能となる。
【0022】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、上記のいずれかの熱アシスト磁気ヘッドと、熱アシスト磁気ヘッドを支持するサスペンションとを備える。
【0023】
また、本発明に係るハードディスク装置は、上記のヘッドジンバルアセンブリと、媒体対向面に対向する磁気記録媒体とを備える。
【発明の効果】
【0024】
本発明によれば、光導波路からの出射光の出射位置と磁極端部とを近づけつつ、磁気記録媒体への高密度の書き込みを実現することが可能な熱アシスト磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ及びハードディスク装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0025】
本発明の好適な実施形態について、図面を参照して説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。また、図面中の構成要素内及び構成要素間の寸法比は、図面の見やすさのため、それぞれ任意となっている。
【0026】
[1]ハードディスク装置の構成
まず、図1を参照して、ハードディスク装置1の構成について説明する。ハードディスク装置1は、スピンドルモータ11の回転軸の周りを回転する複数の磁気ディスク(磁気記録媒体)10と、熱アシスト磁気ヘッド21をトラック上に位置決めするためのアセンブリキャリッジ装置12と、この熱アシスト磁気ヘッド21による書き込み動作及び読み出し動作を制御すると共に、熱アシスト磁気記録用のレーザ光を発光させる光源であるレーザダイオード40を制御するための記録再生及び発光制御回路13とを備えている。
【0027】
アセンブリキャリッジ装置12には、複数の駆動アーム14が設けられている。これらの駆動アーム14は、ボイスコイルモータ(VCM:Voice Coil Motor)15によってピボットベアリング軸16を中心に揺動可能であり、ピボットベアリング軸16に沿った方向に積層されている。各駆動アーム14の先端部には、ヘッドジンバルアセンブリ(HGA)17が取り付けられている。各HGA17には、熱アシスト磁気ヘッド21が、各磁気ディスク10の表面に対向するように設けられている。熱アシスト磁気ヘッド21において、磁気ディスク10の表面に対向する面が媒体対向面(エアベアリング面(ABS:Air Bearing Surface)ともいう)Sである。なお、磁気ディスク10、駆動アーム14、HGA17及び熱アシスト磁気ヘッド21は、単数であってもよい。
【0028】
[2]ヘッドジンバルアセンブリの構成
続いて、図2を参照して、HGA17の構成について説明する。HGA17は、サスペンション20の先端部に熱アシスト磁気ヘッド21が固着されて構成されている。サスペンション20は、主として、ロードビーム200と、ロードビーム200上に固着されて支持された、弾性を有するフレクシャ201と、ロードビーム200の基部に設けられたベースプレート202と、フレクシャ201上に形成され、リード導体及びリード導体の両端に電気的に接続された接続パッドからなる配線部材203と、フレクシャ201の先端に板バネ状に形成されたタング部204とによって構成されている。なお、HGA17におけるサスペンション20は、上記した構成に限定されるものでない。また、図示されていないが、サスペンション20の途中にヘッド駆動用ICチップを装着してもよい。
【0029】
[3]熱アシスト磁気ヘッドの構成
続いて、図3〜図9を参照して、熱アシスト磁気ヘッド21の構成について説明する。熱アシスト磁気ヘッド21は、スライダ基板220及びデータ信号の書き込み及び読み出しを行う磁気ヘッド部32を有するスライダ22と、光源支持基板230及び熱アシスト磁気記録用の光源となるレーザダイオード(発光素子)40を有する光源ユニット23とを備える。スライダ基板220と光源支持基板230とは、スライダ基板220の背面2201と光源支持基板230の接着面2300とが接面された状態で、UV硬化型エポキシ樹脂やUV硬化型アクリル樹脂等の接着剤44によって固着されている(図4参照)。
【0030】
ここで、スライダ基板220の背面2201は、スライダ22の媒体対向面Sとは反対側に位置する面である。また、光源支持基板230の底面2301は、エポキシ樹脂等の接着剤によって、フレクシャ201のタング部204に固着されている。
【0031】
[3.1]スライダ
スライダ22が有するスライダ基板220は、図3に示されるように、板状を呈している。スライダ基板220の媒体対向面Sは、熱アシスト磁気ヘッド21が適切な浮上量を得ることができるよう、所定形状に加工されている。スライダ基板220は、導電性のアルティック(Al2O3・TiC)等によって形成することができる。
【0032】
スライダ22が有する磁気ヘッド部32は、図3及び図4に示されるように、スライダ基板220の媒体対向面Sに対して略垂直な側面である集積面2202に設けられている。磁気ヘッド部32は、MR素子332を有する読取ヘッド部33と、書き込み用の誘導型の電磁変換素子としての記録ヘッド部34と、読取ヘッド部33と記録ヘッド部34との間を通して設けられている光導波路35と、磁気ディスク10の記録層部分を加熱するための近接場光を発生させる近接場光発生部(プラズモン・プローブ)36と、これらの読取ヘッド部33、記録ヘッド部34、光導波路35及び近接場光発生部36を覆うように集積面上に形成された絶縁層38とを備える。
