【課題】ベーキング処理により反応容器内の真空度を短時間で高めることが可能な処理装置を提供する。
【解決手段】被処理基板Ｗが配置される反応容器２と、反応容器２内にガスを導入するガス導入管と、反応容器２内を減圧排気する真空ポンプ１５，１６と、反応容器２の内面に沿って配置されたシールド板３１と、シールド板３１を加熱するベーキングヒータとを備え、ベーキングヒータによりシールド板３１を加熱しながら、真空ポンプ１５，１６により前記反応容器２内を減圧排気する。 （もっと読む）

【課題】独立し、配列された複数の凸部の頂面上に磁性層を形成することにより、記録密度を向上させることができる磁気記録媒体の製造方法、及び磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】基板上に、独立し、配列された複数の凸部を有する凸構造を形成する凸構造形成工程と、凸部の頂面に、熱処理によって強磁性体になる複数の磁性微粒子を付着させる付着工程と、凸部の頂面に付着させた磁性微粒子を熱処理する熱処理工程と、を有する。 （もっと読む）

【目的】正常な凹凸パターンの中間製造部材をできる限り多く製作することができる耐久性の高いスタンパを提供する。
【構成】表面が凹凸状に形成された押圧部１２を有するスタンパＸであって、押圧部１２全体は、Ｔｉの金属層からなり、押圧部１２の表面硬さは、ビッカース硬度３００Ｈｖ以上であることを特徴としている。 （もっと読む）