磁気記録媒体、該磁気記録媒体を備えた磁気記録装置および転写用担体
【課題】パターン形成が容易であり、かつトラッキングサーボの精度のよいサーボパターンを備えた磁気記録媒体を得る。
【解決手段】磁気記録媒体１において、バーストパターンに含まれるバースト２０を、クロストラック方向Ｙにダウントラック方向長さが徐々に増加する形状を有する、複数のデータトラックに亘って形成された第１の信号領域２１と、第１の信号領域２１のダウントラック方向に隣接して設けられた第２の信号領域１９とからなる、第１の信号領域２１のダウントラック方向最大長Ｌ１を一辺とする矩形領域からなるものとする。また、バースト２０をクロストラック方向Ｙに複数配列する。
【解決手段】磁気記録媒体１において、バーストパターンに含まれるバースト２０を、クロストラック方向Ｙにダウントラック方向長さが徐々に増加する形状を有する、複数のデータトラックに亘って形成された第１の信号領域２１と、第１の信号領域２１のダウントラック方向に隣接して設けられた第２の信号領域１９とからなる、第１の信号領域２１のダウントラック方向最大長Ｌ１を一辺とする矩形領域からなるものとする。また、バースト２０をクロストラック方向Ｙに複数配列する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気記録媒体に関し、特にトラッキングサーボのためのサーボ信号を備えてなる磁気記録媒体および磁気記録装置、ならびに磁気記録媒体にサーボ信号を転写するための転写パターンを凹凸パターンとして備えた転写用担体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気記録再生装置は、小型でかつ大容量を実現するために、記録密度の高密度化の傾向にあり、特に、代表的な磁気記憶装置であるハードディスクドライブの分野では、技術の進歩が急激である。
【０００３】
記録密度の高密度化に伴い、ハードディスクにおいては、狭トラック化が進められている。また、記録密度のさらなる高密度化の要請から、隣接するデータトラックを溝（グルーブ）からなるグルーブパターン（ガードバンド）で分離し、隣接トラック間の磁気的干渉を低減するようにしたディスクリートトラックメディア（ＤＴＭ）や単磁区を構成する磁性体（単磁区微粒子）が物理的に孤立して規則的に配列されてなり、単磁区微粒子１個に１ビットを記録するビットパターンメディア（ＢＰＭ）などが注目されている。
【０００４】
狭いトラック幅において正確に磁気ヘッドを走査させて高いＳ／Ｎ比で信号を再生するために、いわゆるトラッキングサーボ技術が大きな役割を担っている。このトラッキングサーボとしては、セクターサーボ方式が広く採用されている。
【０００５】
セクターサーボ方式とは、磁気ディスク等の磁気記録媒体のデータ面に、一定角度等で配列されたサーボフィールドに、トラックのアドレス情報信号、再生クロック信号、細かい位置制御のためのバーストパターン等のサーボ情報を記録しておき、磁気ヘッドが、このサーボフィールドを走査してサーボ情報を読み取り自らの位置を確認しつつ修正する方式である。
【０００６】
従来の磁気記録媒体へのサーボ情報（サーボパターン）の記録方法としては、磁気記録媒体（スレーブ媒体）に転写すべき情報に応じた凹凸パターンからなる転写パターンを有するマスター単体を用い、このマスター担体と磁気記録媒体とを密着させた状態で、記録用磁界を印加することにより、マスター担体の凹凸パターンにより記録されているサーボ情報に対応する磁化パターンを磁気記録媒体に磁気的に転写する方法が知られている。
【０００７】
また、一方、ＤＴＭ、ＢＰＭのようなパターンドメディアへのサーボ情報の記録方法としては、転写すべき情報に応じた凹凸パターンを備えたインプリントモールドを用い、インプリントリソグラフィ法等によりそのグルーブパターン、ビットパターンの形成時に同時にサーボパターンを凹凸パターンとして形成する方法が提案されている。
【０００８】
特許文献１に記載されているように、バーストパターンとして、Ａ〜Ｄまでの４つのバーストビット列を含む振幅サーボパターン、あるいは位相サーボパターンがよく知られている。
【０００９】
振幅サーボパターンから得られる位置誤差信号（Position Error Signal：ＰＥＳ）においては、Ａ−Ｂバーストからの信号とＣ−Ｄバーストからの信号との切り替え時の不連続点がトラック毎に２箇所（６４ＰＥＳ、１９２ＰＥＳにおいて）生じる（特許文献２参照）。また、Ｓｉｎ波の振幅を検出するために、ある同一のバーストビットが複数回繰り返し配置されていることを要する。
【００１０】
また、位相サーボパターンにおいては、複数のトラックに跨ってほぼ半径方向に延びる平行なパターンが形成されており、不連続点は振幅サーボパターンと比べて少なくなるが、位置誤差信号としてＳｉｎ波の位相を検出するために、やはり同一のパターンが繰りかえし配置されていることを要し、さらに逆位相のパターンを備える必要がある。
【００１１】
また、特許文献３には、ヘッドを走査する際に測定される周波数がダウントラック方向に変化するように、円周方向に沿うサーボパターンの長さが連続的に変化する複数のトラックを横断する細長いパターンが提案されている。特許文献３には、原理的には、細長いパターンが少なくとも２本あればよいが、安定したトラッキングを実現するためには、現実的には、サーボパターンの幅が８０クロック分程度は必要であると記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００８−２７６９１１号公報
【特許文献２】特開２００７−２１３７４５号公報
【特許文献３】特開２００３−３２３７７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
狭トラック化に伴って、サーボフィールドに形成されるパターンの個々の領域の微細化も進んでいる。バースト部から得られるＳｉｎ波形の振幅や位相情報を元にオフトラック量を求める振幅サーボや位相サーボ方式では、データビットのビット長の短化に伴う、磁気記録装置におけるリードチャネルの周波数帯域の周波数の上昇により、そのリードチャネルの周波数の制限からバースト部を構成するパターンもより細線化が求められている。
特許文献３のサーボ方式においても、１つの細長いパターンの幅は１クロック幅に相当すると記載されており、細線化は避けられない。
【００１４】
一方で、既述のように、マスター担体やインプリントモールドなどにおいては、凹凸パターンとしてサーボパターンを担持するため、サーボパターンとしては、複雑でないパターンが望まれる。
【００１５】
すなわち、従来の振幅サーボや位相サーボ方式のバーストパターンは、凹凸パターンとしてサーボパターンを担持する転写用担体を用いた磁気記録媒体の作製に、不都合となりつつある。
【００１６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたのであって、パターン形成が容易であり、かつより簡易なアルゴリズムによるサーボ制御が可能であり、トラッキングサーボの精度を向上させることが可能なサーボパターンを備えた磁気記録媒体およびその磁気記録媒体を備えた磁気記録装置を提供することを目的とするものである。また、磁気記録媒体にそのサーボパターンを形成するための凹凸パターンを備えたインプリントモールドおよび磁気転写用マスター担体などの転写用担体を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明の磁気記録媒体は、磁気記録媒体のサーボパターン中のバーストパターンから得られる信号の積分値に基づいて、該磁気記録媒体における磁気ヘッドの半径方向走査位置を検出するサーボ方式を採用する磁気記録装置において使用される、前記サーボパターンを備えた磁気記録媒体であって、
前記バーストパターンに含まれるバーストが、クロストラック方向にダウントラック方向長さが略直線的に増加する形状を有する、複数のデータトラックに亘って形成されてなる１つの第１の信号領域と、該第１の信号領域のダウントラック方向に隣接して設けられた１つまたは２つの第２の信号領域とからなる、前記第１の信号領域のダウントラック方向最大長を一辺とする矩形領域からなるものであり、
該バーストが、前記クロストラック方向に複数配列されていることを特徴とするものである。
【００１８】
ここで、クロストラック方向とは、トラック番号が増える（＋）向きおよび減る（−）向き（ディスク径の内径向きおよび外径向き）いずれをも含むものであり、従って、「クロストラック方向にダウントラック方向長さが略直線的に増加する」とは、クロストラック方向のいずれかの向きにダウントラック方向長さが略直線的に増加していればよい。
また、ここで第１の信号領域のダウントラック方向最大長とは、第１の信号領域が存在するダウントラック方向の最大長さをいうものとする。
第１の信号領域と第２の信号領域とは互いに異なる磁性状態を示す領域であり、互いに異なる磁化状態を有する領域であってもよいし、磁性領域と非磁性領域とからなるものであってもよい。
【００１９】
前記形状は、前記複数のデータトラックに跨って延びる、前記ダウントラック方向および前記クロストラック方向と交差する第１の辺と、前記複数のデータトラックに跨って延びる、前記第１の辺と平行でない第２の辺とを有するものであることが望ましい。ここで、辺は線分（直線）を意味するものである。
【００２０】
また、前記バーストは、前記ダウントラック方向に複数配列されていることが望ましい。さらに、このとき、前記ダウントラック方向に隣り合って配列されているバーストが、前記形状が前記クロストラック方向にずれて配置されていることが特に望ましい。
【００２１】
本発明の磁気記録装置は、本発明の磁気記録媒体を搭載しているものであることを特徴とする。
【００２２】
本発明の磁気記録装置は、磁気記録媒体のサーボパターン中のバーストパターンから得られる信号の積分値に基づいて、該磁気記録媒体における磁気ヘッドの半径方向走査位置を検出するサーボ方式を採用するものであり、予め各トラック毎のオントラック時のバースト信号値情報を記憶する記憶部と、該バースト信号値と、磁気ヘッドにより前記磁気記録媒体を走査して得られたバーストからの信号積分値とを比較する比較部とを備え、該比較に基づいてオフトラック量を求め、前記磁気ヘッドの位置制御を行うものである。
【００２３】
本発明の転写用担体は、本発明の磁気記録媒体のサーボパターンを形成するための転写用サーボパターンを凹凸パターンとして表面に備えた転写用担体であって、
前記転写用サーボパターンが、前記磁気記録媒体における前記バーストの前記第１の信号領域に対応する、クロストラック方向にダウントラック方向長さが徐々に増加する平面形状を有する、前記磁気記録媒体上における複数のデータトラックに亘って形成された凹部または凸部を含むことを特徴とするものである。
【００２４】
ここで、転写用担体としては、一様な磁性層を有する磁気記録媒体に磁気転写により磁化パターンを形成するための磁気転写用マスター担体、ディスクリートトラックメディアやビットパターンメディアなどのパターンドメディアを作製する際に、各パターンドメディア用の凹凸パターン形状を転写形成するための反転凹凸パターンを備えたインプリントモールドなどが挙げられる。
【００２５】
なお、転写用担体が磁気転写用マスター担体である場合、サーボパターンに応じた凹凸パターンが基板表面に形成されていれば、その凹凸パターン表面に沿って磁性層が形成されてなるもののほか、凹凸パターンの凸部表面にのみ磁性層が設けられ凹部が非磁性体材料により埋め込まれて表面が平坦化されているもの、凹凸パターンの凹部のみに磁性層が埋め込まれ表面が平坦化されているものであってもよい。
【００２６】
また、転写用担体がディスクリートメディア用のインプリントモールドである場合、サーボパターンに応じた凹凸パターンに加えて、グルーブを形成するための凹凸を表面に備えたものとなる。転写用担体がビットパターンメディア用のインプリントモールドである場合、サーボパターンに応じた凹凸パターンに加えて、独立したビットを構成するための凹凸を表面に備えたものとなる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の磁気記録媒体は、サーボパターン中のバーストパターンが、クロストラック方向にダウントラック方向長さが徐々に増加する形状を有する、複数のデータトラックに亘って形成された第１の信号領域を有するバーストを含むものとなっており、このようなバーストパターンは、バーストにおける信号の積分からオフトラック量を換算することができるため、Ｓｉｎ波形に基づいてオフトラック量を求める従来の方式とは異なり磁気記録装置におけるリードチャネルの周波数制限を受けない。周波数制限による細線化の必要がなく、またバーストは複数のデータトラックに亘る形状を有し、最低１対の＋／−の信号領域（１つの第１の信号領域と１つの第２の信号領域）から構成することができるため、サーボ領域を従来と比較して小さくすることができ、相対的にデータ領域を増加させることが可能となり、磁気記録媒体の記録密度向上を図ることができる。
【００２８】
パターンの微細化を抑制することができるので、凹凸パターンとしてサーボパターンを担持する転写用担体を用いた磁気記録媒体の作製に好適であり、サーボパターンを高精度に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る磁気記録媒体のセクタ構造を示す平面概念図
【図２】図１の部分Ａの拡大図
【図３】第２のバーストパターンを示す模式図
【図４】第３のバーストパターンを示す模式図
【図５】第４のバーストパターンを示す模式図
【図６】バーストの変形例
【図７】第５のバーストパターンを示す模式図
【図８】第６のバーストパターンを示す模式図
【図９】ダウントラック方向における符号付バースト信号の出力積分値の検出例を示す図
【図１０】本発明の第２の実施形態に係る磁気記録媒体の一部を拡大した模式図
【図１１】本発明の第３の実施形態に係る磁気記録媒体の一部を拡大した模式図
【図１２】（Ａ）本発明の第１の実施形態に係る転写用担体（磁気転写用マスター担体）の平面概念図と（Ｂ）その一部の拡大図
【図１３】磁気転写方法の工程図
【図１４】本発明の第２の実施形態に係る転写用担体（ナノインプリントモールド）の一部を示す拡大図
【図１５】インプリント法の工程図