【0033】
読取ヘッド部33は、図4に示されるように、スライダ基板220上に、下部電極を兼ねる下部磁気シールド層330と、MR素子332と、上部電極を兼ねる上部磁気シールド層332とが、この順で積層されて構成されている。また、MR素子332のトラック幅方向の両側には、絶縁層38を介して、硬磁性材料からなる一対のバイアス印加層HM(図7参照)が形成されている。
【0034】
下部磁気シールド層330及び上部磁気シールド層334は、NiFe、CoFeNi、CoFe、FeN、FeZrN等の軟磁性材料からなり、不要な外部磁界をMR素子332が感知するのを防止する。下部磁気シールド層330及び上部磁気シールド層334は、フレームめっき法を含むパターンめっき法等を用いて形成することができ、これらの厚さとしては、例えば0.5μm〜3μm程度に設定することができる。
【0035】
MR素子332は、フリー層を含む多層構造であり(図示せず)、媒体対向面Sに露出するように媒体対向面S側に配置されている。MR素子332は、磁気抵抗効果を利用して、磁気ディスク10から入力される磁界の変化を検出し、磁気ディスク10に記録されている磁気情報を読出す。なお、MR素子332の代わりに、磁気抵抗変化率の高い巨大磁気抵抗効果を利用したGMR(Giant Magneto Resistive)素子、異方性磁気抵抗効果を利用したAMR(Anisotropy Magneto Resistive)素子、トンネル接合で生じる磁気抵抗効果を利用したTMR(Tunnel Magneto Resistive)素子、CPP(Current Perpendicular to Plane)−GMR素子等を利用してもよい。
【0036】
記録ヘッド部34は、主磁極層340と、ギャップ層341aと、薄膜コイル絶縁層341bと、薄膜コイル342と、補助磁極層344とを有している。主磁極層340は、薄膜コイル342によって誘導された磁束を、書き込みがなされる磁気ディスク10の記録層まで収束させながら導くための導磁路であり、薄膜コイル342の螺旋中心から媒体対向面Sに向かうように延びている。主磁極層340は、媒体対向面S側に位置すると共に媒体対向面Sに露出する磁極端部340aを含んでいる。薄膜コイル342に通電すると、磁界が主磁極層340の磁極端部340aまで導かれ、その先端から書き込み磁界が発生することとなる。
【0037】
磁極端部340aの光導波路35側の面は、図4〜図6に示されるように、光導波路35に接している。ここで、媒体対向面Sに対して奥行方向において磁極端部340aが光導波路35に接触する長さLとしては、0.1μm〜2.0μmであると好ましい。
【0038】
磁極端部340aのトラック幅方向の幅及び積層方向(図4の左右方向)の厚みは、他の部分に比べて小さくすることが好ましい。この結果、高記録密度化に対応した微細で強い書き込み磁界を発生可能となる。具体的には、図5に示されるように、リーディング側すなわちスライダ基板220側の辺の長さがトレーリング側の辺の長さよりも短い逆台形となるように磁極端部340aの先端を先細にすることが好ましい。すなわち、磁極端部340aの端面には、ロータリーアクチュエータでの駆動により発生するスキュー角の影響によって隣接トラックに不要な書き込み等を及ぼさないように、ベベル角θが付けられている。ベベル角θの大きさは、例えば、15°程度である。書き込み磁界が主に発生するのはトレーリング側の長辺近傍であり、磁気ドミネント記録方式の場合にはこの長辺の長さによって書き込みトラックの幅が決定される。
【0039】
ここで、主磁極層340は、Ni、Fe及びCoのうちいずれか二つの元素若しくは三つの元素からなる合金、又は、これらを主成分として所定の元素が添加された合金等によって構成されていると好ましい。主磁極層340は、フレームめっき法、スパッタリング法等を用いて形成することができる。磁極端部340aの厚さとしては、例えば0.01μm〜0.5μm程度に設定することができ、主磁極層340の磁極端部340a以外の部分における厚さとしては、例えば0.5μm〜3.0μm程度に設定することができる。トラック幅は、例えば100nm程度に設定することができる。
【0040】
補助磁極層344は、媒体対向面Sと離れた側の端部344aにおいて主磁極層340と磁気的に接続されている。補助磁極層344の媒体対向面S側の端部は、補助磁極層344の他の部分よりも層断面が広いトレーリングシールド部を形成している。補助磁極層344の媒体対向面S側の端部は、媒体対向面Sに露出している。また、ギャップ層341a及び薄膜コイル絶縁層341bが主磁極層340と補助磁極層344との間に介在しているため、補助磁極層344の媒体対向面S側の端部は、所定の間隔を有して主磁極層340の磁極端部340aと対向している。
【0041】
補助磁極層344は、Ni、Fe及びCoのうちいずれか二つの元素若しくは三つの元素からなる合金、又は、これらを主成分として所定の元素が添加された合金等によって構成されていると好ましい。補助磁極層344は、フレームめっき法、スパッタリング法等を用いて形成することができる。補助磁極層344の厚さとしては、例えば0.5μm〜5μm程度に設定することができる。
