磁気記録媒体の検査方法、磁気記録媒体の検査装置
【課題】位置決めデータが記録された磁気記録媒体の検査における、単位時間あたりの処理枚数を増加させる。
【解決手段】それぞれにサーボ・パターンが磁気転写された上段媒体１Ａおよび下段媒体１Ｂを同軸中心で回転させ、回転する上段媒体１Ａの第１面および第２面に対するサーティファイ検査と、回転する下段媒体１Ｂの第１面および第２面に対するサーティファイ検査とを連続的に行う。それぞれの検査では、それぞれの面に記録されたサーボ・パターンに基づいてそれぞれに対応する磁気ヘッドの位置決めおよびテスト・データの記録を行い、このテスト・データを再生して得た結果から磁性層の欠陥に起因する不具合を検出する。また、それぞれの検査では、それぞれの面に記録されたサーボ・データを再生して得た結果から、磁気転写の不良に起因する不具合を検出する。
【解決手段】それぞれにサーボ・パターンが磁気転写された上段媒体１Ａおよび下段媒体１Ｂを同軸中心で回転させ、回転する上段媒体１Ａの第１面および第２面に対するサーティファイ検査と、回転する下段媒体１Ｂの第１面および第２面に対するサーティファイ検査とを連続的に行う。それぞれの検査では、それぞれの面に記録されたサーボ・パターンに基づいてそれぞれに対応する磁気ヘッドの位置決めおよびテスト・データの記録を行い、このテスト・データを再生して得た結果から磁性層の欠陥に起因する不具合を検出する。また、それぞれの検査では、それぞれの面に記録されたサーボ・データを再生して得た結果から、磁気転写の不良に起因する不具合を検出する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置決めデータが記録された磁気記録媒体の検査方法および位置決めデータが記録された磁気記録媒体の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハード・ディスク・ドライブ等に代表される磁気記録装置では、回転する磁気記録媒体に対し、磁気ヘッドを用いたデータの書き込みおよび読み取りが行われる。
この種の磁気記録装置では、磁気記録媒体上の目的とする位置に磁気ヘッドを移動させ、且つ、その位置でのデータの書き込みおよび読み取りを行わせるために、磁気ヘッドの位置決めを行っている。このため、磁気記録媒体には、予め、磁気ヘッドによって読み取られるとともに磁気ヘッドの位置決めに使用される位置決めデータが記録されている。
【０００３】
公報記載の従来技術として、磁気記録媒体に対する位置決めデータ等の記録を、所謂磁気転写方式にて行うことが提案されている（特許文献１参照）。また、特許文献１には、磁性層を含む各層が積層された磁気記録媒体に初期磁化を施し、初期磁化が施された磁気記録媒体に、突起を検出するグライド検査およびデータの読み書きによって磁性層の欠陥を検出するサーティファイ検査を行った後、位置決めデータ等を磁気転写にて記録することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２０３３３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、磁気記録媒体の需要が今後さらに増加する傾向にあることを考慮すると、上述したサーティファイ検査についても効率化を図ることが要請されている。そして、位置決めデータ等を記録した磁気記録媒体に対して、その記録データの良否を含めて判断できるサーティファイ検査が求められる。
ここで、位置決めデータが記録されている磁気記録媒体にサーティファイ検査を行う場合、磁気記録媒体に対しデータを読み書きする位置を設定するための位置決め機構を別途設ける必要があり、検査装置の大型化、複雑化、検査効率の低下を招くことになる。
また、磁気記録媒体を１枚ずつサーティファイ検査装置に取り付けて検査を行った場合には、磁気記録媒体の交換に要する期間が長くなり、その点でも検査効率が低下してしまう。
本発明は、位置決めデータが記録された磁気記録媒体の検査における、単位時間あたりの処理枚数を増加させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、両面に位置決めデータが記録された少なくとも２枚の円盤状の磁気記録媒体の検査方法であって、第１の位置決めデータが記録された第１の磁気記録媒体面と、その裏側において第２の位置決めデータが記録された第２の磁気記録媒体面と、第３の位置決めデータが記録された第３の磁気記録媒体面と、その裏側において第４の位置決めデータが記録された第４の磁気記録媒体面とを、同軸中心で回転させる媒体回転工程と、第１の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第１のヘッドと、第２の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第２のヘッドと、第３の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第３のヘッドと、第４の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