磁性粒子除去装置、および被処理流体浄化システム
【課題】被処理流体中の磁性粒子ｊを磁気吸引力により吸着する吸着面５１ａと、該吸着面５１ａに吸着された磁性粒子ｊを掻取る掻取り面８１ａを有する除去本体部と、該除去本体部を吸着面５１ａに沿って相対移動させるためのモータと、を備えた磁性粒子除去装置において、装置全体としての磁性粒子ｊの除去効率を向上させる。
【解決手段】掻取り面８１ａにて掻取った磁性粒子ｊを回収するための回収用空間８２と該回収用空間８２に連通する粒子吸込口８３ｃとを有する回収タンク部８３と、該粒子吸込口８３ｃから該回収用空間８２内に磁性粒子ｊを吸引するためのエジェクタバルブとを備える。
【解決手段】掻取り面８１ａにて掻取った磁性粒子ｊを回収するための回収用空間８２と該回収用空間８２に連通する粒子吸込口８３ｃとを有する回収タンク部８３と、該粒子吸込口８３ｃから該回収用空間８２内に磁性粒子ｊを吸引するためのエジェクタバルブとを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理流体中の磁性粒子を磁気吸引力により吸着する吸着面と、該吸着面に吸着された磁性粒子を掻き取って除去する掻取り部（除去本体部）とを備えた磁性粒子除去装置に関する技術分野に属する。
【背景技術】
【０００２】
この種の磁性粒子除去装置としては、例えば特許文献１に示すように、内周面にマグネットを配して外周面を磁性粒子吸着用の吸着面とする非磁性回転円筒と、該回転円筒の吸着面に吸着された磁性粒子（切屑等）を掻き取る掻取り板とを備えたものが知られている。この除去装置では、上記非磁性回転円筒を、その吸着面がクーラント液中に浸漬する状態でモータにより回転駆動させることで、掻取り板を、吸着面に沿って周方向に（つまり掻取り板の掻取り面が磁性粒子を掻き取る向きに）相対移動させ、これによって、吸着面に吸着された磁性粒子を該掻取り板で掻き取るようになっている。掻き取られた磁性粒子は、掻取り板に沿って落下して装置外へと排出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−３４０７１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述のような磁石部材の磁気吸引力を利用した磁性粒子除去装置では、磁性粒子の除去効率の向上を図るために、マグネット数を増やす等して磁気吸引力の増強を図ることが好ましい。
【０００５】
しかしながら、このように磁気吸引力を増強した場合には、磁性粒子の吸着面への吸着力が強くなり過ぎる結果、掻取り板により掻き取られた磁性粒子が再び吸着面に吸着されて、磁性粒子の除去効率が低下するという問題がある。
【０００６】
本発明は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、例えば、被処理流体中の磁性粒子を磁気吸引力により吸着する吸着面と、該吸着面に吸着された磁性粒子を掻き取る掻取り面を有する掻取り部と、該掻取り部を吸着面に沿って相対移動させる相対移動手段とを備えた磁性粒子除去装置において、その構成に工夫を凝らすことで、装置全体としての磁性粒子の除去効率を可及的に向上させようとすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために、この発明では、例えば、掻取り面にて掻き取った磁性粒子を回収するための回収用空間と該回収用空間に連通する粒子吸込口とを有する掻取り部と、該粒子吸込口から該回収用空間内に磁性粒子を吸込むための吸引部、または該粒子吸込口から粒子排出口に向く被処理流体の流れを生じさせる押し流し部とを備えるようにした。
【０００８】
具体的には、請求項１の発明は、
磁性粒子を含む被処理流体に接触して該被処理流体中の磁性粒子を磁気吸引力により吸着する吸着面と、
掻取り部材を有し、該吸着面に吸着された磁性粒子を掻き取る掻取り部と、
上記吸着面、及び上記掻取り部材の少なくとも一方を、上記掻取り部材が上記吸着面に吸着された磁性粒子を掻き取る向きに相対移動するように移動させる相対移動手段とを備えた磁性粒子除去装置であって、
さらに、上記掻取り部材によって掻き取られた磁性粒子を搬送して排出する搬送部を備え、
上記搬送部は、掻取り部材によって掻き取られた磁性粒子を吸引して排出する吸引部、および上記磁性粒子を押し流して排出する押し流し部の少なくとも一方を有することを特徴とする。
【０００９】
また、請求項２の発明は、
請求項１記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部は、掻き取った磁性粒子を回収するべく該掻取り部の内部に形成される回収用空間と、該回収用空間に連通する粒子吸込口とを有しており、
上記吸引部は、上記掻取り部材により掻き取った磁性粒子を上記粒子吸込口から上記回収用空間内に吸込むことを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、相対移動手段により掻取り部を吸着面に沿って相対移動させると、掻取り部材の掻取り面が、該吸着面に吸着した磁性粒子を掻き取る。掻き取られた磁性粒子は、上記吸引部により吸引されて粒子吸込口から掻取り部内（回収用空間内）に導入される。したがって、一旦掻き取った磁性粒子が吸着面に再吸着される前に、該磁性粒子を掻取り部内（回収用空間内）に導くことができる。よって、磁性粒子の除去効率を確実に向上させることができる。
【００１１】
請求項３の発明は、
請求項２記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部は、さらに、上記回収用空間内に吸込まれた磁性粒子を該掻取り部外に排出するべく該回収用空間に連通する粒子排出口を有しており、
上記掻取り部における上記回収用空間と上記吸着面との間には、該回収用空間内に吸引された磁性粒子に対して該吸着面から磁気吸引力が作用するのを阻止する磁気シールド部材が設けられていることを特徴とする。
【００１２】
この構成によれば、回収用空間内の磁性粒子に対して上記吸着面から作用する磁気吸引力を、該回収用空間と吸着面との間に配設された磁気シールド部材によって遮断することができる。したがって、回収用空間内の磁性粒子の流動性が該磁気吸引力により損なわれることもなく、このため、回収用空間内に吸込んだ磁性粒子を上記粒子排出口まで確実に流動させて排出することができる。よって、回収用空間内に磁性粒子が堆積したり、粒子吸込口が該堆積した磁性粒子で閉塞されたりして、磁性粒子の回収効率が低下するのを確実に防止することができる。
【００１３】
また、磁気シールド部材が上記吸着面からの磁気吸引力により該吸着面側に引き寄せられるので、掻取り部も磁気シールド部材と共に吸着面側に引き寄せられる。この結果、掻取り部に設けられた掻取り面の吸着面側の端縁が、該吸着面に押付けられることとなって、比較的小さな磁性粒子をも逃さずに該掻取り面で掻き取ることができる。よって、磁性粒子の除去効率を可及的に向上させることが可能となる。更に、この磁性体の大きさの選定、配置の調整、適切な磁気シールド性能を有するシールド部材の選出等によって透磁率を調整することによって、上記吸着面への吸着状態や上記吸着面からの掻取り状態を制御できる。したがって、被処理流体中に含まれる磁性粒子ｊの大きさや量に応じて、この磁性体の透磁率を調整することで、磁性粒子ｊを効率的に除去することができる。
【００１４】
請求項４の発明は、
請求項３記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部材は、厚さ方向の一方側面が上記吸着面に当接又は近接し、かつ、上記相対移動方向の前側側面が掻取り面とされる板状部材からなり、
上記磁気シールド部材は、上記板状部材の厚さ方向の他方側面に積層されていることを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、上記掻取り部における上記磁気シールド部材と吸着面との間に挟まれた部分が板状部材とされているので、吸着面と磁気シールド部材との距離を極力近づけて該吸着面から磁気シールド部材に作用する磁気吸引力を高めることができる。したがって、該磁気シールド部材と吸着面との間に挟まれた板状部材を、吸着面側に強力に押付けることができ、延いては、上記掻取り面の吸着面側の端縁を吸着面に強力に押付けることができる。したがって、請求項３の発明と同様の作用効果をより一層確実に得ることができる。
【００１６】
請求項５の発明は、
請求項４記載の磁性粒子除去装置であって、
上記粒子吸込口は、上記除去本体部における上記相対移動方向の前側面に形成されており、
上記掻取り面は、上記相対移動方向の後側に行くにしたがって上記吸着面と離れる側に傾斜する傾斜面とされ、
上記掻取り面の上記相対移動方向の後側端部は、上記粒子吸込口に接続されていることを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、上記掻取り面で掻き取られた磁性粒子を、該掻取り面に沿って粒子吸引口まで案内することができる。よって、磁性粒子を粒子吸引口から回収用空間内に確実に案内回収することができる。
【００１８】
請求項６の発明は、
請求項１記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部は、さらに、粒子吸込口、粒子排出口、および上記吸着面から引きはがされた磁性粒子を上記粒子吸込口から粒子排出口に集約する回収用空間を有し、
集約された磁性粒子が上方または水平方向に排出されることを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、磁性粒子を集約させて、装置のレイアウトや被処理流体の性状などに応じて、適切な方向に排出させることなどが容易にできる。
【００２０】
請求項７の発明は、
請求項１記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部は、さらに、粒子吸込口、粒子排出口、および上記吸着面から引きはがされた磁性粒子を上記粒子吸込口から粒子排出口に集約する回収用空間を有し、
上記押し流し部は、上記粒子吸込口から粒子排出口に向く被処理流体の流れを生じさせる被処理流体噴出部を有していることを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、磁性粒子を集約させて、被処理流体の流れの作用によって排出させることができる。
【００２２】
請求項８の発明は、
請求項１記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部は、さらに、粒子吸込口、粒子排出口、および上記吸着面から引きはがされた磁性粒子を上記粒子吸込口から粒子排出口に集約する回収用空間を有し、
上記吸着面と回収用空間との間に、磁性体から成る磁気シールド部材が設けられていることを特徴とする。
【００２３】
この構成によれば、やはり、回収用空間内の磁性粒子に対して上記吸着面から作用する磁気吸引力を遮断することができる。よって、回収用空間内の磁性粒子の流動性が該磁気吸引力により損なわれることもなく、このため、回収用空間内に吸込んだ磁性粒子を上記粒子排出口まで確実に流動させて排出することができ、回収用空間内に磁性粒子が堆積したり、粒子吸込口が該堆積した磁性粒子で閉塞されたりして、磁性粒子の回収効率が低下するのを確実に防止することができる。
【００２４】
請求項９の発明は、
請求項８記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部材、及び磁気シールド部材は、吸着面に吸着された磁性粒子が吸着面から引きはがされる位置から、上記粒子排出口が設けられている位置にかけて、上記吸着面から磁気シールド部材の上面までの距離が大きくなる傾斜を有することを特徴とする。
【００２５】
この構成によれば、上記磁気吸引力の遮断作用が、磁性粒子が粒子排出口に向かうほど大きくなるので、より確実に搬送されやすくすることができる。
【００２６】
請求項１０の発明は、
請求項１乃至９のいずれか一項に記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部を上記吸着面側に押付ける付勢バネをさらに備えていることを特徴とする。
【００２７】
この構成によれば、付勢バネにより掻取り部を吸着面側に押付けることができる。したがって、掻取り部の掻取り面の吸着面側の端縁をより一層確実に吸着面に押付けて、磁性粒子の除去効率を向上させることができる。
【発明の効果】
【００２８】
以上説明したように、本発明の磁性粒子除去装置によると、例えば、掻取り面にて掻き取った磁性粒子を回収するための回収用空間と該回収用空間に連通する粒子吸込口とを有する除去本体部と、該粒子吸込口から該回収用空間内に磁性粒子を吸込む吸引部等とを備えるようにしたことで、磁性粒子の除去効率を可及的に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】実施形態１の被処理流体浄化システムの構成を示す全体図である。
【図２】ダスト分離用タンク１０３の構成を示す縦断面図である。
【図３】同、右側面図である。
【図４】同、平面図である。
【図５】サイクロン式分離除去装置１の構成を示す縦断面図である。
【図６】図５のVI−VI線断面図である。
【図７】図６のVII−VII線断面図である。
【図８】図６のVIII−VIII線断面図である。
【図９】サイクロン式分離除去装置１の永久磁石の配設状態を示す横断面図である。
【図１０】実施形態１の磁性粒子除去装置５０の構成を示す縦断面図である。
【図１１】実施形態１の円板状吸着部６０の永久磁石の配設状態を示す平面図である。
【図１２】実施形態１の吸着面の構造を示す拡大図である。
【図１３】図１０のXIII−XIII線断面図である。
【図１４】実施形態１の除去本体部８０の構成を示す縦断面図である。
【図１５】実施形態２の被処理流体浄化システムの構成を示す全体図である。
【図１６】実施形態２の磁性粒子除去装置５０の構成を示す縦断面図である。
【図１７】図１６のXVII−XVII線断面図である。
【図１８】実施形態２の除去本体部８０の構成を示す縦断面図である。
【図１９】実施形態３の被処理流体浄化システムの構成を示す全体図である。
【図２０】実施形態３の磁性粒子除去装置５０の構成を示す縦断面図である。
【図２１】実施形態３の除去本体部８０の構成を示す縦断面図である。
【図２２】実施形態４の被処理流体浄化システムの構成を示す全体図である。
【図２３】実施形態４の磁性粒子除去装置５０の構成を示す縦断面図である。
【図２４】実施形態４の除去本体部８０の構成を示す縦断面図である。
【図２５】実施形態５の磁性粒子除去装置５０の構成を示す断面図である。
【図２６】実施形態６の磁性粒子除去装置５０の構成を示す断面図である。
【図２７】他の実施形態の円板状吸着部６０の構成を示す平面図である。
【図２８】他の実施形態の被処理流体浄化システムの構成を示す全体図である。
【図２９】他の実施形態の被処理流体浄化システムの構成のさらに他の例を示す全体図である。
【図３０】他の実施形態のサイクロン式分離除去装置１の構成を示す縦断面図である。
【図３１】他の実施形態の磁性粒子除去装置５０の構成を示す断面図である。
【図３２】図３１のXIII−XIII線断面図である。
【図３３】他の実施形態の磁性粒子除去装置５０の構成のさらに他の例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の各実施形態において、他の実施形態と同様の機能を有する構成要素については同一の符号を付して適宜説明を省略する。
【００３１】
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る被処理流体浄化システム１００を示し、本実施形態では一例として、このシステム１００を、工作機械１０１のクーラント液（被処理流体）の浄化システムに適用した例を示す。
【００３２】
すなわち、上記被処理流体浄化システム１００は、工作機械１０１において、クーラント液（すなわち被処理流体）の中に混入する切粉（磁性粒子ｊ）或いは該切粉と砥粒との溶着したもの等からなる切削屑である磁性粒子ｊ（図５及び図１４参照）と、クーラント液とを分離し、該磁性粒子ｊを分離回収する場合に適用したものである。より具体的には、このシステム１００は、ダーティタンク１０２と、ダスト分離用タンク１０３と、サイクロン供給用貯留タンク１０９と、サイクロン式分離除去装置１と、磁性粒子除去装置５０と、スーパクリーンタンク１０４とを備えている。
【００３３】
工作機械１０１から排出されたダーティ液（磁性粒子ｊを除去する前の被処理流体）は先ず、ダーティタンク１０２内へと導かれて貯留される。ダーティタンク１０２内に貯留された被処理流体は、ポンプ１１５により汲み上げられて、ダスト分離用タンク１０３へと導かれる。ダスト分離用タンク１０３では、後述するマグネットプレート１０８ｆ等に吸着され、または自重で速やかに沈殿する比較的大きなダストなどが除去され、残りのダストを含む被処理流体がサイクロン供給用貯留タンク１０９に貯留される。
【００３４】
サイクロン供給用貯留タンク１０９に貯留された被処理流体は、ポンプ１０５により汲み上げられてサイクロン式分離除去装置１へと導かれる。サイクロン式分離除去装置１では、後述するように、比重が比較的小さい磁性粒子ｊが浮上物排出口２１（図５参照）からダスト分離用タンク１０３へと排出された後、比重が比較的大きい磁性粒子ｊが遠心力により分離されて排出口４（図５参照）から、ダスト分離用タンク１０３へと排出され、浄化処理後の被処理流体が、筒状排出管６から排出されて磁性粒子除去装置５０へと導かれる。
【００３５】
磁性粒子除去装置５０では、サイクロン式分離除去装置１で除去しきれなかった磁性粒子ｊを含む被処理流体が分離されてサイクロン供給用貯留タンク１０９へと戻される一方、浄化処理後の被処理流体はスーパクリーンタンク１０４内に排出される。尚、図１中、符号１０６は、後述するように磁性粒子除去装置５０にて分離した磁性粒子ｊを吸引するためのエジェクタバルブ（吸引手段に相当）である。
【００３６】
上記スーパクリーンタンク１０４に導かれて貯留された、磁性粒子除去後のクリーンな被処理流体は、不図示のポンプにより工作機械１０１に供給されてクーラント液として使用される。尚、スーパクリーンタンク１０４内の被処理流体は、その水位が所定水位ｈ２に達すると戻り管１０４ｂからサイクロン供給用貯留タンク１０９へと戻されるようになっている。これに伴って、軽くてスーパクリーンタンク１０４内で表面に浮いたダストも、サイクロン供給用貯留タンク１０９へと戻される。また、磁性粒子除去装置５０によっても除去されずスーパクリーンタンク１０４内で沈殿したダストは、スーパクリーンタンク１０４の底部に設けられた排出管１０４ｃ、および排出バルブ１０４ｄを介してダーティタンク１０２に排出されるようになっている。
【００３７】
上記のように、工作機械１０１から排出された被処理流体が直接サイクロン式分離除去装置１に供給されず、一旦ダスト分離用タンク１０３によって比較的大きなダストなどが除去されてから供給されることによって、より小さなダストを含む被処理流体が遠心分離の対象となるので、サイクロン式分離除去装置１における比較的小さな磁性粒子ｊの除去効率を容易に高めることができる。また、さらに磁性粒子除去装置５０を組み合わせることによって、より小さな磁性粒子ｊの除去効率を高めることができる。すなわち、例えば、各装置の特性をダストの性状等に応じて特化させて、種々の大きさのダストに対する全体的な除去効率を大幅に高めることなどができる。
【００３８】
なお、上記のシステム構成例は一例であり、種々の変形構成が可能である。例えば、工作機械１０１から排出された被処理流体は、ダーティタンク１０２を介してダスト分離用タンク１０３に供給されるのに限らず、直接ダスト分離用タンク１０３に供給されるようにしてもよい。また、ダスト分離用タンク１０３から排出された被処理流体は、サイクロン供給用貯留タンク１０９に貯留された後にサイクロン式分離除去装置１に供給されるのに限らず、ダスト分離用タンク１０３から直接供給されるようにしてもよい。もっとも、上記のようにダスト分離用タンク１０３の前後にダーティタンク１０２および／またはサイクロン供給用貯留タンク１０９を設ける場合には、ダスト分離用タンク１０３の流入、流出量を適切に設定、または制御して、ダストの除去効率を向上させることが、より容易になる。また、サイクロン式分離除去装置１から排出される磁性粒子ｊや浮上物は、通常はダスト分離用タンク１０３に戻されるのが、ダストボックス１０７、浮上物回収ボックス１０３ｍへの回収をスムーズに行いやすい点で好ましいが、これに限らず、ダーティタンク１０２やサイクロン供給用貯留タンク１０９に戻されるなどしてもよいし、別途分離処理されるようにしてもよく、最終的にダスト等の回収が可能であればよい。
【００３９】
−ダスト分離用タンク１０３の構成−
ダスト分離用タンク１０３は、例えば図２〜図４に示すような構成を有している。流入管１０３ａから流入した被処理流体は、タンク流入口１０３ｃからタンク本体内に流入し、流入口仕切板１０３ｊを回り込み、排出口下方仕切板１０３ｇと排出口側方仕切板１０３ｈとの間を通過して、排出管１０３ｂから排出されるようになっている。
【００４０】
上記被処理流体が流れる経路付近には、マグネット１０３ｄ、およびマグネットプレート１０８ｆが設けられ、ダスト（磁性粒子）が、自重で沈殿するのに加えて、強制的に吸着、沈殿させられて、捕捉されるようになっている。タンク流入口１０３ｃの近傍のマグネット１０３ｄに捕捉されたダストは、転がり落ちてタンク内に沈殿するか、または、切り屑排出口１０３ｅから強制的に排出できるようになっている。上記切り屑排出口１０３ｅは、通常の運転時には、蓋１０３ｆで塞がれている。
【００４１】
一方、マグネットプレート１０８ｆに吸着され、またはタンク内に沈殿したダストは、コンベア式のダスト分離装置１０８によって、ダストボックス１０７に排出される。ダスト分離装置１０８は、モータ１０８ａにより駆動される駆動軸１０８ｂと、従動軸１０８ｃと、両者間に掛け渡されたチェーンベルト１０８ｄとを備えている。上記チェーンベルト１０８ｄには適宜間隔でスクレーパ１０８ｅが立設され、このスクレーパ１０８ｅによって、マグネットプレート１０８ｆに吸着され、またはタンク内に沈殿したダストが掻き出される。
【００４２】
上記ダスト分離装置１０８は、限定はされないが、例えばユニット化されて、斜め上方に引き抜くことができるよう脱着自在に設けられ、メインテナンスが容易にできるようにされるようになっている。また、ダスト分離装置１０８を引き抜いた状態でも、ダスト分離用タンク１０３内に沈殿したダスト等を手動で掻き出すことが容易にできるようになっている。なおダスト分離装置１０８は、上記のような構成に限るものではなく、例えば特開２００３−２５１５４２号公報に示されるものなど、公知の種々の構造を有するものを適用してもよい。
【００４３】
ダスト分離用タンク１０３には、また、後に詳述するサイクロン式分離除去装置１から排出された磁性粒子ｊ、および浮上物も回収管１２１・１２２を介して回収されるようになっている。回収管１２１によって回収された磁性粒子ｊは、ダスト分離用タンク１０３の底に沈殿し、またはマグネットプレート１０８ｆに吸着されて、上記のようにダスト分離装置１０８によりダストボックス１０７に排出される。浮上物が回収される回収管１２２は、ダスト分離用タンク１０３内で下方を除く周囲を浮上物仕切板１０３ｉに囲まれている。これにより、回収された浮上物は上記浮上物仕切板１０３ｉに囲まれた範囲内に止められ、サイクロン供給用貯留タンク１０９に送られる被処理流体中に混入するのが防止されるようになっている。上記浮上物は、ダスト分離用タンク１０３内の水位が上昇すると浮上物回収ボックス１０３ｍに排出される（図３）。
【００４４】
また、必須な構成要素ではないが、ダスト分離用タンク１０３の側方には、内部の液位などを視認するための監視窓１０３ｋ（図３）が設けられている。
【００４５】
−サイクロン式分離除去装置の構成−
サイクロン式分離除去装置１は、図５に示すように、ステンレス、アルミニウムや樹脂等の非磁性体からなるサイクロン式処理容器２と、該サイクロン式処理容器２の上側に配設される浮上物回収タンク１５と、サイクロン式処理容器２内の浄化後の被処理流体を該処理容器２外（サイクロン式分離除去装置１外）へと排出する筒状排出管６とを備えている。該サイクロン式処理容器２及び浮上物回収タンク１５は、上端部が閉塞された略円筒状の本体部２ａと、該本体部２ａの下端部に接続される略円筒状の流体渦流部２ｅとで構成されている。より具体的には、本体部２ａの内側空間１３は、仕切り板１８により上下に仕切られており、この仕切り板１８がサイクロン式処理容器２の上壁部を構成するとともに、浮上物回収タンク１５の底壁部を構成している。
【００４６】
このサイクロン式処理容器２は、上下方向に延びる内側周側壁面２ｇに、逆円錐状部２ｂ，２ｄを形成した槽体からなるものであって、後述するように、磁性粒子ｊを含む被処理流体を該内側周側壁面２ｇに沿って、サイクロン式分離除去装置１を上方から見たときにおける反時計回り方向に旋回流動させることでその遠心力により該磁性粒子ｊを分離する。尚、被処理流体を時計回り方向に旋回流動させるようにしてもよいことは言うまでもない。
【００４７】
より詳細には、サイクロン式処理容器２の内側周側壁面２ｇは、その上端部に形成されて内径が上下方向の全体に亘って略一定となる円筒状部２ｆと、該円筒状部２ｆの下側に連設され、下側ほど内径が小さくなる上記上側逆円錐状部２ｂと、該上側逆円錐状部２ｂに隣接してその下側に形成された下側逆円錐状部２ｄと、両逆円錐状部２ｂ，２ｄ同士を接続する円錐状部２ｃとからなる。該円筒状部２ｆ、両逆円錐状部２ｂ，２ｄ、及び円錐状部２ｃの軸心は一致しており、この軸心が、サイクロン式処理容器２の中心軸１Ｃとされる。そして、この中心軸１Ｃは、被処理流体の旋回中心軸に略一致している。尚、円筒状部２ｆは、上記本体部２ａの内側周側壁面における仕切り板１８よりも下側の部分とされ、両逆円錐状部２ｂ，２ｄ及び円錐状部２ｃは、上記流体渦流部２ｅの内側周側壁面とされている。
【００４８】
上記円筒状部２ｆの上端部（つまりサイクロン式処理容器２の上端部）には、図５、図６に示すように、上記サイクロン式処理容器２内に被処理流体を導入するための導入口３が形成されている。この導入口３は、上側から見て該円筒状部２ｆに対してその接線方向から貫通して開口するとともに、該開口から処理容器２内に流入する被処理流体を該円筒状部２ｆの中心軸（処理容器２の中心軸１Ｃ）周りに反時計回り方向に旋回流動させるように構成されている（なお、図５に示す断面には、実際には導入口３は現れないが、図５では、便宜上、ほぼ同図の断面に投影した位置に表している。）。こうして、被処理流体は、該円筒状部２ｆにおいて反時計回り方向に旋回流動されることで、その勢いで流体渦流部２ｅ内においても同方向（反時計回り方向）に旋回流動される。
【００４９】