【0042】
ギャップ層341aは、主磁極層340と薄膜コイル342とを電気的に絶縁するため、Al2O3やAlN等によって構成されており、スパッタリング法、CVD法等を用いて形成することができる。ギャップ層341aの厚さとしては、例えば0.01μm〜0.5μm程度に設定することができる。
【0043】
薄膜コイル絶縁層341bは、薄膜コイル342と補助磁極層344とを電気的に絶縁するため、アルミナや有機絶縁材料であるレジスト等によって構成されている。薄膜コイル絶縁層341bの厚さとしては、例えば0.1μm〜5μm程度に設定することができる。
【0044】
薄膜コイル342は、補助磁極層344の端部344aの周りに導線が巻回されたスパイラル状に構成されている。薄膜コイル342は、Cu等によって構成することができる。薄膜コイル342の厚さとしては、例えば0.5μm〜3μm程度に設定することができる。
【0045】
光導波路35は、図4に示されるように、読取ヘッド部33と記録ヘッド部34との間に配置されており、集積面2202と平行となるように磁気ヘッド部32の媒体対向面Sから磁気ヘッド部32の媒体対向面Sとは反対側の面32aまで延在している。より詳細には、図4に示されるように、媒体対向面Sにおいて、光導波路35の媒体対向面S側の端部が磁極端部340aよりも突出している。この光導波路35の媒体対向面S側の端面は、レーザダイオード40によるレーザ光が出射される光出射面353となっており、光出射面353とは反対側の端面は、レーザダイオード40によるレーザ光が入射される光入射面354となっている(図4及び図7参照)。
【0046】
光導波路35は、図7に示されるように、その大部分が略矩形の板状体を呈しているが、その媒体対向面S側の端部のうちトラック幅方向の両角部分が面取りされている。そのため、光導波路35の媒体対向面Sの端部は、媒体対向面S側に向かうにつれてトラック幅方向における幅が小さくなっている。これにより、光導波路35では、トラック幅方向において中央部分にレーザダイオード40によるレーザ光を集光することができるようになっている。なお、面32aは、媒体対向面Sと略平行とされている。
【0047】
光導波路35は、図6に示されるように、複数のコア35A1〜35A6,35B1〜35B6を有しており、コア35A1〜35A6とコア35B1〜35B6とは、交互に積層されている。コア35A1〜35A6は、SiONによって構成され、屈折率が1.80程度となるように設定されている。また、コア35A1〜35A6の厚さは、それぞれ400nm程度、300nm程度、250nm程度、200nm程度、150nm程度、100nm程度となるように設定されている。すなわち、コア35A1〜35A6は、記録ヘッド部34から読取ヘッド部33へと厚さの大きなものから順に並んでいる。
【0048】
一方、内部コア35B1〜35B6は、SiONによって構成され、屈折率がコア35A1〜35A6よりも低い1.72程度となるように設定されている。また、コア35B1〜35B6の厚さは、それぞれ50nm程度、100nm程度、150nm程度、200nm程度、250nm程度、350nm程度となるように設定されている。すなわち、コア35B1〜35B6は、記録ヘッド部34から読取ヘッド部33へと厚さの小さなものから順に並んでいる。
【0049】
このような構成を有する光導波路35にレーザダイオード40からレーザ光が入射すると、レーザ光は、図8に示されるように、レーザ光が進行するにつれて積層方向すなわち読取ヘッド部33から記録ヘッド部34へと向かう方向に偏向する。これは、このような光導波路35の構造は、屈折率が読取ヘッド部33から記録ヘッド部34へと向かうにつれて高くなっている構造と同視でき、光は屈折率の低い方から高い方に偏向する性質を有しているためである。従って、主磁極層340は光導波路35によってレーザ光が偏向される側に位置しており、磁極端部340aは光導波路35によってレーザ光が偏向される側に向けて突出していることとなる(特に図5参照)。
【0050】
また、このような構成を有する光導波路35にレーザダイオード40からレーザ光が入射すると、図8の(a)に示されるように、レーザ光の強度が周期的に変化する。そのため、光導波路35の光出射面353においてレーザ光の強度が最も大きくなるように光導波路35の長さを決定することが好ましい。
【0051】
図4に戻って、光導波路35は、光出射面353及び光入射面354、並びに、外部に露出している部分(媒体対向面S側において磁極端部340aよりも突出している部分)及び磁極端部340aと接している部分を除き、絶縁層38及びギャップ層341aによって覆われている。絶縁層38及びギャップ層341aは、光導波路35を構成しているコア35A1〜35A6,35B1〜35B6よりも屈折率が低い材料であるAl2O3やAlN等によって構成され、光導波路35のコア35A1〜35A6,35B1〜35B6に対するクラッドとして機能する。
【0052】