【図１６】本発明の磁気記録媒体を収容してなる磁気記録再生装置の概略構成を示す図
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００３１】
＜第１の実施形態の磁気記録媒体＞
図１は、本発明の第１の実施形態に係る磁気記録媒体１のセクタ構造を示す平面概念図である。本実施形態の磁気記録媒体１は、平面基板上に一様に磁気記録層が設けられてなる磁気ディスク媒体である。図２は図１における部分Ａを拡大した図である。なお、図中、ディスク表面において、ディスクの周方向（ダウントラック方向）をＸ軸、半径方向（クロストラック方向）をＹ軸としている。
【００３２】
図１に示すように、磁気ディスク媒体１上には、データ領域１１とサーボ領域１２とが周方向に交互に配置されている。すなわち、同心円状のトラック内において、サーボ領域１２が断続的に配置され、データ領域１１はサーボ領域１２間に配置されている。
【００３３】
データ領域１１は、磁気記録装置の磁気ヘッドによってユーザデータを書き込み可能な領域である。
サーボ領域１２は、磁気ヘッドによるサーボトラッキングを行うためのサーボ情報が磁化パターンとして記録されている領域である。
【００３４】
図２は、図１における部分Ａを拡大した図であり、複数トラック１０１〜１０６の一部を示すものである。サーボ領域１２には、再生信号のクロックを同期させるための情報が記録されたプリアンブル部１２ａ、サーボ信号認識コード、セクタ情報、シリンダ情報などが形成されたアドレス部１２ｂ、および位置誤差を検出するためのバーストパターンが形成されたバースト部１２ｃからなるサーボパターンが設けられている。サーボ領域１２においては、斜線で示した領域と白抜き領域（非斜線領域）とでは逆極性の磁区が形成されている。例えば、垂直磁気記録媒体においては、斜線領域表面がＳ極であれば白抜き領域表面がＮ極であり、斜線領域表面がＮ極であれば白抜き領域表面がＳ極である。
【００３５】
本実施形態においては、バーストパターンが従前の磁気ディスクにおけるパターンと大きく異なる。図２に示すように、本実施形態の磁気記録媒体１におけるバーストは、２点鎖線で囲まれている矩形領域からなり、複数のデータトラックに跨って延びる、ダウントラック方向Ｘおよびクロストラック方向Ｙと交差する第１の辺２１ａと、複数のデータトラックに跨って延びる、第１の辺２１ａと平行でない第２の辺２１ｂとを有する、クロストラック方向にダウントラック方向長さが徐々に増加する三角形状（斜線領域）の１つの第１の信号領域２１と、該第１の信号領域２１と組み合わされて上述の矩形領域を構成する三角形状（非斜線領域）の１つの第２の信号領域１９とから構成されている。ここで、第１の信号領域２１においてダウントラック方向長さとは、同一クロストラック方向位置（同一半径方向位置）における第１の辺２１ａと第２の辺２１ｂとの距離である。本実施形態において、第１の信号領域２１のダウントラック方向最大長Ｌ１は、三角形状の底辺２１ｃに相当する。バースト２０の矩形領域は、この第１の信号領域２１のダウントラック方向最大長Ｌ１の長さのダウントラック方向に平行な２辺を有するものである。バースト２０の幅は４〜３２クロックであることが好ましい。
【００３６】
なお、図中のバースト２０を示す二点鎖線は仮想線であり、第２の信号領域１９とバースト２０を囲む領域とは同一磁化領域であるため、２点鎖線で示す第２の信号領域１９と周囲領域との境界は、実際には視覚的に区別できるものではない。以下の実施形態において同様である。
【００３７】
現実的には第２の信号領域１９中に三角形状の第１の信号領域２１が設けられているにすぎず、ここでは、その、第１の信号領域２１を含む仮想的な矩形領域をバースト２０と規定している。
なお、本磁気記録媒体が搭載される磁気記録装置あるいは磁気記録再生装置において、磁気記録ヘッドを用いたトラッキングサーボ時において、バースト２０はバースト部における最小サンプリングウィンドウ領域に相当する。
【００３８】
バースト部１２ｃには、バースト２０（現実的には三角形状の第１の信号領域２１）が、クロストラック方向に配列されてなる第１のバースト列２２と、この第１のバースト列２２のダウントラック側に、第１のバースト列２２のバースト２０間における不連続部分をカバーできるように、すなわちクロストラック方向における第１の信号領域２１間の隣接部が存在するトラックにおけるＰＥＳ信号をカバーできるように一定のオフセットを加えたクロストラック方向位置に三角形状の第１の信号領域２１が配置された第２のバースト列２３とが設けられている。なお、バーストパターンは、第１のバースト列２２および第２のバースト列２３がそれぞれダウントラック方向に複数回繰り返し配列されてなるものであってもよい。
【００３９】
プレアンブル周期をＴとした場合、従来の振幅サーボのためのフォーバーストにおけるバーストは１サーボトラック幅、１／２〜１Ｔ程度微細パターンの繰り返しであるが、本実施形態のバーストの第１の信号領域２１は、複数サーボトラック幅、ダウントラック方向に数Ｔ〜１０Ｔ長程度と大きな領域を占めるものである。
【００４０】
図２に示すバースト２０の第１の信号領域２１は、直角三角形状であり、その辺２１ｂがクロストラック方向に沿うように、かつ斜辺２１ａがクロストラック方向およびダウントラック方向と交わるように配置されており、クロストラック方向に（例えばトラック１０１から１０３にかけて）、そのダウントラック方向長さが徐々に増加する。すなわち、直角三角形の第１の信号領域２１は、クロストラック方向に徐々に各トラックにおいて占める面積が徐々に増加するように配置されている。
【００４１】
このように、バースト２０においてクロストラック方向に第１の信号領域２１が占める線分長さが徐々に変化しているので、磁気ヘッドが辺２１ｂから直角三角形の底辺２１ｃの長さ分（バースト２０のダウントラック方向長さ分）走査したときに検出される符号付信号出力の積算値（走査した長方形内の斜線部分と非斜線部分の面積の差分に相当）からオフトラック量を求めることができる。互いに異なる極性の磁区が形成されている第１および第２の信号領域からは、例えば、第１の信号領域から＋の信号、第２の信号領域から−の信号が得られる。このとき、バースト２０のクロストラック方向に沿った一辺から対向する他辺までを磁気ヘッドが走査した際の信号の積算値を、各トラックにおけるオントラックにおいて出力されるべき信号値と比較することにより、オフトラック量を求めることができる。このようなトラッキングサーボを行うために、本磁気記録媒体を搭載する磁気記録装置は、各トラック毎のオントラックにおける信号値情報を備えた記憶部と、信号値と測定された積算信号値（積分値）とを比較する比較部とを備えればよい。
【００４２】
クロストラック方向の配列における第１の信号領域２１同士の隣接箇所、例えば、第１のバースト列２２における、第１の信号領域２１のクロストラック方向におけるつなぎ目となるトラック１０４においては、第１の信号領域２１が占める線分長さの変化が不連続となることから、第１のバースト列２２からのオフトラック量の検出が困難である。
【００４３】
そこで、少なくともトラック１０４における位置信号は、第２のバースト列２３のバースト２０から取得できるように、第２のバースト列２３は、第１のバースト列２２のバーストの隣接箇所が位置するトラックにおいて、第２のバースト列の第１の信号領域２１が、そのダウントラック方向長さがクロストラック方向に徐々に変化する部分が位置するように第１のバースト列に対してクロストラック方向にずれて配置されている。
【００４４】
本実施形態のサーボパターンにおいては、トラック１０１−１０２を第１のバースト列２２、トラック１０３−１０４を第２のバースト列２３、トラック１０５−１０６を第１のバースト列２２・・と２トラック毎にＰＥＳ信号を取得するバースト列を切り替えるようにすることができる。バースト列切り替え時には、ＰＥＳ信号の不連続性が生じるが、従来のフォーバーストの際には、トラック毎に２箇所程度生じていた不連続性を本実施形態のバーストパターンにおいては、２トラックに１箇所程度に抑制することができる。また、ここでは、バーストが４トラックに跨るものであるが、より多くのトラック（例えば、８トラック、１６トラックなど）に亘って連続的にダウントラック長が変化する形状とすれば、ＰＥＳ信号を取得するバースト列の切り替えを４トラック毎、８トラック毎などとすることができ、不連続性の発生をより低減することができる。
【００４５】
（バーストパターンの他の例）
ここで、本発明の磁気記録媒体におけるバーストパターンの他の例を図３〜図８を参照して説明する。各図において、左端の符号１０１、１０２・・・はトラック番号を示している。
【００４６】
バーストパターンとしては、図３に第２のバーストパターン２４として示すように、三角形状の第１の信号領域２１が、すなわちバースト２０がクロストラック方向に複数配列されてなる第１のバースト列のみであってもよい。ただし、上述のとおり、第１の信号領域２１間の不連続部分における位置制御の精度が十分なものとならない恐れがあることから、図２のように、不連続部分をカバーする第２のバースト列２３が設けられていることが望ましい。
【００４７】
また、図４に示す第３のバーストパターン２５のように、第１のバースト列２２を構成する第１のバースト２０と第２のバースト列２３とを構成する第２のバースト２０’との大きさが異なっていてもよい。第２のバースト列２３は第１のバースト列２２の不連続箇所をカバーできればよいので、少なくともトラック１０４、１０８・・等の第１のバースト列２２の第１の信号領域２１の隣接部が位置するトラックにおける位置信号を、第２のバースト列２３の第１の信号領域２１’から取得できるように、第２のバースト列２３の第１の信号領域２１’が、少なくとも第１のバースト列２２の第１の信号領域２１の隣接部が位置するトラックの幅方向全域においてそのダウントラック方向長さがクロストラック方向に徐々に変化する部分が位置するように、第１のバースト列に対してクロストラック方向にずれて配置されていればよい。したがって、さらには第１のバースト列２２と第２のバースト列２３とを構成するバースト２０、２０’の第１の信号領域の形状が互いに異なるものであってもよい。
【００４８】
また、図５に第４のバーストパターン２６として示すように、第２のバースト列２３において、バースト２０の第１の信号領域２１が第１のバースト列２２とは左右対称に配置されていてもよい。
【００４９】
バーストにおける第１の信号領域の形状は、直角三角形に限るものではなく、クロストラック方向にダウントラック方向長さが徐々に増加する形状を有する、複数のデータトラックに亘って形成されたものであればよい。
【００５０】
図６（Ａ）に示すように、バースト３０は、略直角三角形状の第１の信号領域３１と第２の信号領域２９とからなる矩形状であり、第１の信号領域がそのトラックを横切る辺３１ａが微細な階段状に形成されていてもよい。段差がデータトラック幅の１／２以下程度であれば、磁気ヘッドによる信号読み取りの際に、信号が平均化されて、ほぼ直線の場合と同等の信号が検出されると考えられる。バースト３０は、第１の信号領域３１のダウントラック方向最大長Ｌ２の長さのダウントラック方向に平行な辺を有している。
【００５１】
また、図６（Ｂ）に示すように、バースト３５における第１の信号領域３２は、複数のデータトラックに跨って延びる２つの辺３２ａ、３２ｂが互いに平行でなければ、そのバースト３５の第１の信号領域３２のデータトラック方向長さはダウントラック方向に徐々に変化するものとなるので、直角三角形状でなくてもよい。このとき、バースト３５は、１つの第１の信号領域３２と、そのダウントラック方向の上流側および下流側に配置された２つの第２の信号領域３４ａ、３４ｂとから構成される矩形領域である。このバースト３５において、第１の信号領域３２のダウントラック方向最大長は、第１の信号領域３２が存在するダウントラック方向領域の長さＬ３である。
【００５２】
同様に、図６（Ｃ）に示すように、バースト３８における第１の信号領域３３は二等辺三角形であってもよい。ここでは、バースト３８は、１つの第１の信号領域３３と、そのダウントラック方向の上流側および下流側に隣接配置された２つの第２の信号領域３７ａ、３７ｂとから構成される矩形領域である。このバースト３８において、第１の信号領域３３のダウントラック方向最大長は、第１の信号領域３３の底辺の長さＬ4である。
【００５３】
いずれのバースト３０、３５、３７においても、第１の信号領域と第２の信号領域との占有面積がダウントラック方向に徐々に直線的に変化することから、磁気ヘッド走査により信号積算値を得、そのオントラック時の信号値との差からオフトラック量を得ることができる。
【００５４】
さらに、図７に第５のバーストパターン２７として示すように、バーストパターン２７は、二等辺三角形状の第１の信号領域３３、３３’をトラック方向に互いの一辺３３ｃが重なりひし形を構成するように配置し、このひし形がクロストラック方向に繰り返し配置されていてもよい。第５のバーストパターン２７において、第１のバースト３８は、二等辺三角形状の第１の信号領域３３と、それに隣接する第２の信号領域３７ａ、３７ｂからなり、この第１のバースト３８と、第１の信号領域３３’とそれに隣接する第２の信号領域３７ａ’、３７ｂ’とからなる第２のバースト３８’クロストラック方向に互い違いに配置されている。
【００５５】
第１のバースト３８の第１の信号領域３３は、クロストラック方向＋（正）の向き（トラック番号が増える向き）に徐々にそのダウントラック方向長さが増加する二等辺三角形状であり、第２のバースト３８’の第１の信号領域３３’は、クロストラック方向−（負）の向き（トラック番号が減る向き）に徐々にそのダウントラック方向長さが増加する二等辺三角形状である。
【００５６】
また、ダウントラック方向長さが徐々に増加する形状は、第１の信号領域の一部に含まれていればよく、図８に第６のバーストパターン２８として示すように、バースト４０の第１の信号領域３６の形状としては、直角三角形の鋭角がカットされたような形状であってもよい。このようなバースト４０の第１の信号領域３６においても、辺３６ａ、３６ｂにより、複数のトラック（例えば、トラック１０１−１０３）に亘ってその辺３６ａ、３６ｂ間の距離（ダウントラック方向長さ）が徐々に変化する形状が構成されている。ここでは、バースト４０は、１つの第１の信号領域３６と、そのダウントラック方向の上流側および下流側に隣接配置された２つの第２の信号領域３９ａ、３９ｂとから構成される矩形領域である。このバースト４０において、第１の信号領域３６のダウントラック方向最大長は、その底辺の長さＬ５である。