上記下側逆円錐状部２ｄの上端の内径は、上側逆円錐状部２ｂの下端の内径よりも大きくなっており（つまり拡径している）、後述するように、この下側逆円錐状部２ｄの上端部に磁性粒子ｊが分離集約されるようになっている。
【００５０】
上記下側逆円錐状部２ｄの上端と上側逆円錐状部２ｂの下端とは、下側ほど拡径する円錐状部２ｃを介して接続されている。下側逆円錐状部２ｄの下端（つまりサイクロン式処理容器２（流体渦流部２ｅ）の底面）には、磁性粒子ｊを排出するための排出口４が設けられている。これら両逆円錐状部２ｂ，２ｄ及び円錐状部２ｃを構成する流体渦流部２ｅは、円筒外筒５に嵌合挿入されて着脱可能になっている。尚、円筒外筒５はステンレス、合成樹脂等の非磁性体で構成するが、永久磁石１０の磁力の作用上で影響が無ければ、鋼管としてもよい。また、本体部２ａ及び流体渦流部２ｅは別体で構成しているが、一体でもよい。
【００５１】
円筒外筒５は、その上端部の外周面に形成された雄ねじ部９ｂを本体部２ａの下端部に形成された雌ねじ部９ａに螺合してねじ込み固定されている。流体渦流部２ｅの上端面の外周縁、及び、円筒外筒５の上端面の内周縁は共に面取り加工が施されていて、両面取り面によりＶ字状の溝部が形成され、この溝部にＯリング８がセットされている。こうすることで、本体部２ａと流体渦流部２ｅとの接続部から被処理流体が漏出するのを防止している。特に、円筒外筒５の上端部がねじ込まれて本体部２ａの下端部に押しつけられ、且つ流体渦流部２ｅの上端面がスプリング（図示省略）で上方に押しつけられることで、組み付けでき且つシールできるので、組付性及びメンテナンス性に優れる。
【００５２】
上記浮上物回収タンク１５は、サイクロン式処理容器２内の上部に浮上した比較的比重の小さい浮上物（例えば、比重の軽い磁性粒子、油成分、浮遊カーボン、浮遊ゴミ等であり、以下浮上物と称す）を回収するためのものであって、上述のように、底壁部がサイクロン式処理容器２の上壁部（仕切り板１８）で構成されている。
【００５３】
浮上物回収タンク１５の内側周側壁面１５ａは、上記サイクロン式処理容器２の円筒状部２ｆと同軸の円筒状をなしていて、上下方向において径寸法が略一定となるように形成されている。
【００５４】
また、浮上物回収タンク１５の内側周側壁面１５ａには、回収した浮上物を含む被処理流体を該回収タンク１５外（装置１外）へと排出するための浮上物排出口２１が形成されている。この浮上物排出口２１は、図６に示すように、上側から見て該回収タンク１５の内側周側壁面１５ａに対してその接線方向から貫通して開口している。より詳細には、該浮上物排出口２１は、上記導入口３に対して、サイクロン式処理容器２の中心軸１Ｃ（回収タンク１５の中心軸）を挟んで相対向する位置に形成されており、該浮上物排出口２１の軸心方向は、該導入口３の軸心方向に対して垂直な関係にある。
【００５５】
上記浮上物回収タンク１５の底壁部（つまりサイクロン式処理容器２の上壁部）を構成する仕切り板１８には、該処理容器２の上部に浮上した浮上物を浮上物回収タンク１５内に導くための回収用貫通孔が形成されている。
【００５６】
この回収用貫通孔は、複数のスリット１９からなり、各スリット１９は、上側から見てサイクロン式処理容器２（円筒状部２ｆ）の中心部側から径方向外側に延びるとともに、該処理容器２の中心軸１Ｃ（円筒状部２ｆの中心軸）周りに周方向に等間隔（本実施形態では９０°間隔）に配設されている。
【００５７】
各スリット１９は、仕切り板１８の該各スリット１９に対応する部分を切り欠いて下側に折り曲げることで形成されている。該仕切り板１８の該折り曲げた部分である折曲げ片２０は、図７に示すように各スリット１９から回収タンク１５内へと浮上物を案内する案内用折曲げ片２０ａ（本実施形態では、４つの折曲げ片２０のうちの３つ）と、図８に示すように仕切り板１８の下面近傍の流れ（サイクロン式処理容器２内の上端部の流れ）を整流するための整流用折曲げ片２０ｂとで構成されている。
【００５８】
上記案内用折曲げ片２０ａは、仕切り板１８のスリット１９に対応する部分をその幅方向の旋回下流側（被処理流体の旋回方向の下流側であって、図７の右側）の側縁部に沿って（側縁部を基端部として）、旋回上流側が下方に傾斜するように折り曲げることで形成されている。
【００５９】
一方、上記整流用折曲げ片２０ｂは、仕切り板１８のスリット１９に対応する部分をその幅方向の旋回上流側（被処理流体の旋回方向の上流側であって、図８の左側）の側縁部に沿って（側縁部を基端部として）、旋回下流側が下方に傾斜するように折り曲げることで形成されている。
【００６０】
なお、実施形態では、案内用折曲げ片２０ａと整流用折曲げ片２０ｂとを設けたが、旋回流の渦流形成状態によれば、案内用折曲げ片２０ａだけとして、整流用折曲げ片２０ｂを省略することもあり得る。
【００６１】
上記筒状排出管６（図１参照）は、サイクロン式処理容器２及び浮上物回収タンク１５の中心部を通って上下方向に延びるとともに、該処理容器２の内外を連通することで該処理容器２内のクリーンな被処理流体を該処理容器２外（装置１外）へと導くように構成されている。
【００６２】
より詳細には、筒状排出管６は、その下端部がサイクロン式処理容器２内に位置していて、そこから上側に向かって延びるとともに、該処理容器２の上壁部（仕切り板１８であって浮上物回収タンク１５の底壁部）及び浮上物回収タンク１５の上壁部（本体部２ａの上端部）を貫通して該処理容器２外（装置１外）へと延設されている。換言すると、上記筒状排出管６は、浮上物回収タンク１５を串刺すようにその中心部を通って上下方向に延設されている。筒状排出管６の下端部の開口（以下、流体排出口７という）の高さ位置は、下側逆円錐状部２ｄの上端とほぼ同じ高さ位置か、その近傍（例えば、下側逆円錐状部２ｄの上端よりも上側で上側逆円錐状部２ｂの下端よりも下側）に位置しており、後述するように、磁性粒子ｊが除去されたクリーンな被処理流体は、該流体排出口７から筒状排出管６内を通って装置１外へと導かれる。また、流体排出口７が設けられた筒状排出管６の下端部の外周面は僅かに外側に拡径しており、こうすることで、流体により確実に遠心力が作用するようになっている。しかし、場合によれば、該下端部は筒状排出管６の本体部分（該下端部を除く部分）と同径のままでもよい。
【００６３】
上記サイクロン式処理容器２（流体渦流部２ｅ）における下側逆円錐状部２ｄの上端部および上側逆円錐状部２ｂの下端部付近の外周面２ｈ（側壁部２ｉの外周面）には、図９に示すように円周溝１２，１１が形成され、それぞれ８個の永久磁石１０が嵌め込まれている。これらの永久磁石１０は、例えば矩形の薄板状をなし、円周方向に隣り合う２個ずつがヨーク２２によって連結されている。上記ヨーク２２は、例えばパーマロイの薄板が折り曲げられて形成されている。各永久磁石１０の円周方向の位置決めは、間に交互に配置された薄肉スペーサ１６および厚肉スペーサ１７によってなされている。また、ヨーク２２の円周方向の位置決めは、上記厚肉スペーサ１７によってなされている。上記のようにヨーク２２を設けることによって、該永久磁石１０による磁気吸引力をより一層強めることができる。すなわち、ヨーク２２を永久磁石１０の径方向外側に配置し、２個ずつの永久磁石１０を連結することで、径方向外側に逃げる磁力線を減らせるので、永久磁石１０の径方向内側に作用する磁力が強くなる。したがって、永久磁石１０のコンパクト化を図ることができる。また、永久磁石１０の径方向外側に、鉄製部材等の強磁性体を配設したとしても該強磁性体に対して永久磁石１０からの磁気吸引力の影響が低減される。このため、サイクロン式処理容器２やその周辺装置を設計する際の設計自由度を高めることができる。
【００６４】
なお、図９においてはヨーク２２の厚さを永久磁石１０の厚さよりも薄く描いているが、例えば、永久磁石１０としてネオジム磁石やサマリウムコバルト磁石などを用い、ヨーク２２として鋼板を用いる場合には、ヨーク２２を永久磁石１０と同等以上の厚さに設定するなどしてもよい。
【００６５】
また、上記ヨーク２２に加えて、例えば、円筒外筒５の外周にさらに同様のヨークを設け、吸引力をより大きくできるようにしてもよい。
【００６６】
各永久磁石１０は、円周溝１１，１２共に、半径方向内側がＳ極になるものとＮ極になるものとが、互いに隣り合うように配設されている。
【００６７】
なお、永久磁石１０を設ける方法は、上記のように円周溝１１，１２に嵌め込むのに限らず、例えば、永久磁石１０の外形に対応する凹部を側壁部２ｉの外周面２ｈに形成して嵌め込むなどしてもよい。また、ヨーク２２によって連結される永久磁石１０の個数は２個に限らず、より多くてもよく、さらには、ヨーク２２をリング状にし、全部の永久磁石１０を連結するようにしたりしてもよい。一方、永久磁石１０とほぼ同形状の磁性体を各永久磁石１０の背面に重ねるように設けるだけでもよい。また、永久磁石１０は、筒状排出管６における流体排出口７の上下付近で上下２段に設けるのに限らず、何れか一方だけ設けるなどしてもよい。
【００６８】
また、サイクロン式分離除去装置１としては、上記のような構成のものに限らず、遠心分離機能を備えた種々の装置が適用できる。具体的には、例えば浮上物回収タンク１５を備えず、遠心分離による磁性粒子ｊの除去などを主とする装置を用いるなどしてもよい。
【００６９】
−サイクロン式分離除去装置の動作−
以上のように構成されたサイクロン式分離除去装置１における磁性粒子ｊの分離回収動作について説明する。
【００７０】
先ず、磁性粒子ｊを含む被処理流体が、高速で、導入口３（図５参照）からサイクロン式処理容器２内に導入される。導入された被処理流体は、該処理容器２の内側周側壁面２ｇの円筒状部２ｆに沿って上記筒状排出管６周りに旋回運動することで旋回流が生じる。ここで、被処理流体中に含まれる比重の小さい浮上物は、これを浮上させようとする浮力によって、処理容器２内の上部に浮上集約されることとなる。この浮上集約された浮上物は、被処理流体が筒状排出管６周りに旋回流動する過程で、スリット１９から浮上物回収タンク１５内へと流入する。より具体的には、サイクロン式処理容器２内の上端部（仕切り板１８の下面近傍）に集約された浮上物は、被処理流体の旋回流動により該処理流体と共にその旋回上流側から旋回下流側へと流れる中で、上記案内用折曲げ片２０ａの案内面２０ｊ（図７参照）に衝突することでその進路を上方へと変更し、回収タンク１５内へと導かれる。回収タンク１５内へと導かれた浮上物を含む被処理流体は、その旋回慣性により該回収タンク１５内においてもその内側周側壁面１５ａに沿って上記筒状排出管６周りに旋回流動して、上記浮上物排出口２１から接線方向に排出され、装置１外へと導かれる。
【００７１】
一方、上記導入口３からサイクロン式処理容器２内に流入した被処理流体のうち、回収タンク１５内に流入しなかった残りの流体（つまり比重の小さい浮上物が除去された被処理流体）は、逆円錐状部２ｂに導かれて下側に行くほど回転速度を増加させていく。これに伴って、被処理流体中の磁性粒子ｊは、遠心力が作用して径方向外側に移動し、内側周側壁面２ｇに沿って旋回しながら下降する。そして、被処理流体の回転速度が最も速くなる上側逆円錐状部２ｂの下端部にて、被処理流体中の磁性粒子ｊには、大きな遠心力が作用するとともに、上方側の円周溝１１に嵌入された永久磁石１０から径方向外側へと向かう磁気吸引力が作用することとなる。この結果、該磁性粒子ｊは、内側周側壁面２ｇ側（径方向外側）に分離される。
【００７２】
一方、磁性粒子ｊが極めて少なくなったクリーンな流体は上側逆円錐状部２ｂの中心部寄りに残ることとなる。ここで、磁性粒子ｊが極めて少なくなったクリーンな流体と表現した理由は、１μｍ〜５μｍの磁性粒子が、軽いためにクリーンな流体と共に筒状排出管６に導かれることがあり、僅かに磁性粒子が含まれている可能性があるからである。
【００７３】
そして、被処理流体は、主として５μｍ以上の磁性粒子ｊが内側周側壁面２ｇ側に偏って分離された状態のまま円錐状部２ｃに導かれる。
【００７４】
円錐状部２ｃにおいては、被処理流体の旋回流速は若干低下するものの、上記のように既に内側周側壁面２ｇ側に偏った状態にある磁性粒子ｊは、さらに径方向外側へと移動する。
【００７５】
そうして、円錐状部２ｃを通過した被処理流体中の磁性粒子ｊは、下側逆円錐状部２ｄの上端部に流入すると、その径方向外側への流動慣性力に加えて、下方側の円周溝１２に嵌入された永久磁石１０から径方向外側へと向かう磁気吸引力を受けて、下側逆円錐状部２ｄの上端部に分離集約される。上記下側逆円錐状部２ｄの上端部に分離集約された磁性粒子ｊは、いずれ団塊状になってその自重により下側逆円錐状部２ｄの傾斜面に沿って落下し、排出口４から排出され、該排出された磁性粒子ｊは、ダスト分離用タンク１０３（回収容器）内に回収される。
【００７６】
一方、下側逆円錐状部２ｄに流入した被処理流体は、旋回流動（渦流）するとともに、中心部の被処理流体には上向き軸方向の力が作用して、流体排出口７から筒状排出管６を通って磁性粒子除去装置５０へと供給される。
【００７７】
上記実施形態では、下側逆円錐状部２ｄの内壁に吸着した磁性粒子は自重で落下するが、更に吸着した磁性粒子の落下を促進したい場合には、磁石部材の磁力を弱める機構、例えば、磁石部材及び／またはヨークを上下動させるような機構を設けて積極的に分離除去するようにしてもよい。
【００７８】
−磁性粒子除去装置の構成−
上記磁性粒子除去装置５０は、図１に示すように、スーパクリーンタンク１０４の上壁部１０４ａにおけるタンク長さ方向の一方側端部に取付けられていて、上述のように、サイクロン式分離除去装置１から供給される被処理流体中の磁性粒子ｊ（サイクロン式分離除去装置１で除去しきれなかった磁性粒子ｊ）を分離除去する。
【００７９】
より具体的には磁性粒子除去装置５０は、図１０〜図１４に示すように、磁性粒子ｊを吸着する吸着面５１ａを有する円板状吸着部６０と、該吸着面５１ａに吸着された磁性粒子ｊを掻き取る掻取り面８１ａ（図１４参照）を有する除去本体部８０（掻取り部）と、円板状吸着部６０をその軸心回りに図１３で反時計回り方向に回転駆動させる駆動モータ５６とを備えている。
【００８０】
円板状吸着部６０は、図１１に示すように、金属性の円板本体５２と、該円板本体５２の上面に埋設される矩形板状の永久磁石５５及びヨーク５４と、永久磁石５５の間隔を一定に保つスペーサ５７と、該永久磁石５５等を覆うように配設された円形プレート５１とを備えている。より具体的には、円板本体５２の上面には、その軸心周りに形成された２重の円周溝５３に、それぞれ、同図に示す極性が上面側になるように、永久磁石５５とヨーク５４が積層された状態で嵌め込まれている。なお、ヨークとしては、例えばパーマロイから成るものが用いられるが、これに限られるものではなく、磁力を強くする磁性体であれば良く、ニッケルメッキを施した鉄系部材などでもよい。
【００８１】
上記円形プレート５１は、非磁性体（本実施形態ではステンレス）からなるものであって、下面を上記永久磁石５５の上面５５ａに当接させて配設されている。該円形プレートの上面が上記吸着面５１ａを構成している。尚、円形プレート５１は、図示しない接着補強材により円板本体５２に接着固定されている。
【００８２】
上記円板状吸着部６０（円板本体５２及び円形プレート５１）は、その中心部にて上下方向に延びる駆動シャフト６１の下端部にナット６２により固定されている。該駆動シャフト６１の上端部は、ギヤケース６３内の減速機（図示省略）を介してモータ５６の駆動軸に動力伝達可能に連結されている。モータ５６およびギヤケース６３は、スーパクリーンタンク１０４の上側を覆うタンク上壁部１０４ａに支持プレート６４を介して固定されている。
【００８３】
支持プレート６４には、サイクロン式分離除去装置１から排出された浄化後の被処理流体を磁性粒子除去装置５０内に導くための導入口６４ａが形成されている。導入口６４ａは、上側から見て円板状吸着部６０の径方向外側端部（本実施形態では、タンク長さ方向の一方側の周縁部）と重なる位置に配置されている。
【００８４】
支持プレート６４の上面６４ｂには、該導入口６４ａと略同軸に配設されたオス型の配管継手６５がボルト６６により固定されている。そして、サイクロン式分離除去装置１の筒状排出管６は、この配管継手６５を介して上記導入口６４ａに接続されており、これにより、該排出管６から導入口６４ａへと被処理流体が導かれる。
【００８５】
支持プレート６４の下面６４ｃにおける上記導入口６４ａに対応する部分には、該導入口６４ａから流入する被処理流体を、上記円板状吸着部６０（吸着面５１ａ）へと案内する案内ダクト６７がビス７３により固定されている。この案内ダクト６７は、断面略矩形状（図１３参照）をなしていて、支持プレート６４の下面６４ｃから下側に向かって延設されている。案内ダクト６７の下端部には、タンク長さ方向の他方側に開放する開口部６８が設けられている。この開口部６８は、タンク長さ方向から見て、タンク幅方向に長い略矩形状をなしている。
【００８６】
より詳細には、この案内ダクト６７は、タンク長さ方向に並ぶ内側ダクト壁６７ａ及び外側ダクト壁６７ｂと、タンク幅方向に並設されて該内側及び外側ダクト壁６７ａ，６７ｂを連結するダクト側壁６７ｇ，６７ｈとを備えて構成されており、上記内側ダクト壁６７ａは、上下方向に延びてその下端縁が外側ダクト壁６７ｂの下端縁よりも上側に位置するように形成されている。そして、この内側ダクト壁６７ａの下端縁が上記開口部６８の上側辺を構成している。
【００８７】
また、上記外側ダクト壁６７ｂは、支持プレート６４の下面６４ｃから上記内側ダクト壁６７ａの下端縁と略同高さ位置まで延びる垂直壁部６７ｃと、該垂直壁部６７ｃの下端に連設され下側に向かってタンク長さ方向の他方側に傾斜する傾斜部６７ｄと、該傾斜部６７ｄの下端部に連設され、タンク長さ方向の他方側に突出する水平突出片部６７ｅとで構成されている。上記水平突出片部６７ｅは、吸着面５１ａに沿って略平行に形成されており、該吸着面５１ａと水平突出片部６７ｅの下面との間には、互いに擦れない程度の若干の隙間が形成されている。そして、該水平突出片部６７ｅのタンク長さ方向の他方側端部が、上記開口部６８の下側辺部を構成している。
【００８８】
上記案内ダクト６７の下端部には、該案内ダクト６７の開口部６８から流出する被処理流体がスーパクリーンタンク１０４内に拡散するのを防止する案内ケーシング６９が接続されている。
【００８９】
この案内ケーシング６９は、吸着面５１ａに対して所定間隔を隔てて略平行に延びる水平部６９ａと、該水平部６９ａのタンク幅方向の両側縁部から下側に延びる側壁部６９ｃ（図１３参照）とで構成されている。
【００９０】
より詳細には、上記案内ケーシング６９の水平部６９ａは、上側から見てタンク長さ方向の両側端縁がそれぞれタンク幅方向に延びる直線状をなしかつタンク幅方向の両側端縁が円板本体５２の外周縁に沿った円弧状をなすように形成されており、該水平部６９ａのタンク長さ方向の他方側端縁におけるタンク幅方向の中央部には、駆動シャフト６１との干渉を避けるためのＵ字状の切欠き部６９ｂ（図１３参照）が形成されている。
【００９１】
上記案内ケーシング６９の側壁部６９ｃは、水平部６９ａの外周縁に沿うアーチ状を呈していて、その内径が円板本体５２の内径よりも若干大きめになるように形成されている。これにより、後述の垂直部６９ｄの上下方向の取付位置を調整することで、案内ケーシング６９の上下方向の位置調整が可能になっている。
【００９２】
上記案内ケーシング６９の水平部６９ａのタンク長さ方向の一方側の端縁部には、上下方向に延びる垂直部６９ｄ（図１０及び図１３参照）が接続されており、案内ケーシング６９は、上記案内ダクト６７の内側ダクト壁６７ａに該垂直部６９ｄをボルト締結することで固定されている。この案内ケーシング６９の固定状態における、該ケーシング６９の水平部６９ａと吸着面５１ａとの間の空間が被処理流体の流路７０を形成している。ここで、案内ケーシング６９のタンク長さ方向の両側は開放しており、該案内ケーシング６９における該タンク長さ方向の一方側の開放部７２から被処理流体が流路７０内に流入し、他方側の開放部７１から被処理流体が流出するようになっている。
【００９３】
ここで、垂直部６９ｄを内側ダクト壁６７ａにボルト締結するためのボルト挿通孔は、上下方向に延びる長孔６９ｆとされており、こうすることで、垂直部６９ｄの上下方向の取付位置（つまり案内ケーシング６９の水平部６９ａの高さ位置）を調整して、吸着面５１ａ上を流れる被処理流体の流路断面積を調整可能になっている。
【００９４】
上記除去本体部８０は、図１０、図１２、図１３に示すように、駆動シャフト６１に対してタンク長さ方向の他方側に配設されていて、円板状吸着部６０が上記モータ５６により装置上方から見て反時計回り方向に回転駆動されることで、吸着面５１ａに対して時計回り方向に相対移動するように構成されている。
【００９５】
この除去本体部８０は、下面が上記吸着面５１ａに当接しかつ装置中心部側から径方向外側（本実施形態では、タンク長さ方向の一方側から他方側）に向かって延びる上面視略矩形状の掻取り部材８１（図１４参照）を有しており、掻取り部材８１の上記相対移動方向の前側面が上記掻取り面８１ａとされている。掻取り面８１ａは、上記相対移動方向の後側に行くにしたがって上記吸着面５１ａから離れるように傾斜する傾斜面とされている。また、掻取り部材８１は、上記ステンレス製の円形プレート５１（吸着面５１ａ）との間の摺動抵抗を減らすべくアクリル材で構成されている。
【００９６】
上記除去本体部８０はさらに、上記掻取り面８１ａで掻き取った磁性粒子ｊを回収するための回収用空間８２を内部に形成してなるハウジング部材８３を有している。
【００９７】
このハウジング部材８３は、略直方体状のブロック体の長手方向の一方側の端面８３ａから該長手方向に延びる円筒穴を形成してなるものであって、非磁性体であるアルミニウム材で構成されている。そして、この円筒穴が回収用空間８２を構成している。ハウジング部材８３には、この回収用空間８２（円筒穴）と同軸で貫通細孔８３ｂが形成されている。貫通細孔８３ｂの直径は、該円筒孔の径よりも小さく設定されている。
【００９８】
上記ハウジング部材８３は、その長手方向を上記タンク長さ方向（スーパクリーンタンク１０４の長さ方向）に向けた状態で掻取り部材８１の上面８１ｂに配設されている。ハウジング部材８３の上記相対移動方向の前側面８３ｋには、上記回収用空間８２に連通する粒子吸込口８３ｃが形成されている。この粒子吸込口８３ｃは、上記相対移動方向の前側から見て上記タンク長さ方向に長い略矩形状とされていて、連通路８４を介して回収用空間８２に連通している。この連通路８４は、上記相対移動方向の後側に向かって上側に傾斜している。
【００９９】
上記回収用空間８２の上記タンク長さ方向の他方側端部の開口は、該回収用空間８２内に吸込まれた磁性粒子ｊを排出するための粒子排出口８３ｇを構成しており、該粒子排出口８３ｇは、配管継手８５を介して磁性粒子排出管８７が接続され、該磁性粒子排出管８７がサイクロン供給用貯留タンク１０９に接続されている。
【０１００】
上記磁性粒子排出管８７の途中には、エジェクタバルブ１０６が設けられており、このエジェクタバルブ１０６の流体供給ポート１０６ａに不図示のエア源からエアを供給することで、上記回収用空間８２内に被処理流体を吸込むようになっている。なお、エジェクタバルブ１０６の流体供給ポート１０６ａから空気を供給することで、掻取り面８１ａにて掻き取った磁性粒子ｊを含む被処理流体を回収用空間８２内に吸込むのに限らず、例えば流体供給ポート１０６ａから空気を供給する代わりに、水や被処理流体等の流体を供給することで磁性粒子ｊを回収用空間８２内に吸込むようにしてもよい。
【０１０１】
上記掻取り部材８１の上面８１ｂには、板状の磁気シールド部材８６が積層されている。この磁気シールド部材８６は、ニッケルメッキを施した磁性体からなるものであって、上記相対移動方向の前側から見て径方向に２列に設けられた永久磁石５５に跨るように装置中心部側から径方向外側に延びている。
【０１０２】
また、磁気シールド部材８６は、上側から見てその幅方向の内側に回収用空間８２が位置するように形成されている。なお、磁気シールド部材８６としては、適切な透磁率を有する磁性体であれば、どのような部材であっても良く、上記実施形態に限られるものではない。例えば、一般的に磁石の一面に接触させて設けられ磁石の磁力を強くするためのヨークとして用いられるものなどでも良く、より具体的には例えばパーマロイや磁性体等が使用できる。特に、この磁性体の大きさや、配置の設定等に応じて、適切な磁気シールド性能を有する透磁率のシールド部材を選定することによって、上記磁性粒子ｊの吸着面５１ａへの吸着状態や該吸着面５１ａからの掻き取り状態、掻き取られた磁性粒子ｊの吸引状態などを制御できる。したがって、被処理流体中に含まれる磁性粒子ｊの大きさや量に応じて、この磁性体の透磁率等を設定することで、磁性粒子ｊを効率的に除去することができる。
【０１０３】
上記ハウジング部材８３の下面８３ｄには、磁気シールド部材８６の平面形状に対応した凹部８３ｆが形成されており、この該凹部８３ｆに磁気シールド部材８６を嵌込んだ状態でハウジング部材８３の下面８３ｄを掻取り部材８１の上面８１ｂに接着固定することで、磁気シールド部材８６がハウジング部材８３と掻取り部材８１との間に挟まれて固定されている。換言すると、除去本体部８０における回収用空間８２と上記吸着面５１ａとの間には磁気シールド部材８６が配設されているとも言える。
【０１０４】
上記ハウジング部材８３の上面８３ｅには、上下方向に延びるとともに上記タンク長さ方向に互いに所定間隔を隔てて並ぶ２本のガイドシャフト９０が接続されている。各ガイドシャフト９０は、下側に開放する断面略コ字状のホルダ部材９１（図１４参照）を介してハウジング部材８３の上面８３ｅに連結されており、各ガイドシャフト９０の上部は、ガイドプレート９２（図１０参照）に形成されたガイド孔９２ａに上下方向に摺動可能に内挿されている。ガイドシャフト９０には、圧縮コイルスプリング９３が外挿されており、各コイルスプリング９３は、その上端面をワッシャ９４を介してガイドプレート９２の下面９２ｂに当接させかつ下端面をホルダ部材９１の上面９１ａ（図１４参照）に当接させて圧縮状態で配設されている。
【０１０５】
上記ガイドプレート９２は、上側から見てタンク長さ方向に延びる略矩形状をなしており、該ガイドプレート９２は、そのタンク長さ方向の上記一方側端部を垂直支柱９５の下側フランジ部９５ａにボルト締結されて水平支持されている。垂直支柱９５は、上下方向に延びる支柱本体部９５ｃと、該支柱本体部９５ｃの上下両端部にそれぞれ接続された上側及び下側フランジ部９５ａ，９５ｂとで構成されており、上側フランジ部９５ｂの上面には、位置決めピン９６が突設されている。そして、該垂直支柱９５は、位置決めピン９６を、支持プレート６４に形成されたノック孔６４ｄに嵌入した状態で支持プレート６４の下面にボルト９７で固定されている。
【０１０６】
また、上記ガイドプレート９２は、駆動シャフト６１が挿通される挿通孔９２ｆが形成されている。この挿通孔９２ｆには、メタル製の円筒状ガイドブッシュ９８が圧入されており、駆動シャフト６１の上下方向の中間部が、該ガイドブッシュ９８により回動自在に支持されている。
【０１０７】
−磁性粒子除去装置の動作−