なお、光導波路35を構成する材料としては、化学機械研磨(CMP:Chemical Mechanical Polishing)にて用いられるアルカリ性の研磨溶剤に対して、そのエッチングレートが、他の構成要素のエッチングレートよりも小さいものであると好ましい。具体的には、光導波路35を構成する材料として、上記のSiONの他、酸化タンタル、酸化チタン、酸化シリコン、窒化タンタル、窒化チタン、窒化シリコン、酸窒化タンタル、酸窒化チタン又はこれらを主成分とする材料等を用いることができ、これらが酸化ニオブ、酸化ビスマス、酸化アルミ、酸化シリコン等の添加物を含んでいてもよい。すなわち、これらの材料のアルカリ性の研磨溶剤に対するエッチングレートは、絶縁層38及びギャップ層341aを構成しているAl2O3やAlN等のアルカリ性の研磨溶剤に対するエッチングレートよりも小さい。なお、光導波路35が窒化シリコン(SiN)や酸窒化シリコン(SiON)によって形成されている場合には、窒化シリコンや酸窒化シリコンの耐アルカリ性を向上させるため、ZrO2、SnO2、Cr2O3又はLa2O3によって3重量%〜15重量%程度置換したものを用いることが好ましい。また、主磁極層340や補助磁極層344を構成する材料は金属であり、金属は柔らかいので、光導波路35のアルカリ性の研磨溶剤に対するエッチングレートは、主磁極層340や補助磁極層344のアルカリ性の研磨溶剤に対するエッチングレートよりも小さい。
【0053】
読取ヘッド部33と光導波路35との間には、下部シールド層330及び上部シールド層334と同様の材料によって形成された素子間シールド層148が配置されている。素子間シールド層148は、記録ヘッド部34において発生される磁界をMR素子332が感知しないように遮断して、MR素子332による読み出しの際の外来ノイズを抑制する役割を果たすものである。なお、読取ヘッド部33と光導波路35との間に、更に、バッキングコイル部が形成されていてもよい。
【0054】
近接場光発生部36は、図4〜図6に示されるように、光導波路35の光出射面353に配置された板状部材である。近接場光発生部36は、光出射面353のうち強度の大きなレーザ光が出射される部分(図6及び図8ではコア35A1の光出射面353における略中央部分)に位置しており、その端面が光出射面353に露出するようにコア35A1内に埋設されている。
【0055】
近接場光発生部36は、図6等に示されるように、媒体対向面Sから見て三角形状を呈しており、導電材料(例えば、Au、Ag、Al、Cu、Pd、Pt、Rn若しくはIr、又は、これらの元素を組み合わせた合金)によって構成されている。近接場光発生部36の底辺36dは、スライダ基板220の集積面2202と平行、すなわちトラック幅方向と平行に配置されており、近接場光発生部36の底辺36dと向き合う頂点36vは、底辺36dよりも記録ヘッド部34の主磁極層340側に配置されている。ここで、積層方向における近接場光発生部36の頂点36vと磁極端部340aとの直線距離Hとしては、50nm〜300nmであると好ましい。また、近接場光発生部36の形状としては、底辺36dの両端の二つの底角が共に等しい二等辺三角形であると好ましい。
【0056】
このような近接場光発生部36にレーザダイオード40からのレーザ光が照射されると、近接場光発生部36を構成する金属内の電子がプラズマ振動し、その頂点36v近傍において電界の集中が生じて、その頂点36v近傍から磁気ディスク10の記録領域R(図7参照)に向けて近接場光が発生する。この近接場光の拡がりは、近接場光発生部36の頂点36v近傍の半径程度となるので、この頂点36vの半径をトラック幅以下とすれば、擬似的に出射光を回折限界以下にまで絞り込むことができる。
【0057】
図3に戻って、スライダ22が有する磁気ヘッド部32は、読取ヘッド部33の入出力端子にそれぞれ接続された一対の信号端子用の電極パッド371(図7も参照)と、記録ヘッド部34の両端にそれぞれ接続された一対の信号電極用の電極パッド373(図7も参照)と、ビアホール375aを介してスライダ基板220と電気的に接続されたグランド用の電極パッド375(図4も参照)とを更に備えている。これらの電極パッド371,373,375は、絶縁層38の露出面上に形成されている。なお、電極パッド375は、フレクシャ201の電極パッド274とボンディングワイヤ(図示せず)によって接続されている。そのため、電極パッド274によって、スライダ基板220の電位が例えばグランド電位に制御されることとなる。
【0058】
[3.2]光源ユニット
光源ユニット23が有する光源支持基板230は、図3に示されるように、板状を呈している。光源支持基板230は、図4に示されるように、アルミナ等によって形成された断熱層230aと、導電性のアルティック(Al2O3・TiC)等によって形成された導電体層230bとを有している。断熱層230aは、スライダ基板220の背面2201と接着されており、この面が光源支持基板230の接着面2300とされている。この接着面2300と隣り合う側面である素子形成面2303上には、アルミナ等の絶縁材料によって形成された絶縁層41が設けられている。
【0059】