第４のヘッドとを、同軸中心で一体的に回転させるヘッド駆動工程と、回転する第１の磁気記録媒体面に記録された第１の位置決めデータを第１のヘッドで再生させた結果に基づいて、第１の磁気記録媒体面に対する第１のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた第１のヘッドを用いて第１の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、第１の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第１のヘッドで再生させる第１の記録再生工程と、回転する第２の磁気記録媒体面に記録された第２の位置決めデータを第２のヘッドで再生させた結果に基づいて、第２の磁気記録媒体面に対する第２のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた第２のヘッドを用いて第２の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、第２の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第２のヘッドで再生させる第２の記録再生工程と、回転する第３の磁気記録媒体面に記録された第３の位置決めデータを第３のヘッドで再生させた結果に基づいて、第３の磁気記録媒体面に対する第３のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた第３のヘッドを用いて第３の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、第３の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第３のヘッドで再生させる第３の記録再生工程と、回転する第４の磁気記録媒体面に記録された第４の位置決めデータを第４のヘッドで再生させた結果に基づいて、第４の磁気記録媒体面に対する第４のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた第４のヘッドを用いて第４の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、第４の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第４のヘッドで再生させる第４の記録再生工程とを含んでいる。
【０００７】
この磁気記録媒体の検査方法において、媒体回転工程よりも前に、第１の磁気記録媒体面に、磁気転写法を用いて第１の位置決めデータを記録する第１の磁気転写工程と、第２の磁気記録媒体面に、磁気転写法を用いて第２の位置決めデータを記録する第２の磁気転写工程と、第３の磁気記録媒体面に、磁気転写法を用いて第３の位置決めデータを記録する第３の磁気転写工程と、第４の磁気記録媒体面に、磁気転写法を用いて第４の位置決めデータを記録する第４の磁気転写工程とをさらに含むことを特徴とすることができる。
また、第１の記録再生工程において第１の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第１のヘッドで再生させた結果に基づいて第１の磁気記録媒体面の合否を判断し、第２の記録再生工程において第２の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第２のヘッドで再生させた結果に基づいて第２の磁気記録媒体面の合否を判断し、第３の記録再生工程において第３の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第３のヘッドで再生させた結果に基づいて第３の磁気記録媒体面の合否を判断し、第４の記録再生工程において第４の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第４のヘッドで再生させた結果に基づいて第４の磁気記録媒体面の合否を判断する判断工程をさらに含むことを特徴とすることができる。
また、判断工程では、さらに、第１の記録再生工程において第１の磁気記録媒体面に記録された第１の位置決めデータを第１のヘッドで再生させた結果に基づいて第１の磁気記録媒体面の合否を判断し、第２の記録再生工程において第２の磁気記録媒体面に記録された第２の位置決めデータを第２のヘッドで再生させた結果に基づいて第２の磁気記録媒体面の合否を判断し、第３の記録再生工程において第３の磁気記録媒体面に記録された第３の位置決めデータを第３のヘッドで再生させた結果に基づいて第３の磁気記録媒体面の合否を判断し、第４の記録再生工程において第４の磁気記録媒体面に記録された第４の位置決めデータを第４のヘッドで再生させた結果に基づいて第４の磁気記録媒体面の合否を判断することを特徴とすることができる。