以上のように構成された被処理流体浄化システム１００において、サイクロン式分離除去装置１から排出されて磁性粒子除去装置５０へと導かれた軽量の（１μｍ〜５μｍの）磁性粒子ｊを含む被処理流体は、該装置５０の導入口６４ａから該装置５０内へと流入する。すなわち、該導入口６４ａから流入した被処理流体は、案内ダクト６７内を通って下側へと流れるとともにその下端部にて上記開口部６８から流出する。該開口部６８から流出した被処理流体は、案内ケーシング６９と吸着面５１ａとの間に形成される流路７０内をタンク長さ方向の一方側から他方側に向かって流れる（図１０及び図１３参照）。そうして、被処理流体が該流路７０内を流れる間に、該被処理流体中に含まれる磁性粒子ｊは、上記永久磁石５５からの磁気吸引力を受けて吸着面５１ａに吸着されることとなる。
【０１０８】
上記吸着面５１ａに吸着された磁性粒子ｊは、除去本体部８０により掻き取られて除去される。すなわち、円板状吸着部６０がモータ５６によりシャフト６１回りに反時計回り方向に回転駆動されることにより、除去本体部８０が該吸着面５１ａに対して時計回り方向に相対移動する。この結果、除去本体部８０の掻取り部材８１の上記相対移動方向の前側に形成された掻取り面８１ａにより磁性粒子ｊ（図１４参照）が掻き取られる。掻き取られた磁性粒子ｊは、エジェクタバルブ１０６の吸引作用によって、粒子吸込口８３ｃから連通路８４を通って該回収用空間８２内へと吸引され、吸引された磁性粒子ｊはその周辺の被処理流体と共に、粒子排出口８３ｇから磁性粒子排出管８７内へと導かれてその下流側のサイクロン供給用貯留タンク１０９に排出される。なお、ダーティタンク１０２やダスト分離用タンク１０３に排出されるようにしてもよい。こうして、磁性粒子ｊが除去されたクリーンな被処理流体は、案内ケーシング６９の開放部７１（図１０参照）からスーパクリーンタンク１０４内へと排出されて、工作機械１０１に供給される。
【０１０９】
以上の如く上記実施形態１では、磁性粒子除去装置５０の除去本体部８０は、吸着面５１ａに吸着された磁性粒子ｊを掻き取る掻取り面８１ａと、該掻取り面８１ａにて掻き取った磁性粒子ｊを回収するためのハウジング部材８３とを有しており、ハウジング部材８３には、回収用空間８２に連通する粒子吸込口８３ｃと粒子排出口８３ｇとが形成されており、磁性粒子除去装置５０はさらに、回収用空間８２内に被処理流体を吸引するためのエジェクタバルブ１０６を備えている。
【０１１０】
これにより、掻取り面８１ａにて掻き取られた磁性粒子ｊが、永久磁石５５の磁気吸引力により吸着面５１ａに再度吸着される前に、該磁性粒子ｊをその周辺の被処理流体と共に、ハウジング部材８３内（回収用空間８２）に吸引して除去することができる。したがって、装置５０全体としての磁性粒子ｊの除去効率を向上させることができる。
【０１１１】
また、上記実施形態１では、上記除去本体部８０は、下面（厚さ方向の下側面）が上記吸着面５１ａに当接しかつ上記相対移動方向の前側側面が上記掻取り面８１ａとされる板状の掻取り部材８１を有し、掻取り部材８１の上面８１ｂ（厚さ方向の上側面）には、磁性体からなる磁気シールド部材８６が積層されている。
【０１１２】
これにより、磁気シールド部材８６及び永久磁石５５には、互いに引き合う方向の磁気吸引力が作用することとなる。このため、磁気シールド部材８６と吸着面５１ａとの間に挟まれた掻取り部材８１は、該磁気シールド部材８６によって吸着面５１ａ側（下側）へと押付けられる。この結果、掻取り部材８１の下面（吸着面側の面）が吸着面５１ａに押付けられることとなる。したがって、掻取り面８１ａの吸着面５１ａ側（下側）の端縁８１ｆを吸着面５１ａに押付けて極力密着させることができ、このことで、比較的小さな磁性粒子ｊをも逃さずに該掻取り面８１ａで掻き取ることができる。よって、磁性粒子ｊの除去効率を可及的に向上させることができる。
【０１１３】
また、上記実施形態１では、除去本体部８０における回収用空間８２と上記吸着面５１ａとの間には、磁気シールド部材８６が配設されている。これによれば、磁気シールド部材８６が永久磁石５５の磁力を遮断する結果、回収用空間８２内に吸引された磁性粒子ｊに磁気吸引力が作用するのを防止することができる。したがって、該回収用空間８２内の磁性粒子ｊの流動性を十分に確保することができる。このため、回収用空間８２内に磁性粒子ｊが堆積したり、粒子吸込口８３ｃが該堆積した磁性粒子ｊで閉塞されたりして、磁性粒子ｊの回収効率が低下するのを確実に防止することができる。
【０１１４】
また、上記実施形態１では、上記粒子吸込口８３ｃは、ハウジング部材８３における上記相対移動方向の前側面８３ｋに形成されており、掻取り部材８１の掻取り面８１ａは、上記相対移動方向の後側に行くにしたがって吸着面５１ａとの垂直距離が大きくなる傾斜面とされ、掻取り面８１ａの上記相対移動方向の後側端部は、上記粒子吸込口８３ｃの吸着面側（下側）の端縁部に連接されている。
【０１１５】
これによれば、掻取り面８１ａで掻き取られた磁性粒子ｊを、該掻取り面８１ａに沿って粒子吸込口８３ｃまで案内することができる。よって、磁性粒子ｊを粒子吸込口８３ｃから回収用空間８２内に確実に案内回収することができる。
【０１１６】
また、上記実施形態１では、ハウジング部材８３には、回収用空間８２（円筒穴）と同軸で貫通細孔８３ｂが形成されている。こうすることで、流路７０内をタンク長手方向の一方側から他方側へと流れる被処理流体が、貫通細孔８３ｂから回収用空間８２を通って粒子排出口８３ｇへと流通することとなり、これによって、該回収用空間８２内の被処理流体（磁性粒子ｊ）の流動性を高めることができる。よって、磁性粒子ｊの回収用空間８２内への回収効率をより一層向上させることができる。
【０１１７】
また、上記実施形態１では、サイクロン式処理容器２の上側には、底壁部が該処理容器２の上壁部（つまり仕切り板１８）で構成された浮上物回収タンク１５が設けられ、該仕切り板１８には、浮上物を該回収タンク１５内へと導くためのスリット１９（回収用貫通孔）が形成されている。
【０１１８】
こうすることで、処理容器２内に流入した被処理流体を流体渦流部２ｅにて遠心分離処理する前に、該被処理流体中に含まれる比重の小さい磁性粒子ｊを該処理容器２の上部に浮上させて、スリット１９から浮上物回収タンク１５内へと導くことができる。したがって、流体渦流部２ｅにおける遠心分離処理では除去しきれない比重の小さな浮上物をも確実に除去することができて、装置１全体の浮上物や磁性粒子ｊの除去効率を向上させることができる。
【０１１９】
また、上記実施形態１では、仕切り板１８の下面には、該仕切り板１８の該スリット１９に対応する部分を切欠いて下側に折り曲げることにより形成される案内用折曲げ片２０ａ及び整流用折曲げ片２０ｂが設けられており、案内用折曲げ片２０ａは、その基端部から下側に行くにしたがって旋回上流側に傾斜するように形成されている。これにより、サイクロン式処理容器２内の上部に浮上した浮上物を該案内用折曲げ片２０ａの案内面２０ｊに沿って浮上物回収タンク１５内に確実かつ容易に案内することができる。
【０１２０】
また、整流用折曲げ片２０ｂは、その基端部から下側に行くにしたがって旋回下流側に傾斜するように形成されている。これにより、仕切り板１８の下面近傍の被処理流体が、案内用折曲げ片２０ａに衝突することで乱れた流れを、該整流用折曲げ片２０ｂの下面２０ｋで押さえ込むようにして整流することができる。したがって、該被処理流体の流れが乱れることに起因して浮上物の挙動が乱れるのを防止することができ、延いては、該浮上物を上記案内用折曲げ片２０ａにより浮上物回収タンク１５内へと確実に案内することができる。
【０１２１】
また、上記実施形態１では、浮上物回収タンク１５の内側周側壁面１５ａは、サイクロン式処理容器２の円筒状部２ｆと略同軸に形成された略円筒状をなしており、筒状排出管６は、浮上物回収タンク１５を串刺すようにその中心部を通って上下方向に延設されている。
【０１２２】
こうすることで、スリット１９から回収タンク１５内へと流入した被処理流体を、その旋回慣性を持続したまま、筒状排出管６周りに旋回流動させることができる。よって、回収タンク１５内の被処理流体が流体抵抗となることでスリット１９から該回収タンク１５内への被処理流体（延いては磁性粒子ｊ）の流入が妨げられるのを確実に防止することができる。
【０１２３】
また、上記実施形態１では、浮上物排出口２１は、上側から見て浮上物回収タンク１５の内側周側壁面１５ａに対してその接線方向に貫通して開口している。これにより、該回収タンク１５内に流入してその内側周側壁面１５ａに沿って旋回流動する被処理流体を、旋回接線方向に高速で確実に排出することができる。したがって、該回収タンク１５内の被処理流体の排出性能を十分に高めることができて、該回収タンク１５内の被処理流体が流体抵抗となるのを確実に防止することができる。
【０１２４】
（実施形態２）
被処理流体浄化システム１００に用いられる磁性粒子除去装置５０の他の例について、図１５〜図１８に基づいて説明する。本実施形態２の磁性粒子除去装置５０は、実施形態１の磁性粒子除去装置５０と比べ、主として、円板状吸着部６０と対向させて対向磁性板１６１が設けられている点（図１６）、および除去本体部８０の形状、構造、磁性粒子ｊの吸引方向（図１８）等が異なる。
【０１２５】
−磁性粒子除去装置の構成−
磁性粒子除去装置５０は、図１５に示すように、スーパクリーンタンク１０４における上壁部１０４ａの上に載置されている。被処理流体から除去された磁性粒子ｊを吸引するエジェクタバルブ１０６は、ポンプ１０５からサイクロン式分離除去装置１に供給される被処理流体のうちの一部が分流して供給されることにより、吸引力を生じるようになっている。
【０１２６】
磁性粒子除去装置５０のケーシング１５０は、図１６に示すように、側壁部１５１と、底壁部１５２と、上壁部１５３とを有している。底壁部１５２には、排出筒部１５４が立設されている。排出筒部１５４の上部には、水位調節スリーブ１５５がねじ込まれ、そのねじ込み量を調整することによって、ケーシング１５０内の被処理流体の水位を調節できるようになっている。
【０１２７】
円板状吸着部６０を回転駆動する駆動シャフト６１に駆動力を伝達するモータ５６、およびギヤケース６３は、ケーシング１５０の上壁部１５３に、支持プレート６４を介して固定されている。
【０１２８】
サイクロン式分離除去装置１から筒状排出管６を介して排出される被処理流体を円板状吸着部６０の吸着面５１ａへと案内する案内ダクト６７は、図１７に示すように、タンク幅方向に広がる向きの内側ダクト壁６７ａ及び外側ダクト壁６７ｂと、これらの内側及び外側ダクト壁６７ａ，６７ｂの幅方向両縁部をそれぞれ連結するダクト側壁６７ｇ，６７ｈとを備えて構成されている。
【０１２９】
上記外側ダクト壁６７ｂは、支持プレート６４の下面６４ｃから下方に延びる垂直壁部６７ｃと、該垂直壁部６７ｃの下端に連設され下側に向かってタンク長さ方向の他方側に傾斜する傾斜部６７ｄと、該傾斜部６７ｄの下端部に連設され、タンク長さ方向の他方側に突出する水平突出片部６７ｅとで構成されている。上記水平突出片部６７ｅは、吸着面５１ａに沿って略平行に配置されており、該吸着面５１ａと水平突出片部６７ｅの下面との間には、互いに擦れない程度の若干の隙間が形成されている。水平突出片部６７ｅにおけるタンク長さ方向の他方側縁部には、円板状吸着部６０の半径よりもわずかに小さい半径の円弧状切欠き６７ｆが形成されている。すなわち、円板状吸着部６０は、水平突出片部６７ｅによっては周縁部だけが覆われるようになっている。
【０１３０】
上記内側ダクト壁６７ａは、支持プレート６４の下面６４ｃから下方に延びてその下端縁が外側ダクト壁６７ｂにおける垂直壁部６７ｃの下端よりも上側に位置するように形成されている。そして、この内側ダクト壁６７ａの下端縁が案内ダクト６７における開口部６８の上側辺を構成している。なお、後述するように、上記開口部６８の一部は対向磁性板ブラケット６９’及び対向磁性板１６１によって覆われ、案内ダクト６７を介して供給される被処理流体の流路７０となるのは、対向磁性板１６１の下面と円板状吸着部６０の上面との間になる。
【０１３１】
また、上記内側及び外側ダクト壁６７ａ，６７ｂを連結するダクト側壁６７ｇ，６７ｈには、タンク幅方向外方側に、円板状吸着部６０の駆動シャフト６１付近まで延びる側板６７ｉ，６７ｊが設けられ、被処理流体が円板状吸着部６０のタンク幅方向側に逃げにくいようにされている。
【０１３２】
案内ダクト６７の内側ダクト壁６７ａには、垂直部６９ｄと水平部６９ａとから成る対向磁性板ブラケット６９’の上記垂直部６９ｄが、ビス止め又はボルト締結によって取付けられている。対向磁性板ブラケット６９’の水平部６９ａには、対向磁性板１６１が、ビス止め又はボルト締結によって取付けられている。これにより、対向磁性板１６１と、円板状吸着部６０の吸着面５１ａとが、所定の間隔を空けて対向するように配置され、間に、被処理流体の流路７０が形成されるようになっている。
【０１３３】
上記垂直部６９ｄを内側ダクト壁６７ａにボルト締結するためのボルト挿通孔は、上下方向に延びる長孔６９ｆとされており、こうすることで、対向磁性板ブラケット６９’の上下方向の取付位置（つまり対向磁性板１６１の高さ位置）を調整して、円板状吸着部６０の吸着面５１ａ上を流れる被処理流体の流路断面積を調整することが可能になっている。
【０１３４】
ここで、対向磁性板ブラケット６９’の水平部６９ａ、及び対向磁性板１６１のタンク長さ方向の他方側部分におけるタンク幅方向の中央部には、駆動シャフト６１との干渉を避けるためのＵ字状の切欠き部６９ｂ，１６１ａ（図１７参照）が形成されている。
【０１３５】
円板状吸着部６０に吸着された磁性粒子ｊを掻き取る除去本体部８０は、図１８に示すように、板状の掻取り部材８１と、板状の磁気シールド部材８６と、ハウジング部材８３とを備えて構成されている。
【０１３６】
掻取り部材８１は、図１７に示すように、円板状吸着部６０の中心側から径方向外側（本実施形態では、タンク長さ方向の一方側から他方側）に向かって延びる上面視略矩形状を有し、下面が円板状吸着部６０の吸着面５１ａに当接するように設けられている。掻取り部材８１には、上記相対移動方向の前側から後側に向けて、吸着面５１ａからの距離が大きくなる傾斜を有する掻取り面８１ａが形成されている。掻取り部材８１の材料は特に限定されないが、例えば、ステンレス製の円形プレート５１（吸着面５１ａ）との間の摺動抵抗を減らすべくアクリル材で構成されている。
【０１３７】
磁気シールド部材８６は、掻取り部材８１の上面に積層され、掻取り部材８１の掻取り面８１ａに連続する傾斜面を有している。また、円板状吸着部６０に設けられた内周側の永久磁石５５から外周側の永久磁石５５に跨るように、装置中心部側から径方向外側に延びる形状を有している。この磁気シールド部材８６は、例えば、ニッケルメッキを施した磁性体から構成されている。このように構成された磁気シールド部材８６は、円板状吸着部６０の永久磁石５５に吸引されることによって、掻取り部材８１を円板状吸着部６０の吸着面５１ａに密着させる作用を果たす。また、８１により掻き取られて磁気シールド部材８６の上方に至った磁性粒子ｊに対する永久磁石５５の吸引力を低減し、粒子排出口８３ｇから排出させやすくする作用も果たす。
【０１３８】
ハウジング部材８３は、例えば非磁性体であるアルミニウムから成り、上記掻取り部材８１及び磁気シールド部材８６を覆うように設けられて、間に回収用空間８２が形成されている。この回収用空間８２は、図１７に示すように、上記相対移動方向の前側に開口した粒子吸込口８３ｃを有し、上記相対移動方向の後側に向けて幅が狭くなる略直角二等辺三角形状を成している。回転方向側の略頂点の箇所には、除去本体部８０の上方に開口する粒子排出口８３ｇが形成されている。すなわち、掻取り部材８１によって円板状吸着部６０の吸着面５１ａから掻き取られた磁性粒子ｊは、徐々に粒子排出口８３ｇ付近に集約されて、後述するように粒子排出口８３ｇから上方に吸引されるようになっている。
【０１３９】
また、ハウジング部材８３の上壁には、水抜き穴８８が形成されている。このような水抜き穴８８を設けることによって、粒子吸込口８３ｃから流入して水抜き穴８８から逃げる被処理流体の流れを生じさせ、磁性粒子ｊの流動性を高めて、効率よく回収用空間８２内に導入することが容易になる。なお、被処理流体の流量や磁性粒子ｊの量、大きさなどの条件によっては、必ずしも水抜き穴８８を設けなくてもよい。後述する変形例のような構成を用いる場合も同様である。
【０１４０】
上記粒子排出口８３ｇには、配管継手８５を介して磁性粒子排出管８７が接続され、該磁性粒子排出管８７がサイクロン供給用貯留タンク１０９に接続されている。上記磁性粒子排出管８７の途中には、エジェクタバルブ１０６が設けられており、このエジェクタバルブ１０６の流体供給ポート１０６ａに、ポンプ１０５（図１５参照）からサイクロン式分離除去装置１に供給される処理流体の一部を分岐させて供給することで、回収用空間８２内に掻き取られた磁性粒子ｊを粒子排出口８３ｇから吸引するようになっている。
【０１４１】
−磁性粒子除去装置の動作−
以上のように構成された磁性粒子除去装置５０を備えた被処理流体浄化システム１００において、サイクロン式分離除去装置１から排出されて磁性粒子除去装置５０へと導かれた軽量の（１μｍ〜５μｍの）磁性粒子ｊを含む被処理流体は、該磁性粒子除去装置５０の導入口６４ａから該磁性粒子除去装置５０内へと流入する。すなわち、該導入口６４ａから流入した被処理流体は、案内ダクト６７内を通って下側へと流れるとともに、その下端部にて、円板状吸着部６０の吸着面５１ａと対向磁性板１６１との間に形成された流路７０に流れ込み、タンク長さ方向の一方側から他方側に向かって流れる（図１６及び図１７参照）。そうして、被処理流体が該流路７０内を流れる間に、該被処理流体中に含まれる磁性粒子ｊは、上記永久磁石５５からの磁気吸引力を受けて吸着面５１ａに吸着されることとなる。
【０１４２】
ここで、上記のように円板状吸着部６０の永久磁石５５に対向して対向磁性板１６１が設けられていることによって、被処理流体中の磁性粒子ｊには、単に永久磁石５５が設けられている場合に比べて大きな磁気吸引力が働く。それゆえ、磁性粒子ｊは効率よく吸着面５１ａに吸着される。
【０１４３】
上記吸着面５１ａに吸着された磁性粒子ｊは、除去本体部８０により掻き取られて除去される。すなわち、円板状吸着部６０がモータ５６により駆動シャフト６１回りに装置上方から見て反時計回り方向に回転駆動されることにより、除去本体部８０が該吸着面５１ａに対して時計回り方向に相対移動する。この結果、除去本体部８０の掻取り部材８１に形成された掻取り面８１ａにより磁性粒子ｊ（図１８参照）が掻き取られる。掻き取られた磁性粒子ｊは、エジェクタバルブ１０６の吸引作用によって、粒子吸込口８３ｃから回収用空間８２内へと吸引され、吸引された磁性粒子ｊはその周辺の被処理流体と共に、粒子排出口８３ｇから磁性粒子排出管８７内へと導かれて、その下流側のサイクロン供給用貯留タンク１０９に排出される。こうして、磁性粒子ｊが除去されたクリーンな被処理流体は、ケーシング１５０内に溜まり、所定の水位を超えると、水位調節スリーブ１５５（図１６参照）からスーパクリーンタンク１０４内へと排出されて、工作機械１０１に供給される。
【０１４４】
以上の如く上記実施形態では、円板状吸着部６０の永久磁石５５に対向して対向磁性板１６１が設けられていることによって、被処理流体中の磁性粒子ｊには、単に永久磁石５５が設けられている場合に比べて大きな磁気吸引力が働く。それゆえ、磁性粒子ｊは効率よく吸着面５１ａに吸着される。しかも、対向磁性板１６１が設けられていない部分では、吸着力は小さくなるので、吸着された磁性粒子ｊを効率よく掻き取ることができる。
【０１４５】
また、上記実施形態では、ハウジング部材８３には、水抜き穴８８が形成されている。こうすることで、流路７０内をタンク長手方向の一方側から他方側へと流れる被処理流体が、粒子吸込口８３ｃから水抜き穴８８へと流通することとなり、これによって、該回収用空間８２内の被処理流体（磁性粒子ｊ）の流動性を高めることができる。よって、磁性粒子ｊの回収用空間８２内への回収効率をより一層向上させることができる。
【０１４６】
なお、上記の例では、除去本体部８０には、略直角二等辺三角形状の回収用空間８２が形成される例を示したが、これに限らず、頂角をより大きくしたり小さくしたりしてもよい。また、円板状吸着部６０の半径方向位置による磁性粒子ｊの量の相違等に応じて、粒子排出口８３ｇが外周側に寄った形状に形成するなどしてもよい。
【０１４７】
また、磁性粒子ｊが粒子排出口８３ｇから磁性粒子排出管８７内へと導かれる方向が、円板状吸着部６０上を被処理流体の流れる方向と同じになるように、回収用空間８２の形状や除去本体部８０の配置方向などを設定して、被処理流体の自然な流れによって磁性粒子ｊがより排出されやすくなるようにしてもよい。
【０１４８】
（実施形態３）
掻取り部材８１によって掻き取られた磁性粒子ｊの吸引方向は、構成要素のレイアウト等に応じて種々設定することができ、例えば実施形態１と同じく水平方向で、しかし実施形態１とは異なる方向に吸引されるようにすることもできる。具体的には、例えば図１９〜図２１に示すように、回収用空間８２に連通する粒子排出口８３ｇには、磁性粒子排出管８７が、円板状吸着部６０に対する除去本体部８０の相対移動方向の後側から水平方向に接続されている。そこで、掻取り部材８１によって円板状吸着部６０の吸着面５１ａから掻き取られ、粒子吸込口８３ｃから粒子排出口８３ｇ付近に集約された磁性粒子ｊは、エジェクタバルブ１０６の吸引力により、粒子排出口８３ｇから水平方向に吸引される。これにより、吸引された磁性粒子ｊをより容易に磁性粒子排出管８７を介してサイクロン供給用貯留タンク１０９に排出させることができる。
【０１４９】
（実施形態４）
掻取り部材８１によって掻き取られた磁性粒子ｊを積極的に回収する手段としては、エジェクタバルブ１０６により吸引するのに代えて、例えば図２２〜図２４に示すように、ポンプ１０５から供給される被処理流体によって、除去本体部８０の粒子吸込口８３ｃから回収用空間８２に流入する流れを生じさせ、押し流すようにしてサイクロン供給用貯留タンク１０９に排出させるようにしてもよい。より詳しくは、粒子吸込口８３ｃ付近にはノズルヘッド８９ａが設けられている。ノズルヘッド８９ａに形成されたノズル８９ｂからは、回収用空間８２の内部に向けて被処理流体が噴出される。掻取り部材８１によって円形プレート５１の吸着面５１ａから掻き取られた粒子吸込口８３ｃ付近の磁性粒子ｊは、上記噴出した被処理流体の流れにつられて、または押し流されるようにして、磁性粒子排出管８７に流入し、その勢いおよび／または自重による落下によって、サイクロン供給用貯留タンク１０９に排出される。
【０１５０】
なお、流体供給管８９に供給される流体として、上記のようにポンプ１０５からサイクロン式分離除去装置１に供給される被処理流体の一部を流体供給管８９に分岐させて流用することにより、製造コストを安く抑えることが容易にできるが、これに限らず、別途ポンプを設けて、スーパクリーンタンク１０４からクリーンな被処理流体を供給するようにしてもよい。この場合には、ノズル８９ｂから噴出した被処理流体が粒子吸込口８３ｃから回収用空間８２に流入せずに漏れてスーパクリーンタンク１０４に戻ったとしても、これによるスーパクリーンタンク１０４内の磁性粒子ｊの増加を防止することが容易にできる。
【０１５１】
また、上記のように磁性粒子ｊを押し流す構成と、実施形態１等のように吸引する構成とを組み合わせて用いるなどして、磁性粒子ｊをより確実に回収できるようにしてもよい。
【０１５２】
（実施形態５）
図２５は、本発明の実施形態５の磁性粒子除去装置５０の配設構造及びそのドラム状吸着部４１１の構成を上記実施形態１とは異ならせたものである。尚、図１０等と実質的に同じ又は相当する機能を有する構成要素については同じ符号を付してその詳細な説明を適宜省略する。すなわち、本実施形態では、磁性粒子除去装置５０は、スーパクリーンタンク１０４とは別に、被処理流体を処理する処理槽１１０を有していて、浄化処理後の処理液を接続配管１１１を介してスーパクリーンタンク１０４へと供給するように構成されている。また、磁性粒子除去装置５０のドラム状吸着部４１１は、円筒ドラム状を呈しており、該ドラム状吸着部４１１の外周面が吸着面５１ａとされている。
【０１５３】
上記処理槽１１０は、スーパクリーンタンク１０４の上壁部１０４ａの上面に配設されており、該処理槽１１０の上壁部１１０ａには、導入口６４ａが形成され、サイクロン式処理容器２から排出された被処理流体が該導入口６４ａから処理槽１１０内に流入する。
【０１５４】
導入口６４ａから処理槽１１０内に流入した被処理流体は、案内ケーシング７４により案内されて上記ドラム状吸着部４１１の吸着面５１ａに沿ってシャフト６１回りに反時計回り方向に流動した後に接続配管１１１から排出される。
【０１５５】
案内ケーシング７４は、吸着面５１ａと該案内ケーシング７４との間の流路７０の流路断面積を可変とするべくその径方向位置を調整可能になっている。この調整により、例えば１μｍ〜５μｍの微細のスラッジ（磁性粒子ｊ）を確実に除去することができる。
【０１５６】
上記ドラム状吸着部４１１は、円筒状の非磁性体からなる円筒本体１１２と、該円筒本体１１２の内周側面１１２ａに周方向に互いに所定間隔を隔てて配設される永久磁石（図示省略）とで構成され、各永久磁石のドラム径方向内側面にはヨーク（本実施形態ではパーマロイ）が積層されている。上記円筒本体１１２は、その軸心部を貫通する駆動シャフト６１に回転一体に固定されており、この駆動シャフト６１は、不図示のモータの出力軸に動力伝達可能に連結されている。なお、ヨークとしては、一面の永久磁石の磁力を強くすることができれば他のものでも良く、この実施形態に限られるものではなく、ニッケルメッキを施した磁性体、単なる磁性体等でもよい。
【０１５７】
ドラム状吸着部４１１の上端部の吸着面５１ａには、除去本体部８０が配設されている。尚、除去本体部８０の基本的な構成は、上記実施形態１等と同様であるため、ここではその説明を省略する。
【０１５８】
除去本体部８０は、モータ５６により円筒本体１１２（ドラム状吸着部４１１）がシャフト６１回りに反時計回り方向に回転駆動されることで、該吸着面５１ａに沿って時計回り方向に相対移動する。そして、除去本体部８０は、該吸着面５１ａ上を時計回り方向に相対移動しながら、吸着面５１ａ上の磁性粒子ｊを掻取り面８１ａにて掻き取るとともに、掻き取った磁性粒子ｊをハウジング部材８３内（回収用空間８２内）に吸引して除去する。こうして、上記実施形態１等と同様に、吸着面５１ａ上に吸着された磁性粒子ｊを、吸着面５１ａに再吸着される前に吸引除去することができ、上記実施形態１等と同様の作用効果を得ることができる。
【０１５９】
また、本実施形態では、ドラム状吸着部４１１の回転方向と、被処理流体の回転流動方向とは共に、シャフト６１回りに反時計回り方向で一致しており、このため、被処理流体中の磁性粒子ｊを効率的に除去することができる。
【０１６０】
特に、本実施形態では、永久磁石を円筒状の吸着面５１ａの内側に配置できるので、永久磁石の設置範囲が広く、吸着される面が広いので、コンパクトな形状で吸着率を上げる上では効果的である。
【０１６１】