絶縁層41の表面で且つ媒体対向面Sと交差する面411上(スライダ基板220の集積面2202と平行な面411上)には、レーザダイオード40の駆動用の電極パッド47,48が形成されている(図3参照)。電極パッド47は、絶縁層41の面411の中央部においてトラック幅方向に延在している第1部分47aと、第1部分47aの端部から光源支持基板230の底面2301に向けて延在している第2部分47bとを有している。一方、電極パッド48は、絶縁層41の面411において電極パッド47と離間した位置に形成されており、絶縁層41の面411の中央部においてトラック幅方向に延在している第1部分48aと、第1部分48aの端部から光源支持基板230の底面2301に向けて延在している第2部分48bとを有している。そして、電極パッド47,48は、フレクシャ201の電極パッド247、248とリフロー半田によってそれぞれ電気的に接続されている。
【0060】
また、電極パッド47は、図4に示されるように、絶縁層41内に設けられたビアホール47cによって光源支持基板230の導電体層230bと電気的に接続されている。そのため、電極パッド47によって、導電体層230bの電位を例えばグランド電位に制御することが可能となっている。なお、この電極パッド47は、ビアホール47cと共に、レーザダイオード40駆動時の熱を導電体層230b側に逃がすための熱伝導路としても機能する。
【0061】
電極パッド47、48は、例えば、TaやTi等によって形成された下地層と、当該下地層上に真空蒸着法やスパッタリング法等を用いて形成されたAuやCu等の層とによって構成することができる。TaやTi等の下地層の厚さとしては、例えば10nm程度に設定することができ、AuやCu等の層の厚さとしては、例えば1μm〜3μm程度に設定することができる。
【0062】
光源ユニット23が有するレーザダイオード40は、図4に示されるように、Au−Sn等の導電性の半田材料からなる半田層42によって電極パッド47上に固着され、電極パッド47と電気的に接続されている。このとき、電極パッド47の一部は、レーザダイオード40によって覆われている。
【0063】
レーザダイオード40は、通常、光学系ディスクストレージに使用されるものと同じ構造を有していてよく、例えば、図9に示されるように、n電極40aと、n−GaAs基板40bと、n−InGaAlPクラッド層40cと、第1のInGaAlPガイド層40dと、多重量子井戸(InGaP/InGaAlP)等からなる活性層40eと、第2のInGaAlPガイド層40fと、p−InGaAlPクラッド層40gと、*n−GaAs電流阻止層40hと、p−GaAsコンタクト層40iと、p電極40jとが順次積層された構造を有する。これらの多層構造の劈開面の前後には、全反射による発振を励起するためのSiO2やAl2O3等からなる反射膜50,51が成膜されている。そして、一方の反射膜50には活性層40eに対応する位置に開口50aが設けられており、反射膜50が成膜されている面のうち開口50aに対応する領域が、レーザ光が放射される出光端400とされている。このようなレーザダイオード40においては、膜厚方向に電圧が印加されることにより、出光端400からレーザ光が出射される。
【0064】
放射されるレーザ光の波長λLは、例えば600nm〜650nm程度である。ただし、近接場光発生部36の金属材料に応じた適切な励起波長が存在することに留意しなければならない。例えば、近接場光発生部36としてAuを用いる場合、レーザ光の波長λLは、600nm近傍であることが好ましい。
【0065】
レーザダイオード40の大きさとしては、例えば、幅W40が200μm〜350μm、長さL40が250μm〜600μm、厚みT40が60μm〜200μm程度に設定することができる。ここで、レーザダイオード40の幅W40は、電流阻止層40hの対向端の間隔を下限として、例えば、100μm程度までに小さくすることができる。ただし、レーザダイオード40の長さは、電流密度と関係する量であり、それほど小さくすることはできない。いずれにしても、レーザダイオード40に関しては、搭載の際のハンドリングを考慮して、相当の大きさが確保されることが好ましい。
【0066】
また、レーザダイオード40は、ハードディスク装置1内の電源を使用することによって駆動することができる。実際、ハードディスク装置1は、通常、例えば2V程度の電源を備えており、この電圧はレーザ発振動作に十分な大きさである。また、レーザダイオード40の消費電力も、例えば、数十mW程度であるので、ハードディスク装置1内の電源で十分に賄うことができる。
【0067】
レーザダイオード40のn電極40aは、AuSn等の半田層42によって電極パッド47に固定されている。ここで、レーザダイオード40の出光端(光出射面)400は、図4の下向き(−Z方向)となっており(接着面2300と平行となっており)、光導波路35の光入射面354と対向している。実際にレーザダイオード40を固定する際には、例えば、電極パッド47の表面に厚さ0.7μm〜1μm程度のAuSn合金の蒸着膜を成膜し、レーザダイオード40を乗せた後、熱風ブロア下でホットプレート等によって200℃〜300℃程度までの加熱を行う。
【0068】
また、レーザダイオード40のp電極40jは、ボンディングワイヤによって電極パッド48と電気的に接続されている。なお、n電極40aがボンディングワイヤによって電極パッド48と電気的に接続され、p電極40jが半田層42によって電極パッド47に固定されるようにしてもよい。さらに、レーザダイオード40の光源支持基板230と接続される側を段差状に加工することによって、ボンディングワイヤを用いないで電極パッド48と電気的に接続することも可能である。