【００５７】
また上記各パターンにおいては、クロストラック方向に配列されたバーストは隣接バーストとそれぞれ接触するように配置されているが、クロストラック方向におけるバースト間は離間していてもよい（図１０、図１１参照。）。
【００５８】
図２のバーストの直角三角形の底辺２１ｃの長さ（ダウントラック方向長さ）をプレアンブル周期の８倍、辺２１ａの長さ（クロストラック方向長さ）をサーボトラック幅の４倍としたときの符号付きバースト信号の積分値の検出例（実験結果）を図９に示す。図９において、横軸はサーボトラック番号、縦軸は出力積分値である。図９に示されているように、第１のバースト列２２、第２のバースト列２３からの出力が交互に直線的な部分（図中の破線および実線で示す直線部）を有していることがわかる。この直線部分を用いて位置誤差を検出するように、図９に示す例では、２トラック毎に第１のバースト列、第２のバースト列からのＰＥＳ信号を切り替えて用いればよい。この直線的に変化する出力は、第１の信号領域のダウントラック方向長さが直線的に変化することに起因するものである。
【００５９】
図２に示したバーストパターンを備えた磁気記録媒体においては、前述のように、磁気ヘッドが辺２１ｂから直角三角形の底辺２１ｃの長さＬ１分走査したときに検出される符号付信号出力の積算値（出力積分値）からオフトラック量を求めることができる。上述の通り、オントラック時の信号値情報として、オントラック時の信号値そのもの、もしくは出力積分値の直線の傾きに関する情報を取得しておき、オントラック時の信号値と、磁気ヘッド走査により得られた出力積分値とを比較することにより、オフトラック量を演算することができ、このように、クロストラック方向に直線的に変化する出力積分値を用いることにより、トラッキングサーボのアルゴリズムを簡易なものとすることが可能となる。
【００６０】
一方、実際のアプリケーションでは、プレアンブル（Preamble）から取得した基準クロック（Clock）とバーストの開始時刻との間に僅かな位相ずれ（Clockの半分以下）が生じるため、辺２１ｂから辺２１ａまでの区間を完全に正確な開始タイミングで測定することは困難であり、バースト部のディジタルサンプリング開始タイミングが辺２１ｂより遅れた場合、それはオフトラック量の誤検出となりトラッキング精度を低下させてしまう恐れがある。
【００６１】
オフトラック量の誤検出を回避する第１の方法としては、バーストの配置とディジタルサンプリングのタイミングを変える方法がある。具体的には、バーストの両側にタイミング誤差を吸収するために、１クロック幅以上の同一極性の矩形領域を確保すればよい。バーストの両側の極性が同じであれば構わないため、実際には、図２中、２点鎖線で囲まれたバースト２０の両側に白い領域（第２の信号領域と同一の信号となる領域）を確保しておけばよい。そして、ディジタルサンプリングの開始時刻を、バースト２０のクロストラック方向の第１の辺２１ｂより１クロックだけ早め、測定終了時刻をクロストラック方向の第２の辺２１ｄより１クロック遅らせる。これによって確実に測定ウィンドウの中にバースト領域を確保できるためタイミング誤差の影響をキャンセルすることが可能になる。また、これによって、両側矩形領域部分に相当するバースト信号の積算値へのオフセットが発生するが、このオフセットはオフトラック量に依存しない一定量であるためファームウェアやパラメーターの事前設定で対応可能である。
【００６２】
オフトラック量の誤検出を回避する第２の方法は、図７のバースト３８の第１の信号領域３３のようにトラックを横切る２本の境界線の両方がトラックを垂直に横切らない形状を用いて、三角形の底辺３３ｃ付近以外では境界線が２本ともサンプリングウィンドウ（バースト３８内）に入るようにする方法である。この場合、第１の方法で必要とされるタイミング誤差を吸収するための領域の設置は不要となる。
【００６３】
＜第２の実施形態の磁気記録媒体＞
図１０は、本発明の第２の実施形態に係る磁気記録媒体２のトラック１０１−１１１の一部を模式的に示す拡大図である。本実施形態の磁気記録媒体２は、データ領域において、隣接するトラック間が非磁性体５５により分離されてなるディスクリートトラックメディア（ＤＴＭ）である。
【００６４】
ＤＴＭ２においても第１の実施形態の磁気記録媒体１と同様に、データ領域１１とサーボ領域１２とが周方向に交互に配置されている。
【００６５】
図１０に示すように、ＤＴＭ２はそのデータ領域１１において、トラック間に非磁性体５５が設けられてトラック同士は分離されている。この非磁性体５５が設けられている領域は、空隙であってもよく、空隙の場合には所謂グルーブと呼ばれる溝となって隣接トラックを分離する。
ＤＴＭ２におけるサーボ領域は、サーボ情報が予め凹凸パターンとして記録された領域である。少なくとも凸部表面は磁性体により形成されている。
【００６６】
サーボ領域のバースト部１２ｃには、複数のデータトラックに跨って延びる、ダウントラック方向Ｘおよびクロストラック方向Ｙと交差する第１の辺５１ａと、複数のデータトラックに跨って延びる、第１の辺５１ａと平行でない第２の辺５１ｂとを有する、クロストラック方向にダウントラック方向長さが徐々に増加する形状の１つの第１の信号領域５１と、そのダウントラック方向に隣接して設けられた２つの第２の信号領域５７ａ、５７ｂとから構成されたバースト５６が複数設けられている。
【００６７】
本実施形態において、第１の信号領域５１は、二等辺三角形の角部が切り取られた多角形状を有している。また、本実施形態においては、バースト５６がクロストラック方向に１トラック分離間して配列されてなる第１のバースト列５２と、この第１のバースト列５２のダウントラック側に、第１のバースト列５２のバースト５６間における不連続部分（例えば、図１０においてトラック１０５−１０７）をカバーできるように、すなわちクロストラック方向におけるバースト５６間の隣接部が存在するトラックにおけるＰＥＳ信号をカバーできるように一定のオフセットを加えたクロストラック方向位置に配置された第２のバースト列５３とが設けられている。
【００６８】
ＤＴＭ２においては、斜線で示される第１の信号領域５１および非斜線領域である第２の信号領域（白抜き領域）のどちらか一方が、磁性体により構成され、他方が非磁性体により構成される。すなわち、第１の信号領域１が非磁性体で構成されていれば、白抜き領域は所定の磁化を有する磁性体により構成され、第１の信号領域５１が磁性体で構成されていれば、白抜き領域は非磁性体により構成される。ここで、非磁性体領域は空隙であってもよい。すなわち、磁性体領域が非磁性体領域に対して凸状に形成されていてもよい。サーボ領域の磁性体は予め所定の方向に磁化され、磁気ヘッドの走査により、第１の信号領域と第２の信号領域とからは互いに異なる信号が得られる。
【００６９】
第１の実施形態の磁気記録媒体１の場合と同様に、磁気ヘッドが辺５１ｂから二等辺三角形の底辺の長さ分（バースト５６のダウントラック方向長さ分）Ｌ６走査したときに検出される符号付信号出力の積算値（走査した長方形内の斜線部分と非斜線部分の面積の差分に相当）からオフトラック量を求めることができる。
【００７０】
ＤＴＭ２においては、図２〜図８に示したいずれかの平面形状の第１の信号領域を備えたバーストを適用してもよい。
【００７１】
＜第３の実施形態の磁気記録媒体＞
図１１は、本発明の第３の実施形態に係る磁気記録媒体３のトラック１０１−１１１の一部を模式的に示す拡大図である。本実施形態の磁気記録媒体３は、データ領域１１において、多数の磁性ドット６５が物理的に孤立して規則的に配列されてなり、１個の磁性ドット６５に１ビットを記録するビットパターンメディア（ＢＰＭ）である。
【００７２】
ＢＰＭ３においても第１、２の実施形態の磁気記録媒体１、２と同様に、データ領域１１とサーボ領域１２とが周方向に交互に配置されている。
【００７３】
図１１に示すように、ＢＰＭ３はそのデータ領域１１において、磁性ドット６５は非磁性体６６により互いに離間し、孤立している。
ＢＰＭ３におけるサーボ領域は、ＤＴＭ２と同様に、サーボ情報が予め凹凸パターンとして記録された領域である。ここでは、非磁性体に形成された凹部に磁性体が埋め込まれている。
【００７４】
サーボ領域のバースト部１２ｃには、複数のデータトラックに跨って延びる、ダウントラック方向Ｘおよびクロストラック方向Ｙと交差する第１の辺６１ａと、複数のデータトラックに跨って延びる、第１の辺６１ａと平行でない第２の辺６１ｂとを有する、クロストラック方向にダウントラック方向長さが徐々に増加する形状の第１の信号領域６１と、そのダウントラック方向に隣接して設けられた第２の信号領域６８ａ、６８ｂとから構成されたバースト６７が設けられている。
【００７５】
本実施形態において、第１の信号領域６１は、二等辺三角形の角部が切り取られた多角形状を有している。また、本実施形態においては、バースト６７がクロストラック方向に１トラック分離間して配列されてなる第１のバースト列６２と、この第１のバースト列６２のダウントラック側に、第１のバースト列６２のバースト６７間における不連続部分（例えば、図１１においてトラック１０５−１０７）をカバーできるように、すなわちクロストラック方向におけるバースト６７間の隣接部が存在するトラックにおけるＰＥＳ信号をカバーできるように一定のオフセットを加えたクロストラック方向位置に配置された第２のバースト列６３とが設けられている。
【００７６】
ＢＰＭ３においては、非斜線領域（白抜き領域）で示される第２の信号領域が非磁性体により構成されており、斜線で示される第１の信号領域６１は非磁性体に形成された凹部に磁性体が埋め込まれて構成されている。サーボ領域に形成されている、第１の信号領域６１を含む磁性体は予め所定の方向に磁化される。磁化の向きは、１つのバースト６７内においては、一様とするが、バースト毎で異なる向きに磁化されていてもよい。磁気ヘッドの走査により、磁性体の領域と非磁性体の領域とで互いに異なる信号が得られる。
【００７７】
第１、２の実施形態の磁気記録媒体１、２の場合と同様に、磁気ヘッドが辺６１ｂから二等辺三角形の底辺の長さ分（バースト５６のダウントラック方向長さ分）Ｌ７走査したときに検出される符号付信号出力の積算値（走査した長方形内の斜線部分と非斜線部分の面積の差分に相当）からオフトラック量を求めることができる。
【００７８】
ＢＰＭ３においても、図２〜図８に示したいずれかの平面形状の第１の信号領域を備えたバーストを適用してもよい。
【００７９】
以上に説明したように、本発明の磁気ディスク媒体においては、バーストパターンを構成するバーストの第１の信号領域が、複数トラック幅、複数データビット長を有する大きな形状であるため、バーストパターンを転写用凹凸パターンとして担持する転写用担持体に形成される転写用凹凸パターンの個々の凸部もしくは凹部の大きさを大きくすることができる。転写用担持体において、バーストの第１の信号領域に相当する凸部（もしくは凹部）をなるべく大きく、複雑に変化しないパターンとすることができるため、磁気転写用マスター担体、インプリントモールドの作製およびこれらを用いた磁気記録媒体の作製が、より容易にかつ精度よくできる。
【００８０】
＜第１の実施形態の転写用担体（磁気転写用マスター担体）＞
図１２（Ａ）は、本発明の実施形態に係る転写用担体である磁気転写用マスター担体７の平面図であり、図１２（Ｂ）はその部分拡大図である。
図１２（Ａ）に示すように、本実施形態の磁気転写用マスター担体７は、中心孔７０を有する円盤状に形成されており、片面の内周部および外周部を除く円環状領域に、転写すべき情報に応じた微細凹凸パターンを表面に備えている。ここでは、磁気記録媒体１に形成されているサーボ領域１２の磁化パターンを形成するための凹凸パターンを備えている場合について説明する。
【００８１】
磁気転写用マスター担体７は、磁気ディスク媒体１上のサーボ領域１２に相当する、転写用サーボパターンが凹凸パターンとして形成されたサーボ凹凸パターン領域７２を備えているサーボ凹凸パターン領域７２間の領域７１は、磁気ディスク媒体１上のデータ領域１１に相当する。
【００８２】
図１２（Ｂ）は、図１２（Ａ）における部分Ａを拡大した図であり、図２に示す磁気ディスク上の一部領域に対応した領域を示している。サーボ凹凸パターン領域７２には、再生信号のクロックを同期させるための情報が記録されたプリアンブル部７２ａ、サーボ信号認識コード、セクタ情報、シリンダ情報などが形成されたアドレス部７２ｂ、および位置誤差を検出するためのバーストパターン７５が形成されたバースト部７２ｃが設けられている。サーボ凹凸パターン領域７２において、斜線で示した領域が凸部あるいは凹部として形成されている。
【００８３】
図１２（Ｂ）に示すように、本実施形態の磁気転写用マスター担体７における転写用のバーストパターン７５は、複数のデータトラックに跨って延びる、ダウントラック方向Ｘおよびクロストラック方向Ｙと交差する第１の辺７６ａと、複数のデータトラックに跨って延びる、第１の辺７６ａと平行でない第２の辺７６ｂとを有する、クロストラック方向にダウントラック方向長さが徐々に増加する三角形状の上面（もしくは開口）を有する凸部（もしくは凹部）７６から構成されている。ここで、凸部（もしくは凹部）７６のダウントラック方向長さとは、上面（もしくは開口）における同一クロストラック方向位置における第１の辺７６ａと第２の辺７６ｂとの距離である。
【００８４】
図１２に示す転写用バーストパターン７５において凸部（もしくは凹部）７６は、図２に示す磁気ディスク媒体１におけるバースト２０の第１の信号領域２１の配列に対応して配列されている。
【００８５】
磁気転写用マスター担体７においては、磁気ディスク媒体１上における第１の信号領域２１が大きいほど、それに対応して設けられる凸部（もしくは凹部）７６の形状を大きく形成することができ、好ましい。
【００８６】
磁気転写用マスター担体７は、主として、基材７ａとこの基材７ａの表面上に形成される磁性層７ｂとを備える。基材７ａは、その表面に微細凹凸パターンを有し、磁性層７ｂは、微細凹凸パターンの表層に全面に亘って一様に形成されている。本実施形態においては、製造が容易である等の理由により、凹部にも磁性層７ｂが形成されているが、磁性層は凸部の表面に備えられていればよく、凹部には磁性層７ｂはなくてもよい。マスター担体７は、さらに、保護層、潤滑剤層、下地層等を備えていることが好ましい。