（実施形態６）
図２６は、上記実施形態５と同様のドラム状吸着部４１１に、実施形態２で説明したような除去本体部８０を組み合わせたものである。また、必須の構成要素ではないが、この実施形態では、案内ケーシング７４の外周側に、円筒本体１１２の内周側面１１２ａに設けられた永久磁石に対向する対向磁性板４６１が設けられ、実施形態５と同様に磁気吸引力が強められるようになっている。なお、同様に実施形態２〜実施形態４で説明したような除去本体部８０を組み合わせるなどしてもよい。
【０１６２】
このように構成する場合にも、やはり、上記実施形態５と同様に、吸着面５１ａ上に吸着された磁性粒子ｊを、吸着面５１ａに再吸着される前に吸引除去することができ、同様の作用効果を得ることができる。
【０１６３】
（その他の実施形態）
円板状吸着部６０における永久磁石５５の配置は、図１１に示すものに限らず、例えば、図２７に示すように配置するなどしてもよい。また、永久磁石５５の極性の配置も種々設定してもよい。具体的には、例えば図２７のように半径方向に３列設ける場合であれば、表面側の極性を内周側からＮＳＮとしたり、ＳＮＮとしたり、ＳＳＮとしたりするなどしてもよい。また、円周方向で極性を異ならせたりしてもよい。
【０１６４】
また、ヨーク５４は、各永久磁石５５と対応させて設けるのに限らず、複数の永久磁石５５、特に、表面側の極性の異なるものが磁気的に結合されるように設けるなどしてもよ。より具体的には、例えば図１１のように永久磁石５５が配置される場合、内周側の永久磁石５５と外周側の永久磁石５５とに亘る幅の円弧状またはドーナツ状のヨーク５４を設けるなどしてもよい。
【０１６５】
また、上記のように、ダスト分離装置１０８を備えたダスト分離用タンク１０３と、サイクロン式分離除去装置１と、磁性粒子除去装置５０とを組み合わせることによって、例えば、自重で沈殿しやすい程度の比較的大きなダスト、自重で速やかな沈殿はしにくくても遠心力が作用すれば捕捉されやすい程度の磁性粒子、磁力による吸引によって効率的な除去が可能または容易になる微細な磁性粒子などをそれぞれ効率よく除去できるが、必ずしも、これらの構成要素の組み合わせ、配置順序に限るものではなく、被処理流体の性状や要求される処理能力などに応じて種々設定可能である。
【０１６６】
具体的には、例えば図２８に示すように磁性粒子除去装置を省略して、ダスト分離用タンク１０３とサイクロン式分離除去装置１とを組み合わせるなどしてもよい。また、その場合、同図に併せて示すように、仕切り壁１０４ｅ・１０４ｆを設けて、スーパクリーンタンク１０４内でのダストの沈殿による除去効果を簡便に得るようにしてもよい。また、磁性粒子除去装置５０と仕切り壁１０４ｅ・１０４ｆとを併用するなどしてもよい。
【０１６７】
これらの場合、磁性粒子除去装置５０によっても除去されず、または磁性粒子除去装置５０が設けられない場合に、スーパクリーンタンク１０４内で沈殿したダストは、例えば、スーパクリーンタンク１０４の底部に設けられた排出管１０４ｃ、および排出バルブ１０４ｄを介してダーティタンク１０２に排出させることができる。また、逆に、軽くてスーパクリーンタンク１０４内で表面に浮いたダストは、例えば、スーパクリーンタンク１０４に貯留された被処理流体の水位が所定水位ｈ２に達したときに戻り管１０４ｂからサイクロン供給用貯留タンク１０９へと戻されるようにすることができる。これらのような戻り管１０４ｂや排出管１０４ｃ等の構成によって、スーパクリーンタンク１０４内のダストが所定量以上に蓄積されることを防止することができ、スーパクリーンタンク１０４からのクリーンな液を工作機械１０１に供給してクーラント液として使用することができる。
【０１６８】
また、必ずしも、被処理流体がダスト分離用タンク１０３で比較的大きなダスト除去後に、サイクロン式分離除去装置１に供給されるのに限らず、図２９に示すように、ダーティタンク１０２の被処理流体がサイクロン式分離除去装置１に供給され、分離されたダストが、ダスト分離用タンク１０３に送られ、排出されるようにしてもよい。すなわち、このような場合でも、サイクロン式分離除去装置１と磁性粒子除去装置５０とを組み合わせることによる磁性粒子などの効率的な除去効果は得られる。
【０１６９】
また、上記各実施形態では、磁性粒子除去装置５０にて被処理流体中の磁性粒子ｊを分離除去する前に、サイクロン式分離除去装置１で予め磁性粒子ｊの分離除去処理を行うようにしているが、必ずしもこれに限ったものではない。例えば、被処理流体やダストの性状、流量、含有量などに応じては、磁性粒子除去装置５０にて分離除去処理を行った後にサイクロン式分離除去装置１にて分離除去処理を行うようにしてもよいし、また、サイクロン式分離除去装置１を設けず、５０だけによって除去するようにしてもよい。すなわち、サイクロン式分離除去装置１、磁性粒子除去装置５０、およびダスト分離装置１０８の選択的組み合わせや、処理順序は、被処理流体やダストの性状等に応じて、種々設定することができる。
【０１７０】
また、サイクロン式分離除去装置としては、種々の構成のものを適用することができる。例えば図３０に示すようなサイクロン式分離除去装置１を用いてもよい。このサイクロン式分離除去装置１では、サイクロン式処理容器２の内側周側壁面２ｇは、その上端部に形成されて内径が上下方向の全体に亘って略一定となる円筒状部２ｆと、該円筒状部２ｆの下側に連設され、概ね下方ほど内径が小さくなる上側逆円錐状部２ｂと、その下に順に連接される円錐状部２ｃと、２段の下側逆円錐状部２ｄとが形成されて成っている。上側逆円錐状部２ｂは、上部付近の頂角が大きく、その下方に頂角の小さい部分、及び円筒状の部分を有している。円錐状部２ｃは、下側ほど拡径し、上記円筒状部分と、その下方の下側逆円錐状部２ｄとを接続するようになっている。ここで、同図の例では、流体渦流部２ｅは３つの側壁部２ｉに分割されている例を示すが、これに限らず、一体でもよいし、２分割などでもよい。また、下側逆円錐状部２ｄは１段だけ設けるなどしてもよい。
【０１７１】
浮上物回収タンク１５と上記円筒状部２ｆとを仕切る仕切り板１８は、仕切り部１８ａと、ボス部１８ｂとから構成され、ボス部１８ｂが筒状排出管６に嵌挿されることによって取付けられている。
【０１７２】
また、筒状排出管６の下部には、スリーブ６ｃが嵌挿されている。スリーブ６ｃの外周には、被処理流体の旋回および下降流動に対応する方向の螺旋突起６ａが形成されている。より具体的には、螺旋突起６ａは、例えば断面形状が矩形、リード角が３０°で、２条形成されている。ここで、螺旋突起６ａの方向（右ネジ方向か左ネジ方向か）は、例えば旋回流動の方向に応じて決定すればよい。なお、上記の例では、筒状排出管６の内径、及びスリーブ６ｃにおける螺旋突起６ａ以外の部分の外形は、一定である例を示すが、筒状排出管６の下端部の外周面又は内周面を僅かに外側に拡径して、流体に、より確実に遠心力が作用するようにしてもよい。また、上方側の円周溝１１に設けられる永久磁石１０の上下方向の長さおよび位置は、例えば１ピッチ以上の螺旋突起６ａが形成されている範囲に設定される。
【０１７３】
なお、上記のような螺旋突起６ａに限らず、螺旋状の溝を形成してもよい。また、そのような螺旋溝や螺旋溝に代えて、またはこれとともに、上側逆円錐状部２ｂの内周に螺旋溝や螺旋突起を設けてもよい。
【０１７４】
上記のような螺旋溝や螺旋突起を設けることによって、被処理流体の旋回速度を増大させたり、螺旋溝や螺旋突起によって微小な磁性粒子が捕捉されるようにして、被処理流体からの除去効率を大幅に向上させることが容易にできる。すなわち、螺旋溝２ｊの方向が被処理流体の旋回下降流の方向に一致している場合には、被処理流体の流れがスムーズになって磁性粒子ｊが安定して内側周側壁面２ｇや螺旋溝２ｊの底に押しつけられる作用が大きくなる。一方、螺旋溝２ｊの方向が被処理流体の旋回下降流の方向と異なる場合には、被処理流体が螺旋溝２ｊを横切ることになるので、磁性粒子ｊが螺旋溝２ｊに引っかかって捕捉されやすくなる作用が大きくなる。また、被処理流体の旋回下降流の方向よりも螺旋溝２ｊのリード角を小さく設定し、回転速度を増加させるようにして、より大きな遠心力を作用させるようにすることもできる。それゆえ、被処理流体の流速や粘度、磁性粒子ｊの大きさ、形状、比重の相異などに応じて、螺旋溝２ｊのリード角や条数、断面形状などを設定すればよい。
【０１７５】
また、磁性粒子ｊは、上記のように円板状吸着部６０に吸着させるのに限らず、例えば図３１、図３２に示すように、ドラム状吸着部４１１に吸着させるようにしてもよい。
【０１７６】
磁性粒子除去装置５０のハウジング４００は、円筒部ハウジング４０１に、側壁部ハウジング４０２，４０３、及び軸受カバー４０４がボルト４０６により締結されて構成されている。
【０１７７】
上記ハウジング４００内には、ドラム状吸着部４１１が設けられている。上記ドラム状吸着部４１１は、回転軸４１４に側壁４１３を介してドラム４１２が取付けられて構成されている。ドラム４１２の外周面には、永久磁石５５及びヨーク５４が埋め込まれている。永久磁石５５の配置は、種々設定可能であるが、例えば、ドラム４１２の外周側がＮ極の永久磁石５５とＳ極の永久磁石５５とが、回転軸４１４の長手方向に並ぶように配置される。なお、２列に限らず、より多くの永久磁石５５が直線状に配置されるようにしてもよい。また、ヨーク５４は、上記のように回転軸４１４の長手方向に並ぶ永久磁石５５に亘る内周側に設けて、これらの永久磁石５５が磁気的に結合されるようにしたりしてもよい。また、ドラム４１２自体を磁性体で形成して、ヨークとして作用させるようにしてもよい。この場合、ドラム４１２には、例えば、永久磁石５５を取り付けるために、永久磁石５５の厚さの２／３程度の深さで永久磁石５５の外形に対して１ｍｍ〜３ｍｍ程度の隙間が形成される浅凹部内に、さらに永久磁石５５の厚さの１／３程度の深さで永久磁石５５の外形に略等しい形状の深凹部が形成された段付凹部を設け、上記深凹部内に永久磁石５５を嵌め込むようにしてもよい。これにより、永久磁石５５の位置決めを確実にするとともに、磁力線のリークを防止してドラム４１２によるヨークとしての作用が確実に得られるようにすることが容易にできる。また、永久磁石５５をドラム４１２の表面に露出させるのに限らず、ステンレス製の円筒でドラム状吸着部４１１を覆うなどしてもよい。
【０１７８】
ドラム状吸着部４１１の回転軸４１４は、ベアリング４２１によって回転自在に支持されるとともに、モータ４３１の駆動力が、減速機４３２内のギヤ４３３を介して伝達され、図３１における時計回り方向に回転するようになっている。上記ベアリング４２１のハウジング内部側には、シール４２２が設けられ、被処理流体がベアリング４２１に流れ込まないようにされている。
【０１７９】
円筒部ハウジング４０１には、被処理流体の導入口４０１ａが設けられる一方、側壁部ハウジング４０３には、排出口４０３ａが設けられている。導入口４０１ａから流入した被処理流体は、円筒部ハウジング４０１と、ドラム４１２との間を通って、ドラム状吸着部４１１の回転方向とは逆の図３１における反時計回りの方向に流れ、排出口４０３ａから排出されるようになっている。
【０１８０】
ここで、上記のようにドラム状吸着部４１１の回転方向と被処理流体の流れる方向とが互いに逆の場合、ドラム４１２に吸着された磁性粒子ｊが導入口４０１ａから流入する被処理流体に衝突すると離脱する可能性が高くなる。そこで、本実施形態においては、導入口４０１ａから流入した被処理流体がドラム４１２の表面に直接当たりにくくするように、導入口４０１ａのドラム４１２側に、ガイド板４０５が設けられている。
【０１８１】
上記被処理流体の流路となる円筒部ハウジング４０１とドラム状吸着部４１１との間には、部分円筒状の対向磁性板４６１が設けられ、永久磁石５５による磁性粒子ｊの吸引力が強められるようになっている。
【０１８２】
また、被処理流体の流路には、回動軸４６４周りに回動可能な流量規制板４６３が設けられ、被処理流体中の磁性粒子ｊの量や、比重、大きさなどに応じて、被処理流体の流量を調整できるようにあっている。
【０１８３】
ドラム４１２の上部付近には、ドラム４１２に当接する（又はわずかに離間して近接する）掻取り面４５１ａを有する掻取り部材４５１が設けられている。すなわち、ドラム４１２に吸着された磁性粒子ｊは、掻取り面４５１ａにより掻き取られ、案内ダクト４５１ｂに案内されて排出されるようになっている。
【０１８４】
上記のようにドラム状吸着部４１１に磁性粒子ｊを吸着させる場合でも、ドラム４１２に埋め込まれた永久磁石５５に対向して対向磁性板４６１が設けられていることにより、大きな磁気吸引力を作用させて、磁性粒子ｊを効率よく除去することができる。
【０１８５】
また、磁性粒子除去装置５０のさらに他の例としては、図３３に示すように構成してもよい。この磁性粒子除去装置５０は、前記の例（図３１、図３２）と比べて、ドラム状吸着部４１１の回転方向と同じ方向に被処理流体が流れるように構成された点が異なっている。すなわち、側壁部ハウジング４０２には、排出口４０３ａに加えて、導入口４０３ｂが設けられている。導入口４０３ｂから流入した被処理流体は、ドラム状吸着部４１１の回転方向と同じ図３３における時計回りの方向に流れ、排出口４０３ａから排出されるまでの間に、磁性粒子ｊがドラム状吸着部４１１に吸着されるようになっている。
【０１８６】
上記のように構成された磁性粒子除去装置５０においても、対向磁性板４６１が設けられていることにより、大きな磁気吸引力を作用させて、磁性粒子ｊを効率よく除去することができる。特に、ドラム状吸着部４１１の回転方向と被処理流体の流れる方向を同じ方向にすることによって、一旦ドラム状吸着部４１１に吸着された磁性粒子ｊが被処理流体の流れによって引きはがされる可能性を低減できるので、一層磁性粒子ｊの除去効率を向上させることも容易にできる。
【０１８７】
《その他の事項》
また、上記各実施形態では、除去本体部８０は、アクリル製の掻取り部材８１と、アルミニウム製のハウジング部材８３との２部材からなるものとされているが、これに限ったものではなく、例えば、アルミニウム製又はアクリル製の一体品としてもよい。
【０１８８】
また、上記各実施形態では、磁性粒子ｊを回収用空間８２内に吸引するための吸引手段としてエジェクタバルブ１０６を採用するようにしているが、これに限ったものではなく、例えばダイヤフラムポンプを採用するようにしてもよい。
【０１８９】
また、上記各実施形態では、円板状吸着部６０やドラム状吸着部４１１をモータ５６により駆動することで、除去本体部８０を吸着面５１ａに沿って相対移動させるようになっているが、これに限ったものではなく、例えば、円板状吸着部６０やドラム状吸着部４１１を固定しておいて除去本体部８０をモータ５６により吸着面５１ａに沿って移動させるようにしてもよい。
【０１９０】
また、上記各実施形態では、吸着面５１ａは、非磁性体からなるプレート材（実施形態１では円形プレート５１、実施形態５、実施形態６では円筒本体１１２の周側壁）で構成されているが、これに限ったものではなく、吸着面５１ａを永久磁石等の磁石部材で構成するようにしてもよい。
【０１９１】
また、上記各実施形態では、掻取り面８１ａは、上記相対移動方向の後側に行くにしたがって吸着面５１ａから離れる側に傾斜する傾斜面とされているが、これに限ったものではなく、例えば、吸着面５１ａに対して垂直な面であってもよい。
【０１９２】
なお、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではなく、それ以外の種々の構成を包含するものである。
【０１９３】
また、上記各実施形態や変形例で説明した構成要素等は、論理的に可能な範囲で種々組み合わせたりしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１９４】
本発明は、被処理流体中の磁性粒子を磁気吸引力により吸着する吸着面と、該吸着面に吸着された磁性粒子を掻き取って除去する除去本体部とを備えた磁性粒子除去装置等に有用であり、特に、サイクロン式処理容器の外周面に磁石部材を配設してなるサイクロン式分離除去装置を含む被処理流体浄化システムに適用する場合等に有用である。
【符号の説明】
【０１９５】
１ サイクロン式分離除去装置
２ サイクロン式処理容器
２ａ 本体部
２ｂ 上側逆円錐状部
２ｃ 円錐状部
２ｄ 下側逆円錐状部
２ｅ 流体渦流部
２ｆ 円筒状部
２ｇ 内側周側壁面
２ｈ 外周面
２ｉ 側壁部
２ｊ 螺旋溝
３ 導入口
４ 排出口
５ 円筒外筒
６ 筒状排出管
６ａ 螺旋突起
６ｃ スリーブ
７ 流体排出口
８ Ｏリング
９ａ 雌ねじ部
９ｂ 雄ねじ部
１０ 永久磁石
１１ 円周溝
１２ 円周溝
１３ 内側空間
１５ 浮上物回収タンク
１５ａ 内側周側壁面
１６ 薄肉スペーサ
１７ 厚肉スペーサ
１８ 仕切り板
１８ａ 仕切り部
１８ｂ ボス部
１９ スリット
２０ 折曲げ片
２０ａ 案内用折曲げ片
２０ｂ 整流用折曲げ片
２０ｊ 案内面
２０ｋ 下面
２１ 浮上物排出口
２２ ヨーク
５０ 磁性粒子除去装置
５１ 円形プレート
５１ａ 吸着面
５２ 円板本体
５３ 円周溝
５４ ヨーク
５５ 永久磁石
５５ａ 上面
５６ 駆動モータ
５７ スペーサ
６０ 円板状吸着部
６１ 駆動シャフト
６２ ナット
６３ ギヤケース
６４ 支持プレート
６４ａ 導入口
６４ｂ 上面
６４ｃ 下面
６４ｄ ノック孔
６５ 配管継手
６６ ボルト
６７ 案内ダクト
６７ａ 内側ダクト壁
６７ｂ 外側ダクト壁
６７ｃ 垂直壁部
６７ｄ 傾斜部
６７ｅ 水平突出片部
６７ｇ，６７ｈ ダクト側壁
６７ｉ，６７ｊ 側板
６８ 開口部
６９ ケーシング
６９ 案内ケーシング
６９’ 対向磁性板ブラケット
６９ａ 水平部
６９ｂ 切欠き部
６９ｃ 側壁部
６９ｄ 垂直部
６９ｆ 長孔
７０ 流路
７１ 開放部
７２ 開放部
７３ ビス
７４ 案内ケーシング
８０ 除去本体部
８１ 掻取り部材
８１ａ 掻取り面
８１ｂ 上面
８１ｆ 端縁
８２ 回収用空間
８３ ハウジング部材
８３ 回収タンク部
８３ａ 端面
８３ｂ 貫通細孔
８３ｃ 粒子吸込口
８３ｄ 下面
８３ｅ 上面
８３ｆ 凹部
８３ｇ 粒子排出口
８３ｋ 前側面
８４ 連通路
８５ 配管継手
８６ 磁気シールド部材
８７ 磁性粒子排出管
８８ 水抜き穴
８９ 流体供給管
８９ａ ノズルヘッド
８９ｂ ノズル
９０ ガイドシャフト
９１ ホルダ部材
９１ａ 上面
９２ ガイドプレート
９２ａ ガイド孔
９２ｂ 下面
９２ｆ 挿通孔
９３ 圧縮コイルスプリング
９４ ワッシャ
９５ 垂直支柱
９５ａ 下側フランジ部
９５ｂ 上側フランジ部
９５ｃ 支柱本体部
９６ 位置決めピン
９７ ボルト
９８ 円筒状ガイドブッシュ
１００ 被処理流体浄化システム
１０１ 工作機械
１０２ ダーティタンク
１０３ ダスト分離用タンク
１０３ａ 流入管
１０３ｂ 排出管
１０３ｃ タンク流入口
１０３ｄ マグネット
１０３ｅ 屑排出口
１０３ｆ 蓋
１０３ｇ 排出口下方仕切板
１０３ｈ 排出口側方仕切板
１０３ｉ 浮上物仕切板
１０３ｊ 流入口仕切板
１０３ｋ 監視窓
１０３ｍ 浮上物回収ボックス
１０４ スーパクリーンタンク
１０４ａ 上壁部
１０４ｂ 戻り管
１０４ｃ 排出管
１０４ｄ 排出バルブ
１０４ｅ・１０４ｆ 仕切り壁
１０５ ポンプ
１０６ エジェクタバルブ
１０６ａ 流体供給ポート
１０７ ダストボックス
１０８ ダスト分離装置
１０８ａ モータ
１０８ｂ 駆動軸
１０８ｃ 従動軸
１０８ｄ チェーンベルト
１０８ｅ スクレーパ
１０８ｆ マグネットプレート
１０９ サイクロン供給用貯留タンク
１１０ 処理槽
１１０ａ 上壁部
１１１ 接続配管
１１２ 円筒本体
１１２ａ 内周側面
１１５ ポンプ
１２１ 回収管
１２２ 回収管
１５０ ケーシング
１５１ 側壁部
１５２ 底壁部
１５３ 上壁部
１５４ 排出筒部
１５５ 水位調節スリーブ
１６１ 対向磁性板
１６１ａ 切欠き部
４１１ ドラム状吸着部
４６１ 対向磁性板
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理流体中の磁性粒子を磁気吸引力により吸着する吸着面と、該吸着面に吸着された磁性粒子を掻き取って除去する掻取り部（除去本体部）とを備えた磁性粒子除去装置に関する技術分野に属する。
【背景技術】
【０００２】
この種の磁性粒子除去装置としては、例えば特許文献１に示すように、内周面にマグネットを配して外周面を磁性粒子吸着用の吸着面とする非磁性回転円筒と、該回転円筒の吸着面に吸着された磁性粒子（切屑等）を掻き取る掻取り板とを備えたものが知られている。この除去装置では、上記非磁性回転円筒を、その吸着面がクーラント液中に浸漬する状態でモータにより回転駆動させることで、掻取り板を、吸着面に沿って周方向に（つまり掻取り板の掻取り面が磁性粒子を掻き取る向きに）相対移動させ、これによって、吸着面に吸着された磁性粒子を該掻取り板で掻き取るようになっている。掻き取られた磁性粒子は、掻取り板に沿って落下して装置外へと排出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−３４０７１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述のような磁石部材の磁気吸引力を利用した磁性粒子除去装置では、磁性粒子の除去効率の向上を図るために、マグネット数を増やす等して磁気吸引力の増強を図ることが好ましい。
【０００５】
しかしながら、このように磁気吸引力を増強した場合には、磁性粒子の吸着面への吸着力が強くなり過ぎる結果、掻取り板により掻き取られた磁性粒子が再び吸着面に吸着されて、磁性粒子の除去効率が低下するという問題がある。
【０００６】
本発明は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、例えば、被処理流体中の磁性粒子を磁気吸引力により吸着する吸着面と、該吸着面に吸着された磁性粒子を掻き取る掻取り面を有する掻取り部と、該掻取り部を吸着面に沿って相対移動させる相対移動手段とを備えた磁性粒子除去装置において、その構成に工夫を凝らすことで、装置全体としての磁性粒子の除去効率を可及的に向上させようとすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために、この発明では、例えば、掻取り面にて掻き取った磁性粒子を回収するための回収用空間と該回収用空間に連通する粒子吸込口とを有する掻取り部と、該粒子吸込口から該回収用空間内に磁性粒子を吸込むための吸引部、または該粒子吸込口から粒子排出口に向く被処理流体の流れを生じさせる押し流し部とを備えるようにした。
【０００８】
具体的には、請求項１の発明は、
磁性粒子を含む被処理流体に接触して該被処理流体中の磁性粒子を磁気吸引力により吸着する吸着面と、
掻取り部材を有し、該吸着面に吸着された磁性粒子を掻き取る掻取り部と、
上記吸着面、及び上記掻取り部材の少なくとも一方を、上記掻取り部材が上記吸着面に吸着された磁性粒子を掻き取る向きに相対移動するように移動させる相対移動手段とを備えた磁性粒子除去装置であって、
さらに、上記掻取り部材によって掻き取られた磁性粒子を搬送して排出する搬送部を備え、
上記搬送部は、掻取り部材によって掻き取られた磁性粒子を吸引して排出する吸引部、および上記磁性粒子を押し流して排出する押し流し部の少なくとも一方を有することを特徴とする。
【０００９】
また、請求項２の発明は、
請求項１記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部は、掻き取った磁性粒子を回収するべく該掻取り部の内部に形成される回収用空間と、該回収用空間に連通する粒子吸込口とを有しており、
上記吸引部は、上記掻取り部材により掻き取った磁性粒子を上記粒子吸込口から上記回収用空間内に吸込むことを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、相対移動手段により掻取り部を吸着面に沿って相対移動させると、掻取り部材の掻取り面が、該吸着面に吸着した磁性粒子を掻き取る。掻き取られた磁性粒子は、上記吸引部により吸引されて粒子吸込口から掻取り部内（回収用空間内）に導入される。したがって、一旦掻き取った磁性粒子が吸着面に再吸着される前に、該磁性粒子を掻取り部内（回収用空間内）に導くことができる。よって、磁性粒子の除去効率を確実に向上させることができる。
【００１１】
請求項３の発明は、
請求項２記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部は、さらに、上記回収用空間内に吸込まれた磁性粒子を該掻取り部外に排出するべく該回収用空間に連通する粒子排出口を有しており、
上記掻取り部における上記回収用空間と上記吸着面との間には、該回収用空間内に吸引された磁性粒子に対して該吸着面から磁気吸引力が作用するのを阻止する磁気シールド部材が設けられていることを特徴とする。
【００１２】
この構成によれば、回収用空間内の磁性粒子に対して上記吸着面から作用する磁気吸引力を、該回収用空間と吸着面との間に配設された磁気シールド部材によって遮断することができる。したがって、回収用空間内の磁性粒子の流動性が該磁気吸引力により損なわれることもなく、このため、回収用空間内に吸込んだ磁性粒子を上記粒子排出口まで確実に流動させて排出することができる。よって、回収用空間内に磁性粒子が堆積したり、粒子吸込口が該堆積した磁性粒子で閉塞されたりして、磁性粒子の回収効率が低下するのを確実に防止することができる。
【００１３】
また、磁気シールド部材が上記吸着面からの磁気吸引力により該吸着面側に引き寄せられるので、掻取り部も磁気シールド部材と共に吸着面側に引き寄せられる。この結果、掻取り部に設けられた掻取り面の吸着面側の端縁が、該吸着面に押付けられることとなって、比較的小さな磁性粒子をも逃さずに該掻取り面で掻き取ることができる。よって、磁性粒子の除去効率を可及的に向上させることが可能となる。更に、この磁性体の大きさの選定、配置の調整、適切な磁気シールド性能を有するシールド部材の選出等によって透磁率を調整することによって、上記吸着面への吸着状態や上記吸着面からの掻取り状態を制御できる。したがって、被処理流体中に含まれる磁性粒子ｊの大きさや量に応じて、この磁性体の透磁率を調整することで、磁性粒子ｊを効率的に除去することができる。
【００１４】
請求項４の発明は、
請求項３記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部材は、厚さ方向の一方側面が上記吸着面に当接又は近接し、かつ、上記相対移動方向の前側側面が掻取り面とされる板状部材からなり、
上記磁気シールド部材は、上記板状部材の厚さ方向の他方側面に積層されていることを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、上記掻取り部における上記磁気シールド部材と吸着面との間に挟まれた部分が板状部材とされているので、吸着面と磁気シールド部材との距離を極力近づけて該吸着面から磁気シールド部材に作用する磁気吸引力を高めることができる。したがって、該磁気シールド部材と吸着面との間に挟まれた板状部材を、吸着面側に強力に押付けることができ、延いては、上記掻取り面の吸着面側の端縁を吸着面に強力に押付けることができる。したがって、請求項３の発明と同様の作用効果をより一層確実に得ることができる。