【0069】
ここで、上述したAuSn合金による半田付けをする場合、光源ユニット23を例えば300℃前後の高温に加熱することになるが、本実施形態に係る熱アシスト磁気ヘッド21によれば、この光源ユニット23がスライダ22とは別に製造されるため、スライダ22の磁気ヘッド部32がこの高温の悪影響を受けずに済むようになっている。
【0070】
なお、レーザダイオード40及び電極パッド47,48の構成は、上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、レーザダイオード40は、GaAlAs系等、他の半導体材料を用いた他の構成のものであってもよい。また、レーザダイオード40と電極との半田付けに、他のろう材を用いて行うことも可能である。さらに、レーザダイオード40を、光源支持基板230上に直接半導体材料をエピタキシャル成長させることによって形成してもよい。
【0071】
[4]熱アシスト磁気ヘッドの回路構成
続いて、図10を参照して、熱アシスト磁気ヘッド21の回路構成について説明する。
【0072】
配線部材203を構成する配線の1つは、電極パッド247及び電極パッド47を介してレーザダイオード40のカソードに電気的に接続されており、別の配線は電極パッド248及び電極パッド48を介してレーザダイオード40のアノードに電気的に接続されている。電極パッド247,248間に駆動電流を供給するとレーザダイオード40が発光する。この光は、光導波路35及び媒体対向面Sを介して磁気ディスク10の記録領域R(図7参照)に照射される。
【0073】
配線部材203を構成する別の一対の配線は、電極パッド237、ボンディングワイヤBW及び電極パッド373を介して、記録ヘッド部34の両端にそれぞれ接続されている。一対の電極パッド237間に電圧を印加すると、記録ヘッド部34に通電が行われ、書き込み磁界が発生する。熱アシスト磁気ヘッド21では、レーザダイオード40から出射されたレーザ光は、光導波路35の光入射面354に入射して、媒体対向面Sに設けられた光出射面353から出射し、磁気ディスク10の記録領域R(図7参照)に照射される。このとき、媒体対向面Sに対向する磁気ディスク10の記録領域Rの温度が上昇し、記録領域Rの保磁力が一時的に低下する。従って、この保磁力の低下期間内に記録ヘッド部34に通電を行い、書き込み磁界を発生させることで、記録領域Rに情報を書き込むことができる。
【0074】
配線部材203を構成する別の一対の配線は、電極パッド238、ボンディングワイヤBW及び電極パッド371を介して読取ヘッド部33の両端にそれぞれ接続されている。一対の電極パッド238に電圧を印加すると読取ヘッド部33にセンス電流が流れる。記録領域Rに書き込まれた情報は、読取ヘッド部33にセンス電流を流すことで読み出すことができる。
【0075】
[5]熱アシスト磁気ヘッドの製造方法
続いて、図11を参照して、熱アシスト磁気ヘッド21の製造方法について説明する。
【0076】
まず、スライダ基板220上に、読取ヘッド部33、光導波路35及び記録ヘッド部34を順次形成し、スライダ22の前駆体22aを形成する。そして、化学機械研磨によって、MR素子332及び近接場光発生部36の高さ(ハイト)を調整するためのラッピング加工(研磨加工)を行う(図11の(a)参照)。このとき、媒体対向面S側となるラッピング面から媒体対向面Sに対して奥行方向に向けてラッピングを行い、MR素子332の高さ及び近接場光発生部36の高さが所定の大きさになったときにラッピングが終了する。
【0077】
ここで、化学機械研磨によるラッピング加工の際には、KOH、NaOH、NH4OH等のアルカリ性の水素イオン調整剤が添加された研磨溶剤(研磨用スラリー)が一般に用いられており、本実施形態に係る熱アシスト磁気ヘッド21では、アルカリ性の研磨溶剤に対して、光導波路35のエッチングレートが、他の構成要素のエッチングレートよりも小さくなっている。そのため、ラッピングの終了時には、媒体対向面S側において、光導波路35の媒体対向面S側の端部が磁極端部340aよりも突出した状態となる(図11の(b)参照)。
【0078】
[6]作用
続いて、本実施形態に係る熱アシスト磁気ヘッド21の作用について説明する。
【0079】
書き込み又は読み出し動作時には、熱アシスト磁気ヘッド21は、回転する磁気ディスク10の表面上において流体力学的に所定の浮上量をもって浮上する。この際、読取ヘッド部33及び記録ヘッド部34の媒体対向面S側の端が磁気ディスク10と微小なスペーシングを介して対向することによって、データ信号磁界の感受による読み出しとデータ信号磁界の印加による書き込みとが行われる。
【0080】
ここで、データ信号の書き込みの際、光源ユニット23から光導波路35を通って伝播してきたレーザ光が近接場光発生部36に到達し、近接場光発生部36から近接場光が発生する。この近接場光によって、熱アシスト磁気記録を行うことが可能となる。
【0081】
そして、熱アシスト磁気記録方式を採用することにより、高保磁力の磁気ディスク10に垂直磁気記録用の薄膜磁気ヘッドを用いて書き込みを行い、記録ビットを極微細化することによって、例えば、1Tbits/inch2級の記録密度を達成することも可能となり得る。