さらに、第１の磁気記録媒体面に対する第１のヘッドを用いた記録再生工程での位置決め位置と、第２の磁気記録媒体面に対する第２のヘッドを用いた記録再生工程での位置決め位置と、第３の磁気記録媒体面に対する第３のヘッドを用いた記録再生工程での位置決め位置と、第４の磁気記録媒体面に対する第４のヘッドを用いた記録再生工程での位置決め位置とが、近似した位置であることを特徴とすることができる。
【０００８】
また、他の観点から捉えると、本発明は、両面に位置決めデータが記録された少なくとも２枚の円盤状の磁気記録媒体の検査装置であって、第１の位置決めデータが記録された第１の磁気記録媒体面と、その裏側において第２の位置決めデータが記録された第２の磁気記録媒体面と、第３の位置決めデータが記録された第３の磁気記録媒体面と、その裏側において第４の位置決めデータが記録された第４の磁気記録媒体面とを、同軸中心で回転させる回転機構と、第１の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第１のヘッドと、第２の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第２のヘッドと、第３の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第３のヘッドと、第４の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第４のヘッドとを、同軸中心で一体的に回転させることにより、第１の磁気記録媒体面に対する第１のヘッドの位置を設定し、第２の磁気記録媒体面に対する第２のヘッドの位置を設定し、第３の磁気記録媒体面に対する第３のヘッドの位置を設定し、第４の磁気記録媒体面に対する第４のヘッドの位置を設定する位置設定機構と、回転する第１の磁気記録媒体面に記録された第１の位置決めデータを第１のヘッドで再生させた結果に基づいて、位置設定機構を用いて第１の磁気記録媒体面に対する第１のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた第１のヘッドを用いて第１の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、第１の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第１のヘッドで再生させ、回転する第２の磁気記録媒体面に記録された第２の位置決めデータを第２のヘッドで再生させた結果に基づいて、位置設定機構を用いて第２の磁気記録媒体面に対する第２のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた第２のヘッドを用いて第２の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、第２の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第２のヘッドで再生させ、回転する第３の磁気記録媒体面に記録された第３の位置決めデータを第３のヘッドで再生させた結果に基づいて、位置設定機構を用いて第３の磁気記録媒体面に対する第３のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた第３のヘッドを用いて第３の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、第３の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第３のヘッドで再生させ、回転する第４の磁気記録媒体面に記録された第４の位置決めデータを第４のヘッドで再生させた結果に基づいて、位置設定機構を用いて第４の磁気記録媒体面に対する第４のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた第４のヘッドを用いて第４の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、第４の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第４のヘッドで再生させる制御を行う制御部とを含んでいる。
【０００９】
この磁気記録媒体の検査装置は、第１の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第１のヘッドで再生させた結果に基づいて第１の磁気記録媒体面の合否を判断し、第２の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第２のヘッドで再生させた結果に基づいて第２の磁気記録媒体面の合否を判断し、第３の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第３のヘッドで再生させた結果に基づいて第３の磁気記録媒体面の合否を判断し、第４の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第４のヘッドで再生させた結果に基づいて第４の磁気記録媒体面の合否を判断する判断部をさらに含むことを特徴とすることができる。