【００１６】
請求項５の発明は、
請求項４記載の磁性粒子除去装置であって、
上記粒子吸込口は、上記除去本体部における上記相対移動方向の前側面に形成されており、
上記掻取り面は、上記相対移動方向の後側に行くにしたがって上記吸着面と離れる側に傾斜する傾斜面とされ、
上記掻取り面の上記相対移動方向の後側端部は、上記粒子吸込口に接続されていることを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、上記掻取り面で掻き取られた磁性粒子を、該掻取り面に沿って粒子吸引口まで案内することができる。よって、磁性粒子を粒子吸引口から回収用空間内に確実に案内回収することができる。
【００１８】
請求項６の発明は、
請求項１記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部は、さらに、粒子吸込口、粒子排出口、および上記吸着面から引きはがされた磁性粒子を上記粒子吸込口から粒子排出口に集約する回収用空間を有し、
集約された磁性粒子が上方または水平方向に排出されることを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、磁性粒子を集約させて、装置のレイアウトや被処理流体の性状などに応じて、適切な方向に排出させることなどが容易にできる。
【００２０】
請求項７の発明は、
請求項１記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部は、さらに、粒子吸込口、粒子排出口、および上記吸着面から引きはがされた磁性粒子を上記粒子吸込口から粒子排出口に集約する回収用空間を有し、
上記押し流し部は、上記粒子吸込口から粒子排出口に向く被処理流体の流れを生じさせる被処理流体噴出部を有していることを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、磁性粒子を集約させて、被処理流体の流れの作用によって排出させることができる。
【００２２】
請求項８の発明は、
請求項１記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部は、さらに、粒子吸込口、粒子排出口、および上記吸着面から引きはがされた磁性粒子を上記粒子吸込口から粒子排出口に集約する回収用空間を有し、
上記吸着面と回収用空間との間に、磁性体から成る磁気シールド部材が設けられていることを特徴とする。
【００２３】
この構成によれば、やはり、回収用空間内の磁性粒子に対して上記吸着面から作用する磁気吸引力を遮断することができる。よって、回収用空間内の磁性粒子の流動性が該磁気吸引力により損なわれることもなく、このため、回収用空間内に吸込んだ磁性粒子を上記粒子排出口まで確実に流動させて排出することができ、回収用空間内に磁性粒子が堆積したり、粒子吸込口が該堆積した磁性粒子で閉塞されたりして、磁性粒子の回収効率が低下するのを確実に防止することができる。
【００２４】
請求項９の発明は、
請求項８記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部材、及び磁気シールド部材は、吸着面に吸着された磁性粒子が吸着面から引きはがされる位置から、上記粒子排出口が設けられている位置にかけて、上記吸着面から磁気シールド部材の上面までの距離が大きくなる傾斜を有することを特徴とする。
【００２５】
この構成によれば、上記磁気吸引力の遮断作用が、磁性粒子が粒子排出口に向かうほど大きくなるので、より確実に搬送されやすくすることができる。
【００２６】
請求項１０の発明は、
請求項１乃至９のいずれか一項に記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部を上記吸着面側に押付ける付勢バネをさらに備えていることを特徴とする。
【００２７】
この構成によれば、付勢バネにより掻取り部を吸着面側に押付けることができる。したがって、掻取り部の掻取り面の吸着面側の端縁をより一層確実に吸着面に押付けて、磁性粒子の除去効率を向上させることができる。
【発明の効果】
【００２８】
以上説明したように、本発明の磁性粒子除去装置によると、例えば、掻取り面にて掻き取った磁性粒子を回収するための回収用空間と該回収用空間に連通する粒子吸込口とを有する除去本体部と、該粒子吸込口から該回収用空間内に磁性粒子を吸込む吸引部等とを備えるようにしたことで、磁性粒子の除去効率を可及的に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】実施形態１の被処理流体浄化システムの構成を示す全体図である。
【図２】ダスト分離用タンク１０３の構成を示す縦断面図である。
【図３】同、右側面図である。
【図４】同、平面図である。
【図５】サイクロン式分離除去装置１の構成を示す縦断面図である。
【図６】図５のVI−VI線断面図である。
【図７】図６のVII−VII線断面図である。
【図８】図６のVIII−VIII線断面図である。
【図９】サイクロン式分離除去装置１の永久磁石の配設状態を示す横断面図である。
【図１０】実施形態１の磁性粒子除去装置５０の構成を示す縦断面図である。
【図１１】実施形態１の円板状吸着部６０の永久磁石の配設状態を示す平面図である。
【図１２】実施形態１の吸着面の構造を示す拡大図である。
【図１３】図１０のXIII−XIII線断面図である。
【図１４】実施形態１の除去本体部８０の構成を示す縦断面図である。
【図１５】実施形態２の被処理流体浄化システムの構成を示す全体図である。
【図１６】実施形態２の磁性粒子除去装置５０の構成を示す縦断面図である。
【図１７】図１６のXVII−XVII線断面図である。
【図１８】実施形態２の除去本体部８０の構成を示す縦断面図である。
【図１９】実施形態３の被処理流体浄化システムの構成を示す全体図である。
【図２０】実施形態３の磁性粒子除去装置５０の構成を示す縦断面図である。
【図２１】実施形態３の除去本体部８０の構成を示す縦断面図である。
【図２２】実施形態４の被処理流体浄化システムの構成を示す全体図である。
【図２３】実施形態４の磁性粒子除去装置５０の構成を示す縦断面図である。
【図２４】実施形態４の除去本体部８０の構成を示す縦断面図である。
【図２５】実施形態５の磁性粒子除去装置５０の構成を示す断面図である。
【図２６】実施形態６の磁性粒子除去装置５０の構成を示す断面図である。
【図２７】他の実施形態の円板状吸着部６０の構成を示す平面図である。
【図２８】他の実施形態の被処理流体浄化システムの構成を示す全体図である。
【図２９】他の実施形態の被処理流体浄化システムの構成のさらに他の例を示す全体図である。
【図３０】他の実施形態のサイクロン式分離除去装置１の構成を示す縦断面図である。
【図３１】他の実施形態の磁性粒子除去装置５０の構成を示す断面図である。
【図３２】図３１のXIII−XIII線断面図である。
【図３３】他の実施形態の磁性粒子除去装置５０の構成のさらに他の例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の各実施形態において、他の実施形態と同様の機能を有する構成要素については同一の符号を付して適宜説明を省略する。
【００３１】
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る被処理流体浄化システム１００を示し、本実施形態では一例として、このシステム１００を、工作機械１０１のクーラント液（被処理流体）の浄化システムに適用した例を示す。
【００３２】
すなわち、上記被処理流体浄化システム１００は、工作機械１０１において、クーラント液（すなわち被処理流体）の中に混入する切粉（磁性粒子ｊ）或いは該切粉と砥粒との溶着したもの等からなる切削屑である磁性粒子ｊ（図５及び図１４参照）と、クーラント液とを分離し、該磁性粒子ｊを分離回収する場合に適用したものである。より具体的には、このシステム１００は、ダーティタンク１０２と、ダスト分離用タンク１０３と、サイクロン供給用貯留タンク１０９と、サイクロン式分離除去装置１と、磁性粒子除去装置５０と、スーパクリーンタンク１０４とを備えている。
【００３３】
工作機械１０１から排出されたダーティ液（磁性粒子ｊを除去する前の被処理流体）は先ず、ダーティタンク１０２内へと導かれて貯留される。ダーティタンク１０２内に貯留された被処理流体は、ポンプ１１５により汲み上げられて、ダスト分離用タンク１０３へと導かれる。ダスト分離用タンク１０３では、後述するマグネットプレート１０８ｆ等に吸着され、または自重で速やかに沈殿する比較的大きなダストなどが除去され、残りのダストを含む被処理流体がサイクロン供給用貯留タンク１０９に貯留される。
【００３４】
サイクロン供給用貯留タンク１０９に貯留された被処理流体は、ポンプ１０５により汲み上げられてサイクロン式分離除去装置１へと導かれる。サイクロン式分離除去装置１では、後述するように、比重が比較的小さい磁性粒子ｊが浮上物排出口２１（図５参照）からダスト分離用タンク１０３へと排出された後、比重が比較的大きい磁性粒子ｊが遠心力により分離されて排出口４（図５参照）から、ダスト分離用タンク１０３へと排出され、浄化処理後の被処理流体が、筒状排出管６から排出されて磁性粒子除去装置５０へと導かれる。
【００３５】
磁性粒子除去装置５０では、サイクロン式分離除去装置１で除去しきれなかった磁性粒子ｊを含む被処理流体が分離されてサイクロン供給用貯留タンク１０９へと戻される一方、浄化処理後の被処理流体はスーパクリーンタンク１０４内に排出される。尚、図１中、符号１０６は、後述するように磁性粒子除去装置５０にて分離した磁性粒子ｊを吸引するためのエジェクタバルブ（吸引手段に相当）である。
【００３６】
上記スーパクリーンタンク１０４に導かれて貯留された、磁性粒子除去後のクリーンな被処理流体は、不図示のポンプにより工作機械１０１に供給されてクーラント液として使用される。尚、スーパクリーンタンク１０４内の被処理流体は、その水位が所定水位ｈ２に達すると戻り管１０４ｂからサイクロン供給用貯留タンク１０９へと戻されるようになっている。これに伴って、軽くてスーパクリーンタンク１０４内で表面に浮いたダストも、サイクロン供給用貯留タンク１０９へと戻される。また、磁性粒子除去装置５０によっても除去されずスーパクリーンタンク１０４内で沈殿したダストは、スーパクリーンタンク１０４の底部に設けられた排出管１０４ｃ、および排出バルブ１０４ｄを介してダーティタンク１０２に排出されるようになっている。
【００３７】
上記のように、工作機械１０１から排出された被処理流体が直接サイクロン式分離除去装置１に供給されず、一旦ダスト分離用タンク１０３によって比較的大きなダストなどが除去されてから供給されることによって、より小さなダストを含む被処理流体が遠心分離の対象となるので、サイクロン式分離除去装置１における比較的小さな磁性粒子ｊの除去効率を容易に高めることができる。また、さらに磁性粒子除去装置５０を組み合わせることによって、より小さな磁性粒子ｊの除去効率を高めることができる。すなわち、例えば、各装置の特性をダストの性状等に応じて特化させて、種々の大きさのダストに対する全体的な除去効率を大幅に高めることなどができる。
【００３８】
なお、上記のシステム構成例は一例であり、種々の変形構成が可能である。例えば、工作機械１０１から排出された被処理流体は、ダーティタンク１０２を介してダスト分離用タンク１０３に供給されるのに限らず、直接ダスト分離用タンク１０３に供給されるようにしてもよい。また、ダスト分離用タンク１０３から排出された被処理流体は、サイクロン供給用貯留タンク１０９に貯留された後にサイクロン式分離除去装置１に供給されるのに限らず、ダスト分離用タンク１０３から直接供給されるようにしてもよい。もっとも、上記のようにダスト分離用タンク１０３の前後にダーティタンク１０２および／またはサイクロン供給用貯留タンク１０９を設ける場合には、ダスト分離用タンク１０３の流入、流出量を適切に設定、または制御して、ダストの除去効率を向上させることが、より容易になる。また、サイクロン式分離除去装置１から排出される磁性粒子ｊや浮上物は、通常はダスト分離用タンク１０３に戻されるのが、ダストボックス１０７、浮上物回収ボックス１０３ｍへの回収をスムーズに行いやすい点で好ましいが、これに限らず、ダーティタンク１０２やサイクロン供給用貯留タンク１０９に戻されるなどしてもよいし、別途分離処理されるようにしてもよく、最終的にダスト等の回収が可能であればよい。
【００３９】
−ダスト分離用タンク１０３の構成−
ダスト分離用タンク１０３は、例えば図２〜図４に示すような構成を有している。流入管１０３ａから流入した被処理流体は、タンク流入口１０３ｃからタンク本体内に流入し、流入口仕切板１０３ｊを回り込み、排出口下方仕切板１０３ｇと排出口側方仕切板１０３ｈとの間を通過して、排出管１０３ｂから排出されるようになっている。
【００４０】
上記被処理流体が流れる経路付近には、マグネット１０３ｄ、およびマグネットプレート１０８ｆが設けられ、ダスト（磁性粒子）が、自重で沈殿するのに加えて、強制的に吸着、沈殿させられて、捕捉されるようになっている。タンク流入口１０３ｃの近傍のマグネット１０３ｄに捕捉されたダストは、転がり落ちてタンク内に沈殿するか、または、切り屑排出口１０３ｅから強制的に排出できるようになっている。上記切り屑排出口１０３ｅは、通常の運転時には、蓋１０３ｆで塞がれている。
【００４１】
一方、マグネットプレート１０８ｆに吸着され、またはタンク内に沈殿したダストは、コンベア式のダスト分離装置１０８によって、ダストボックス１０７に排出される。ダスト分離装置１０８は、モータ１０８ａにより駆動される駆動軸１０８ｂと、従動軸１０８ｃと、両者間に掛け渡されたチェーンベルト１０８ｄとを備えている。上記チェーンベルト１０８ｄには適宜間隔でスクレーパ１０８ｅが立設され、このスクレーパ１０８ｅによって、マグネットプレート１０８ｆに吸着され、またはタンク内に沈殿したダストが掻き出される。
【００４２】
上記ダスト分離装置１０８は、限定はされないが、例えばユニット化されて、斜め上方に引き抜くことができるよう脱着自在に設けられ、メインテナンスが容易にできるようにされるようになっている。また、ダスト分離装置１０８を引き抜いた状態でも、ダスト分離用タンク１０３内に沈殿したダスト等を手動で掻き出すことが容易にできるようになっている。なおダスト分離装置１０８は、上記のような構成に限るものではなく、例えば特開２００３−２５１５４２号公報に示されるものなど、公知の種々の構造を有するものを適用してもよい。
【００４３】
ダスト分離用タンク１０３には、また、後に詳述するサイクロン式分離除去装置１から排出された磁性粒子ｊ、および浮上物も回収管１２１・１２２を介して回収されるようになっている。回収管１２１によって回収された磁性粒子ｊは、ダスト分離用タンク１０３の底に沈殿し、またはマグネットプレート１０８ｆに吸着されて、上記のようにダスト分離装置１０８によりダストボックス１０７に排出される。浮上物が回収される回収管１２２は、ダスト分離用タンク１０３内で下方を除く周囲を浮上物仕切板１０３ｉに囲まれている。これにより、回収された浮上物は上記浮上物仕切板１０３ｉに囲まれた範囲内に止められ、サイクロン供給用貯留タンク１０９に送られる被処理流体中に混入するのが防止されるようになっている。上記浮上物は、ダスト分離用タンク１０３内の水位が上昇すると浮上物回収ボックス１０３ｍに排出される（図３）。
【００４４】
また、必須な構成要素ではないが、ダスト分離用タンク１０３の側方には、内部の液位などを視認するための監視窓１０３ｋ（図３）が設けられている。
【００４５】
−サイクロン式分離除去装置の構成−
サイクロン式分離除去装置１は、図５に示すように、ステンレス、アルミニウムや樹脂等の非磁性体からなるサイクロン式処理容器２と、該サイクロン式処理容器２の上側に配設される浮上物回収タンク１５と、サイクロン式処理容器２内の浄化後の被処理流体を該処理容器２外（サイクロン式分離除去装置１外）へと排出する筒状排出管６とを備えている。該サイクロン式処理容器２及び浮上物回収タンク１５は、上端部が閉塞された略円筒状の本体部２ａと、該本体部２ａの下端部に接続される略円筒状の流体渦流部２ｅとで構成されている。より具体的には、本体部２ａの内側空間１３は、仕切り板１８により上下に仕切られており、この仕切り板１８がサイクロン式処理容器２の上壁部を構成するとともに、浮上物回収タンク１５の底壁部を構成している。
【００４６】
このサイクロン式処理容器２は、上下方向に延びる内側周側壁面２ｇに、逆円錐状部２ｂ，２ｄを形成した槽体からなるものであって、後述するように、磁性粒子ｊを含む被処理流体を該内側周側壁面２ｇに沿って、サイクロン式分離除去装置１を上方から見たときにおける反時計回り方向に旋回流動させることでその遠心力により該磁性粒子ｊを分離する。尚、被処理流体を時計回り方向に旋回流動させるようにしてもよいことは言うまでもない。
【００４７】
より詳細には、サイクロン式処理容器２の内側周側壁面２ｇは、その上端部に形成されて内径が上下方向の全体に亘って略一定となる円筒状部２ｆと、該円筒状部２ｆの下側に連設され、下側ほど内径が小さくなる上記上側逆円錐状部２ｂと、該上側逆円錐状部２ｂに隣接してその下側に形成された下側逆円錐状部２ｄと、両逆円錐状部２ｂ，２ｄ同士を接続する円錐状部２ｃとからなる。該円筒状部２ｆ、両逆円錐状部２ｂ，２ｄ、及び円錐状部２ｃの軸心は一致しており、この軸心が、サイクロン式処理容器２の中心軸１Ｃとされる。そして、この中心軸１Ｃは、被処理流体の旋回中心軸に略一致している。尚、円筒状部２ｆは、上記本体部２ａの内側周側壁面における仕切り板１８よりも下側の部分とされ、両逆円錐状部２ｂ，２ｄ及び円錐状部２ｃは、上記流体渦流部２ｅの内側周側壁面とされている。
【００４８】
上記円筒状部２ｆの上端部（つまりサイクロン式処理容器２の上端部）には、図５、図６に示すように、上記サイクロン式処理容器２内に被処理流体を導入するための導入口３が形成されている。この導入口３は、上側から見て該円筒状部２ｆに対してその接線方向から貫通して開口するとともに、該開口から処理容器２内に流入する被処理流体を該円筒状部２ｆの中心軸（処理容器２の中心軸１Ｃ）周りに反時計回り方向に旋回流動させるように構成されている（なお、図５に示す断面には、実際には導入口３は現れないが、図５では、便宜上、ほぼ同図の断面に投影した位置に表している。）。こうして、被処理流体は、該円筒状部２ｆにおいて反時計回り方向に旋回流動されることで、その勢いで流体渦流部２ｅ内においても同方向（反時計回り方向）に旋回流動される。
【００４９】
上記下側逆円錐状部２ｄの上端の内径は、上側逆円錐状部２ｂの下端の内径よりも大きくなっており（つまり拡径している）、後述するように、この下側逆円錐状部２ｄの上端部に磁性粒子ｊが分離集約されるようになっている。
【００５０】
上記下側逆円錐状部２ｄの上端と上側逆円錐状部２ｂの下端とは、下側ほど拡径する円錐状部２ｃを介して接続されている。下側逆円錐状部２ｄの下端（つまりサイクロン式処理容器２（流体渦流部２ｅ）の底面）には、磁性粒子ｊを排出するための排出口４が設けられている。これら両逆円錐状部２ｂ，２ｄ及び円錐状部２ｃを構成する流体渦流部２ｅは、円筒外筒５に嵌合挿入されて着脱可能になっている。尚、円筒外筒５はステンレス、合成樹脂等の非磁性体で構成するが、永久磁石１０の磁力の作用上で影響が無ければ、鋼管としてもよい。また、本体部２ａ及び流体渦流部２ｅは別体で構成しているが、一体でもよい。
【００５１】
円筒外筒５は、その上端部の外周面に形成された雄ねじ部９ｂを本体部２ａの下端部に形成された雌ねじ部９ａに螺合してねじ込み固定されている。流体渦流部２ｅの上端面の外周縁、及び、円筒外筒５の上端面の内周縁は共に面取り加工が施されていて、両面取り面によりＶ字状の溝部が形成され、この溝部にＯリング８がセットされている。こうすることで、本体部２ａと流体渦流部２ｅとの接続部から被処理流体が漏出するのを防止している。特に、円筒外筒５の上端部がねじ込まれて本体部２ａの下端部に押しつけられ、且つ流体渦流部２ｅの上端面がスプリング（図示省略）で上方に押しつけられることで、組み付けでき且つシールできるので、組付性及びメンテナンス性に優れる。
【００５２】
上記浮上物回収タンク１５は、サイクロン式処理容器２内の上部に浮上した比較的比重の小さい浮上物（例えば、比重の軽い磁性粒子、油成分、浮遊カーボン、浮遊ゴミ等であり、以下浮上物と称す）を回収するためのものであって、上述のように、底壁部がサイクロン式処理容器２の上壁部（仕切り板１８）で構成されている。
【００５３】
浮上物回収タンク１５の内側周側壁面１５ａは、上記サイクロン式処理容器２の円筒状部２ｆと同軸の円筒状をなしていて、上下方向において径寸法が略一定となるように形成されている。
【００５４】
また、浮上物回収タンク１５の内側周側壁面１５ａには、回収した浮上物を含む被処理流体を該回収タンク１５外（装置１外）へと排出するための浮上物排出口２１が形成されている。この浮上物排出口２１は、図６に示すように、上側から見て該回収タンク１５の内側周側壁面１５ａに対してその接線方向から貫通して開口している。より詳細には、該浮上物排出口２１は、上記導入口３に対して、サイクロン式処理容器２の中心軸１Ｃ（回収タンク１５の中心軸）を挟んで相対向する位置に形成されており、該浮上物排出口２１の軸心方向は、該導入口３の軸心方向に対して垂直な関係にある。
【００５５】
上記浮上物回収タンク１５の底壁部（つまりサイクロン式処理容器２の上壁部）を構成する仕切り板１８には、該処理容器２の上部に浮上した浮上物を浮上物回収タンク１５内に導くための回収用貫通孔が形成されている。
【００５６】
この回収用貫通孔は、複数のスリット１９からなり、各スリット１９は、上側から見てサイクロン式処理容器２（円筒状部２ｆ）の中心部側から径方向外側に延びるとともに、該処理容器２の中心軸１Ｃ（円筒状部２ｆの中心軸）周りに周方向に等間隔（本実施形態では９０°間隔）に配設されている。
【００５７】
各スリット１９は、仕切り板１８の該各スリット１９に対応する部分を切り欠いて下側に折り曲げることで形成されている。該仕切り板１８の該折り曲げた部分である折曲げ片２０は、図７に示すように各スリット１９から回収タンク１５内へと浮上物を案内する案内用折曲げ片２０ａ（本実施形態では、４つの折曲げ片２０のうちの３つ）と、図８に示すように仕切り板１８の下面近傍の流れ（サイクロン式処理容器２内の上端部の流れ）を整流するための整流用折曲げ片２０ｂとで構成されている。
【００５８】
上記案内用折曲げ片２０ａは、仕切り板１８のスリット１９に対応する部分をその幅方向の旋回下流側（被処理流体の旋回方向の下流側であって、図７の右側）の側縁部に沿って（側縁部を基端部として）、旋回上流側が下方に傾斜するように折り曲げることで形成されている。
【００５９】
一方、上記整流用折曲げ片２０ｂは、仕切り板１８のスリット１９に対応する部分をその幅方向の旋回上流側（被処理流体の旋回方向の上流側であって、図８の左側）の側縁部に沿って（側縁部を基端部として）、旋回下流側が下方に傾斜するように折り曲げることで形成されている。
【００６０】
なお、実施形態では、案内用折曲げ片２０ａと整流用折曲げ片２０ｂとを設けたが、旋回流の渦流形成状態によれば、案内用折曲げ片２０ａだけとして、整流用折曲げ片２０ｂを省略することもあり得る。
【００６１】
上記筒状排出管６（図１参照）は、サイクロン式処理容器２及び浮上物回収タンク１５の中心部を通って上下方向に延びるとともに、該処理容器２の内外を連通することで該処理容器２内のクリーンな被処理流体を該処理容器２外（装置１外）へと導くように構成されている。
【００６２】
より詳細には、筒状排出管６は、その下端部がサイクロン式処理容器２内に位置していて、そこから上側に向かって延びるとともに、該処理容器２の上壁部（仕切り板１８であって浮上物回収タンク１５の底壁部）及び浮上物回収タンク１５の上壁部（本体部２ａの上端部）を貫通して該処理容器２外（装置１外）へと延設されている。換言すると、上記筒状排出管６は、浮上物回収タンク１５を串刺すようにその中心部を通って上下方向に延設されている。筒状排出管６の下端部の開口（以下、流体排出口７という）の高さ位置は、下側逆円錐状部２ｄの上端とほぼ同じ高さ位置か、その近傍（例えば、下側逆円錐状部２ｄの上端よりも上側で上側逆円錐状部２ｂの下端よりも下側）に位置しており、後述するように、磁性粒子ｊが除去されたクリーンな被処理流体は、該流体排出口７から筒状排出管６内を通って装置１外へと導かれる。また、流体排出口７が設けられた筒状排出管６の下端部の外周面は僅かに外側に拡径しており、こうすることで、流体により確実に遠心力が作用するようになっている。しかし、場合によれば、該下端部は筒状排出管６の本体部分（該下端部を除く部分）と同径のままでもよい。
【００６３】
上記サイクロン式処理容器２（流体渦流部２ｅ）における下側逆円錐状部２ｄの上端部および上側逆円錐状部２ｂの下端部付近の外周面２ｈ（側壁部２ｉの外周面）には、図９に示すように円周溝１２，１１が形成され、それぞれ８個の永久磁石１０が嵌め込まれている。これらの永久磁石１０は、例えば矩形の薄板状をなし、円周方向に隣り合う２個ずつがヨーク２２によって連結されている。上記ヨーク２２は、例えばパーマロイの薄板が折り曲げられて形成されている。各永久磁石１０の円周方向の位置決めは、間に交互に配置された薄肉スペーサ１６および厚肉スペーサ１７によってなされている。また、ヨーク２２の円周方向の位置決めは、上記厚肉スペーサ１７によってなされている。上記のようにヨーク２２を設けることによって、該永久磁石１０による磁気吸引力をより一層強めることができる。すなわち、ヨーク２２を永久磁石１０の径方向外側に配置し、２個ずつの永久磁石１０を連結することで、径方向外側に逃げる磁力線を減らせるので、永久磁石１０の径方向内側に作用する磁力が強くなる。したがって、永久磁石１０のコンパクト化を図ることができる。また、永久磁石１０の径方向外側に、鉄製部材等の強磁性体を配設したとしても該強磁性体に対して永久磁石１０からの磁気吸引力の影響が低減される。このため、サイクロン式処理容器２やその周辺装置を設計する際の設計自由度を高めることができる。
【００６４】
なお、図９においてはヨーク２２の厚さを永久磁石１０の厚さよりも薄く描いているが、例えば、永久磁石１０としてネオジム磁石やサマリウムコバルト磁石などを用い、ヨーク２２として鋼板を用いる場合には、ヨーク２２を永久磁石１０と同等以上の厚さに設定するなどしてもよい。
【００６５】
また、上記ヨーク２２に加えて、例えば、円筒外筒５の外周にさらに同様のヨークを設け、吸引力をより大きくできるようにしてもよい。
【００６６】
各永久磁石１０は、円周溝１１，１２共に、半径方向内側がＳ極になるものとＮ極になるものとが、互いに隣り合うように配設されている。
【００６７】