【００８７】
（磁気転写用マスター担体の作製方法）
表面が平滑なＳｉ基板上に、電子線レジスト液をスピンコート法等により塗布して、レジスト層を形成し、回転ステージ上でＳｉ基板を回転させながら、サーボ信号に対応して変調した電子ビームを照射し、レジスト層の略全面に所定のパターン、例えば各トラックに回転中心から半径方向に線状に延びるサーボ信号に相当するパターンを描画露光する。
【００８８】
レジスト層を現像処理し、露光（描画）部分を除去して、残ったレジスト層による所望厚さの被覆層をマスクとして反応性イオンエッチングなどにより選択エッチングを行い、レジスト層を除去することにより、凹凸パターンを有する原盤を得る。
【００８９】
次に、原盤の表面に均一厚さに導電層を形成し、その上に、電鋳により所望の厚さの金属（例えば、Ｎｉ）による金属板を積層する。この金属板を原盤から剥離し、原盤から反転した凹凸パターンを有する基材７ａを得る。
【００９０】
次いで、基材７ａの凹凸表面上に磁性層７ｂを形成し、最後に、基材７ａの内径および外径を、所定のサイズに打抜き加工する。以上のプロセスにより、磁性層７ｂが設けられた凹凸パターンを有するマスター担体７を作製することができる。
【００９１】
（磁気転写方法）
次に、上記磁気転写用マスター担体７を用い、基板１ａ上に垂直磁気記録層である磁性層１ｂを有してなる磁気記録媒体１に転写パターンを転写する磁気転写方法について説明する。図１３は磁気転写工程を示す図である。
【００９２】
図１３(Ａ)に示すように、予め磁気ディスク媒体１に初期直流磁界Ｈinをトラック面に垂直な一方向に印加して磁性層１ｂの磁化を初期直流磁化させておく。その後、図１３(Ｂ)に示すように、この磁気ディスク媒体１の磁性層１ｂ側の面とマスター担体７の磁性層７ｂの面とを密着させ、磁気ディスク媒体１のトラック面に垂直な方向に初期直流磁界Ｈinとは逆方向の転写用磁界Ｈduを印加して磁気転写を行う。その結果、図１３(Ｃ)に示すように、転写用磁界がマスター担体７の磁性層７ｂに吸い込まれ、凸部に対応する部分の磁気ディスク媒体１の磁性層１ｂの磁化が反転し、その他の部分の磁化は反転しない結果、磁気ディスク媒体１の磁性層１ｂにはマスター担体７の凹凸パターンに応じた情報（例えばサーボ信号）が磁化パターンとして転写記録される。
【００９３】
＜第２の実施形態の転写用担体（インプリントモールド）＞
本発明の第２の実施形態の転写用担体としてＤＴＭ用のインプリントモールド８について説明する。図１４は、インプリントモールド８の一部を拡大して模式的に示した拡大模式図である。
【００９４】
インプリントモールド８は、磁気転写用マスター担体とほぼ同様の形状を有し、転写すべき情報に応じた微細凹凸パターン表面に備えている。本実施形態において、インプリントモールド８は、ＤＴＭに形成されるサーボパターンおよびグルーブに応じた微細凹凸パターンを表面に備えてなる。
【００９５】
インプリントモールド８は、ＤＴＭ２上のサーボ領域１２に相当する、転写用サーボパターンが凹凸パターンとして形成されたサーボ凹凸パターン領域８２と、ＤＴＭ２上のデータ領域１１に相当する、データトラック間を分離するグルーブに応じた凸部８０が形成されたグルーブパターン領域８１とを備えている。
【００９６】
図１４は、図１０に示すＤＴＭ２の一部領域に対応した領域を示している。サーボ凹凸パターン領域のバースト部８２ｃには、複数のデータトラックに跨って延びる、ダウントラック方向Ｘおよびクロストラック方向Ｙと交差する第１の辺８６ａと、複数のデータトラックに跨って延びる、第１の辺８６ａと平行でない第２の辺８６ｂとを有する、クロストラック方向にダウントラック方向長さが徐々に増加する形状の上面を有する凸部８６から構成された転写用のバーストパターン８５が設けられている。
【００９７】
図１４に示す転写用バーストパターン８５において凸部８６は、図１０に示すＤＴＭ２におけるバーストパターン５０のバーストの第１の信号領域５１の配列に対応して配列されている。
インプリントモールド８においても、磁気転写用マスター担体７の場合と同様に、バーストの第１の信号領域５１が大きいほど、それに対応して設けられる凸部８６の形状を大きく形成することができ、好ましい。
【００９８】
（インプリントモールドの作製方法）
インプリントモールドの作製工程において、その原盤作製は磁気転写用マスター担体の原盤作製工程とほぼ同一である。ただし、電子線描画工程において、サーボ信号に相当するパターンだけでなくデータ領域におけるグルーブに対応するグルーブパターンを描画する。
【００９９】
磁気転写用マスター担体の原盤と同様の方法で、凹凸パターンを有する原盤を得た後、光硬化性樹脂を含有するインプリントレジスト液を塗布してなるインプリントレジスト層が形成された光透過性を有する基板（例えば、石英基板）に対して、原盤を押し当てることにより、原盤に形成された凹凸パターンをインプリントレジスト層に転写する。
【０１００】
インプリントレジスト層に紫外線を照射して転写されたパターンを硬化させる。
その後、転写されたレジストパターンをマスクとして基板をエッチングし、その後レジストを除去し、表面に形成された微細凹凸パターンを備えるインプリントモールド８を得る。
【０１０１】
（インプリントリソグラフィ）
次に、このインプリントモールド８を用いて、ＤＴＭ２を作製する方法を説明する。
図１５に示すように、磁性層２ｂおよびインプリントレジスト層２ｃが被覆された基板２ａに対して、このインプリントレジスト層２ｃに、インプリントモールド８の微細凹凸パターンを押し当て、加圧することにより、インプリントモールド８の凹凸パターンがインプリントレジスト層２ｃに転写される。
【０１０２】
その後、凹凸パターンが形成されたインプリントレジスト層２ｃをマスクとして、ＲＩＥエッチングなどにより磁性層２ｂをエッチングし、磁性層２ｂに凹凸パターンを形成し、凹部に非磁性材料を埋め込み、表面を平坦化した後、必要に応じて、保護膜などを形成してＤＴＭ２を得る。
【０１０３】
なお、上記ではＤＴＭの製造について説明したが、ＢＰＭも同様の工程で製造することができる。
【０１０４】
以上説明したインプリントモールドおよびインプリントモールドを用いたディスクリートトラックメディアの製造方法は一例であり、本発明の上述の作製方法に限るものではない。
【０１０５】
磁気転写用マスター担体、インプリントモールドのように凹凸パターンによりサーボ情報を担持する転写用担体を用いてサーボ情報記録済みの磁気記録媒体を作製する場合、本発明の磁気記録媒体に記録されているようなバーストを備えたバーストパターンに対応する凹凸パターンは、比較的大きな凸部または凹部により構成されるものとなるため転写用担体の作製が容易になる。特に、図８、図１０等に示した、鋭角を含まないバーストから構成されたバーストパターン、図１０、図１１等に示した、バーストを隣接バーストと離間して配置したバーストパターンなどが、凹凸パターンの転写により磁気記録媒体のサーボパターンを形成するインプリント法においては好適である。
【０１０６】
＜磁気記録装置＞
図１６は、本発明の磁気記録媒体の実施形態の磁気ディスク媒体１を備えた磁気記録装置の一実施形態を示す概略構成図である。磁気記録媒体として、ＤＴＭ、ＢＰＭを備えたものであってもよい。
【０１０７】
本実施形態の磁気記録装置は、上述の磁気記録媒体１と、該磁気記録媒体１を収容する筐体１１０と回路基板１２０とを備えてなる。
上述した磁気記録媒体１のバーストパターンからトラッキングサーボを行うために、磁気記録装置は、各トラック毎のオントラックにおける信号値情報を予め備えた記憶部と、この記憶部に記憶された信号値と磁気ヘッドの走査により得られた積算信号値（積分値）とを比較する比較部とを有し、これらは回路基板１２０内に備えられる。
【０１０８】
筐体１１０は、磁気ディスク媒体１、スピンドルモータ（ＳＰＭ）１１２、磁気ヘッド１１３、ボイス・コイル・モータ（ＶＣＭ）（図示せず）を含んでなるアクチュエータ１１５、ヘッドジンバル組立体１１８、キャリッジアーム１１６、シャフト１１９、ヘッドアンプ１１７等を密封して搭載する。磁気ディスク媒体１はＳＰＭ１１２に装着されている。磁気ヘッド１１３は、磁気ディスク媒体１に磁気情報を記録する記録（ライト）素子（図示せず）、磁気ディスク媒体１に記録された磁気情報を電気信号として取り出す働きを有する再生（リード）素子（図示せず）を含むものである。ヘッドジンバル組立体１１８の磁気ヘッド１１３が搭載されていない端部はキャリッジアーム１１６の先端に固定されている。キャリッジアーム１１６は、ＶＣＭによりシャフト１１９を回転軸にして揺動駆動することができる。磁気ヘッド１１３はこの揺動駆動により磁気ディスク媒体１上を概ね径方向に走査することができる。磁気ヘッド１１３が磁気ディスク媒体１上の所望のデータトラックに位置決めされることにより、磁気ヘッド１１３は磁気ディスク媒体１上のデータトラックに情報を書き込む、あるいは磁気ディスク媒体１から情報を読み取ることができる。ヘッドアンプ１１７は、記録信号１２３を元に磁気ヘッド１１３に搭載される記録素子に電流を流して磁気ディスク媒体１に記録を行う、あるいは、磁気ヘッド１１３の再生素子が検出した磁気ディスク媒体１の磁化情報を再生信号１２４として変換する働きを担っている。
【０１０９】
回路基板１２０は、リードチャネル１２６、マイクロ・プロセッシング・ユニット（ＭＰＵ）１２５、スピンドルモータ（ＳＰＭ）ドライバ１２１、ボイス・コイル・モータ（ＶＣＭ）ドライバ１２２、ディスクコントローラ１２７等を含む。リードチャネル１２６は、ヘッドアンプ１１７からの再生信号１２４（サーボ信号あるいはデータ信号）を解読してデジタル情報に変換する、あるいは、ディスクコントローラ１２７から記録指示された情報を、ヘッドアンプ１１７を駆動するための記録信号１２３に変換する働きを担う。
【０１１０】
ＭＰＵ１２５は、リードチャネル１２６が解読したサーボ信号のデジタル情報（サーボ情報）を元に、ＶＣＭドライバ１２２を駆動して磁気ヘッド１１３の位置決め制御をおこなう、あるいは、ＳＰＭドライバ１２１を駆動して磁気ディスク媒体１の回転制御を行う。このＭＰＵ１２５は、サーボバーストに基づく位置制御に際し、図示しない記憶部から所望トラックのオントラック時の信号値を読み出し、該信号値と磁気ヘッド１１３が磁気ディスクのバーストパターンのバーストから取得した信号積分値とを比較する比較部を内包するものであり、トラッキングサーボを担うものである。
【０１１１】
ディスクコントローラ１２７は、ホストコンピュータ１２８から記録再生命令によって、ＭＰＵ１２５に磁気ヘッド１１３の位置決め指示をし、磁気ヘッド１１３の磁気ディスク媒体１へのアドレッシングを行う働きを担う。また、ディスクコントローラ１２７は、リードチャネル１２６に記録再生するデジタル情報の送受信を行なって、結果をホストコンピュータ１２８へ返す動作を行う働きを担う。
【０１１２】
磁気ディスク媒体１を回転させた状態において、サーボ領域１２に含まれるサーボパターンを構成する磁化パターンからの再生信号から磁気ヘッド１１３の位置情報を得る。得られた磁気ヘッド１１３から出力信号をもとに、磁気ヘッド１１３はトラックに対して位置決めされ、データ領域１１の所望の位置に情報を記録することができる。
【０１１３】
本磁気記録装置は、連続性の高いバーストからなるバーストパターンを有する磁気ディスク媒体を備えているので、精度の高いＰＥＳ信号を得て、精度よくトラッキングサーボを行うことができる。
【符号の説明】
【０１１４】
１ 磁気記録媒体（磁気ディスク媒体）
２ 磁気記録媒体（ＤＴＭ）
３ 磁気記録媒体（ＢＰＭ）
７ 転写用担体（磁気転写用マスター担体）
８ 転写用担体（インプリントモールド）
１１ データ領域
１２ サーボ領域
１２ｃ バースト部
１９ バーストの第２の信号領域
２０ バースト
２１ バーストの第１の信号領域
２２ 第１のバースト列
２３ 第２のバースト列
Ｘ ダウントラック方向
Ｙ クロストラック方向
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気記録媒体に関し、特にトラッキングサーボのためのサーボ信号を備えてなる磁気記録媒体および磁気記録装置、ならびに磁気記録媒体にサーボ信号を転写するための転写パターンを凹凸パターンとして備えた転写用担体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気記録再生装置は、小型でかつ大容量を実現するために、記録密度の高密度化の傾向にあり、特に、代表的な磁気記憶装置であるハードディスクドライブの分野では、技術の進歩が急激である。
【０００３】
記録密度の高密度化に伴い、ハードディスクにおいては、狭トラック化が進められている。また、記録密度のさらなる高密度化の要請から、隣接するデータトラックを溝（グルーブ）からなるグルーブパターン（ガードバンド）で分離し、隣接トラック間の磁気的干渉を低減するようにしたディスクリートトラックメディア（ＤＴＭ）や単磁区を構成する磁性体（単磁区微粒子）が物理的に孤立して規則的に配列されてなり、単磁区微粒子１個に１ビットを記録するビットパターンメディア（ＢＰＭ）などが注目されている。
【０００４】
狭いトラック幅において正確に磁気ヘッドを走査させて高いＳ／Ｎ比で信号を再生するために、いわゆるトラッキングサーボ技術が大きな役割を担っている。このトラッキングサーボとしては、セクターサーボ方式が広く採用されている。
【０００５】
セクターサーボ方式とは、磁気ディスク等の磁気記録媒体のデータ面に、一定角度等で配列されたサーボフィールドに、トラックのアドレス情報信号、再生クロック信号、細かい位置制御のためのバーストパターン等のサーボ情報を記録しておき、磁気ヘッドが、このサーボフィールドを走査してサーボ情報を読み取り自らの位置を確認しつつ修正する方式である。
【０００６】
従来の磁気記録媒体へのサーボ情報（サーボパターン）の記録方法としては、磁気記録媒体（スレーブ媒体）に転写すべき情報に応じた凹凸パターンからなる転写パターンを有するマスター単体を用い、このマスター担体と磁気記録媒体とを密着させた状態で、記録用磁界を印加することにより、マスター担体の凹凸パターンにより記録されているサーボ情報に対応する磁化パターンを磁気記録媒体に磁気的に転写する方法が知られている。