また、判断部は、さらに、第１の磁気記録媒体面に記録された第１の位置決めデータを第１のヘッドで再生させた結果に基づいて第１の磁気記録媒体面の合否を判断し、第２の磁気記録媒体面に記録された第２の位置決めデータを第２のヘッドで再生させた結果に基づいて第２の磁気記録媒体面の合否を判断し、第３の磁気記録媒体面に記録された第３の位置決めデータを第３のヘッドで再生させた結果に基づいて第３の磁気記録媒体面の合否を判断し、第４の磁気記録媒体面に記録された第４の位置決めデータを第４のヘッドで再生させた結果に基づいて第４の磁気記録媒体面の合否を判断することを特徴とすることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、位置決めデータが記録された磁気記録媒体の検査における、単位時間あたりの処理枚数を増加させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】磁気記録媒体の断面構成の一例を示す図である。
【図２】磁気記録媒体の片面の上面図である。
【図３】本実施の形態における磁気記録媒体の製造方法の一例を示すフローチャートである。
【図４】磁気転写工程で用いられる磁気転写装置の構成の一例を示す図である。
【図５】磁気転写装置で用いられるマスタ情報記録体の構成の一例を示す図である。
【図６】サーティファイ検査工程で用いられるサーティファイ検査装置の構成の一例を示す図である。
【図７】サーティファイ検査装置で用いられるヘッド・スタック・アッセンブリの構成の一例を示す図である。
【図８】サーティファイ検査装置における制御ブロックの一例を示す図である。
【図９】サーティファイ検査工程における検査手順の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は、磁気記録媒体１の断面構成の一例を示す図である。なお、磁気記録媒体１に対するデータの記録方式には面内記録方式と垂直記録方式とが存在するが、本実施の形態では、垂直記録方式において使用される磁気記録媒体１について説明を行う。
この磁気記録媒体１は、円盤状の基板１００と、円盤状の基板１００の両面上に形成された密着層１１０と、密着層１１０の上に形成された軟磁性下地層１２０と、軟磁性下地層１２０の上に形成された配向制御層１３０と、配向制御層１３０の上に形成された非磁性下地層１４０と、非磁性下地層１４０の上に形成された垂直記録層１５０と、垂直記録層１５０の上に形成された保護層１６０と、保護層１６０の上に形成された潤滑層１７０とを備えている。そして、本実施の形態では、基板１００の両面のそれぞれに、密着層１１０、軟磁性下地層１２０、配向制御層１３０、非磁性下地層１４０、垂直記録層１５０、保護層１６０、および潤滑層１７０が形成されるようになっている。なお、以下の説明においては、必要に応じて、基板１００の両面に密着層１１０から保護層１６０までを積層したもの、換言すれば、基板１００に潤滑層１７０以外を形成したものを、積層基板１８０と称することがある。
【００１３】
図２は、磁気記録媒体１の片面の上面図である。また、図２には、磁気記録媒体１の表面に設けられる複数のデータ領域を模式的に示している。
本実施の形態における磁気記録媒体１は、上述したように円盤状の形状を有しており、その中央部には磁気記録媒体１の表裏を貫通する円形状の孔が形成されている。以下の説明では、磁気記録媒体１における円形状の孔の縁を内端１ａと称し、磁気記録媒体１における外周の縁を外端１ｂと称する。
【００１４】
図２に示す磁気記録媒体１の表面には、磁気ヘッドを用いたデータの読み書きを行うための読み書きデータ記憶領域Ａ１と、磁気ヘッドを用いたデータの読み書きにおいて磁気ヘッドの位置決めに用いられるデータ（位置決めデータという）を記憶する位置決めデータ記憶領域Ａ２とが設けられている。この例において、位置決めデータ記憶領域Ａ２は、磁気記録媒体１の表面に、放射状に複数設けられている。また、磁気記録媒体１の表面には、同心円状に、複数のトラックＴが設けられる。さらに、磁気記録媒体１の表面において、隣接する２つの位置決めデータ記憶領域Ａ２に挟まれた各領域をセクタＳと呼ぶ。なお、図示はしていないが、図２に示す磁気記録媒体１の裏面にも、同様にして、読み書きデータ記憶領域Ａ１と位置決めデータ記憶領域Ａ２とが設けられている。ただし、磁気記録媒体１の表裏面のそれぞれに設けられた位置決めデータ記憶領域Ａ２は、表裏で位置を合わせなくてもかまわない。
【００１５】
磁気記録媒体１の位置決めデータ記憶領域Ａ２には、位置決めデータとして、例えば、磁気ヘッドによる読み取り時において検出信号の利得調整に用いられるＡＧＣ（Auto Gain Control）パターン、サーボ信号の検出に用いられる検出パターン、サーボ・トラックのシリンダ情報あるいはセクタ情報の検出に用いられるアドレス・パターン、そして目的とするトラックＴに磁気ヘッドを移動させた後にそのトラックＴ上に磁気ヘッドを追従させるのに用いられるバースト・パターン（いずれも図示せず）等を含むサーボ・パターンが、磁気記録媒体１に設けられた垂直記録層１５０に磁気記録されている。
【００１６】