なお、永久磁石１０を設ける方法は、上記のように円周溝１１，１２に嵌め込むのに限らず、例えば、永久磁石１０の外形に対応する凹部を側壁部２ｉの外周面２ｈに形成して嵌め込むなどしてもよい。また、ヨーク２２によって連結される永久磁石１０の個数は２個に限らず、より多くてもよく、さらには、ヨーク２２をリング状にし、全部の永久磁石１０を連結するようにしたりしてもよい。一方、永久磁石１０とほぼ同形状の磁性体を各永久磁石１０の背面に重ねるように設けるだけでもよい。また、永久磁石１０は、筒状排出管６における流体排出口７の上下付近で上下２段に設けるのに限らず、何れか一方だけ設けるなどしてもよい。
【００６８】
また、サイクロン式分離除去装置１としては、上記のような構成のものに限らず、遠心分離機能を備えた種々の装置が適用できる。具体的には、例えば浮上物回収タンク１５を備えず、遠心分離による磁性粒子ｊの除去などを主とする装置を用いるなどしてもよい。
【００６９】
−サイクロン式分離除去装置の動作−
以上のように構成されたサイクロン式分離除去装置１における磁性粒子ｊの分離回収動作について説明する。
【００７０】
先ず、磁性粒子ｊを含む被処理流体が、高速で、導入口３（図５参照）からサイクロン式処理容器２内に導入される。導入された被処理流体は、該処理容器２の内側周側壁面２ｇの円筒状部２ｆに沿って上記筒状排出管６周りに旋回運動することで旋回流が生じる。ここで、被処理流体中に含まれる比重の小さい浮上物は、これを浮上させようとする浮力によって、処理容器２内の上部に浮上集約されることとなる。この浮上集約された浮上物は、被処理流体が筒状排出管６周りに旋回流動する過程で、スリット１９から浮上物回収タンク１５内へと流入する。より具体的には、サイクロン式処理容器２内の上端部（仕切り板１８の下面近傍）に集約された浮上物は、被処理流体の旋回流動により該処理流体と共にその旋回上流側から旋回下流側へと流れる中で、上記案内用折曲げ片２０ａの案内面２０ｊ（図７参照）に衝突することでその進路を上方へと変更し、回収タンク１５内へと導かれる。回収タンク１５内へと導かれた浮上物を含む被処理流体は、その旋回慣性により該回収タンク１５内においてもその内側周側壁面１５ａに沿って上記筒状排出管６周りに旋回流動して、上記浮上物排出口２１から接線方向に排出され、装置１外へと導かれる。
【００７１】
一方、上記導入口３からサイクロン式処理容器２内に流入した被処理流体のうち、回収タンク１５内に流入しなかった残りの流体（つまり比重の小さい浮上物が除去された被処理流体）は、逆円錐状部２ｂに導かれて下側に行くほど回転速度を増加させていく。これに伴って、被処理流体中の磁性粒子ｊは、遠心力が作用して径方向外側に移動し、内側周側壁面２ｇに沿って旋回しながら下降する。そして、被処理流体の回転速度が最も速くなる上側逆円錐状部２ｂの下端部にて、被処理流体中の磁性粒子ｊには、大きな遠心力が作用するとともに、上方側の円周溝１１に嵌入された永久磁石１０から径方向外側へと向かう磁気吸引力が作用することとなる。この結果、該磁性粒子ｊは、内側周側壁面２ｇ側（径方向外側）に分離される。
【００７２】
一方、磁性粒子ｊが極めて少なくなったクリーンな流体は上側逆円錐状部２ｂの中心部寄りに残ることとなる。ここで、磁性粒子ｊが極めて少なくなったクリーンな流体と表現した理由は、１μｍ〜５μｍの磁性粒子が、軽いためにクリーンな流体と共に筒状排出管６に導かれることがあり、僅かに磁性粒子が含まれている可能性があるからである。
【００７３】
そして、被処理流体は、主として５μｍ以上の磁性粒子ｊが内側周側壁面２ｇ側に偏って分離された状態のまま円錐状部２ｃに導かれる。
【００７４】
円錐状部２ｃにおいては、被処理流体の旋回流速は若干低下するものの、上記のように既に内側周側壁面２ｇ側に偏った状態にある磁性粒子ｊは、さらに径方向外側へと移動する。
【００７５】
そうして、円錐状部２ｃを通過した被処理流体中の磁性粒子ｊは、下側逆円錐状部２ｄの上端部に流入すると、その径方向外側への流動慣性力に加えて、下方側の円周溝１２に嵌入された永久磁石１０から径方向外側へと向かう磁気吸引力を受けて、下側逆円錐状部２ｄの上端部に分離集約される。上記下側逆円錐状部２ｄの上端部に分離集約された磁性粒子ｊは、いずれ団塊状になってその自重により下側逆円錐状部２ｄの傾斜面に沿って落下し、排出口４から排出され、該排出された磁性粒子ｊは、ダスト分離用タンク１０３（回収容器）内に回収される。
【００７６】
一方、下側逆円錐状部２ｄに流入した被処理流体は、旋回流動（渦流）するとともに、中心部の被処理流体には上向き軸方向の力が作用して、流体排出口７から筒状排出管６を通って磁性粒子除去装置５０へと供給される。
【００７７】
上記実施形態では、下側逆円錐状部２ｄの内壁に吸着した磁性粒子は自重で落下するが、更に吸着した磁性粒子の落下を促進したい場合には、磁石部材の磁力を弱める機構、例えば、磁石部材及び／またはヨークを上下動させるような機構を設けて積極的に分離除去するようにしてもよい。
【００７８】
−磁性粒子除去装置の構成−
上記磁性粒子除去装置５０は、図１に示すように、スーパクリーンタンク１０４の上壁部１０４ａにおけるタンク長さ方向の一方側端部に取付けられていて、上述のように、サイクロン式分離除去装置１から供給される被処理流体中の磁性粒子ｊ（サイクロン式分離除去装置１で除去しきれなかった磁性粒子ｊ）を分離除去する。
【００７９】
より具体的には磁性粒子除去装置５０は、図１０〜図１４に示すように、磁性粒子ｊを吸着する吸着面５１ａを有する円板状吸着部６０と、該吸着面５１ａに吸着された磁性粒子ｊを掻き取る掻取り面８１ａ（図１４参照）を有する除去本体部８０（掻取り部）と、円板状吸着部６０をその軸心回りに図１３で反時計回り方向に回転駆動させる駆動モータ５６とを備えている。
【００８０】
円板状吸着部６０は、図１１に示すように、金属性の円板本体５２と、該円板本体５２の上面に埋設される矩形板状の永久磁石５５及びヨーク５４と、永久磁石５５の間隔を一定に保つスペーサ５７と、該永久磁石５５等を覆うように配設された円形プレート５１とを備えている。より具体的には、円板本体５２の上面には、その軸心周りに形成された２重の円周溝５３に、それぞれ、同図に示す極性が上面側になるように、永久磁石５５とヨーク５４が積層された状態で嵌め込まれている。なお、ヨークとしては、例えばパーマロイから成るものが用いられるが、これに限られるものではなく、磁力を強くする磁性体であれば良く、ニッケルメッキを施した鉄系部材などでもよい。
【００８１】
上記円形プレート５１は、非磁性体（本実施形態ではステンレス）からなるものであって、下面を上記永久磁石５５の上面５５ａに当接させて配設されている。該円形プレートの上面が上記吸着面５１ａを構成している。尚、円形プレート５１は、図示しない接着補強材により円板本体５２に接着固定されている。
【００８２】
上記円板状吸着部６０（円板本体５２及び円形プレート５１）は、その中心部にて上下方向に延びる駆動シャフト６１の下端部にナット６２により固定されている。該駆動シャフト６１の上端部は、ギヤケース６３内の減速機（図示省略）を介してモータ５６の駆動軸に動力伝達可能に連結されている。モータ５６およびギヤケース６３は、スーパクリーンタンク１０４の上側を覆うタンク上壁部１０４ａに支持プレート６４を介して固定されている。
【００８３】
支持プレート６４には、サイクロン式分離除去装置１から排出された浄化後の被処理流体を磁性粒子除去装置５０内に導くための導入口６４ａが形成されている。導入口６４ａは、上側から見て円板状吸着部６０の径方向外側端部（本実施形態では、タンク長さ方向の一方側の周縁部）と重なる位置に配置されている。
【００８４】
支持プレート６４の上面６４ｂには、該導入口６４ａと略同軸に配設されたオス型の配管継手６５がボルト６６により固定されている。そして、サイクロン式分離除去装置１の筒状排出管６は、この配管継手６５を介して上記導入口６４ａに接続されており、これにより、該排出管６から導入口６４ａへと被処理流体が導かれる。
【００８５】
支持プレート６４の下面６４ｃにおける上記導入口６４ａに対応する部分には、該導入口６４ａから流入する被処理流体を、上記円板状吸着部６０（吸着面５１ａ）へと案内する案内ダクト６７がビス７３により固定されている。この案内ダクト６７は、断面略矩形状（図１３参照）をなしていて、支持プレート６４の下面６４ｃから下側に向かって延設されている。案内ダクト６７の下端部には、タンク長さ方向の他方側に開放する開口部６８が設けられている。この開口部６８は、タンク長さ方向から見て、タンク幅方向に長い略矩形状をなしている。
【００８６】
より詳細には、この案内ダクト６７は、タンク長さ方向に並ぶ内側ダクト壁６７ａ及び外側ダクト壁６７ｂと、タンク幅方向に並設されて該内側及び外側ダクト壁６７ａ，６７ｂを連結するダクト側壁６７ｇ，６７ｈとを備えて構成されており、上記内側ダクト壁６７ａは、上下方向に延びてその下端縁が外側ダクト壁６７ｂの下端縁よりも上側に位置するように形成されている。そして、この内側ダクト壁６７ａの下端縁が上記開口部６８の上側辺を構成している。
【００８７】
また、上記外側ダクト壁６７ｂは、支持プレート６４の下面６４ｃから上記内側ダクト壁６７ａの下端縁と略同高さ位置まで延びる垂直壁部６７ｃと、該垂直壁部６７ｃの下端に連設され下側に向かってタンク長さ方向の他方側に傾斜する傾斜部６７ｄと、該傾斜部６７ｄの下端部に連設され、タンク長さ方向の他方側に突出する水平突出片部６７ｅとで構成されている。上記水平突出片部６７ｅは、吸着面５１ａに沿って略平行に形成されており、該吸着面５１ａと水平突出片部６７ｅの下面との間には、互いに擦れない程度の若干の隙間が形成されている。そして、該水平突出片部６７ｅのタンク長さ方向の他方側端部が、上記開口部６８の下側辺部を構成している。
【００８８】
上記案内ダクト６７の下端部には、該案内ダクト６７の開口部６８から流出する被処理流体がスーパクリーンタンク１０４内に拡散するのを防止する案内ケーシング６９が接続されている。
【００８９】
この案内ケーシング６９は、吸着面５１ａに対して所定間隔を隔てて略平行に延びる水平部６９ａと、該水平部６９ａのタンク幅方向の両側縁部から下側に延びる側壁部６９ｃ（図１３参照）とで構成されている。
【００９０】
より詳細には、上記案内ケーシング６９の水平部６９ａは、上側から見てタンク長さ方向の両側端縁がそれぞれタンク幅方向に延びる直線状をなしかつタンク幅方向の両側端縁が円板本体５２の外周縁に沿った円弧状をなすように形成されており、該水平部６９ａのタンク長さ方向の他方側端縁におけるタンク幅方向の中央部には、駆動シャフト６１との干渉を避けるためのＵ字状の切欠き部６９ｂ（図１３参照）が形成されている。
【００９１】
上記案内ケーシング６９の側壁部６９ｃは、水平部６９ａの外周縁に沿うアーチ状を呈していて、その内径が円板本体５２の内径よりも若干大きめになるように形成されている。これにより、後述の垂直部６９ｄの上下方向の取付位置を調整することで、案内ケーシング６９の上下方向の位置調整が可能になっている。
【００９２】
上記案内ケーシング６９の水平部６９ａのタンク長さ方向の一方側の端縁部には、上下方向に延びる垂直部６９ｄ（図１０及び図１３参照）が接続されており、案内ケーシング６９は、上記案内ダクト６７の内側ダクト壁６７ａに該垂直部６９ｄをボルト締結することで固定されている。この案内ケーシング６９の固定状態における、該ケーシング６９の水平部６９ａと吸着面５１ａとの間の空間が被処理流体の流路７０を形成している。ここで、案内ケーシング６９のタンク長さ方向の両側は開放しており、該案内ケーシング６９における該タンク長さ方向の一方側の開放部７２から被処理流体が流路７０内に流入し、他方側の開放部７１から被処理流体が流出するようになっている。
【００９３】
ここで、垂直部６９ｄを内側ダクト壁６７ａにボルト締結するためのボルト挿通孔は、上下方向に延びる長孔６９ｆとされており、こうすることで、垂直部６９ｄの上下方向の取付位置（つまり案内ケーシング６９の水平部６９ａの高さ位置）を調整して、吸着面５１ａ上を流れる被処理流体の流路断面積を調整可能になっている。
【００９４】
上記除去本体部８０は、図１０、図１２、図１３に示すように、駆動シャフト６１に対してタンク長さ方向の他方側に配設されていて、円板状吸着部６０が上記モータ５６により装置上方から見て反時計回り方向に回転駆動されることで、吸着面５１ａに対して時計回り方向に相対移動するように構成されている。
【００９５】
この除去本体部８０は、下面が上記吸着面５１ａに当接しかつ装置中心部側から径方向外側（本実施形態では、タンク長さ方向の一方側から他方側）に向かって延びる上面視略矩形状の掻取り部材８１（図１４参照）を有しており、掻取り部材８１の上記相対移動方向の前側面が上記掻取り面８１ａとされている。掻取り面８１ａは、上記相対移動方向の後側に行くにしたがって上記吸着面５１ａから離れるように傾斜する傾斜面とされている。また、掻取り部材８１は、上記ステンレス製の円形プレート５１（吸着面５１ａ）との間の摺動抵抗を減らすべくアクリル材で構成されている。
【００９６】
上記除去本体部８０はさらに、上記掻取り面８１ａで掻き取った磁性粒子ｊを回収するための回収用空間８２を内部に形成してなるハウジング部材８３を有している。
【００９７】
このハウジング部材８３は、略直方体状のブロック体の長手方向の一方側の端面８３ａから該長手方向に延びる円筒穴を形成してなるものであって、非磁性体であるアルミニウム材で構成されている。そして、この円筒穴が回収用空間８２を構成している。ハウジング部材８３には、この回収用空間８２（円筒穴）と同軸で貫通細孔８３ｂが形成されている。貫通細孔８３ｂの直径は、該円筒孔の径よりも小さく設定されている。
【００９８】
上記ハウジング部材８３は、その長手方向を上記タンク長さ方向（スーパクリーンタンク１０４の長さ方向）に向けた状態で掻取り部材８１の上面８１ｂに配設されている。ハウジング部材８３の上記相対移動方向の前側面８３ｋには、上記回収用空間８２に連通する粒子吸込口８３ｃが形成されている。この粒子吸込口８３ｃは、上記相対移動方向の前側から見て上記タンク長さ方向に長い略矩形状とされていて、連通路８４を介して回収用空間８２に連通している。この連通路８４は、上記相対移動方向の後側に向かって上側に傾斜している。
【００９９】
上記回収用空間８２の上記タンク長さ方向の他方側端部の開口は、該回収用空間８２内に吸込まれた磁性粒子ｊを排出するための粒子排出口８３ｇを構成しており、該粒子排出口８３ｇは、配管継手８５を介して磁性粒子排出管８７が接続され、該磁性粒子排出管８７がサイクロン供給用貯留タンク１０９に接続されている。
【０１００】
上記磁性粒子排出管８７の途中には、エジェクタバルブ１０６が設けられており、このエジェクタバルブ１０６の流体供給ポート１０６ａに不図示のエア源からエアを供給することで、上記回収用空間８２内に被処理流体を吸込むようになっている。なお、エジェクタバルブ１０６の流体供給ポート１０６ａから空気を供給することで、掻取り面８１ａにて掻き取った磁性粒子ｊを含む被処理流体を回収用空間８２内に吸込むのに限らず、例えば流体供給ポート１０６ａから空気を供給する代わりに、水や被処理流体等の流体を供給することで磁性粒子ｊを回収用空間８２内に吸込むようにしてもよい。
【０１０１】
上記掻取り部材８１の上面８１ｂには、板状の磁気シールド部材８６が積層されている。この磁気シールド部材８６は、ニッケルメッキを施した磁性体からなるものであって、上記相対移動方向の前側から見て径方向に２列に設けられた永久磁石５５に跨るように装置中心部側から径方向外側に延びている。
【０１０２】
また、磁気シールド部材８６は、上側から見てその幅方向の内側に回収用空間８２が位置するように形成されている。なお、磁気シールド部材８６としては、適切な透磁率を有する磁性体であれば、どのような部材であっても良く、上記実施形態に限られるものではない。例えば、一般的に磁石の一面に接触させて設けられ磁石の磁力を強くするためのヨークとして用いられるものなどでも良く、より具体的には例えばパーマロイや磁性体等が使用できる。特に、この磁性体の大きさや、配置の設定等に応じて、適切な磁気シールド性能を有する透磁率のシールド部材を選定することによって、上記磁性粒子ｊの吸着面５１ａへの吸着状態や該吸着面５１ａからの掻き取り状態、掻き取られた磁性粒子ｊの吸引状態などを制御できる。したがって、被処理流体中に含まれる磁性粒子ｊの大きさや量に応じて、この磁性体の透磁率等を設定することで、磁性粒子ｊを効率的に除去することができる。
【０１０３】
上記ハウジング部材８３の下面８３ｄには、磁気シールド部材８６の平面形状に対応した凹部８３ｆが形成されており、この該凹部８３ｆに磁気シールド部材８６を嵌込んだ状態でハウジング部材８３の下面８３ｄを掻取り部材８１の上面８１ｂに接着固定することで、磁気シールド部材８６がハウジング部材８３と掻取り部材８１との間に挟まれて固定されている。換言すると、除去本体部８０における回収用空間８２と上記吸着面５１ａとの間には磁気シールド部材８６が配設されているとも言える。
【０１０４】
上記ハウジング部材８３の上面８３ｅには、上下方向に延びるとともに上記タンク長さ方向に互いに所定間隔を隔てて並ぶ２本のガイドシャフト９０が接続されている。各ガイドシャフト９０は、下側に開放する断面略コ字状のホルダ部材９１（図１４参照）を介してハウジング部材８３の上面８３ｅに連結されており、各ガイドシャフト９０の上部は、ガイドプレート９２（図１０参照）に形成されたガイド孔９２ａに上下方向に摺動可能に内挿されている。ガイドシャフト９０には、圧縮コイルスプリング９３が外挿されており、各コイルスプリング９３は、その上端面をワッシャ９４を介してガイドプレート９２の下面９２ｂに当接させかつ下端面をホルダ部材９１の上面９１ａ（図１４参照）に当接させて圧縮状態で配設されている。
【０１０５】
上記ガイドプレート９２は、上側から見てタンク長さ方向に延びる略矩形状をなしており、該ガイドプレート９２は、そのタンク長さ方向の上記一方側端部を垂直支柱９５の下側フランジ部９５ａにボルト締結されて水平支持されている。垂直支柱９５は、上下方向に延びる支柱本体部９５ｃと、該支柱本体部９５ｃの上下両端部にそれぞれ接続された上側及び下側フランジ部９５ａ，９５ｂとで構成されており、上側フランジ部９５ｂの上面には、位置決めピン９６が突設されている。そして、該垂直支柱９５は、位置決めピン９６を、支持プレート６４に形成されたノック孔６４ｄに嵌入した状態で支持プレート６４の下面にボルト９７で固定されている。
【０１０６】
また、上記ガイドプレート９２は、駆動シャフト６１が挿通される挿通孔９２ｆが形成されている。この挿通孔９２ｆには、メタル製の円筒状ガイドブッシュ９８が圧入されており、駆動シャフト６１の上下方向の中間部が、該ガイドブッシュ９８により回動自在に支持されている。
【０１０７】
−磁性粒子除去装置の動作−
以上のように構成された被処理流体浄化システム１００において、サイクロン式分離除去装置１から排出されて磁性粒子除去装置５０へと導かれた軽量の（１μｍ〜５μｍの）磁性粒子ｊを含む被処理流体は、該装置５０の導入口６４ａから該装置５０内へと流入する。すなわち、該導入口６４ａから流入した被処理流体は、案内ダクト６７内を通って下側へと流れるとともにその下端部にて上記開口部６８から流出する。該開口部６８から流出した被処理流体は、案内ケーシング６９と吸着面５１ａとの間に形成される流路７０内をタンク長さ方向の一方側から他方側に向かって流れる（図１０及び図１３参照）。そうして、被処理流体が該流路７０内を流れる間に、該被処理流体中に含まれる磁性粒子ｊは、上記永久磁石５５からの磁気吸引力を受けて吸着面５１ａに吸着されることとなる。
【０１０８】
上記吸着面５１ａに吸着された磁性粒子ｊは、除去本体部８０により掻き取られて除去される。すなわち、円板状吸着部６０がモータ５６によりシャフト６１回りに反時計回り方向に回転駆動されることにより、除去本体部８０が該吸着面５１ａに対して時計回り方向に相対移動する。この結果、除去本体部８０の掻取り部材８１の上記相対移動方向の前側に形成された掻取り面８１ａにより磁性粒子ｊ（図１４参照）が掻き取られる。掻き取られた磁性粒子ｊは、エジェクタバルブ１０６の吸引作用によって、粒子吸込口８３ｃから連通路８４を通って該回収用空間８２内へと吸引され、吸引された磁性粒子ｊはその周辺の被処理流体と共に、粒子排出口８３ｇから磁性粒子排出管８７内へと導かれてその下流側のサイクロン供給用貯留タンク１０９に排出される。なお、ダーティタンク１０２やダスト分離用タンク１０３に排出されるようにしてもよい。こうして、磁性粒子ｊが除去されたクリーンな被処理流体は、案内ケーシング６９の開放部７１（図１０参照）からスーパクリーンタンク１０４内へと排出されて、工作機械１０１に供給される。
【０１０９】
以上の如く上記実施形態１では、磁性粒子除去装置５０の除去本体部８０は、吸着面５１ａに吸着された磁性粒子ｊを掻き取る掻取り面８１ａと、該掻取り面８１ａにて掻き取った磁性粒子ｊを回収するためのハウジング部材８３とを有しており、ハウジング部材８３には、回収用空間８２に連通する粒子吸込口８３ｃと粒子排出口８３ｇとが形成されており、磁性粒子除去装置５０はさらに、回収用空間８２内に被処理流体を吸引するためのエジェクタバルブ１０６を備えている。
【０１１０】
これにより、掻取り面８１ａにて掻き取られた磁性粒子ｊが、永久磁石５５の磁気吸引力により吸着面５１ａに再度吸着される前に、該磁性粒子ｊをその周辺の被処理流体と共に、ハウジング部材８３内（回収用空間８２）に吸引して除去することができる。したがって、装置５０全体としての磁性粒子ｊの除去効率を向上させることができる。
【０１１１】
また、上記実施形態１では、上記除去本体部８０は、下面（厚さ方向の下側面）が上記吸着面５１ａに当接しかつ上記相対移動方向の前側側面が上記掻取り面８１ａとされる板状の掻取り部材８１を有し、掻取り部材８１の上面８１ｂ（厚さ方向の上側面）には、磁性体からなる磁気シールド部材８６が積層されている。
【０１１２】
これにより、磁気シールド部材８６及び永久磁石５５には、互いに引き合う方向の磁気吸引力が作用することとなる。このため、磁気シールド部材８６と吸着面５１ａとの間に挟まれた掻取り部材８１は、該磁気シールド部材８６によって吸着面５１ａ側（下側）へと押付けられる。この結果、掻取り部材８１の下面（吸着面側の面）が吸着面５１ａに押付けられることとなる。したがって、掻取り面８１ａの吸着面５１ａ側（下側）の端縁８１ｆを吸着面５１ａに押付けて極力密着させることができ、このことで、比較的小さな磁性粒子ｊをも逃さずに該掻取り面８１ａで掻き取ることができる。よって、磁性粒子ｊの除去効率を可及的に向上させることができる。
【０１１３】
また、上記実施形態１では、除去本体部８０における回収用空間８２と上記吸着面５１ａとの間には、磁気シールド部材８６が配設されている。これによれば、磁気シールド部材８６が永久磁石５５の磁力を遮断する結果、回収用空間８２内に吸引された磁性粒子ｊに磁気吸引力が作用するのを防止することができる。したがって、該回収用空間８２内の磁性粒子ｊの流動性を十分に確保することができる。このため、回収用空間８２内に磁性粒子ｊが堆積したり、粒子吸込口８３ｃが該堆積した磁性粒子ｊで閉塞されたりして、磁性粒子ｊの回収効率が低下するのを確実に防止することができる。
【０１１４】
また、上記実施形態１では、上記粒子吸込口８３ｃは、ハウジング部材８３における上記相対移動方向の前側面８３ｋに形成されており、掻取り部材８１の掻取り面８１ａは、上記相対移動方向の後側に行くにしたがって吸着面５１ａとの垂直距離が大きくなる傾斜面とされ、掻取り面８１ａの上記相対移動方向の後側端部は、上記粒子吸込口８３ｃの吸着面側（下側）の端縁部に連接されている。
【０１１５】
これによれば、掻取り面８１ａで掻き取られた磁性粒子ｊを、該掻取り面８１ａに沿って粒子吸込口８３ｃまで案内することができる。よって、磁性粒子ｊを粒子吸込口８３ｃから回収用空間８２内に確実に案内回収することができる。
【０１１６】
また、上記実施形態１では、ハウジング部材８３には、回収用空間８２（円筒穴）と同軸で貫通細孔８３ｂが形成されている。こうすることで、流路７０内をタンク長手方向の一方側から他方側へと流れる被処理流体が、貫通細孔８３ｂから回収用空間８２を通って粒子排出口８３ｇへと流通することとなり、これによって、該回収用空間８２内の被処理流体（磁性粒子ｊ）の流動性を高めることができる。よって、磁性粒子ｊの回収用空間８２内への回収効率をより一層向上させることができる。
【０１１７】
また、上記実施形態１では、サイクロン式処理容器２の上側には、底壁部が該処理容器２の上壁部（つまり仕切り板１８）で構成された浮上物回収タンク１５が設けられ、該仕切り板１８には、浮上物を該回収タンク１５内へと導くためのスリット１９（回収用貫通孔）が形成されている。
【０１１８】
こうすることで、処理容器２内に流入した被処理流体を流体渦流部２ｅにて遠心分離処理する前に、該被処理流体中に含まれる比重の小さい磁性粒子ｊを該処理容器２の上部に浮上させて、スリット１９から浮上物回収タンク１５内へと導くことができる。したがって、流体渦流部２ｅにおける遠心分離処理では除去しきれない比重の小さな浮上物をも確実に除去することができて、装置１全体の浮上物や磁性粒子ｊの除去効率を向上させることができる。
【０１１９】
また、上記実施形態１では、仕切り板１８の下面には、該仕切り板１８の該スリット１９に対応する部分を切欠いて下側に折り曲げることにより形成される案内用折曲げ片２０ａ及び整流用折曲げ片２０ｂが設けられており、案内用折曲げ片２０ａは、その基端部から下側に行くにしたがって旋回上流側に傾斜するように形成されている。これにより、サイクロン式処理容器２内の上部に浮上した浮上物を該案内用折曲げ片２０ａの案内面２０ｊに沿って浮上物回収タンク１５内に確実かつ容易に案内することができる。
【０１２０】
また、整流用折曲げ片２０ｂは、その基端部から下側に行くにしたがって旋回下流側に傾斜するように形成されている。これにより、仕切り板１８の下面近傍の被処理流体が、案内用折曲げ片２０ａに衝突することで乱れた流れを、該整流用折曲げ片２０ｂの下面２０ｋで押さえ込むようにして整流することができる。したがって、該被処理流体の流れが乱れることに起因して浮上物の挙動が乱れるのを防止することができ、延いては、該浮上物を上記案内用折曲げ片２０ａにより浮上物回収タンク１５内へと確実に案内することができる。
【０１２１】
また、上記実施形態１では、浮上物回収タンク１５の内側周側壁面１５ａは、サイクロン式処理容器２の円筒状部２ｆと略同軸に形成された略円筒状をなしており、筒状排出管６は、浮上物回収タンク１５を串刺すようにその中心部を通って上下方向に延設されている。
【０１２２】
こうすることで、スリット１９から回収タンク１５内へと流入した被処理流体を、その旋回慣性を持続したまま、筒状排出管６周りに旋回流動させることができる。よって、回収タンク１５内の被処理流体が流体抵抗となることでスリット１９から該回収タンク１５内への被処理流体（延いては磁性粒子ｊ）の流入が妨げられるのを確実に防止することができる。
【０１２３】