【０００７】
また、一方、ＤＴＭ、ＢＰＭのようなパターンドメディアへのサーボ情報の記録方法としては、転写すべき情報に応じた凹凸パターンを備えたインプリントモールドを用い、インプリントリソグラフィ法等によりそのグルーブパターン、ビットパターンの形成時に同時にサーボパターンを凹凸パターンとして形成する方法が提案されている。
【０００８】
特許文献１に記載されているように、バーストパターンとして、Ａ〜Ｄまでの４つのバーストビット列を含む振幅サーボパターン、あるいは位相サーボパターンがよく知られている。
【０００９】
振幅サーボパターンから得られる位置誤差信号（Position Error Signal：ＰＥＳ）においては、Ａ−Ｂバーストからの信号とＣ−Ｄバーストからの信号との切り替え時の不連続点がトラック毎に２箇所（６４ＰＥＳ、１９２ＰＥＳにおいて）生じる（特許文献２参照）。また、Ｓｉｎ波の振幅を検出するために、ある同一のバーストビットが複数回繰り返し配置されていることを要する。
【００１０】
また、位相サーボパターンにおいては、複数のトラックに跨ってほぼ半径方向に延びる平行なパターンが形成されており、不連続点は振幅サーボパターンと比べて少なくなるが、位置誤差信号としてＳｉｎ波の位相を検出するために、やはり同一のパターンが繰りかえし配置されていることを要し、さらに逆位相のパターンを備える必要がある。
【００１１】
また、特許文献３には、ヘッドを走査する際に測定される周波数がダウントラック方向に変化するように、円周方向に沿うサーボパターンの長さが連続的に変化する複数のトラックを横断する細長いパターンが提案されている。特許文献３には、原理的には、細長いパターンが少なくとも２本あればよいが、安定したトラッキングを実現するためには、現実的には、サーボパターンの幅が８０クロック分程度は必要であると記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００８−２７６９１１号公報
【特許文献２】特開２００７−２１３７４５号公報
【特許文献３】特開２００３−３２３７７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
狭トラック化に伴って、サーボフィールドに形成されるパターンの個々の領域の微細化も進んでいる。バースト部から得られるＳｉｎ波形の振幅や位相情報を元にオフトラック量を求める振幅サーボや位相サーボ方式では、データビットのビット長の短化に伴う、磁気記録装置におけるリードチャネルの周波数帯域の周波数の上昇により、そのリードチャネルの周波数の制限からバースト部を構成するパターンもより細線化が求められている。
特許文献３のサーボ方式においても、１つの細長いパターンの幅は１クロック幅に相当すると記載されており、細線化は避けられない。
【００１４】
一方で、既述のように、マスター担体やインプリントモールドなどにおいては、凹凸パターンとしてサーボパターンを担持するため、サーボパターンとしては、複雑でないパターンが望まれる。
【００１５】
すなわち、従来の振幅サーボや位相サーボ方式のバーストパターンは、凹凸パターンとしてサーボパターンを担持する転写用担体を用いた磁気記録媒体の作製に、不都合となりつつある。
【００１６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたのであって、パターン形成が容易であり、かつより簡易なアルゴリズムによるサーボ制御が可能であり、トラッキングサーボの精度を向上させることが可能なサーボパターンを備えた磁気記録媒体およびその磁気記録媒体を備えた磁気記録装置を提供することを目的とするものである。また、磁気記録媒体にそのサーボパターンを形成するための凹凸パターンを備えたインプリントモールドおよび磁気転写用マスター担体などの転写用担体を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明の磁気記録媒体は、磁気記録媒体のサーボパターン中のバーストパターンから得られる信号の積分値に基づいて、該磁気記録媒体における磁気ヘッドの半径方向走査位置を検出するサーボ方式を採用する磁気記録装置において使用される、前記サーボパターンを備えた磁気記録媒体であって、
前記バーストパターンに含まれるバーストが、クロストラック方向にダウントラック方向長さが略直線的に増加する形状を有する、複数のデータトラックに亘って形成されてなる１つの第１の信号領域と、該第１の信号領域のダウントラック方向に隣接して設けられた１つまたは２つの第２の信号領域とからなる、前記第１の信号領域のダウントラック方向最大長を一辺とする矩形領域からなるものであり、
該バーストが、前記クロストラック方向に複数配列されていることを特徴とするものである。
【００１８】
ここで、クロストラック方向とは、トラック番号が増える（＋）向きおよび減る（−）向き（ディスク径の内径向きおよび外径向き）いずれをも含むものであり、従って、「クロストラック方向にダウントラック方向長さが略直線的に増加する」とは、クロストラック方向のいずれかの向きにダウントラック方向長さが略直線的に増加していればよい。
また、ここで第１の信号領域のダウントラック方向最大長とは、第１の信号領域が存在するダウントラック方向の最大長さをいうものとする。
第１の信号領域と第２の信号領域とは互いに異なる磁性状態を示す領域であり、互いに異なる磁化状態を有する領域であってもよいし、磁性領域と非磁性領域とからなるものであってもよい。
【００１９】
前記形状は、前記複数のデータトラックに跨って延びる、前記ダウントラック方向および前記クロストラック方向と交差する第１の辺と、前記複数のデータトラックに跨って延びる、前記第１の辺と平行でない第２の辺とを有するものであることが望ましい。ここで、辺は線分（直線）を意味するものである。
【００２０】
また、前記バーストは、前記ダウントラック方向に複数配列されていることが望ましい。さらに、このとき、前記ダウントラック方向に隣り合って配列されているバーストが、前記形状が前記クロストラック方向にずれて配置されていることが特に望ましい。
【００２１】
本発明の磁気記録装置は、本発明の磁気記録媒体を搭載しているものであることを特徴とする。
【００２２】
本発明の磁気記録装置は、磁気記録媒体のサーボパターン中のバーストパターンから得られる信号の積分値に基づいて、該磁気記録媒体における磁気ヘッドの半径方向走査位置を検出するサーボ方式を採用するものであり、予め各トラック毎のオントラック時のバースト信号値情報を記憶する記憶部と、該バースト信号値と、磁気ヘッドにより前記磁気記録媒体を走査して得られたバーストからの信号積分値とを比較する比較部とを備え、該比較に基づいてオフトラック量を求め、前記磁気ヘッドの位置制御を行うものである。
【００２３】
本発明の転写用担体は、本発明の磁気記録媒体のサーボパターンを形成するための転写用サーボパターンを凹凸パターンとして表面に備えた転写用担体であって、
前記転写用サーボパターンが、前記磁気記録媒体における前記バーストの前記第１の信号領域に対応する、クロストラック方向にダウントラック方向長さが徐々に増加する平面形状を有する、前記磁気記録媒体上における複数のデータトラックに亘って形成された凹部または凸部を含むことを特徴とするものである。
【００２４】
ここで、転写用担体としては、一様な磁性層を有する磁気記録媒体に磁気転写により磁化パターンを形成するための磁気転写用マスター担体、ディスクリートトラックメディアやビットパターンメディアなどのパターンドメディアを作製する際に、各パターンドメディア用の凹凸パターン形状を転写形成するための反転凹凸パターンを備えたインプリントモールドなどが挙げられる。
【００２５】
なお、転写用担体が磁気転写用マスター担体である場合、サーボパターンに応じた凹凸パターンが基板表面に形成されていれば、その凹凸パターン表面に沿って磁性層が形成されてなるもののほか、凹凸パターンの凸部表面にのみ磁性層が設けられ凹部が非磁性体材料により埋め込まれて表面が平坦化されているもの、凹凸パターンの凹部のみに磁性層が埋め込まれ表面が平坦化されているものであってもよい。
【００２６】
また、転写用担体がディスクリートメディア用のインプリントモールドである場合、サーボパターンに応じた凹凸パターンに加えて、グルーブを形成するための凹凸を表面に備えたものとなる。転写用担体がビットパターンメディア用のインプリントモールドである場合、サーボパターンに応じた凹凸パターンに加えて、独立したビットを構成するための凹凸を表面に備えたものとなる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の磁気記録媒体は、サーボパターン中のバーストパターンが、クロストラック方向にダウントラック方向長さが徐々に増加する形状を有する、複数のデータトラックに亘って形成された第１の信号領域を有するバーストを含むものとなっており、このようなバーストパターンは、バーストにおける信号の積分からオフトラック量を換算することができるため、Ｓｉｎ波形に基づいてオフトラック量を求める従来の方式とは異なり磁気記録装置におけるリードチャネルの周波数制限を受けない。周波数制限による細線化の必要がなく、またバーストは複数のデータトラックに亘る形状を有し、最低１対の＋／−の信号領域（１つの第１の信号領域と１つの第２の信号領域）から構成することができるため、サーボ領域を従来と比較して小さくすることができ、相対的にデータ領域を増加させることが可能となり、磁気記録媒体の記録密度向上を図ることができる。
【００２８】
パターンの微細化を抑制することができるので、凹凸パターンとしてサーボパターンを担持する転写用担体を用いた磁気記録媒体の作製に好適であり、サーボパターンを高精度に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る磁気記録媒体のセクタ構造を示す平面概念図
【図２】図１の部分Ａの拡大図
【図３】第２のバーストパターンを示す模式図
【図４】第３のバーストパターンを示す模式図
【図５】第４のバーストパターンを示す模式図
【図６】バーストの変形例
【図７】第５のバーストパターンを示す模式図
【図８】第６のバーストパターンを示す模式図
【図９】ダウントラック方向における符号付バースト信号の出力積分値の検出例を示す図
【図１０】本発明の第２の実施形態に係る磁気記録媒体の一部を拡大した模式図
【図１１】本発明の第３の実施形態に係る磁気記録媒体の一部を拡大した模式図
【図１２】（Ａ）本発明の第１の実施形態に係る転写用担体（磁気転写用マスター担体）の平面概念図と（Ｂ）その一部の拡大図
【図１３】磁気転写方法の工程図
【図１４】本発明の第２の実施形態に係る転写用担体（ナノインプリントモールド）の一部を示す拡大図
【図１５】インプリント法の工程図
【図１６】本発明の磁気記録媒体を収容してなる磁気記録再生装置の概略構成を示す図
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００３１】
＜第１の実施形態の磁気記録媒体＞
図１は、本発明の第１の実施形態に係る磁気記録媒体１のセクタ構造を示す平面概念図である。本実施形態の磁気記録媒体１は、平面基板上に一様に磁気記録層が設けられてなる磁気ディスク媒体である。図２は図１における部分Ａを拡大した図である。なお、図中、ディスク表面において、ディスクの周方向（ダウントラック方向）をＸ軸、半径方向（クロストラック方向）をＹ軸としている。
【００３２】
図１に示すように、磁気ディスク媒体１上には、データ領域１１とサーボ領域１２とが周方向に交互に配置されている。すなわち、同心円状のトラック内において、サーボ領域１２が断続的に配置され、データ領域１１はサーボ領域１２間に配置されている。
【００３３】
データ領域１１は、磁気記録装置の磁気ヘッドによってユーザデータを書き込み可能な領域である。
サーボ領域１２は、磁気ヘッドによるサーボトラッキングを行うためのサーボ情報が磁化パターンとして記録されている領域である。
【００３４】
図２は、図１における部分Ａを拡大した図であり、複数トラック１０１〜１０６の一部を示すものである。サーボ領域１２には、再生信号のクロックを同期させるための情報が記録されたプリアンブル部１２ａ、サーボ信号認識コード、セクタ情報、シリンダ情報などが形成されたアドレス部１２ｂ、および位置誤差を検出するためのバーストパターンが形成されたバースト部１２ｃからなるサーボパターンが設けられている。サーボ領域１２においては、斜線で示した領域と白抜き領域（非斜線領域）とでは逆極性の磁区が形成されている。例えば、垂直磁気記録媒体においては、斜線領域表面がＳ極であれば白抜き領域表面がＮ極であり、斜線領域表面がＮ極であれば白抜き領域表面がＳ極である。
【００３５】
本実施形態においては、バーストパターンが従前の磁気ディスクにおけるパターンと大きく異なる。図２に示すように、本実施形態の磁気記録媒体１におけるバーストは、２点鎖線で囲まれている矩形領域からなり、複数のデータトラックに跨って延びる、ダウントラック方向Ｘおよびクロストラック方向Ｙと交差する第１の辺２１ａと、複数のデータトラックに跨って延びる、第１の辺２１ａと平行でない第２の辺２１ｂとを有する、クロストラック方向にダウントラック方向長さが徐々に増加する三角形状（斜線領域）の１つの第１の信号領域２１と、該第１の信号領域２１と組み合わされて上述の矩形領域を構成する三角形状（非斜線領域）の１つの第２の信号領域１９とから構成されている。ここで、第１の信号領域２１においてダウントラック方向長さとは、同一クロストラック方向位置（同一半径方向位置）における第１の辺２１ａと第２の辺２１ｂとの距離である。本実施形態において、第１の信号領域２１のダウントラック方向最大長Ｌ１は、三角形状の底辺２１ｃに相当する。バースト２０の矩形領域は、この第１の信号領域２１のダウントラック方向最大長Ｌ１の長さのダウントラック方向に平行な２辺を有するものである。バースト２０の幅は４〜３２クロックであることが好ましい。
【００３６】
なお、図中のバースト２０を示す二点鎖線は仮想線であり、第２の信号領域１９とバースト２０を囲む領域とは同一磁化領域であるため、２点鎖線で示す第２の信号領域１９と周囲領域との境界は、実際には視覚的に区別できるものではない。以下の実施形態において同様である。