【0082】
また、以上のような本実施形態においては、主磁極層340が光導波路35によってレーザ光が偏向される側に位置しており、磁極端部340aが光導波路35によってレーザ光が偏向される側に向けて突出している。そのため、従来の熱アシスト磁気ヘッドと比較して、光導波路35からの出射光の出射位置と磁極端部340aとがより近づいており(図5参照)、磁気ディスク10の記録領域Rを加熱した直後に、加熱された当該記録領域Rの磁気記録を行うことができるようになっている。そして、本実施形態においては、光導波路35が媒体対向面S側において磁極端部340aよりも突出している。そのため、従来の熱アシスト磁気ヘッドのように光導波路の光出射面と媒体対向面とが同一面であった場合と比較して、レーザ光の進行に伴い光が主磁極340(磁極端部340a)に近づく方向に偏向されたとしても、レーザ光が磁極端部340aの近傍を通過する際のレーザ光と磁極端部340aとの距離を離間させることができるようになっている。その結果、磁極端部340aが加熱されることによる保磁力の低下が極めて生じにくくなっているので、本実施形態に係る熱アシスト磁気ヘッド21によれば、光導波路35からの出射光の出射位置と磁極端部340aとを近づけつつ、磁気ディスク10への高密度の書き込みを実現することが可能となる。
【0083】
また、本実施形態においては、光導波路35が媒体対向面S側において磁極端部340aよりも突出しているので、磁気ディスク10からの浮上量を同一とした場合に、従来の熱アシスト磁気ヘッドよりも光導波路35の光出射面353が磁気ディスク10に近づくこととなる。そのため、光導波路35からの出射光の発光強度がより大きい状態で出射光が磁気ディスク10に照射されるようになる。その結果、本実施形態に係る熱アシスト磁気ヘッド21によれば、磁気ディスク10の加熱不足が効果的に防止され、磁気ディスク10への良好な書き込みを行うことが可能となっている。
【0084】
また、本実施形態においては、化学機械研磨にて用いられるアルカリ性の研磨溶剤に対して、光導波路35のエッチングレートが、絶縁層38、ギャップ層341a、主磁極層340等のエッチングレートよりも小さくなっている。そのため、熱アシスト磁気ヘッド21の製造過程において、媒体対向面Sを化学機械研磨によってラッピング加工することで、熱アシスト磁気ヘッド21を光導波路35が媒体対向面S側において磁極端部340aよりも突出した構造とすることが可能となる。
【0085】
また、本実施形態においては、磁極端部340aの光導波路35側の面が光導波路35に接している。そのため、光導波路35からの出射光の出射位置と磁極端部340aとをさらに近づけることが可能となっている。
【0086】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態では近接場光発生部36が三角形状を呈していたが、頂点36vが平らになった台形状としてもよく、また、三角形状又は台形状の板を、その頂点同士または短辺同士が所定距離離間して対向するように一対配置した、いわゆる「蝶ネクタイ型」構造でも実施可能である。この「蝶ネクタイ型」構造においては、その中心部に非常に強い電界の集中が発生する。
【0087】
また、近接場光発生部36として、光導波路35の媒体対向面S側にレーザ光の波長よりも小さい微小な開口を設けてもよい。
【0088】
また、本実施形態では薄膜コイル342が1層設けられていたが、薄膜コイル342を2層以上設けてもよく、又は、ヘリカルコイルとしてもよい。
【0089】
また、断熱層230aは、スライダ基板220の背面2201側に形成されていてもよく、全く設けなくても実施は可能である。
【0090】
また、光源ユニット23とスライダ22との接着に、UV硬化型接着剤以外の接着剤、例えば、レーザダイオード40と電極パッド47との接着に用いたAuSn等の半田層を用いても実施は可能である。
【図面の簡単な説明】
【0091】
【図1】図1は、ハードディスク装置を示す斜視図である。
【図2】図2は、熱アシスト磁気ヘッドの媒体対向面が上方を向いた状態で示す、ヘッドジンバルアセンブリの斜視図である。
【図3】図3は、熱アシスト磁気ヘッドを示す斜視図である。
【図4】図4は、図3のIV−IV線断面図である。
【図5】図5は、図4の磁極端部及び光導波路の近傍を拡大して示す図である。
【図6】図6は、媒体対向面から見た状態で示す、磁極端部及び光導波路の部分拡大図である。
【図7】図7は、熱アシスト磁気ヘッドの主要部を示す斜視図である。
【図8】図8の(a)は、光導波路にレーザ光を導入したときのシミュレーション結果を示す横断面図であり、図8の(b)は、光導波路にレーザ光を導入したときのシミュレーション結果を媒体対向面から見た状態で示す図である。
【図9】図9は、レーザダイオードを示す斜視図である。
【図10】図10は、熱アシスト磁気ヘッドの回路構成を示す図である。
【図11】図11は、ラッピング加工の工程を説明するための図である。
【符号の説明】
【0092】