図３は、本実施の形態における磁気記録媒体１の製造方法の一例を示すフローチャートである。本実施の形態では、磁気記録媒体１の製造過程において、上述した位置決めデータ記憶領域Ａ２にサーボ・パターンの書き込みを行っていること、より具体的には、後述するマスタ情報記録体２００（図５参照）を用いて、磁気記録媒体１の両面にサーボ・パターンを磁気転写していることに特徴がある。また、本実施の形態では、磁気記録媒体１の製造過程において、磁気記録媒体１に磁気転写されたサーボ・パターンを用いて、複数枚の磁気記録媒体１に対する磁気的な検査を、一台の検査装置でまとめて行うことに特徴がある。
【００１７】
以下、磁気記録媒体１の製造工程を簡単に説明する。
磁気記録媒体１の製造に先立ち、予め円盤状に形成されるとともに中央部に表裏を貫通する円形状の孔が形成された基板１００を準備し、予備洗浄を行った後、この基板１００に対する研磨を行う（ステップ１０１）。ステップ１０１における基板１００の研磨は、例えばダイヤモンドスラリーを用いたメカニカルポリッシュで行うことが望ましい。
【００１８】
次に、研磨が施された基板１００に対し、前洗浄を行う（ステップ１０２）。ステップ１０２における基板１００の前洗浄は、研磨が施された基板１００を、純水あるいは超純水に浸漬して超音波振動を加えながら行うことが好ましい。そして、前洗浄がなされた基板１００は、速やかにスピン法等で乾燥させることが好ましい。
【００１９】
続いて、前洗浄が施された基板１００の両面に対し、密着層１１０、軟磁性下地層１２０、配向制御層１３０、非磁性下地層１４０、垂直記録層１５０および保護層１６０を順次積層する成膜工程を行う（ステップ１０３）。ここで、生産性を向上させるという観点からすれば、ステップ１０３における各層の形成を、例えばそれぞれが成膜機能を備えた複数のチャンバを直列に接続したインライン式成膜装置で行うことが好ましい。また、生産性を向上させるという観点からすれば、成膜工程で形成される各層をスパッタリング法で形成することが望ましい。ただし、保護層１６０の強度を確保しつつ薄膜化するという観点からすれば、密着層１１０から垂直記録層１５０についてはスパッタリング法で形成する一方、保護層１６０についてはＣＶＤ法で形成することが好ましい。このように、前洗浄が施された基板１００に対し成膜工程を行うことで、積層基板１８０（図１参照）が得られる。
【００２０】
そして、成膜工程によって得られた積層基板１８０に対し、後洗浄を行う（ステップ１０４）。
【００２１】
次に、後洗浄が施された積層基板１８０に対し、潤滑剤を塗布し（ステップ１０５）、積層基板１８０に潤滑層１７０を形成する。続いて、潤滑層１７０が塗布された積層基板１８０を１００℃程度で数分間加熱するベークを行う（ステップ１０６）。これにより、潤滑層１７０に含まれる水分が揮発し、且つ、積層基板１８０の最表面側に設けられた保護層１６０と保護層１６０に接する潤滑層１７０との密着性が高まる。以上により、磁気記録媒体１が得られる。
【００２２】
次いで、ベークが施された磁気記録媒体１の両面をワイピングする（ステップ１０７）。ワイピング工程は、磁気記録媒体１の両面に付着したスパッタダスト等を拭き取るために行われる。
【００２３】
そして、ワイピングが施された磁気記録媒体１の両面に対しバーニッシュを行う（ステップ１０８）。
バーニッシュ工程は、磁気記録媒体１の表面に形成または付着した突起物を除去するため、その表面を、研磨テープを用いて研磨する工程である。このような処理を行うことにより、得られた磁気記録媒体１を磁気記録再生装置に組み込んだ場合に、磁気記録媒体１に対する磁気ヘッドの浮上量をより小さくすることができる。また、後述する磁気転写工程において、磁気記録媒体１とマスタ情報記録体２００との間に隙間が生じて転写パターンが不鮮明となり、マスタ情報記録体２００が損傷を受けるのを防ぐことができる。
【００２４】
次に、バーニッシュが施された磁気記録媒体１に対し、初期磁化を行う（ステップ１０９）。この例では、垂直記録方式で用いられる磁気記録媒体１を対象としているため、初期磁化工程は、磁気記録媒体１の表面に垂直方向に一方向の初期直流磁界を印加することによって行われる。その際に印加する初期直流磁界は永久磁石、電磁石によって発生させることが可能であり、好ましくは、より安定で磁力の強いＮｄＦｅＢ系の焼結磁石を用いて発生させるのが好ましい。また、初期磁化工程は磁気記録媒体１と磁石とを非接触状態で行うことが、磁気記録媒体１の表面の清浄性を維持する上で好ましい。
【００２５】
ここで、本実施の形態の磁気記録媒体１における垂直記録層１５０（第１磁性層１５１、第２磁性層１５３、第３磁性層１５５）の保磁力Ｈｃは、通常、３２０ｋＡ／ｍ（約４０００Ｏｅ）以上になっている。よって、初期磁化工程では、垂直記録層１５０の各磁性層を直流磁化することが可能な磁石を用いるとよい。
【００２６】
その後、初期磁化が施された磁気記録媒体１に対し、表面検査を行う（ステップ１１０）。表面検査工程では、初期磁化後の磁気記録媒体１の表面への塵埃の付着や異常突起の有無を検査する。
そして、表面検査が完了した磁気記録媒体１に対し磁気転写を行い（ステップ１１１）、磁気記録媒体１にサーボ・パターンを記憶させた位置決めデータ記憶領域Ａ２（図２参照）を設ける。