【００３７】
現実的には第２の信号領域１９中に三角形状の第１の信号領域２１が設けられているにすぎず、ここでは、その、第１の信号領域２１を含む仮想的な矩形領域をバースト２０と規定している。
なお、本磁気記録媒体が搭載される磁気記録装置あるいは磁気記録再生装置において、磁気記録ヘッドを用いたトラッキングサーボ時において、バースト２０はバースト部における最小サンプリングウィンドウ領域に相当する。
【００３８】
バースト部１２ｃには、バースト２０（現実的には三角形状の第１の信号領域２１）が、クロストラック方向に配列されてなる第１のバースト列２２と、この第１のバースト列２２のダウントラック側に、第１のバースト列２２のバースト２０間における不連続部分をカバーできるように、すなわちクロストラック方向における第１の信号領域２１間の隣接部が存在するトラックにおけるＰＥＳ信号をカバーできるように一定のオフセットを加えたクロストラック方向位置に三角形状の第１の信号領域２１が配置された第２のバースト列２３とが設けられている。なお、バーストパターンは、第１のバースト列２２および第２のバースト列２３がそれぞれダウントラック方向に複数回繰り返し配列されてなるものであってもよい。
【００３９】
プレアンブル周期をＴとした場合、従来の振幅サーボのためのフォーバーストにおけるバーストは１サーボトラック幅、１／２〜１Ｔ程度微細パターンの繰り返しであるが、本実施形態のバーストの第１の信号領域２１は、複数サーボトラック幅、ダウントラック方向に数Ｔ〜１０Ｔ長程度と大きな領域を占めるものである。
【００４０】
図２に示すバースト２０の第１の信号領域２１は、直角三角形状であり、その辺２１ｂがクロストラック方向に沿うように、かつ斜辺２１ａがクロストラック方向およびダウントラック方向と交わるように配置されており、クロストラック方向に（例えばトラック１０１から１０３にかけて）、そのダウントラック方向長さが徐々に増加する。すなわち、直角三角形の第１の信号領域２１は、クロストラック方向に徐々に各トラックにおいて占める面積が徐々に増加するように配置されている。
【００４１】
このように、バースト２０においてクロストラック方向に第１の信号領域２１が占める線分長さが徐々に変化しているので、磁気ヘッドが辺２１ｂから直角三角形の底辺２１ｃの長さ分（バースト２０のダウントラック方向長さ分）走査したときに検出される符号付信号出力の積算値（走査した長方形内の斜線部分と非斜線部分の面積の差分に相当）からオフトラック量を求めることができる。互いに異なる極性の磁区が形成されている第１および第２の信号領域からは、例えば、第１の信号領域から＋の信号、第２の信号領域から−の信号が得られる。このとき、バースト２０のクロストラック方向に沿った一辺から対向する他辺までを磁気ヘッドが走査した際の信号の積算値を、各トラックにおけるオントラックにおいて出力されるべき信号値と比較することにより、オフトラック量を求めることができる。このようなトラッキングサーボを行うために、本磁気記録媒体を搭載する磁気記録装置は、各トラック毎のオントラックにおける信号値情報を備えた記憶部と、信号値と測定された積算信号値（積分値）とを比較する比較部とを備えればよい。
【００４２】
クロストラック方向の配列における第１の信号領域２１同士の隣接箇所、例えば、第１のバースト列２２における、第１の信号領域２１のクロストラック方向におけるつなぎ目となるトラック１０４においては、第１の信号領域２１が占める線分長さの変化が不連続となることから、第１のバースト列２２からのオフトラック量の検出が困難である。
【００４３】
そこで、少なくともトラック１０４における位置信号は、第２のバースト列２３のバースト２０から取得できるように、第２のバースト列２３は、第１のバースト列２２のバーストの隣接箇所が位置するトラックにおいて、第２のバースト列の第１の信号領域２１が、そのダウントラック方向長さがクロストラック方向に徐々に変化する部分が位置するように第１のバースト列に対してクロストラック方向にずれて配置されている。
【００４４】
本実施形態のサーボパターンにおいては、トラック１０１−１０２を第１のバースト列２２、トラック１０３−１０４を第２のバースト列２３、トラック１０５−１０６を第１のバースト列２２・・と２トラック毎にＰＥＳ信号を取得するバースト列を切り替えるようにすることができる。バースト列切り替え時には、ＰＥＳ信号の不連続性が生じるが、従来のフォーバーストの際には、トラック毎に２箇所程度生じていた不連続性を本実施形態のバーストパターンにおいては、２トラックに１箇所程度に抑制することができる。また、ここでは、バーストが４トラックに跨るものであるが、より多くのトラック（例えば、８トラック、１６トラックなど）に亘って連続的にダウントラック長が変化する形状とすれば、ＰＥＳ信号を取得するバースト列の切り替えを４トラック毎、８トラック毎などとすることができ、不連続性の発生をより低減することができる。
【００４５】
（バーストパターンの他の例）
ここで、本発明の磁気記録媒体におけるバーストパターンの他の例を図３〜図８を参照して説明する。各図において、左端の符号１０１、１０２・・・はトラック番号を示している。
【００４６】
バーストパターンとしては、図３に第２のバーストパターン２４として示すように、三角形状の第１の信号領域２１が、すなわちバースト２０がクロストラック方向に複数配列されてなる第１のバースト列のみであってもよい。ただし、上述のとおり、第１の信号領域２１間の不連続部分における位置制御の精度が十分なものとならない恐れがあることから、図２のように、不連続部分をカバーする第２のバースト列２３が設けられていることが望ましい。
【００４７】
また、図４に示す第３のバーストパターン２５のように、第１のバースト列２２を構成する第１のバースト２０と第２のバースト列２３とを構成する第２のバースト２０’との大きさが異なっていてもよい。第２のバースト列２３は第１のバースト列２２の不連続箇所をカバーできればよいので、少なくともトラック１０４、１０８・・等の第１のバースト列２２の第１の信号領域２１の隣接部が位置するトラックにおける位置信号を、第２のバースト列２３の第１の信号領域２１’から取得できるように、第２のバースト列２３の第１の信号領域２１’が、少なくとも第１のバースト列２２の第１の信号領域２１の隣接部が位置するトラックの幅方向全域においてそのダウントラック方向長さがクロストラック方向に徐々に変化する部分が位置するように、第１のバースト列に対してクロストラック方向にずれて配置されていればよい。したがって、さらには第１のバースト列２２と第２のバースト列２３とを構成するバースト２０、２０’の第１の信号領域の形状が互いに異なるものであってもよい。
【００４８】
また、図５に第４のバーストパターン２６として示すように、第２のバースト列２３において、バースト２０の第１の信号領域２１が第１のバースト列２２とは左右対称に配置されていてもよい。
【００４９】
バーストにおける第１の信号領域の形状は、直角三角形に限るものではなく、クロストラック方向にダウントラック方向長さが徐々に増加する形状を有する、複数のデータトラックに亘って形成されたものであればよい。
【００５０】
図６（Ａ）に示すように、バースト３０は、略直角三角形状の第１の信号領域３１と第２の信号領域２９とからなる矩形状であり、第１の信号領域がそのトラックを横切る辺３１ａが微細な階段状に形成されていてもよい。段差がデータトラック幅の１／２以下程度であれば、磁気ヘッドによる信号読み取りの際に、信号が平均化されて、ほぼ直線の場合と同等の信号が検出されると考えられる。バースト３０は、第１の信号領域３１のダウントラック方向最大長Ｌ２の長さのダウントラック方向に平行な辺を有している。
【００５１】
また、図６（Ｂ）に示すように、バースト３５における第１の信号領域３２は、複数のデータトラックに跨って延びる２つの辺３２ａ、３２ｂが互いに平行でなければ、そのバースト３５の第１の信号領域３２のデータトラック方向長さはダウントラック方向に徐々に変化するものとなるので、直角三角形状でなくてもよい。このとき、バースト３５は、１つの第１の信号領域３２と、そのダウントラック方向の上流側および下流側に配置された２つの第２の信号領域３４ａ、３４ｂとから構成される矩形領域である。このバースト３５において、第１の信号領域３２のダウントラック方向最大長は、第１の信号領域３２が存在するダウントラック方向領域の長さＬ３である。
【００５２】
同様に、図６（Ｃ）に示すように、バースト３８における第１の信号領域３３は二等辺三角形であってもよい。ここでは、バースト３８は、１つの第１の信号領域３３と、そのダウントラック方向の上流側および下流側に隣接配置された２つの第２の信号領域３７ａ、３７ｂとから構成される矩形領域である。このバースト３８において、第１の信号領域３３のダウントラック方向最大長は、第１の信号領域３３の底辺の長さＬ4である。
【００５３】
いずれのバースト３０、３５、３７においても、第１の信号領域と第２の信号領域との占有面積がダウントラック方向に徐々に直線的に変化することから、磁気ヘッド走査により信号積算値を得、そのオントラック時の信号値との差からオフトラック量を得ることができる。
【００５４】
さらに、図７に第５のバーストパターン２７として示すように、バーストパターン２７は、二等辺三角形状の第１の信号領域３３、３３’をトラック方向に互いの一辺３３ｃが重なりひし形を構成するように配置し、このひし形がクロストラック方向に繰り返し配置されていてもよい。第５のバーストパターン２７において、第１のバースト３８は、二等辺三角形状の第１の信号領域３３と、それに隣接する第２の信号領域３７ａ、３７ｂからなり、この第１のバースト３８と、第１の信号領域３３’とそれに隣接する第２の信号領域３７ａ’、３７ｂ’とからなる第２のバースト３８’クロストラック方向に互い違いに配置されている。
【００５５】
第１のバースト３８の第１の信号領域３３は、クロストラック方向＋（正）の向き（トラック番号が増える向き）に徐々にそのダウントラック方向長さが増加する二等辺三角形状であり、第２のバースト３８’の第１の信号領域３３’は、クロストラック方向−（負）の向き（トラック番号が減る向き）に徐々にそのダウントラック方向長さが増加する二等辺三角形状である。
【００５６】
また、ダウントラック方向長さが徐々に増加する形状は、第１の信号領域の一部に含まれていればよく、図８に第６のバーストパターン２８として示すように、バースト４０の第１の信号領域３６の形状としては、直角三角形の鋭角がカットされたような形状であってもよい。このようなバースト４０の第１の信号領域３６においても、辺３６ａ、３６ｂにより、複数のトラック（例えば、トラック１０１−１０３）に亘ってその辺３６ａ、３６ｂ間の距離（ダウントラック方向長さ）が徐々に変化する形状が構成されている。ここでは、バースト４０は、１つの第１の信号領域３６と、そのダウントラック方向の上流側および下流側に隣接配置された２つの第２の信号領域３９ａ、３９ｂとから構成される矩形領域である。このバースト４０において、第１の信号領域３６のダウントラック方向最大長は、その底辺の長さＬ５である。
【００５７】
また上記各パターンにおいては、クロストラック方向に配列されたバーストは隣接バーストとそれぞれ接触するように配置されているが、クロストラック方向におけるバースト間は離間していてもよい（図１０、図１１参照。）。
【００５８】
図２のバーストの直角三角形の底辺２１ｃの長さ（ダウントラック方向長さ）をプレアンブル周期の８倍、辺２１ａの長さ（クロストラック方向長さ）をサーボトラック幅の４倍としたときの符号付きバースト信号の積分値の検出例（実験結果）を図９に示す。図９において、横軸はサーボトラック番号、縦軸は出力積分値である。図９に示されているように、第１のバースト列２２、第２のバースト列２３からの出力が交互に直線的な部分（図中の破線および実線で示す直線部）を有していることがわかる。この直線部分を用いて位置誤差を検出するように、図９に示す例では、２トラック毎に第１のバースト列、第２のバースト列からのＰＥＳ信号を切り替えて用いればよい。この直線的に変化する出力は、第１の信号領域のダウントラック方向長さが直線的に変化することに起因するものである。
【００５９】
図２に示したバーストパターンを備えた磁気記録媒体においては、前述のように、磁気ヘッドが辺２１ｂから直角三角形の底辺２１ｃの長さＬ１分走査したときに検出される符号付信号出力の積算値（出力積分値）からオフトラック量を求めることができる。上述の通り、オントラック時の信号値情報として、オントラック時の信号値そのもの、もしくは出力積分値の直線の傾きに関する情報を取得しておき、オントラック時の信号値と、磁気ヘッド走査により得られた出力積分値とを比較することにより、オフトラック量を演算することができ、このように、クロストラック方向に直線的に変化する出力積分値を用いることにより、トラッキングサーボのアルゴリズムを簡易なものとすることが可能となる。
【００６０】
一方、実際のアプリケーションでは、プレアンブル（Preamble）から取得した基準クロック（Clock）とバーストの開始時刻との間に僅かな位相ずれ（Clockの半分以下）が生じるため、辺２１ｂから辺２１ａまでの区間を完全に正確な開始タイミングで測定することは困難であり、バースト部のディジタルサンプリング開始タイミングが辺２１ｂより遅れた場合、それはオフトラック量の誤検出となりトラッキング精度を低下させてしまう恐れがある。
【００６１】
オフトラック量の誤検出を回避する第１の方法としては、バーストの配置とディジタルサンプリングのタイミングを変える方法がある。具体的には、バーストの両側にタイミング誤差を吸収するために、１クロック幅以上の同一極性の矩形領域を確保すればよい。バーストの両側の極性が同じであれば構わないため、実際には、図２中、２点鎖線で囲まれたバースト２０の両側に白い領域（第２の信号領域と同一の信号となる領域）を確保しておけばよい。そして、ディジタルサンプリングの開始時刻を、バースト２０のクロストラック方向の第１の辺２１ｂより１クロックだけ早め、測定終了時刻をクロストラック方向の第２の辺２１ｄより１クロック遅らせる。これによって確実に測定ウィンドウの中にバースト領域を確保できるためタイミング誤差の影響をキャンセルすることが可能になる。また、これによって、両側矩形領域部分に相当するバースト信号の積算値へのオフセットが発生するが、このオフセットはオフトラック量に依存しない一定量であるためファームウェアやパラメーターの事前設定で対応可能である。