1…ハードディスク装置、10…磁気ディスク(磁気記録媒体)、17…ヘッドジンバルアセンブリ(HGA)、20…サスペンション、21…熱アシスト磁気ヘッド、22…スライダ、220…スライダ基板、2202…集積面、23…光源ユニット、230…光源支持基板、32…磁気ヘッド部、33…読取ヘッド部、34…記録ヘッド部、340…主磁極層、340a…磁極端部、342…薄膜コイル、344…補助磁極層、35…光導波路、36…近接場光発生部、38…絶縁層、40…レーザダイオード、S…媒体対向面。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
磁気記録媒体に対向する媒体対向面に露出する磁極端部を有する主磁極層と、
一の層と、当該一の層と隣り合うと共に当該一の層よりも屈折率が高い他の層とを有し、入射された熱アシスト用の光を積層方向に偏向させる光導波路とを備え、
前記主磁極層は、前記光導波路によって光が偏向される側に位置し、
前記磁極端部は、前記光導波路によって光が偏向される側に向けて突出しており、
前記光導波路は、前記媒体対向面側において、前記磁極端部よりも突出している熱アシスト磁気ヘッド。
【請求項2】
化学機械研磨にて用いられるアルカリ性の研磨溶剤に対して、前記光導波路のエッチングレートが、前記主磁極層及び前記主磁極層の周りを取り囲むように設けられた絶縁層のエッチングレートよりも小さい請求項1に記載された熱アシスト磁気ヘッド。
【請求項3】
前記光導波路は、酸化タンタル、酸化チタン、酸化シリコン、窒化タンタル、窒化チタン、窒化シリコン、酸窒化タンタル、酸窒化チタン、酸窒化シリコン又はこれらを主成分とする材料によって形成されている請求項2に記載された熱アシスト磁気ヘッド。
【請求項4】
前記光導波路には、前記媒体対向面の側の端面に近接場光発光部が設けられている請求項1〜3のいずれか一項に記載された熱アシスト磁気ヘッド。
【請求項5】
前記磁極端部は、前記光導波路に接触している請求項1〜4のいずれか一項に記載された熱アシスト磁気ヘッド。
【請求項6】
請求項1〜5のいずれか一項に記載された熱アシスト磁気ヘッドと、
前記熱アシスト磁気ヘッドを支持するサスペンションとを備えるヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項7】
請求項6に記載されたヘッドジンバルアセンブリと、
前記媒体対向面に対向する磁気記録媒体とを備えるハードディスク装置。
【請求項1】
磁気記録媒体に対向する媒体対向面に露出する磁極端部を有する主磁極層と、
一の層と、当該一の層と隣り合うと共に当該一の層よりも屈折率が高い他の層とを有し、入射された熱アシスト用の光を積層方向に偏向させる光導波路とを備え、
前記主磁極層は、前記光導波路によって光が偏向される側に位置し、
前記磁極端部は、前記光導波路によって光が偏向される側に向けて突出しており、
前記光導波路は、前記媒体対向面側において、前記磁極端部よりも突出している熱アシスト磁気ヘッド。
【請求項2】
化学機械研磨にて用いられるアルカリ性の研磨溶剤に対して、前記光導波路のエッチングレートが、前記主磁極層及び前記主磁極層の周りを取り囲むように設けられた絶縁層のエッチングレートよりも小さい請求項1に記載された熱アシスト磁気ヘッド。
【請求項3】
前記光導波路は、酸化タンタル、酸化チタン、酸化シリコン、窒化タンタル、窒化チタン、窒化シリコン、酸窒化タンタル、酸窒化チタン、酸窒化シリコン又はこれらを主成分とする材料によって形成されている請求項2に記載された熱アシスト磁気ヘッド。
【請求項4】
前記光導波路には、前記媒体対向面の側の端面に近接場光発光部が設けられている請求項1〜3のいずれか一項に記載された熱アシスト磁気ヘッド。
【請求項5】
前記磁極端部は、前記光導波路に接触している請求項1〜4のいずれか一項に記載された熱アシスト磁気ヘッド。
【請求項6】
請求項1〜5のいずれか一項に記載された熱アシスト磁気ヘッドと、
前記熱アシスト磁気ヘッドを支持するサスペンションとを備えるヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項7】
請求項6に記載されたヘッドジンバルアセンブリと、
前記媒体対向面に対向する磁気記録媒体とを備えるハードディスク装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図9】
【図10】
【図11】
【図8】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図9】
【図10】
【図11】
【図8】
【公開番号】特開2009−54205(P2009−54205A)
【公開日】平成21年3月12日(2009.3.12)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2007−217371(P2007−217371)
【出願日】平成19年8月23日(2007.8.23)
【出願人】(000003067)TDK株式会社 (7,238)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成21年3月12日(2009.3.12)
【国際特許分類】
【出願日】平成19年8月23日(2007.8.23)
【出願人】(000003067)TDK株式会社 (7,238)
【Fターム(参考)】
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