【００２７】
続いて、磁気転写が施された磁気記録媒体１に対しグライド検査を行う（ステップ１１２）。グライド検査工程では、磁気転写済の磁気記録媒体１の表面に突起物が無いかどうか、実際にヘッドを浮上走行させて検査する。磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体１をデータの書き込み（記録）および読み出し（再生）を実行する際に、磁気記録媒体１の表面に浮上量（磁気記録媒体１と磁気ヘッドとの間隔）以上の高さの突起があると、磁気ヘッドが突起にぶつかって磁気ヘッドが損傷したり、磁気記録媒体１に欠陥が発生したりする原因となる。このため、グライド検査では、そのような高い突起の有無を検査する。
【００２８】
次いで、グライド検査に合格した磁気記録媒体１に対し、サーティファイ検査を行う（ステップ１１３）。サーティファイ検査工程では、通常の磁気記録再生装置と同様に、磁気記録媒体１に対して磁気ヘッドで予め決められた信号を記録した後、記録した信号を再生し、得られた再生信号によって磁気記録媒体１の記録不良を検出し、磁気記録媒体１の電気特性や欠陥の有無など磁気記録媒体１の品質を確かめる。上述した方法で製造した磁気記録媒体１には、既にサーボ・パターンが書き込まれているため、サーボ情報を用いない従来の方式でのサーティファイ検査を実施することが困難となっている。このため、本実施の形態では、磁気記録媒体１に磁気転写されたサーボ・パターン（位置決めデータ）を利用して磁気ヘッドを特定箇所に位置づけし、データの読み書きを行う形式の検査を行う。なお、サーティファイ検査工程の詳細については後述する。
そして、サーティファイ検査に合格した磁気記録媒体１が、製品として出荷されることになる。
【００２９】
図４は、上述したステップ１１１の磁気転写工程で用いられる磁気転写装置７０の構成の一例を示す図である。
磁気転写装置７０は、移動可能に取り付けられ、サーボ・パターンが予め記録されたマスタ情報記録体２００を固定した状態で保持する第１記録体ホルダ３０と、第１記録体ホルダ３０に対向して配置されるとともに移動可能に取り付けられ、サーボ・パターンが予め記録されたマスタ情報記録体２００を固定した状態で保持する第２記録体ホルダ４０とを備える。ここで、第１記録体ホルダ３０および第２記録体ホルダ４０は、互いに近づく側および遠ざかる側に移動するように構成されている。そして、第１記録体ホルダ３０に取り付けられたマスタ情報記録体２００および第２記録体ホルダ４０に取り付けられたマスタ情報記録体２００は、互いに対向した状態で配置される。また、本実施の形態では、第１記録体ホルダ３０と第２記録体ホルダ４０との間すなわち２枚のマスタ情報記録体２００の間に、磁気記録媒体１が順次対向配置されるようになっている。
【００３０】
また、マスタ情報記録体２００を保持した第１記録体ホルダ３０の背面側には、第１磁石５１を備えた第１磁石部材５０が配置されている。第１磁石部材５０は、第１記録体ホルダ３０の背面に対向配置される第１磁石５１と、第１磁石５１を保持する第１磁石保持部５２と、第１磁石保持部５２の背面側から伸びる第１磁石支持部５３とを備えている。第１磁石支持部５３は、図中矢印方向に回転可能に支持されている。これにより、第１磁石支持部５３の進退に伴って第１磁石保持部５２に保持された第１磁石５１が進退するとともに、第１磁石支持部５３の回転に伴って第１磁石保持部５２に保持された第１磁石５１が回転するようになっている。
【００３１】
一方、マスタ情報記録体２００を保持した第２記録体ホルダ４０の背面側には、第２磁石６１を備えた第２磁石部材６０が配置されている。第２磁石部材６０は、第２記録体ホルダ４０の背面に対向配置される第２磁石６１と、第２磁石６１を保持する第２磁石保持部６２と、第２磁石保持部６２の背面側から伸びる第２磁石支持部６３とを備えている。第２磁石支持部６３は、図中矢印方向に回転可能に支持されている。これにより、第２磁石支持部６３の進退に伴って第２磁石保持部６２に保持された第２磁石６１が進退するとともに、第２磁石支持部６３の回転に伴って第２磁石保持部６２に保持された第２磁石６１が回転するようになっている。
【００３２】
また、第１磁石部材５０において、第１磁石５１は、第１磁石保持部５２に対し、第１磁石支持部５３の回転中心から偏倚した位置に放射方向に取り付けられている。また、第１磁石５１は、第１記録体ホルダ３０と対向する側が一方の極性の磁極（例えばＮ極）となるように第１磁石保持部５２に保持されている。
一方、第２磁石部材６０において、第２磁石６１は、第２磁石保持部６２に対し、第２磁石支持部６３の回転中心から偏倚した位置に放射方向に取り付けられている。また、第２磁石６１は、第２記録体ホルダ４０と対向する側が他方の極性の磁極（例えばＳ極）となるように第２磁石保持部６２に保持されている。
【００３３】
そして、本実施の形態では、第１磁石５１と第２磁石６１とが、第１記録体ホルダ３０および第２記録体ホルダ４０を挟んで対向するように配置される。また、第１磁石部材５０および第２磁石部材６０は、第１磁石５１と第２磁石６１とを対向させた状態を維持しながら、ともに回転するように構成されている。