【００６２】
オフトラック量の誤検出を回避する第２の方法は、図７のバースト３８の第１の信号領域３３のようにトラックを横切る２本の境界線の両方がトラックを垂直に横切らない形状を用いて、三角形の底辺３３ｃ付近以外では境界線が２本ともサンプリングウィンドウ（バースト３８内）に入るようにする方法である。この場合、第１の方法で必要とされるタイミング誤差を吸収するための領域の設置は不要となる。
【００６３】
＜第２の実施形態の磁気記録媒体＞
図１０は、本発明の第２の実施形態に係る磁気記録媒体２のトラック１０１−１１１の一部を模式的に示す拡大図である。本実施形態の磁気記録媒体２は、データ領域において、隣接するトラック間が非磁性体５５により分離されてなるディスクリートトラックメディア（ＤＴＭ）である。
【００６４】
ＤＴＭ２においても第１の実施形態の磁気記録媒体１と同様に、データ領域１１とサーボ領域１２とが周方向に交互に配置されている。
【００６５】
図１０に示すように、ＤＴＭ２はそのデータ領域１１において、トラック間に非磁性体５５が設けられてトラック同士は分離されている。この非磁性体５５が設けられている領域は、空隙であってもよく、空隙の場合には所謂グルーブと呼ばれる溝となって隣接トラックを分離する。
ＤＴＭ２におけるサーボ領域は、サーボ情報が予め凹凸パターンとして記録された領域である。少なくとも凸部表面は磁性体により形成されている。
【００６６】
サーボ領域のバースト部１２ｃには、複数のデータトラックに跨って延びる、ダウントラック方向Ｘおよびクロストラック方向Ｙと交差する第１の辺５１ａと、複数のデータトラックに跨って延びる、第１の辺５１ａと平行でない第２の辺５１ｂとを有する、クロストラック方向にダウントラック方向長さが徐々に増加する形状の１つの第１の信号領域５１と、そのダウントラック方向に隣接して設けられた２つの第２の信号領域５７ａ、５７ｂとから構成されたバースト５６が複数設けられている。
【００６７】
本実施形態において、第１の信号領域５１は、二等辺三角形の角部が切り取られた多角形状を有している。また、本実施形態においては、バースト５６がクロストラック方向に１トラック分離間して配列されてなる第１のバースト列５２と、この第１のバースト列５２のダウントラック側に、第１のバースト列５２のバースト５６間における不連続部分（例えば、図１０においてトラック１０５−１０７）をカバーできるように、すなわちクロストラック方向におけるバースト５６間の隣接部が存在するトラックにおけるＰＥＳ信号をカバーできるように一定のオフセットを加えたクロストラック方向位置に配置された第２のバースト列５３とが設けられている。
【００６８】
ＤＴＭ２においては、斜線で示される第１の信号領域５１および非斜線領域である第２の信号領域（白抜き領域）のどちらか一方が、磁性体により構成され、他方が非磁性体により構成される。すなわち、第１の信号領域１が非磁性体で構成されていれば、白抜き領域は所定の磁化を有する磁性体により構成され、第１の信号領域５１が磁性体で構成されていれば、白抜き領域は非磁性体により構成される。ここで、非磁性体領域は空隙であってもよい。すなわち、磁性体領域が非磁性体領域に対して凸状に形成されていてもよい。サーボ領域の磁性体は予め所定の方向に磁化され、磁気ヘッドの走査により、第１の信号領域と第２の信号領域とからは互いに異なる信号が得られる。
【００６９】
第１の実施形態の磁気記録媒体１の場合と同様に、磁気ヘッドが辺５１ｂから二等辺三角形の底辺の長さ分（バースト５６のダウントラック方向長さ分）Ｌ６走査したときに検出される符号付信号出力の積算値（走査した長方形内の斜線部分と非斜線部分の面積の差分に相当）からオフトラック量を求めることができる。
【００７０】
ＤＴＭ２においては、図２〜図８に示したいずれかの平面形状の第１の信号領域を備えたバーストを適用してもよい。
【００７１】
＜第３の実施形態の磁気記録媒体＞
図１１は、本発明の第３の実施形態に係る磁気記録媒体３のトラック１０１−１１１の一部を模式的に示す拡大図である。本実施形態の磁気記録媒体３は、データ領域１１において、多数の磁性ドット６５が物理的に孤立して規則的に配列されてなり、１個の磁性ドット６５に１ビットを記録するビットパターンメディア（ＢＰＭ）である。
【００７２】
ＢＰＭ３においても第１、２の実施形態の磁気記録媒体１、２と同様に、データ領域１１とサーボ領域１２とが周方向に交互に配置されている。
【００７３】
図１１に示すように、ＢＰＭ３はそのデータ領域１１において、磁性ドット６５は非磁性体６６により互いに離間し、孤立している。
ＢＰＭ３におけるサーボ領域は、ＤＴＭ２と同様に、サーボ情報が予め凹凸パターンとして記録された領域である。ここでは、非磁性体に形成された凹部に磁性体が埋め込まれている。
【００７４】
サーボ領域のバースト部１２ｃには、複数のデータトラックに跨って延びる、ダウントラック方向Ｘおよびクロストラック方向Ｙと交差する第１の辺６１ａと、複数のデータトラックに跨って延びる、第１の辺６１ａと平行でない第２の辺６１ｂとを有する、クロストラック方向にダウントラック方向長さが徐々に増加する形状の第１の信号領域６１と、そのダウントラック方向に隣接して設けられた第２の信号領域６８ａ、６８ｂとから構成されたバースト６７が設けられている。
【００７５】
本実施形態において、第１の信号領域６１は、二等辺三角形の角部が切り取られた多角形状を有している。また、本実施形態においては、バースト６７がクロストラック方向に１トラック分離間して配列されてなる第１のバースト列６２と、この第１のバースト列６２のダウントラック側に、第１のバースト列６２のバースト６７間における不連続部分（例えば、図１１においてトラック１０５−１０７）をカバーできるように、すなわちクロストラック方向におけるバースト６７間の隣接部が存在するトラックにおけるＰＥＳ信号をカバーできるように一定のオフセットを加えたクロストラック方向位置に配置された第２のバースト列６３とが設けられている。
【００７６】
ＢＰＭ３においては、非斜線領域（白抜き領域）で示される第２の信号領域が非磁性体により構成されており、斜線で示される第１の信号領域６１は非磁性体に形成された凹部に磁性体が埋め込まれて構成されている。サーボ領域に形成されている、第１の信号領域６１を含む磁性体は予め所定の方向に磁化される。磁化の向きは、１つのバースト６７内においては、一様とするが、バースト毎で異なる向きに磁化されていてもよい。磁気ヘッドの走査により、磁性体の領域と非磁性体の領域とで互いに異なる信号が得られる。
【００７７】
第１、２の実施形態の磁気記録媒体１、２の場合と同様に、磁気ヘッドが辺６１ｂから二等辺三角形の底辺の長さ分（バースト５６のダウントラック方向長さ分）Ｌ７走査したときに検出される符号付信号出力の積算値（走査した長方形内の斜線部分と非斜線部分の面積の差分に相当）からオフトラック量を求めることができる。
【００７８】
ＢＰＭ３においても、図２〜図８に示したいずれかの平面形状の第１の信号領域を備えたバーストを適用してもよい。
【００７９】
以上に説明したように、本発明の磁気ディスク媒体においては、バーストパターンを構成するバーストの第１の信号領域が、複数トラック幅、複数データビット長を有する大きな形状であるため、バーストパターンを転写用凹凸パターンとして担持する転写用担持体に形成される転写用凹凸パターンの個々の凸部もしくは凹部の大きさを大きくすることができる。転写用担持体において、バーストの第１の信号領域に相当する凸部（もしくは凹部）をなるべく大きく、複雑に変化しないパターンとすることができるため、磁気転写用マスター担体、インプリントモールドの作製およびこれらを用いた磁気記録媒体の作製が、より容易にかつ精度よくできる。
【００８０】
＜第１の実施形態の転写用担体（磁気転写用マスター担体）＞
図１２（Ａ）は、本発明の実施形態に係る転写用担体である磁気転写用マスター担体７の平面図であり、図１２（Ｂ）はその部分拡大図である。
図１２（Ａ）に示すように、本実施形態の磁気転写用マスター担体７は、中心孔７０を有する円盤状に形成されており、片面の内周部および外周部を除く円環状領域に、転写すべき情報に応じた微細凹凸パターンを表面に備えている。ここでは、磁気記録媒体１に形成されているサーボ領域１２の磁化パターンを形成するための凹凸パターンを備えている場合について説明する。
【００８１】
磁気転写用マスター担体７は、磁気ディスク媒体１上のサーボ領域１２に相当する、転写用サーボパターンが凹凸パターンとして形成されたサーボ凹凸パターン領域７２を備えているサーボ凹凸パターン領域７２間の領域７１は、磁気ディスク媒体１上のデータ領域１１に相当する。
【００８２】
図１２（Ｂ）は、図１２（Ａ）における部分Ａを拡大した図であり、図２に示す磁気ディスク上の一部領域に対応した領域を示している。サーボ凹凸パターン領域７２には、再生信号のクロックを同期させるための情報が記録されたプリアンブル部７２ａ、サーボ信号認識コード、セクタ情報、シリンダ情報などが形成されたアドレス部７２ｂ、および位置誤差を検出するためのバーストパターン７５が形成されたバースト部７２ｃが設けられている。サーボ凹凸パターン領域７２において、斜線で示した領域が凸部あるいは凹部として形成されている。
【００８３】
図１２（Ｂ）に示すように、本実施形態の磁気転写用マスター担体７における転写用のバーストパターン７５は、複数のデータトラックに跨って延びる、ダウントラック方向Ｘおよびクロストラック方向Ｙと交差する第１の辺７６ａと、複数のデータトラックに跨って延びる、第１の辺７６ａと平行でない第２の辺７６ｂとを有する、クロストラック方向にダウントラック方向長さが徐々に増加する三角形状の上面（もしくは開口）を有する凸部（もしくは凹部）７６から構成されている。ここで、凸部（もしくは凹部）７６のダウントラック方向長さとは、上面（もしくは開口）における同一クロストラック方向位置における第１の辺７６ａと第２の辺７６ｂとの距離である。
【００８４】
図１２に示す転写用バーストパターン７５において凸部（もしくは凹部）７６は、図２に示す磁気ディスク媒体１におけるバースト２０の第１の信号領域２１の配列に対応して配列されている。
【００８５】
磁気転写用マスター担体７においては、磁気ディスク媒体１上における第１の信号領域２１が大きいほど、それに対応して設けられる凸部（もしくは凹部）７６の形状を大きく形成することができ、好ましい。
【００８６】
磁気転写用マスター担体７は、主として、基材７ａとこの基材７ａの表面上に形成される磁性層７ｂとを備える。基材７ａは、その表面に微細凹凸パターンを有し、磁性層７ｂは、微細凹凸パターンの表層に全面に亘って一様に形成されている。本実施形態においては、製造が容易である等の理由により、凹部にも磁性層７ｂが形成されているが、磁性層は凸部の表面に備えられていればよく、凹部には磁性層７ｂはなくてもよい。マスター担体７は、さらに、保護層、潤滑剤層、下地層等を備えていることが好ましい。
【００８７】
（磁気転写用マスター担体の作製方法）
表面が平滑なＳｉ基板上に、電子線レジスト液をスピンコート法等により塗布して、レジスト層を形成し、回転ステージ上でＳｉ基板を回転させながら、サーボ信号に対応して変調した電子ビームを照射し、レジスト層の略全面に所定のパターン、例えば各トラックに回転中心から半径方向に線状に延びるサーボ信号に相当するパターンを描画露光する。
【００８８】
レジスト層を現像処理し、露光（描画）部分を除去して、残ったレジスト層による所望厚さの被覆層をマスクとして反応性イオンエッチングなどにより選択エッチングを行い、レジスト層を除去することにより、凹凸パターンを有する原盤を得る。
【００８９】
次に、原盤の表面に均一厚さに導電層を形成し、その上に、電鋳により所望の厚さの金属（例えば、Ｎｉ）による金属板を積層する。この金属板を原盤から剥離し、原盤から反転した凹凸パターンを有する基材７ａを得る。
【００９０】
次いで、基材７ａの凹凸表面上に磁性層７ｂを形成し、最後に、基材７ａの内径および外径を、所定のサイズに打抜き加工する。以上のプロセスにより、磁性層７ｂが設けられた凹凸パターンを有するマスター担体７を作製することができる。
【００９１】
（磁気転写方法）
次に、上記磁気転写用マスター担体７を用い、基板１ａ上に垂直磁気記録層である磁性層１ｂを有してなる磁気記録媒体１に転写パターンを転写する磁気転写方法について説明する。図１３は磁気転写工程を示す図である。
【００９２】
図１３(Ａ)に示すように、予め磁気ディスク媒体１に初期直流磁界Ｈinをトラック面に垂直な一方向に印加して磁性層１ｂの磁化を初期直流磁化させておく。その後、図１３(Ｂ)に示すように、この磁気ディスク媒体１の磁性層１ｂ側の面とマスター担体７の磁性層７ｂの面とを密着させ、磁気ディスク媒体１のトラック面に垂直な方向に初期直流磁界Ｈinとは逆方向の転写用磁界Ｈduを印加して磁気転写を行う。その結果、図１３(Ｃ)に示すように、転写用磁界がマスター担体７の磁性層７ｂに吸い込まれ、凸部に対応する部分の磁気ディスク媒体１の磁性層１ｂの磁化が反転し、その他の部分の磁化は反転しない結果、磁気ディスク媒体１の磁性層１ｂにはマスター担体７の凹凸パターンに応じた情報（例えばサーボ信号）が磁化パターンとして転写記録される。
【００９３】
＜第２の実施形態の転写用担体（インプリントモールド）＞
本発明の第２の実施形態の転写用担体としてＤＴＭ用のインプリントモールド８について説明する。図１４は、インプリントモールド８の一部を拡大して模式的に示した拡大模式図である。
【００９４】
インプリントモールド８は、磁気転写用マスター担体とほぼ同様の形状を有し、転写すべき情報に応じた微細凹凸パターン表面に備えている。本実施形態において、インプリントモールド８は、ＤＴＭに形成されるサーボパターンおよびグルーブに応じた微細凹凸パターンを表面に備えてなる。
【００９５】
インプリントモールド８は、ＤＴＭ２上のサーボ領域１２に相当する、転写用サーボパターンが凹凸パターンとして形成されたサーボ凹凸パターン領域８２と、ＤＴＭ２上のデータ領域１１に相当する、データトラック間を分離するグルーブに応じた凸部８０が形成されたグルーブパターン領域８１とを備えている。
【００９６】