また、上記実施形態１では、浮上物排出口２１は、上側から見て浮上物回収タンク１５の内側周側壁面１５ａに対してその接線方向に貫通して開口している。これにより、該回収タンク１５内に流入してその内側周側壁面１５ａに沿って旋回流動する被処理流体を、旋回接線方向に高速で確実に排出することができる。したがって、該回収タンク１５内の被処理流体の排出性能を十分に高めることができて、該回収タンク１５内の被処理流体が流体抵抗となるのを確実に防止することができる。
【０１２４】
（実施形態２）
被処理流体浄化システム１００に用いられる磁性粒子除去装置５０の他の例について、図１５〜図１８に基づいて説明する。本実施形態２の磁性粒子除去装置５０は、実施形態１の磁性粒子除去装置５０と比べ、主として、円板状吸着部６０と対向させて対向磁性板１６１が設けられている点（図１６）、および除去本体部８０の形状、構造、磁性粒子ｊの吸引方向（図１８）等が異なる。
【０１２５】
−磁性粒子除去装置の構成−
磁性粒子除去装置５０は、図１５に示すように、スーパクリーンタンク１０４における上壁部１０４ａの上に載置されている。被処理流体から除去された磁性粒子ｊを吸引するエジェクタバルブ１０６は、ポンプ１０５からサイクロン式分離除去装置１に供給される被処理流体のうちの一部が分流して供給されることにより、吸引力を生じるようになっている。
【０１２６】
磁性粒子除去装置５０のケーシング１５０は、図１６に示すように、側壁部１５１と、底壁部１５２と、上壁部１５３とを有している。底壁部１５２には、排出筒部１５４が立設されている。排出筒部１５４の上部には、水位調節スリーブ１５５がねじ込まれ、そのねじ込み量を調整することによって、ケーシング１５０内の被処理流体の水位を調節できるようになっている。
【０１２７】
円板状吸着部６０を回転駆動する駆動シャフト６１に駆動力を伝達するモータ５６、およびギヤケース６３は、ケーシング１５０の上壁部１５３に、支持プレート６４を介して固定されている。
【０１２８】
サイクロン式分離除去装置１から筒状排出管６を介して排出される被処理流体を円板状吸着部６０の吸着面５１ａへと案内する案内ダクト６７は、図１７に示すように、タンク幅方向に広がる向きの内側ダクト壁６７ａ及び外側ダクト壁６７ｂと、これらの内側及び外側ダクト壁６７ａ，６７ｂの幅方向両縁部をそれぞれ連結するダクト側壁６７ｇ，６７ｈとを備えて構成されている。
【０１２９】
上記外側ダクト壁６７ｂは、支持プレート６４の下面６４ｃから下方に延びる垂直壁部６７ｃと、該垂直壁部６７ｃの下端に連設され下側に向かってタンク長さ方向の他方側に傾斜する傾斜部６７ｄと、該傾斜部６７ｄの下端部に連設され、タンク長さ方向の他方側に突出する水平突出片部６７ｅとで構成されている。上記水平突出片部６７ｅは、吸着面５１ａに沿って略平行に配置されており、該吸着面５１ａと水平突出片部６７ｅの下面との間には、互いに擦れない程度の若干の隙間が形成されている。水平突出片部６７ｅにおけるタンク長さ方向の他方側縁部には、円板状吸着部６０の半径よりもわずかに小さい半径の円弧状切欠き６７ｆが形成されている。すなわち、円板状吸着部６０は、水平突出片部６７ｅによっては周縁部だけが覆われるようになっている。
【０１３０】
上記内側ダクト壁６７ａは、支持プレート６４の下面６４ｃから下方に延びてその下端縁が外側ダクト壁６７ｂにおける垂直壁部６７ｃの下端よりも上側に位置するように形成されている。そして、この内側ダクト壁６７ａの下端縁が案内ダクト６７における開口部６８の上側辺を構成している。なお、後述するように、上記開口部６８の一部は対向磁性板ブラケット６９’及び対向磁性板１６１によって覆われ、案内ダクト６７を介して供給される被処理流体の流路７０となるのは、対向磁性板１６１の下面と円板状吸着部６０の上面との間になる。
【０１３１】
また、上記内側及び外側ダクト壁６７ａ，６７ｂを連結するダクト側壁６７ｇ，６７ｈには、タンク幅方向外方側に、円板状吸着部６０の駆動シャフト６１付近まで延びる側板６７ｉ，６７ｊが設けられ、被処理流体が円板状吸着部６０のタンク幅方向側に逃げにくいようにされている。
【０１３２】
案内ダクト６７の内側ダクト壁６７ａには、垂直部６９ｄと水平部６９ａとから成る対向磁性板ブラケット６９’の上記垂直部６９ｄが、ビス止め又はボルト締結によって取付けられている。対向磁性板ブラケット６９’の水平部６９ａには、対向磁性板１６１が、ビス止め又はボルト締結によって取付けられている。これにより、対向磁性板１６１と、円板状吸着部６０の吸着面５１ａとが、所定の間隔を空けて対向するように配置され、間に、被処理流体の流路７０が形成されるようになっている。
【０１３３】
上記垂直部６９ｄを内側ダクト壁６７ａにボルト締結するためのボルト挿通孔は、上下方向に延びる長孔６９ｆとされており、こうすることで、対向磁性板ブラケット６９’の上下方向の取付位置（つまり対向磁性板１６１の高さ位置）を調整して、円板状吸着部６０の吸着面５１ａ上を流れる被処理流体の流路断面積を調整することが可能になっている。
【０１３４】
ここで、対向磁性板ブラケット６９’の水平部６９ａ、及び対向磁性板１６１のタンク長さ方向の他方側部分におけるタンク幅方向の中央部には、駆動シャフト６１との干渉を避けるためのＵ字状の切欠き部６９ｂ，１６１ａ（図１７参照）が形成されている。
【０１３５】
円板状吸着部６０に吸着された磁性粒子ｊを掻き取る除去本体部８０は、図１８に示すように、板状の掻取り部材８１と、板状の磁気シールド部材８６と、ハウジング部材８３とを備えて構成されている。
【０１３６】
掻取り部材８１は、図１７に示すように、円板状吸着部６０の中心側から径方向外側（本実施形態では、タンク長さ方向の一方側から他方側）に向かって延びる上面視略矩形状を有し、下面が円板状吸着部６０の吸着面５１ａに当接するように設けられている。掻取り部材８１には、上記相対移動方向の前側から後側に向けて、吸着面５１ａからの距離が大きくなる傾斜を有する掻取り面８１ａが形成されている。掻取り部材８１の材料は特に限定されないが、例えば、ステンレス製の円形プレート５１（吸着面５１ａ）との間の摺動抵抗を減らすべくアクリル材で構成されている。
【０１３７】
磁気シールド部材８６は、掻取り部材８１の上面に積層され、掻取り部材８１の掻取り面８１ａに連続する傾斜面を有している。また、円板状吸着部６０に設けられた内周側の永久磁石５５から外周側の永久磁石５５に跨るように、装置中心部側から径方向外側に延びる形状を有している。この磁気シールド部材８６は、例えば、ニッケルメッキを施した磁性体から構成されている。このように構成された磁気シールド部材８６は、円板状吸着部６０の永久磁石５５に吸引されることによって、掻取り部材８１を円板状吸着部６０の吸着面５１ａに密着させる作用を果たす。また、８１により掻き取られて磁気シールド部材８６の上方に至った磁性粒子ｊに対する永久磁石５５の吸引力を低減し、粒子排出口８３ｇから排出させやすくする作用も果たす。
【０１３８】
ハウジング部材８３は、例えば非磁性体であるアルミニウムから成り、上記掻取り部材８１及び磁気シールド部材８６を覆うように設けられて、間に回収用空間８２が形成されている。この回収用空間８２は、図１７に示すように、上記相対移動方向の前側に開口した粒子吸込口８３ｃを有し、上記相対移動方向の後側に向けて幅が狭くなる略直角二等辺三角形状を成している。回転方向側の略頂点の箇所には、除去本体部８０の上方に開口する粒子排出口８３ｇが形成されている。すなわち、掻取り部材８１によって円板状吸着部６０の吸着面５１ａから掻き取られた磁性粒子ｊは、徐々に粒子排出口８３ｇ付近に集約されて、後述するように粒子排出口８３ｇから上方に吸引されるようになっている。
【０１３９】
また、ハウジング部材８３の上壁には、水抜き穴８８が形成されている。このような水抜き穴８８を設けることによって、粒子吸込口８３ｃから流入して水抜き穴８８から逃げる被処理流体の流れを生じさせ、磁性粒子ｊの流動性を高めて、効率よく回収用空間８２内に導入することが容易になる。なお、被処理流体の流量や磁性粒子ｊの量、大きさなどの条件によっては、必ずしも水抜き穴８８を設けなくてもよい。後述する変形例のような構成を用いる場合も同様である。
【０１４０】
上記粒子排出口８３ｇには、配管継手８５を介して磁性粒子排出管８７が接続され、該磁性粒子排出管８７がサイクロン供給用貯留タンク１０９に接続されている。上記磁性粒子排出管８７の途中には、エジェクタバルブ１０６が設けられており、このエジェクタバルブ１０６の流体供給ポート１０６ａに、ポンプ１０５（図１５参照）からサイクロン式分離除去装置１に供給される処理流体の一部を分岐させて供給することで、回収用空間８２内に掻き取られた磁性粒子ｊを粒子排出口８３ｇから吸引するようになっている。
【０１４１】
−磁性粒子除去装置の動作−
以上のように構成された磁性粒子除去装置５０を備えた被処理流体浄化システム１００において、サイクロン式分離除去装置１から排出されて磁性粒子除去装置５０へと導かれた軽量の（１μｍ〜５μｍの）磁性粒子ｊを含む被処理流体は、該磁性粒子除去装置５０の導入口６４ａから該磁性粒子除去装置５０内へと流入する。すなわち、該導入口６４ａから流入した被処理流体は、案内ダクト６７内を通って下側へと流れるとともに、その下端部にて、円板状吸着部６０の吸着面５１ａと対向磁性板１６１との間に形成された流路７０に流れ込み、タンク長さ方向の一方側から他方側に向かって流れる（図１６及び図１７参照）。そうして、被処理流体が該流路７０内を流れる間に、該被処理流体中に含まれる磁性粒子ｊは、上記永久磁石５５からの磁気吸引力を受けて吸着面５１ａに吸着されることとなる。
【０１４２】
ここで、上記のように円板状吸着部６０の永久磁石５５に対向して対向磁性板１６１が設けられていることによって、被処理流体中の磁性粒子ｊには、単に永久磁石５５が設けられている場合に比べて大きな磁気吸引力が働く。それゆえ、磁性粒子ｊは効率よく吸着面５１ａに吸着される。
【０１４３】
上記吸着面５１ａに吸着された磁性粒子ｊは、除去本体部８０により掻き取られて除去される。すなわち、円板状吸着部６０がモータ５６により駆動シャフト６１回りに装置上方から見て反時計回り方向に回転駆動されることにより、除去本体部８０が該吸着面５１ａに対して時計回り方向に相対移動する。この結果、除去本体部８０の掻取り部材８１に形成された掻取り面８１ａにより磁性粒子ｊ（図１８参照）が掻き取られる。掻き取られた磁性粒子ｊは、エジェクタバルブ１０６の吸引作用によって、粒子吸込口８３ｃから回収用空間８２内へと吸引され、吸引された磁性粒子ｊはその周辺の被処理流体と共に、粒子排出口８３ｇから磁性粒子排出管８７内へと導かれて、その下流側のサイクロン供給用貯留タンク１０９に排出される。こうして、磁性粒子ｊが除去されたクリーンな被処理流体は、ケーシング１５０内に溜まり、所定の水位を超えると、水位調節スリーブ１５５（図１６参照）からスーパクリーンタンク１０４内へと排出されて、工作機械１０１に供給される。
【０１４４】
以上の如く上記実施形態では、円板状吸着部６０の永久磁石５５に対向して対向磁性板１６１が設けられていることによって、被処理流体中の磁性粒子ｊには、単に永久磁石５５が設けられている場合に比べて大きな磁気吸引力が働く。それゆえ、磁性粒子ｊは効率よく吸着面５１ａに吸着される。しかも、対向磁性板１６１が設けられていない部分では、吸着力は小さくなるので、吸着された磁性粒子ｊを効率よく掻き取ることができる。
【０１４５】
また、上記実施形態では、ハウジング部材８３には、水抜き穴８８が形成されている。こうすることで、流路７０内をタンク長手方向の一方側から他方側へと流れる被処理流体が、粒子吸込口８３ｃから水抜き穴８８へと流通することとなり、これによって、該回収用空間８２内の被処理流体（磁性粒子ｊ）の流動性を高めることができる。よって、磁性粒子ｊの回収用空間８２内への回収効率をより一層向上させることができる。
【０１４６】
なお、上記の例では、除去本体部８０には、略直角二等辺三角形状の回収用空間８２が形成される例を示したが、これに限らず、頂角をより大きくしたり小さくしたりしてもよい。また、円板状吸着部６０の半径方向位置による磁性粒子ｊの量の相違等に応じて、粒子排出口８３ｇが外周側に寄った形状に形成するなどしてもよい。
【０１４７】
また、磁性粒子ｊが粒子排出口８３ｇから磁性粒子排出管８７内へと導かれる方向が、円板状吸着部６０上を被処理流体の流れる方向と同じになるように、回収用空間８２の形状や除去本体部８０の配置方向などを設定して、被処理流体の自然な流れによって磁性粒子ｊがより排出されやすくなるようにしてもよい。
【０１４８】
（実施形態３）
掻取り部材８１によって掻き取られた磁性粒子ｊの吸引方向は、構成要素のレイアウト等に応じて種々設定することができ、例えば実施形態１と同じく水平方向で、しかし実施形態１とは異なる方向に吸引されるようにすることもできる。具体的には、例えば図１９〜図２１に示すように、回収用空間８２に連通する粒子排出口８３ｇには、磁性粒子排出管８７が、円板状吸着部６０に対する除去本体部８０の相対移動方向の後側から水平方向に接続されている。そこで、掻取り部材８１によって円板状吸着部６０の吸着面５１ａから掻き取られ、粒子吸込口８３ｃから粒子排出口８３ｇ付近に集約された磁性粒子ｊは、エジェクタバルブ１０６の吸引力により、粒子排出口８３ｇから水平方向に吸引される。これにより、吸引された磁性粒子ｊをより容易に磁性粒子排出管８７を介してサイクロン供給用貯留タンク１０９に排出させることができる。
【０１４９】
（実施形態４）
掻取り部材８１によって掻き取られた磁性粒子ｊを積極的に回収する手段としては、エジェクタバルブ１０６により吸引するのに代えて、例えば図２２〜図２４に示すように、ポンプ１０５から供給される被処理流体によって、除去本体部８０の粒子吸込口８３ｃから回収用空間８２に流入する流れを生じさせ、押し流すようにしてサイクロン供給用貯留タンク１０９に排出させるようにしてもよい。より詳しくは、粒子吸込口８３ｃ付近にはノズルヘッド８９ａが設けられている。ノズルヘッド８９ａに形成されたノズル８９ｂからは、回収用空間８２の内部に向けて被処理流体が噴出される。掻取り部材８１によって円形プレート５１の吸着面５１ａから掻き取られた粒子吸込口８３ｃ付近の磁性粒子ｊは、上記噴出した被処理流体の流れにつられて、または押し流されるようにして、磁性粒子排出管８７に流入し、その勢いおよび／または自重による落下によって、サイクロン供給用貯留タンク１０９に排出される。
【０１５０】
なお、流体供給管８９に供給される流体として、上記のようにポンプ１０５からサイクロン式分離除去装置１に供給される被処理流体の一部を流体供給管８９に分岐させて流用することにより、製造コストを安く抑えることが容易にできるが、これに限らず、別途ポンプを設けて、スーパクリーンタンク１０４からクリーンな被処理流体を供給するようにしてもよい。この場合には、ノズル８９ｂから噴出した被処理流体が粒子吸込口８３ｃから回収用空間８２に流入せずに漏れてスーパクリーンタンク１０４に戻ったとしても、これによるスーパクリーンタンク１０４内の磁性粒子ｊの増加を防止することが容易にできる。
【０１５１】
また、上記のように磁性粒子ｊを押し流す構成と、実施形態１等のように吸引する構成とを組み合わせて用いるなどして、磁性粒子ｊをより確実に回収できるようにしてもよい。
【０１５２】
（実施形態５）
図２５は、本発明の実施形態５の磁性粒子除去装置５０の配設構造及びそのドラム状吸着部４１１の構成を上記実施形態１とは異ならせたものである。尚、図１０等と実質的に同じ又は相当する機能を有する構成要素については同じ符号を付してその詳細な説明を適宜省略する。すなわち、本実施形態では、磁性粒子除去装置５０は、スーパクリーンタンク１０４とは別に、被処理流体を処理する処理槽１１０を有していて、浄化処理後の処理液を接続配管１１１を介してスーパクリーンタンク１０４へと供給するように構成されている。また、磁性粒子除去装置５０のドラム状吸着部４１１は、円筒ドラム状を呈しており、該ドラム状吸着部４１１の外周面が吸着面５１ａとされている。
【０１５３】
上記処理槽１１０は、スーパクリーンタンク１０４の上壁部１０４ａの上面に配設されており、該処理槽１１０の上壁部１１０ａには、導入口６４ａが形成され、サイクロン式処理容器２から排出された被処理流体が該導入口６４ａから処理槽１１０内に流入する。
【０１５４】
導入口６４ａから処理槽１１０内に流入した被処理流体は、案内ケーシング７４により案内されて上記ドラム状吸着部４１１の吸着面５１ａに沿ってシャフト６１回りに反時計回り方向に流動した後に接続配管１１１から排出される。
【０１５５】
案内ケーシング７４は、吸着面５１ａと該案内ケーシング７４との間の流路７０の流路断面積を可変とするべくその径方向位置を調整可能になっている。この調整により、例えば１μｍ〜５μｍの微細のスラッジ（磁性粒子ｊ）を確実に除去することができる。
【０１５６】
上記ドラム状吸着部４１１は、円筒状の非磁性体からなる円筒本体１１２と、該円筒本体１１２の内周側面１１２ａに周方向に互いに所定間隔を隔てて配設される永久磁石（図示省略）とで構成され、各永久磁石のドラム径方向内側面にはヨーク（本実施形態ではパーマロイ）が積層されている。上記円筒本体１１２は、その軸心部を貫通する駆動シャフト６１に回転一体に固定されており、この駆動シャフト６１は、不図示のモータの出力軸に動力伝達可能に連結されている。なお、ヨークとしては、一面の永久磁石の磁力を強くすることができれば他のものでも良く、この実施形態に限られるものではなく、ニッケルメッキを施した磁性体、単なる磁性体等でもよい。
【０１５７】
ドラム状吸着部４１１の上端部の吸着面５１ａには、除去本体部８０が配設されている。尚、除去本体部８０の基本的な構成は、上記実施形態１等と同様であるため、ここではその説明を省略する。
【０１５８】
除去本体部８０は、モータ５６により円筒本体１１２（ドラム状吸着部４１１）がシャフト６１回りに反時計回り方向に回転駆動されることで、該吸着面５１ａに沿って時計回り方向に相対移動する。そして、除去本体部８０は、該吸着面５１ａ上を時計回り方向に相対移動しながら、吸着面５１ａ上の磁性粒子ｊを掻取り面８１ａにて掻き取るとともに、掻き取った磁性粒子ｊをハウジング部材８３内（回収用空間８２内）に吸引して除去する。こうして、上記実施形態１等と同様に、吸着面５１ａ上に吸着された磁性粒子ｊを、吸着面５１ａに再吸着される前に吸引除去することができ、上記実施形態１等と同様の作用効果を得ることができる。
【０１５９】
また、本実施形態では、ドラム状吸着部４１１の回転方向と、被処理流体の回転流動方向とは共に、シャフト６１回りに反時計回り方向で一致しており、このため、被処理流体中の磁性粒子ｊを効率的に除去することができる。
【０１６０】
特に、本実施形態では、永久磁石を円筒状の吸着面５１ａの内側に配置できるので、永久磁石の設置範囲が広く、吸着される面が広いので、コンパクトな形状で吸着率を上げる上では効果的である。
【０１６１】
（実施形態６）
図２６は、上記実施形態５と同様のドラム状吸着部４１１に、実施形態２で説明したような除去本体部８０を組み合わせたものである。また、必須の構成要素ではないが、この実施形態では、案内ケーシング７４の外周側に、円筒本体１１２の内周側面１１２ａに設けられた永久磁石に対向する対向磁性板４６１が設けられ、実施形態５と同様に磁気吸引力が強められるようになっている。なお、同様に実施形態２〜実施形態４で説明したような除去本体部８０を組み合わせるなどしてもよい。
【０１６２】
このように構成する場合にも、やはり、上記実施形態５と同様に、吸着面５１ａ上に吸着された磁性粒子ｊを、吸着面５１ａに再吸着される前に吸引除去することができ、同様の作用効果を得ることができる。
【０１６３】
（その他の実施形態）
円板状吸着部６０における永久磁石５５の配置は、図１１に示すものに限らず、例えば、図２７に示すように配置するなどしてもよい。また、永久磁石５５の極性の配置も種々設定してもよい。具体的には、例えば図２７のように半径方向に３列設ける場合であれば、表面側の極性を内周側からＮＳＮとしたり、ＳＮＮとしたり、ＳＳＮとしたりするなどしてもよい。また、円周方向で極性を異ならせたりしてもよい。
【０１６４】
また、ヨーク５４は、各永久磁石５５と対応させて設けるのに限らず、複数の永久磁石５５、特に、表面側の極性の異なるものが磁気的に結合されるように設けるなどしてもよ。より具体的には、例えば図１１のように永久磁石５５が配置される場合、内周側の永久磁石５５と外周側の永久磁石５５とに亘る幅の円弧状またはドーナツ状のヨーク５４を設けるなどしてもよい。
【０１６５】
また、上記のように、ダスト分離装置１０８を備えたダスト分離用タンク１０３と、サイクロン式分離除去装置１と、磁性粒子除去装置５０とを組み合わせることによって、例えば、自重で沈殿しやすい程度の比較的大きなダスト、自重で速やかな沈殿はしにくくても遠心力が作用すれば捕捉されやすい程度の磁性粒子、磁力による吸引によって効率的な除去が可能または容易になる微細な磁性粒子などをそれぞれ効率よく除去できるが、必ずしも、これらの構成要素の組み合わせ、配置順序に限るものではなく、被処理流体の性状や要求される処理能力などに応じて種々設定可能である。
【０１６６】
具体的には、例えば図２８に示すように磁性粒子除去装置を省略して、ダスト分離用タンク１０３とサイクロン式分離除去装置１とを組み合わせるなどしてもよい。また、その場合、同図に併せて示すように、仕切り壁１０４ｅ・１０４ｆを設けて、スーパクリーンタンク１０４内でのダストの沈殿による除去効果を簡便に得るようにしてもよい。また、磁性粒子除去装置５０と仕切り壁１０４ｅ・１０４ｆとを併用するなどしてもよい。
【０１６７】
これらの場合、磁性粒子除去装置５０によっても除去されず、または磁性粒子除去装置５０が設けられない場合に、スーパクリーンタンク１０４内で沈殿したダストは、例えば、スーパクリーンタンク１０４の底部に設けられた排出管１０４ｃ、および排出バルブ１０４ｄを介してダーティタンク１０２に排出させることができる。また、逆に、軽くてスーパクリーンタンク１０４内で表面に浮いたダストは、例えば、スーパクリーンタンク１０４に貯留された被処理流体の水位が所定水位ｈ２に達したときに戻り管１０４ｂからサイクロン供給用貯留タンク１０９へと戻されるようにすることができる。これらのような戻り管１０４ｂや排出管１０４ｃ等の構成によって、スーパクリーンタンク１０４内のダストが所定量以上に蓄積されることを防止することができ、スーパクリーンタンク１０４からのクリーンな液を工作機械１０１に供給してクーラント液として使用することができる。
【０１６８】
また、必ずしも、被処理流体がダスト分離用タンク１０３で比較的大きなダスト除去後に、サイクロン式分離除去装置１に供給されるのに限らず、図２９に示すように、ダーティタンク１０２の被処理流体がサイクロン式分離除去装置１に供給され、分離されたダストが、ダスト分離用タンク１０３に送られ、排出されるようにしてもよい。すなわち、このような場合でも、サイクロン式分離除去装置１と磁性粒子除去装置５０とを組み合わせることによる磁性粒子などの効率的な除去効果は得られる。
【０１６９】
また、上記各実施形態では、磁性粒子除去装置５０にて被処理流体中の磁性粒子ｊを分離除去する前に、サイクロン式分離除去装置１で予め磁性粒子ｊの分離除去処理を行うようにしているが、必ずしもこれに限ったものではない。例えば、被処理流体やダストの性状、流量、含有量などに応じては、磁性粒子除去装置５０にて分離除去処理を行った後にサイクロン式分離除去装置１にて分離除去処理を行うようにしてもよいし、また、サイクロン式分離除去装置１を設けず、５０だけによって除去するようにしてもよい。すなわち、サイクロン式分離除去装置１、磁性粒子除去装置５０、およびダスト分離装置１０８の選択的組み合わせや、処理順序は、被処理流体やダストの性状等に応じて、種々設定することができる。
【０１７０】
また、サイクロン式分離除去装置としては、種々の構成のものを適用することができる。例えば図３０に示すようなサイクロン式分離除去装置１を用いてもよい。このサイクロン式分離除去装置１では、サイクロン式処理容器２の内側周側壁面２ｇは、その上端部に形成されて内径が上下方向の全体に亘って略一定となる円筒状部２ｆと、該円筒状部２ｆの下側に連設され、概ね下方ほど内径が小さくなる上側逆円錐状部２ｂと、その下に順に連接される円錐状部２ｃと、２段の下側逆円錐状部２ｄとが形成されて成っている。上側逆円錐状部２ｂは、上部付近の頂角が大きく、その下方に頂角の小さい部分、及び円筒状の部分を有している。円錐状部２ｃは、下側ほど拡径し、上記円筒状部分と、その下方の下側逆円錐状部２ｄとを接続するようになっている。ここで、同図の例では、流体渦流部２ｅは３つの側壁部２ｉに分割されている例を示すが、これに限らず、一体でもよいし、２分割などでもよい。また、下側逆円錐状部２ｄは１段だけ設けるなどしてもよい。
【０１７１】
浮上物回収タンク１５と上記円筒状部２ｆとを仕切る仕切り板１８は、仕切り部１８ａと、ボス部１８ｂとから構成され、ボス部１８ｂが筒状排出管６に嵌挿されることによって取付けられている。
【０１７２】
また、筒状排出管６の下部には、スリーブ６ｃが嵌挿されている。スリーブ６ｃの外周には、被処理流体の旋回および下降流動に対応する方向の螺旋突起６ａが形成されている。より具体的には、螺旋突起６ａは、例えば断面形状が矩形、リード角が３０°で、２条形成されている。ここで、螺旋突起６ａの方向（右ネジ方向か左ネジ方向か）は、例えば旋回流動の方向に応じて決定すればよい。なお、上記の例では、筒状排出管６の内径、及びスリーブ６ｃにおける螺旋突起６ａ以外の部分の外形は、一定である例を示すが、筒状排出管６の下端部の外周面又は内周面を僅かに外側に拡径して、流体に、より確実に遠心力が作用するようにしてもよい。また、上方側の円周溝１１に設けられる永久磁石１０の上下方向の長さおよび位置は、例えば１ピッチ以上の螺旋突起６ａが形成されている範囲に設定される。
【０１７３】
なお、上記のような螺旋突起６ａに限らず、螺旋状の溝を形成してもよい。また、そのような螺旋溝や螺旋溝に代えて、またはこれとともに、上側逆円錐状部２ｂの内周に螺旋溝や螺旋突起を設けてもよい。
【０１７４】
上記のような螺旋溝や螺旋突起を設けることによって、被処理流体の旋回速度を増大させたり、螺旋溝や螺旋突起によって微小な磁性粒子が捕捉されるようにして、被処理流体からの除去効率を大幅に向上させることが容易にできる。すなわち、螺旋溝２ｊの方向が被処理流体の旋回下降流の方向に一致している場合には、被処理流体の流れがスムーズになって磁性粒子ｊが安定して内側周側壁面２ｇや螺旋溝２ｊの底に押しつけられる作用が大きくなる。一方、螺旋溝２ｊの方向が被処理流体の旋回下降流の方向と異なる場合には、被処理流体が螺旋溝２ｊを横切ることになるので、磁性粒子ｊが螺旋溝２ｊに引っかかって捕捉されやすくなる作用が大きくなる。また、被処理流体の旋回下降流の方向よりも螺旋溝２ｊのリード角を小さく設定し、回転速度を増加させるようにして、より大きな遠心力を作用させるようにすることもできる。それゆえ、被処理流体の流速や粘度、磁性粒子ｊの大きさ、形状、比重の相異などに応じて、螺旋溝２ｊのリード角や条数、断面形状などを設定すればよい。