【００３４】
図５は、磁気転写装置７０で用いられるマスタ情報記録体２００の構成の一例を示す図である。ここで、図５（ａ）はマスタ情報記録体２００の上面図を、また、図５（ｂ）は図５（ａ）におけるＶＢ−ＶＢ断面図を、それぞれ示している。
【００３５】
マスタ情報記録体２００は、基板１００よりも直径が大きい円盤状の形状を有している。また、マスタ情報記録体２００の一方の面（形成面に対応）には、サーボ・パターンに対応する微細な凹凸が形成されたサーボ・パターン形成領域ＳＰが設けられている。この例において、サーボ・パターン形成領域ＳＰは、マスタ情報記録体２００の一方の面に、中央部と外縁部とを除いて、放射状に複数設けられている。なお、図４に示す第１記録体ホルダ３０あるいは第２記録体ホルダ４０にマスタ情報記録体２００を取り付けた際には、サーボ・パターン形成領域ＳＰを設けた面が、互いに露出した状態で対向することになる。
【００３６】
次に、マスタ情報記録体２００の構造について説明すると、マスタ情報記録体２００は、円盤状の基体２０１と、この基体２０１の一方の面に形成されたマスタ磁性層２０２と、マスタ磁性層２０２の上に形成されたマスタ保護層２０３とを備えている。ここで、図５（ｂ）は、サーボ・パターン形成領域ＳＰにおけるマスタ情報記録体２００の断面構成を示しており、この部位には、サーボ・パターンに対応した凸部２０４および凹部２０５が存在している。なお、マスタ情報記録体２００の一方の面のうち、サーボ・パターン形成領域ＳＰ以外の領域は、サーボ・パターン形成領域ＳＰにおける凸部２０４と同じ高さとなっている。
【００３７】
マスタ情報記録体２００は公知の方法によって製造できるが、例えば次の製造方法を掲げることができる。先ず、シリコンウェハの表面に電子線レジストをスピンコート法により塗布する。塗布後、このレジストに対し、電子線露光装置を用いて、サーボ・パターンに対応させて変調した電子ビームを照射し、レジストを露光する。その後、レジストを現像し、未露光部分を除去して、シリコンウェハ上にレジストのパターンを形成する。
【００３８】
次いで、このレジストパターンをマスクとして用い、シリコンウェハに対して反応性エッチング処理を行い、レジストでマスクされていない箇所を掘り下げる。このエッチング処理後、シリコンウェハ上に残存するレジストを溶剤で洗浄除去する。その後、シリコンウェハを乾燥させてマスタ情報記録体２００を作製するための原盤を得る。
【００３９】
この原盤上に、Ｎｉからなる導電層をスパッタリング法により１０ｎｍ程度形成する。その後、この導電層を形成した原盤を母型として用い、電鋳法により、この原盤上に数μｍ厚のＮｉ層を形成する。その後、Ｎｉ層を原盤から外し、このＮｉ層を洗浄等して、表面に凸部を配設した基体２０１を得る。
【００４０】
次いで、この基体２０１の表面にマスタ磁性層２０２を形成する。このマスタ磁性層２０２については磁気記録媒体１に用いられる磁性層（第１磁性層１５１等）と同じものが使用できる。またマスタ磁性層２０２の上には磁気記録媒体１と同様にマスタ保護層２０３を形成する。このマスタ保護層２０３は、マスタ情報記録体２００の耐摩耗性すなわちマスタ情報記録体２００の転写耐久性を高めるものであり、数ｎｍ程度の厚さの硬質炭素膜等を用いることができる。以上の製造工程によってマスタ情報記録体２００を得ることができる。
なお、このようにして得られたマスタ情報記録体２００は、例えば１０万枚以上の磁気記録媒体１の製造（磁気転写）に繰り返し使用される。
【００４１】
ここで、ステップ１１１の磁気転写工程についてより具体的に説明すると、磁気転写装置７０は、まず、第１記録体ホルダ３０に取り付けられたマスタ情報記録体２００と第２記録体ホルダ４０に取り付けられたマスタ情報記録体２００との間に、磁気記録媒体１を搬送し停止させる。次に、第１記録体ホルダ３０および第２記録体ホルダ４０が移動し、第１記録体ホルダ３０に取り付けられたマスタ情報記録体２００と第２記録体ホルダ４０に取り付けられたマスタ情報記録体２００とによって、磁気記録媒体１を挟み込んだ状態で停止する。
【００４２】
次に、第１磁石部材５０および第２磁石部材６０では、第１磁石保持部５２および第２磁石保持部６２が、第１磁石支持部５３および第２磁石支持部６３を軸とし、２枚のマスタ情報記録体２００と磁気記録媒体１とを挟んで、第１磁石５１および第２磁石６１を対向させた状態を維持しながら少なくとも１回転する。
第１磁石５１および第２磁石６１が１回転する間、２枚のマスタ情報記録体２００に挟まれた磁気記録媒体１には、第１磁石５１および第２磁石６１により、初期磁化工程とは逆向きの転写直流磁界が周方向に順次印加される。すると、磁気記録媒体１のうち、第１記録体ホルダ３０側のマスタ情報記録体２００と接する側では、このマスタ情報記録体２００の凹部２０５と対向する部位における磁性層の磁化の向きは初期磁化工程後の状態を維持するものの、凸部２０４と接する部位における磁性層の磁化の向きは反転した状態となる。また、この磁気記録媒体１のうち、第２記録体ホルダ４０側のマスタ情報記録体２００と接する側でも、このマスタ情報記録体２００の凹部２０５と対向する部位における磁性層の磁化の向きは初期磁化工程後の状態を維持するものの、凸部２０４と接する部位における磁性層の磁化の向きは反転した状態となる。このようにして、磁気記録媒体１の両面には、それぞれ、マスタ情報記録体２００に設けられた凹凸の配列からなるサーボ・パターンが、磁化の向きの配列からなるサーボ・パターンとして転写される。