図１４は、図１０に示すＤＴＭ２の一部領域に対応した領域を示している。サーボ凹凸パターン領域のバースト部８２ｃには、複数のデータトラックに跨って延びる、ダウントラック方向Ｘおよびクロストラック方向Ｙと交差する第１の辺８６ａと、複数のデータトラックに跨って延びる、第１の辺８６ａと平行でない第２の辺８６ｂとを有する、クロストラック方向にダウントラック方向長さが徐々に増加する形状の上面を有する凸部８６から構成された転写用のバーストパターン８５が設けられている。
【００９７】
図１４に示す転写用バーストパターン８５において凸部８６は、図１０に示すＤＴＭ２におけるバーストパターン５０のバーストの第１の信号領域５１の配列に対応して配列されている。
インプリントモールド８においても、磁気転写用マスター担体７の場合と同様に、バーストの第１の信号領域５１が大きいほど、それに対応して設けられる凸部８６の形状を大きく形成することができ、好ましい。
【００９８】
（インプリントモールドの作製方法）
インプリントモールドの作製工程において、その原盤作製は磁気転写用マスター担体の原盤作製工程とほぼ同一である。ただし、電子線描画工程において、サーボ信号に相当するパターンだけでなくデータ領域におけるグルーブに対応するグルーブパターンを描画する。
【００９９】
磁気転写用マスター担体の原盤と同様の方法で、凹凸パターンを有する原盤を得た後、光硬化性樹脂を含有するインプリントレジスト液を塗布してなるインプリントレジスト層が形成された光透過性を有する基板（例えば、石英基板）に対して、原盤を押し当てることにより、原盤に形成された凹凸パターンをインプリントレジスト層に転写する。
【０１００】
インプリントレジスト層に紫外線を照射して転写されたパターンを硬化させる。
その後、転写されたレジストパターンをマスクとして基板をエッチングし、その後レジストを除去し、表面に形成された微細凹凸パターンを備えるインプリントモールド８を得る。
【０１０１】
（インプリントリソグラフィ）
次に、このインプリントモールド８を用いて、ＤＴＭ２を作製する方法を説明する。
図１５に示すように、磁性層２ｂおよびインプリントレジスト層２ｃが被覆された基板２ａに対して、このインプリントレジスト層２ｃに、インプリントモールド８の微細凹凸パターンを押し当て、加圧することにより、インプリントモールド８の凹凸パターンがインプリントレジスト層２ｃに転写される。
【０１０２】
その後、凹凸パターンが形成されたインプリントレジスト層２ｃをマスクとして、ＲＩＥエッチングなどにより磁性層２ｂをエッチングし、磁性層２ｂに凹凸パターンを形成し、凹部に非磁性材料を埋め込み、表面を平坦化した後、必要に応じて、保護膜などを形成してＤＴＭ２を得る。
【０１０３】
なお、上記ではＤＴＭの製造について説明したが、ＢＰＭも同様の工程で製造することができる。
【０１０４】
以上説明したインプリントモールドおよびインプリントモールドを用いたディスクリートトラックメディアの製造方法は一例であり、本発明の上述の作製方法に限るものではない。
【０１０５】
磁気転写用マスター担体、インプリントモールドのように凹凸パターンによりサーボ情報を担持する転写用担体を用いてサーボ情報記録済みの磁気記録媒体を作製する場合、本発明の磁気記録媒体に記録されているようなバーストを備えたバーストパターンに対応する凹凸パターンは、比較的大きな凸部または凹部により構成されるものとなるため転写用担体の作製が容易になる。特に、図８、図１０等に示した、鋭角を含まないバーストから構成されたバーストパターン、図１０、図１１等に示した、バーストを隣接バーストと離間して配置したバーストパターンなどが、凹凸パターンの転写により磁気記録媒体のサーボパターンを形成するインプリント法においては好適である。
【０１０６】
＜磁気記録装置＞
図１６は、本発明の磁気記録媒体の実施形態の磁気ディスク媒体１を備えた磁気記録装置の一実施形態を示す概略構成図である。磁気記録媒体として、ＤＴＭ、ＢＰＭを備えたものであってもよい。
【０１０７】
本実施形態の磁気記録装置は、上述の磁気記録媒体１と、該磁気記録媒体１を収容する筐体１１０と回路基板１２０とを備えてなる。
上述した磁気記録媒体１のバーストパターンからトラッキングサーボを行うために、磁気記録装置は、各トラック毎のオントラックにおける信号値情報を予め備えた記憶部と、この記憶部に記憶された信号値と磁気ヘッドの走査により得られた積算信号値（積分値）とを比較する比較部とを有し、これらは回路基板１２０内に備えられる。
【０１０８】
筐体１１０は、磁気ディスク媒体１、スピンドルモータ（ＳＰＭ）１１２、磁気ヘッド１１３、ボイス・コイル・モータ（ＶＣＭ）（図示せず）を含んでなるアクチュエータ１１５、ヘッドジンバル組立体１１８、キャリッジアーム１１６、シャフト１１９、ヘッドアンプ１１７等を密封して搭載する。磁気ディスク媒体１はＳＰＭ１１２に装着されている。磁気ヘッド１１３は、磁気ディスク媒体１に磁気情報を記録する記録（ライト）素子（図示せず）、磁気ディスク媒体１に記録された磁気情報を電気信号として取り出す働きを有する再生（リード）素子（図示せず）を含むものである。ヘッドジンバル組立体１１８の磁気ヘッド１１３が搭載されていない端部はキャリッジアーム１１６の先端に固定されている。キャリッジアーム１１６は、ＶＣＭによりシャフト１１９を回転軸にして揺動駆動することができる。磁気ヘッド１１３はこの揺動駆動により磁気ディスク媒体１上を概ね径方向に走査することができる。磁気ヘッド１１３が磁気ディスク媒体１上の所望のデータトラックに位置決めされることにより、磁気ヘッド１１３は磁気ディスク媒体１上のデータトラックに情報を書き込む、あるいは磁気ディスク媒体１から情報を読み取ることができる。ヘッドアンプ１１７は、記録信号１２３を元に磁気ヘッド１１３に搭載される記録素子に電流を流して磁気ディスク媒体１に記録を行う、あるいは、磁気ヘッド１１３の再生素子が検出した磁気ディスク媒体１の磁化情報を再生信号１２４として変換する働きを担っている。
【０１０９】
回路基板１２０は、リードチャネル１２６、マイクロ・プロセッシング・ユニット（ＭＰＵ）１２５、スピンドルモータ（ＳＰＭ）ドライバ１２１、ボイス・コイル・モータ（ＶＣＭ）ドライバ１２２、ディスクコントローラ１２７等を含む。リードチャネル１２６は、ヘッドアンプ１１７からの再生信号１２４（サーボ信号あるいはデータ信号）を解読してデジタル情報に変換する、あるいは、ディスクコントローラ１２７から記録指示された情報を、ヘッドアンプ１１７を駆動するための記録信号１２３に変換する働きを担う。
【０１１０】
ＭＰＵ１２５は、リードチャネル１２６が解読したサーボ信号のデジタル情報（サーボ情報）を元に、ＶＣＭドライバ１２２を駆動して磁気ヘッド１１３の位置決め制御をおこなう、あるいは、ＳＰＭドライバ１２１を駆動して磁気ディスク媒体１の回転制御を行う。このＭＰＵ１２５は、サーボバーストに基づく位置制御に際し、図示しない記憶部から所望トラックのオントラック時の信号値を読み出し、該信号値と磁気ヘッド１１３が磁気ディスクのバーストパターンのバーストから取得した信号積分値とを比較する比較部を内包するものであり、トラッキングサーボを担うものである。
【０１１１】
ディスクコントローラ１２７は、ホストコンピュータ１２８から記録再生命令によって、ＭＰＵ１２５に磁気ヘッド１１３の位置決め指示をし、磁気ヘッド１１３の磁気ディスク媒体１へのアドレッシングを行う働きを担う。また、ディスクコントローラ１２７は、リードチャネル１２６に記録再生するデジタル情報の送受信を行なって、結果をホストコンピュータ１２８へ返す動作を行う働きを担う。
【０１１２】
磁気ディスク媒体１を回転させた状態において、サーボ領域１２に含まれるサーボパターンを構成する磁化パターンからの再生信号から磁気ヘッド１１３の位置情報を得る。得られた磁気ヘッド１１３から出力信号をもとに、磁気ヘッド１１３はトラックに対して位置決めされ、データ領域１１の所望の位置に情報を記録することができる。
【０１１３】
本磁気記録装置は、連続性の高いバーストからなるバーストパターンを有する磁気ディスク媒体を備えているので、精度の高いＰＥＳ信号を得て、精度よくトラッキングサーボを行うことができる。
【符号の説明】
【０１１４】
１ 磁気記録媒体（磁気ディスク媒体）
２ 磁気記録媒体（ＤＴＭ）
３ 磁気記録媒体（ＢＰＭ）
７ 転写用担体（磁気転写用マスター担体）
８ 転写用担体（インプリントモールド）
１１ データ領域
１２ サーボ領域
１２ｃ バースト部
１９ バーストの第２の信号領域
２０ バースト
２１ バーストの第１の信号領域
２２ 第１のバースト列
２３ 第２のバースト列
Ｘ ダウントラック方向
Ｙ クロストラック方向
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録媒体のサーボパターン中のバーストパターンから得られる信号の積分値に基づいて、該磁気記録媒体における磁気ヘッドの半径方向走査位置を検出するサーボ方式を採用する磁気記録装置において使用される、前記サーボパターンを備えた磁気記録媒体であって、
前記バーストパターンに含まれるバーストが、クロストラック方向にダウントラック方向長さが略直線的に増加する形状を有する、複数のデータトラックに亘って形成されてなる１つの第１の信号領域と、該第１の信号領域のダウントラック方向に隣接して設けられた１つまたは２つの第２の信号領域とからなる、前記第１の信号領域のダウントラック方向最大長を一辺とする矩形領域からなるものであり、
該バーストが、前記クロストラック方向に複数配列されていることを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項２】
前記形状が、前記複数のデータトラックに跨って延びる、前記ダウントラック方向および前記クロストラック方向と交差する第１の辺と、前記複数のデータトラックに跨って延びる、前記第１の辺と平行でない第２の辺とを有するものであることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体。
【請求項３】
前記バーストが、前記ダウントラック方向に複数配列されていることを特徴とする請求項１または２記載の磁気記録媒体。
【請求項４】
前記ダウントラック方向に隣り合って配列されているバーストが、前記形状が前記クロストラック方向にずれて配置されていることを特徴とする請求項３記載の磁気記録媒体。
【請求項５】
請求項１から４に記載の磁気記録媒体を搭載していることを特徴とする磁気記録装置。
【請求項６】
請求項１から５いずれか１項記載の磁気記録媒体のサーボパターンを形成するための転写用サーボパターンを凹凸パターンとして表面に備えた転写用担体であって、
前記転写用サーボパターンが、前記磁気記録媒体における前記バーストの前記第１の信号領域に対応する、クロストラック方向にダウントラック方向長さが徐々に増加する平面形状を有する、前記磁気記録媒体上における複数のデータトラックに亘って形成された凹部または凸部を含むことを特徴とする転写用担体。
【請求項１】
磁気記録媒体のサーボパターン中のバーストパターンから得られる信号の積分値に基づいて、該磁気記録媒体における磁気ヘッドの半径方向走査位置を検出するサーボ方式を採用する磁気記録装置において使用される、前記サーボパターンを備えた磁気記録媒体であって、
前記バーストパターンに含まれるバーストが、クロストラック方向にダウントラック方向長さが略直線的に増加する形状を有する、複数のデータトラックに亘って形成されてなる１つの第１の信号領域と、該第１の信号領域のダウントラック方向に隣接して設けられた１つまたは２つの第２の信号領域とからなる、前記第１の信号領域のダウントラック方向最大長を一辺とする矩形領域からなるものであり、
該バーストが、前記クロストラック方向に複数配列されていることを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項２】
前記形状が、前記複数のデータトラックに跨って延びる、前記ダウントラック方向および前記クロストラック方向と交差する第１の辺と、前記複数のデータトラックに跨って延びる、前記第１の辺と平行でない第２の辺とを有するものであることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体。
【請求項３】
前記バーストが、前記ダウントラック方向に複数配列されていることを特徴とする請求項１または２記載の磁気記録媒体。
【請求項４】
前記ダウントラック方向に隣り合って配列されているバーストが、前記形状が前記クロストラック方向にずれて配置されていることを特徴とする請求項３記載の磁気記録媒体。
【請求項５】
請求項１から４に記載の磁気記録媒体を搭載していることを特徴とする磁気記録装置。
【請求項６】
請求項１から５いずれか１項記載の磁気記録媒体のサーボパターンを形成するための転写用サーボパターンを凹凸パターンとして表面に備えた転写用担体であって、
前記転写用サーボパターンが、前記磁気記録媒体における前記バーストの前記第１の信号領域に対応する、クロストラック方向にダウントラック方向長さが徐々に増加する平面形状を有する、前記磁気記録媒体上における複数のデータトラックに亘って形成された凹部または凸部を含むことを特徴とする転写用担体。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【公開番号】特開２０１１−１６５３００（Ｐ２０１１−１６５３００Ａ）
【公開日】平成２３年８月２５日（２０１１．８．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２７５３０７（Ｐ２０１０−２７５３０７）
【出願日】平成２２年１２月１０日（２０１０．１２．１０）
【出願人】（３０６０３７３１１）富士フイルム株式会社 (25,513)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年８月２５日（２０１１．８．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１２月１０日（２０１０．１２．１０）
【出願人】（３０６０３７３１１）富士フイルム株式会社 (25,513)
【Ｆターム（参考）】
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