【０１７５】
また、磁性粒子ｊは、上記のように円板状吸着部６０に吸着させるのに限らず、例えば図３１、図３２に示すように、ドラム状吸着部４１１に吸着させるようにしてもよい。
【０１７６】
磁性粒子除去装置５０のハウジング４００は、円筒部ハウジング４０１に、側壁部ハウジング４０２，４０３、及び軸受カバー４０４がボルト４０６により締結されて構成されている。
【０１７７】
上記ハウジング４００内には、ドラム状吸着部４１１が設けられている。上記ドラム状吸着部４１１は、回転軸４１４に側壁４１３を介してドラム４１２が取付けられて構成されている。ドラム４１２の外周面には、永久磁石５５及びヨーク５４が埋め込まれている。永久磁石５５の配置は、種々設定可能であるが、例えば、ドラム４１２の外周側がＮ極の永久磁石５５とＳ極の永久磁石５５とが、回転軸４１４の長手方向に並ぶように配置される。なお、２列に限らず、より多くの永久磁石５５が直線状に配置されるようにしてもよい。また、ヨーク５４は、上記のように回転軸４１４の長手方向に並ぶ永久磁石５５に亘る内周側に設けて、これらの永久磁石５５が磁気的に結合されるようにしたりしてもよい。また、ドラム４１２自体を磁性体で形成して、ヨークとして作用させるようにしてもよい。この場合、ドラム４１２には、例えば、永久磁石５５を取り付けるために、永久磁石５５の厚さの２／３程度の深さで永久磁石５５の外形に対して１ｍｍ〜３ｍｍ程度の隙間が形成される浅凹部内に、さらに永久磁石５５の厚さの１／３程度の深さで永久磁石５５の外形に略等しい形状の深凹部が形成された段付凹部を設け、上記深凹部内に永久磁石５５を嵌め込むようにしてもよい。これにより、永久磁石５５の位置決めを確実にするとともに、磁力線のリークを防止してドラム４１２によるヨークとしての作用が確実に得られるようにすることが容易にできる。また、永久磁石５５をドラム４１２の表面に露出させるのに限らず、ステンレス製の円筒でドラム状吸着部４１１を覆うなどしてもよい。
【０１７８】
ドラム状吸着部４１１の回転軸４１４は、ベアリング４２１によって回転自在に支持されるとともに、モータ４３１の駆動力が、減速機４３２内のギヤ４３３を介して伝達され、図３１における時計回り方向に回転するようになっている。上記ベアリング４２１のハウジング内部側には、シール４２２が設けられ、被処理流体がベアリング４２１に流れ込まないようにされている。
【０１７９】
円筒部ハウジング４０１には、被処理流体の導入口４０１ａが設けられる一方、側壁部ハウジング４０３には、排出口４０３ａが設けられている。導入口４０１ａから流入した被処理流体は、円筒部ハウジング４０１と、ドラム４１２との間を通って、ドラム状吸着部４１１の回転方向とは逆の図３１における反時計回りの方向に流れ、排出口４０３ａから排出されるようになっている。
【０１８０】
ここで、上記のようにドラム状吸着部４１１の回転方向と被処理流体の流れる方向とが互いに逆の場合、ドラム４１２に吸着された磁性粒子ｊが導入口４０１ａから流入する被処理流体に衝突すると離脱する可能性が高くなる。そこで、本実施形態においては、導入口４０１ａから流入した被処理流体がドラム４１２の表面に直接当たりにくくするように、導入口４０１ａのドラム４１２側に、ガイド板４０５が設けられている。
【０１８１】
上記被処理流体の流路となる円筒部ハウジング４０１とドラム状吸着部４１１との間には、部分円筒状の対向磁性板４６１が設けられ、永久磁石５５による磁性粒子ｊの吸引力が強められるようになっている。
【０１８２】
また、被処理流体の流路には、回動軸４６４周りに回動可能な流量規制板４６３が設けられ、被処理流体中の磁性粒子ｊの量や、比重、大きさなどに応じて、被処理流体の流量を調整できるようにあっている。
【０１８３】
ドラム４１２の上部付近には、ドラム４１２に当接する（又はわずかに離間して近接する）掻取り面４５１ａを有する掻取り部材４５１が設けられている。すなわち、ドラム４１２に吸着された磁性粒子ｊは、掻取り面４５１ａにより掻き取られ、案内ダクト４５１ｂに案内されて排出されるようになっている。
【０１８４】
上記のようにドラム状吸着部４１１に磁性粒子ｊを吸着させる場合でも、ドラム４１２に埋め込まれた永久磁石５５に対向して対向磁性板４６１が設けられていることにより、大きな磁気吸引力を作用させて、磁性粒子ｊを効率よく除去することができる。
【０１８５】
また、磁性粒子除去装置５０のさらに他の例としては、図３３に示すように構成してもよい。この磁性粒子除去装置５０は、前記の例（図３１、図３２）と比べて、ドラム状吸着部４１１の回転方向と同じ方向に被処理流体が流れるように構成された点が異なっている。すなわち、側壁部ハウジング４０２には、排出口４０３ａに加えて、導入口４０３ｂが設けられている。導入口４０３ｂから流入した被処理流体は、ドラム状吸着部４１１の回転方向と同じ図３３における時計回りの方向に流れ、排出口４０３ａから排出されるまでの間に、磁性粒子ｊがドラム状吸着部４１１に吸着されるようになっている。
【０１８６】
上記のように構成された磁性粒子除去装置５０においても、対向磁性板４６１が設けられていることにより、大きな磁気吸引力を作用させて、磁性粒子ｊを効率よく除去することができる。特に、ドラム状吸着部４１１の回転方向と被処理流体の流れる方向を同じ方向にすることによって、一旦ドラム状吸着部４１１に吸着された磁性粒子ｊが被処理流体の流れによって引きはがされる可能性を低減できるので、一層磁性粒子ｊの除去効率を向上させることも容易にできる。
【０１８７】
《その他の事項》
また、上記各実施形態では、除去本体部８０は、アクリル製の掻取り部材８１と、アルミニウム製のハウジング部材８３との２部材からなるものとされているが、これに限ったものではなく、例えば、アルミニウム製又はアクリル製の一体品としてもよい。
【０１８８】
また、上記各実施形態では、磁性粒子ｊを回収用空間８２内に吸引するための吸引手段としてエジェクタバルブ１０６を採用するようにしているが、これに限ったものではなく、例えばダイヤフラムポンプを採用するようにしてもよい。
【０１８９】
また、上記各実施形態では、円板状吸着部６０やドラム状吸着部４１１をモータ５６により駆動することで、除去本体部８０を吸着面５１ａに沿って相対移動させるようになっているが、これに限ったものではなく、例えば、円板状吸着部６０やドラム状吸着部４１１を固定しておいて除去本体部８０をモータ５６により吸着面５１ａに沿って移動させるようにしてもよい。
【０１９０】
また、上記各実施形態では、吸着面５１ａは、非磁性体からなるプレート材（実施形態１では円形プレート５１、実施形態５、実施形態６では円筒本体１１２の周側壁）で構成されているが、これに限ったものではなく、吸着面５１ａを永久磁石等の磁石部材で構成するようにしてもよい。
【０１９１】
また、上記各実施形態では、掻取り面８１ａは、上記相対移動方向の後側に行くにしたがって吸着面５１ａから離れる側に傾斜する傾斜面とされているが、これに限ったものではなく、例えば、吸着面５１ａに対して垂直な面であってもよい。
【０１９２】
なお、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではなく、それ以外の種々の構成を包含するものである。
【０１９３】
また、上記各実施形態や変形例で説明した構成要素等は、論理的に可能な範囲で種々組み合わせたりしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１９４】
本発明は、被処理流体中の磁性粒子を磁気吸引力により吸着する吸着面と、該吸着面に吸着された磁性粒子を掻き取って除去する除去本体部とを備えた磁性粒子除去装置等に有用であり、特に、サイクロン式処理容器の外周面に磁石部材を配設してなるサイクロン式分離除去装置を含む被処理流体浄化システムに適用する場合等に有用である。
【符号の説明】
【０１９５】
１ サイクロン式分離除去装置
２ サイクロン式処理容器
２ａ 本体部
２ｂ 上側逆円錐状部
２ｃ 円錐状部
２ｄ 下側逆円錐状部
２ｅ 流体渦流部
２ｆ 円筒状部
２ｇ 内側周側壁面
２ｈ 外周面
２ｉ 側壁部
２ｊ 螺旋溝
３ 導入口
４ 排出口
５ 円筒外筒
６ 筒状排出管
６ａ 螺旋突起
６ｃ スリーブ
７ 流体排出口
８ Ｏリング
９ａ 雌ねじ部
９ｂ 雄ねじ部
１０ 永久磁石
１１ 円周溝
１２ 円周溝
１３ 内側空間
１５ 浮上物回収タンク
１５ａ 内側周側壁面
１６ 薄肉スペーサ
１７ 厚肉スペーサ
１８ 仕切り板
１８ａ 仕切り部
１８ｂ ボス部
１９ スリット
２０ 折曲げ片
２０ａ 案内用折曲げ片
２０ｂ 整流用折曲げ片
２０ｊ 案内面
２０ｋ 下面
２１ 浮上物排出口
２２ ヨーク
５０ 磁性粒子除去装置
５１ 円形プレート
５１ａ 吸着面
５２ 円板本体
５３ 円周溝
５４ ヨーク
５５ 永久磁石
５５ａ 上面
５６ 駆動モータ
５７ スペーサ
６０ 円板状吸着部
６１ 駆動シャフト
６２ ナット
６３ ギヤケース
６４ 支持プレート
６４ａ 導入口
６４ｂ 上面
６４ｃ 下面
６４ｄ ノック孔
６５ 配管継手
６６ ボルト
６７ 案内ダクト
６７ａ 内側ダクト壁
６７ｂ 外側ダクト壁
６７ｃ 垂直壁部
６７ｄ 傾斜部
６７ｅ 水平突出片部
６７ｇ，６７ｈ ダクト側壁
６７ｉ，６７ｊ 側板
６８ 開口部
６９ ケーシング
６９ 案内ケーシング
６９’ 対向磁性板ブラケット
６９ａ 水平部
６９ｂ 切欠き部
６９ｃ 側壁部
６９ｄ 垂直部
６９ｆ 長孔
７０ 流路
７１ 開放部
７２ 開放部
７３ ビス
７４ 案内ケーシング
８０ 除去本体部
８１ 掻取り部材
８１ａ 掻取り面
８１ｂ 上面
８１ｆ 端縁
８２ 回収用空間
８３ ハウジング部材
８３ 回収タンク部
８３ａ 端面
８３ｂ 貫通細孔
８３ｃ 粒子吸込口
８３ｄ 下面
８３ｅ 上面
８３ｆ 凹部
８３ｇ 粒子排出口
８３ｋ 前側面
８４ 連通路
８５ 配管継手
８６ 磁気シールド部材
８７ 磁性粒子排出管
８８ 水抜き穴
８９ 流体供給管
８９ａ ノズルヘッド
８９ｂ ノズル
９０ ガイドシャフト
９１ ホルダ部材
９１ａ 上面
９２ ガイドプレート
９２ａ ガイド孔
９２ｂ 下面
９２ｆ 挿通孔
９３ 圧縮コイルスプリング
９４ ワッシャ
９５ 垂直支柱
９５ａ 下側フランジ部
９５ｂ 上側フランジ部
９５ｃ 支柱本体部
９６ 位置決めピン
９７ ボルト
９８ 円筒状ガイドブッシュ
１００ 被処理流体浄化システム
１０１ 工作機械
１０２ ダーティタンク
１０３ ダスト分離用タンク
１０３ａ 流入管
１０３ｂ 排出管
１０３ｃ タンク流入口
１０３ｄ マグネット
１０３ｅ 屑排出口
１０３ｆ 蓋
１０３ｇ 排出口下方仕切板
１０３ｈ 排出口側方仕切板
１０３ｉ 浮上物仕切板
１０３ｊ 流入口仕切板
１０３ｋ 監視窓
１０３ｍ 浮上物回収ボックス
１０４ スーパクリーンタンク
１０４ａ 上壁部
１０４ｂ 戻り管
１０４ｃ 排出管
１０４ｄ 排出バルブ
１０４ｅ・１０４ｆ 仕切り壁
１０５ ポンプ
１０６ エジェクタバルブ
１０６ａ 流体供給ポート
１０７ ダストボックス
１０８ ダスト分離装置
１０８ａ モータ
１０８ｂ 駆動軸
１０８ｃ 従動軸
１０８ｄ チェーンベルト
１０８ｅ スクレーパ
１０８ｆ マグネットプレート
１０９ サイクロン供給用貯留タンク
１１０ 処理槽
１１０ａ 上壁部
１１１ 接続配管
１１２ 円筒本体
１１２ａ 内周側面
１１５ ポンプ
１２１ 回収管
１２２ 回収管
１５０ ケーシング
１５１ 側壁部
１５２ 底壁部
１５３ 上壁部
１５４ 排出筒部
１５５ 水位調節スリーブ
１６１ 対向磁性板
１６１ａ 切欠き部
４１１ ドラム状吸着部
４６１ 対向磁性板
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性粒子を含む被処理流体に接触して該被処理流体中の磁性粒子を磁気吸引力により吸着する吸着面と、
掻取り部材を有し、該吸着面に吸着された磁性粒子を掻き取る掻取り部と、
上記吸着面、及び上記掻取り部材の少なくとも一方を、上記掻取り部材が上記吸着面に吸着された磁性粒子を掻き取る向きに相対移動するように移動させる相対移動手段とを備えた磁性粒子除去装置であって、
さらに、上記掻取り部材によって掻き取られた磁性粒子を搬送して排出する搬送部を備え、
上記搬送部は、掻取り部材によって掻き取られた磁性粒子を吸引して排出する吸引部、および上記磁性粒子を押し流して排出する押し流し部の少なくとも一方を有することを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項２】
請求項１記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部は、掻き取った磁性粒子を回収するべく該掻取り部の内部に形成される回収用空間と、該回収用空間に連通する粒子吸込口とを有しており、
上記吸引部は、上記掻取り部材により掻き取った磁性粒子を上記粒子吸込口から上記回収用空間内に吸込むことを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項３】
請求項２記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部は、さらに、上記回収用空間内に吸込まれた磁性粒子を該掻取り部外に排出するべく該回収用空間に連通する粒子排出口を有しており、
上記掻取り部における上記回収用空間と上記吸着面との間には、該回収用空間内に吸引された磁性粒子に対して該吸着面から磁気吸引力が作用するのを阻止する磁気シールド部材が設けられていることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項４】
請求項３記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部材は、厚さ方向の一方側面が上記吸着面に当接又は近接し、かつ、上記相対移動方向の前側側面が掻取り面とされる板状部材からなり、
上記磁気シールド部材は、上記板状部材の厚さ方向の他方側面に積層されていることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項５】
請求項４記載の磁性粒子除去装置であって、
上記粒子吸込口は、上記除去本体部における上記相対移動方向の前側面に形成されており、
上記掻取り面は、上記相対移動方向の後側に行くにしたがって上記吸着面と離れる側に傾斜する傾斜面とされ、
上記掻取り面の上記相対移動方向の後側端部は、上記粒子吸込口に接続されていることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項６】
請求項１記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部は、さらに、粒子吸込口、粒子排出口、および上記吸着面から引きはがされた磁性粒子を上記粒子吸込口から粒子排出口に集約する回収用空間を有し、
集約された磁性粒子が上方または水平方向に排出されることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項７】
請求項１記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部は、さらに、粒子吸込口、粒子排出口、および上記吸着面から引きはがされた磁性粒子を上記粒子吸込口から粒子排出口に集約する回収用空間を有し、
上記押し流し部は、上記粒子吸込口から粒子排出口に向く被処理流体の流れを生じさせる被処理流体噴出部を有していることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項８】
請求項１記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部は、さらに、粒子吸込口、粒子排出口、および上記吸着面から引きはがされた磁性粒子を上記粒子吸込口から粒子排出口に集約する回収用空間を有し、
上記吸着面と回収用空間との間に、磁性体から成る磁気シールド部材が設けられていることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項９】
請求項８記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部材、及び磁気シールド部材は、吸着面に吸着された磁性粒子が吸着面から引きはがされる位置から、上記粒子排出口が設けられている位置にかけて、上記吸着面から磁気シールド部材の上面までの距離が大きくなる傾斜を有することを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか一項に記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部を上記吸着面側に押付ける付勢バネをさらに備えていることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項１１】
請求項１の磁性粒子除去装置と、
サイクロン式磁性粒子分離装置とを有し、これらの装置によって順次磁性粒子を除去する被処理流体浄化システムであって、
上記サイクロン式磁性粒子分離装置は、
磁性粒子を含む被処理流体を内周面に沿って旋回下降流動させ、その旋回下降流動によって生じる遠心力により被処理流体内の磁性粒子を分離して下方に排出するサイクロン式処理容器と、
上記サイクロン式処理容器の中心部にて上下方向に延び、下端に該サイクロン式処理容器の内部に開口する開口部を有し、浄化後の被処理流体を該サイクロン式処理容器の上方から該容器外へと導く排出管と、
磁性粒子に対して、上記サイクロン式処理容器の径方向外側に向かう磁気吸引力を作用させる磁石部材と、
を備えたことを特徴とする被処理流体浄化システム。
【請求項１２】
請求項１１の被処理流体浄化システムであって、
上記サイクロン式磁性粒子分離装置は、
上記サイクロン式処理容器の上部に浮上した浮上物を回収するべく該処理容器の上側に配設され、底壁部が該サイクロン式処理容器の上壁部で構成された浮上物回収タンクをさらに備え、
上記サイクロン式処理容器の上壁部には、上記浮上物を上記浮上物回収タンク内へと導くための回収用貫通孔が形成され、
上記サイクロン式処理容器の上壁部の下面には、上記浮上物を上記貫通孔から上記浮上物回収タンク内へと案内する案内部材が設けられており、
上記浮上物回収タンクには、該タンク内に流入した上記浮上物を含む被処理流体を排出するための浮上物排出口が設けられていることを特徴とする被処理流体浄化システム。
【請求項１３】
請求項１１の被処理流体浄化システムであって、
上記サイクロン式磁性粒子分離装置は、
上記サイクロン式処理容器の内周面に形成された螺旋溝、上記排出管の外周面に形成された螺旋突起、及び上記排出管の外周面に形成された螺旋溝のうち少なくとも何れかを有すること特徴とする被処理流体浄化システム。
【請求項１】
磁性粒子を含む被処理流体に接触して該被処理流体中の磁性粒子を磁気吸引力により吸着する吸着面と、
掻取り部材を有し、該吸着面に吸着された磁性粒子を掻き取る掻取り部と、
上記吸着面、及び上記掻取り部材の少なくとも一方を、上記掻取り部材が上記吸着面に吸着された磁性粒子を掻き取る向きに相対移動するように移動させる相対移動手段とを備えた磁性粒子除去装置であって、
さらに、上記掻取り部材によって掻き取られた磁性粒子を搬送して排出する搬送部を備え、
上記搬送部は、掻取り部材によって掻き取られた磁性粒子を吸引して排出する吸引部、および上記磁性粒子を押し流して排出する押し流し部の少なくとも一方を有することを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項２】
請求項１記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部は、掻き取った磁性粒子を回収するべく該掻取り部の内部に形成される回収用空間と、該回収用空間に連通する粒子吸込口とを有しており、
上記吸引部は、上記掻取り部材により掻き取った磁性粒子を上記粒子吸込口から上記回収用空間内に吸込むことを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項３】
請求項２記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部は、さらに、上記回収用空間内に吸込まれた磁性粒子を該掻取り部外に排出するべく該回収用空間に連通する粒子排出口を有しており、
上記掻取り部における上記回収用空間と上記吸着面との間には、該回収用空間内に吸引された磁性粒子に対して該吸着面から磁気吸引力が作用するのを阻止する磁気シールド部材が設けられていることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項４】
請求項３記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部材は、厚さ方向の一方側面が上記吸着面に当接又は近接し、かつ、上記相対移動方向の前側側面が掻取り面とされる板状部材からなり、
上記磁気シールド部材は、上記板状部材の厚さ方向の他方側面に積層されていることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項５】
請求項４記載の磁性粒子除去装置であって、
上記粒子吸込口は、上記除去本体部における上記相対移動方向の前側面に形成されており、
上記掻取り面は、上記相対移動方向の後側に行くにしたがって上記吸着面と離れる側に傾斜する傾斜面とされ、
上記掻取り面の上記相対移動方向の後側端部は、上記粒子吸込口に接続されていることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項６】
請求項１記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部は、さらに、粒子吸込口、粒子排出口、および上記吸着面から引きはがされた磁性粒子を上記粒子吸込口から粒子排出口に集約する回収用空間を有し、
集約された磁性粒子が上方または水平方向に排出されることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項７】
請求項１記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部は、さらに、粒子吸込口、粒子排出口、および上記吸着面から引きはがされた磁性粒子を上記粒子吸込口から粒子排出口に集約する回収用空間を有し、
上記押し流し部は、上記粒子吸込口から粒子排出口に向く被処理流体の流れを生じさせる被処理流体噴出部を有していることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項８】
請求項１記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部は、さらに、粒子吸込口、粒子排出口、および上記吸着面から引きはがされた磁性粒子を上記粒子吸込口から粒子排出口に集約する回収用空間を有し、
上記吸着面と回収用空間との間に、磁性体から成る磁気シールド部材が設けられていることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項９】
請求項８記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部材、及び磁気シールド部材は、吸着面に吸着された磁性粒子が吸着面から引きはがされる位置から、上記粒子排出口が設けられている位置にかけて、上記吸着面から磁気シールド部材の上面までの距離が大きくなる傾斜を有することを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか一項に記載の磁性粒子除去装置であって、
上記掻取り部を上記吸着面側に押付ける付勢バネをさらに備えていることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項１１】
請求項１の磁性粒子除去装置と、
サイクロン式磁性粒子分離装置とを有し、これらの装置によって順次磁性粒子を除去する被処理流体浄化システムであって、
上記サイクロン式磁性粒子分離装置は、
磁性粒子を含む被処理流体を内周面に沿って旋回下降流動させ、その旋回下降流動によって生じる遠心力により被処理流体内の磁性粒子を分離して下方に排出するサイクロン式処理容器と、
上記サイクロン式処理容器の中心部にて上下方向に延び、下端に該サイクロン式処理容器の内部に開口する開口部を有し、浄化後の被処理流体を該サイクロン式処理容器の上方から該容器外へと導く排出管と、
磁性粒子に対して、上記サイクロン式処理容器の径方向外側に向かう磁気吸引力を作用させる磁石部材と、
を備えたことを特徴とする被処理流体浄化システム。
【請求項１２】
請求項１１の被処理流体浄化システムであって、
上記サイクロン式磁性粒子分離装置は、
上記サイクロン式処理容器の上部に浮上した浮上物を回収するべく該処理容器の上側に配設され、底壁部が該サイクロン式処理容器の上壁部で構成された浮上物回収タンクをさらに備え、
上記サイクロン式処理容器の上壁部には、上記浮上物を上記浮上物回収タンク内へと導くための回収用貫通孔が形成され、
上記サイクロン式処理容器の上壁部の下面には、上記浮上物を上記貫通孔から上記浮上物回収タンク内へと案内する案内部材が設けられており、
上記浮上物回収タンクには、該タンク内に流入した上記浮上物を含む被処理流体を排出するための浮上物排出口が設けられていることを特徴とする被処理流体浄化システム。
【請求項１３】
請求項１１の被処理流体浄化システムであって、
上記サイクロン式磁性粒子分離装置は、
上記サイクロン式処理容器の内周面に形成された螺旋溝、上記排出管の外周面に形成された螺旋突起、及び上記排出管の外周面に形成された螺旋溝のうち少なくとも何れかを有すること特徴とする被処理流体浄化システム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【公開番号】特開２０１０−２３０２８（Ｐ２０１０−２３０２８Ａ）
【公開日】平成２２年２月４日（２０１０．２．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１４３６８１（Ｐ２００９−１４３６８１）
【出願日】平成２１年６月１６日（２００９．６．１６）
【出願人】（５９４１９０５７４）岡野機工株式会社 (19)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年２月４日（２０１０．２．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年６月１６日（２００９．６．１６）
【出願人】（５９４１９０５７４）岡野機工株式会社 (19)
【Ｆターム（参考）】
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