【００４３】
その後、第１記録体ホルダ３０および第２記録体ホルダ４０が、磁気転写済の磁気記録媒体１から離れる方向に移動する。そして、磁気転写が完了しサーボ・パターンが転写された磁気記録媒体１を、第１記録体ホルダ３０および第２記録体ホルダ４０に挟まれた位置から遠ざかる側に搬送することで、１枚の磁気記録媒体１に対する磁気転写を完了する。
【００４４】
では続いて、上述したステップ１１３におけるサーティファイ検査工程について詳細に説明する。
図６は、サーティファイ検査工程で用いられるサーティファイ検査装置１０の構成の一例を示す図である。
図６に示すサーティファイ検査装置１０は、図中上側となる前面および図中下側となる背面を有する板状の形状を有し、背面側には図示しないプリント基板（Printed Circuit Board Assembly：ＰＣＢＡ）が取り付けられた基台１１と、基台１１の前面側に設けられ、２枚の磁気記録媒体１を保持して回転させる媒体駆動部１２と、基台１１の前面側に固定されたピボット２１を軸として回転可能に取り付けられ、２枚の磁気記録媒体１の各面（合計で４面）に対するデータの書き込み（記録）および２枚の磁気記録媒体１の各面からのデータの読み取り（再生）を行うヘッド・スタック・アッセンブリ（Head Stack Assembly：ＨＳＡ）１３と、基台１１の前面側に取り付けられ、ＨＳＡ１３を駆動するのに用いられるマグネット部１４とを備えている。またサーティファイ検査装置１０は、基台１１の前面側に取り付けられ、媒体駆動部１２およびＨＳＡ１３の駆動制御を行うとともに、媒体駆動部１２に保持された２枚の磁気記録媒体１の各面への記録信号の出力やこれら２枚の磁気記録媒体１の各面からの再生信号に対する処理を行うコントローラ１５と、コントローラ１５とＨＳＡ１３とを電気的に接続するフレキシブル・プリント基板（Flexible printed circuits：ＦＰＣ）１６とを備えている。なお、コントローラ１５と媒体駆動部１２とは、上述した図示しないＰＣＢＡを介して電気的に接続されている。
【００４５】
これらのうち、回転機構の一例としての媒体駆動部１２は、サーボ・パターンが磁気転写された２枚の磁気記録媒体１を、それぞれの内端１ａ（図２参照）側を中心として同軸に重ねて取り付けること、および、取り付けられた２枚の磁気記録媒体１を取り外すことが可能なスピンドルを備えている。なお、以下の説明においては、必要に応じて、スピンドルに取り付けられた２枚の磁気記録媒体１のうち、基台１１に近い側すなわち図中において下方側に取り付けられた磁気記録媒体１を下段媒体１Ｂと称し、また、図中において下段媒体１Ｂの上側に取り付けられた磁気記録媒体１を上段媒体１Ａと称することがある。ここで、例えば上段媒体１Ａの表面（第１面）は第１の磁気記録媒体面に対応しており、上段媒体１Ａの裏面（第２面）は第２の磁気記録媒体面に対応しており、下段媒体１Ｂの第１面は第３の磁気記録媒体面に対応しており、下段媒体１Ｂの第２面は第４の磁気記録媒体面に対応している。したがって、上段媒体１Ａ第１面に磁気転写されたサーボ・パターンは第１の位置決めデータに対応しており、上段媒体１Ａ第２面に磁気転写されたサーボ・パターンは第２の位置決めデータに対応しており、下段媒体１Ｂ第１面に磁気転写されたサーボ・パターンは第３の位置決めデータに対応しており、下段媒体１Ｂ第２面に磁気転写されたサーボ・パターンは第４の位置決めデータに対応している。また、上述した磁気転写工程において、上段媒体１Ａ第１面となる磁気記録媒体１へのサーボ・パターンの磁気転写が第１の磁気転写工程に、上段媒体１Ａ第２面となる磁気記録媒体１へのサーボ・パターンの磁気転写が第２の磁気転写工程に、下段媒体１Ｂ第１面となる磁気記録媒体１へのサーボ・パターンの磁気転写が第３の磁気転写工程に、下段媒体１Ｂ第２面となる磁気記録媒体１へのサーボ・パターンの磁気転写が第４の磁気転写工程に、それぞれ対応している。
なお、本実施の形態では、磁気記録媒体１を２枚同時に検査する構成としたが、本願発明の検査は磁気記録媒体１を３枚以上設置することも可能である。ここで、磁気記録媒体１の枚数が増えるほど検査装置での生産性（検査効率）が高まるものの、一方で、枚数が増えると磁気記録媒体１を回転させるスピンドルのブレが生じやすくなり、また高速回転性が低下しやすくなる。
【００４６】
そして、サーティファイ検査装置１０は、基台１１の前面側において媒体駆動部１２のスピンドルに取り付けられた２枚の磁気記録媒体１の外端１ｂ（図２参照）よりもわずかに外側に配置され、２枚の磁気記録媒体１に対するデータの書き込みおよび磁気記録媒体１からのデータの読み取りを行わない場合に、ＨＳＡ１３の自由端側を磁気記録媒体１から待避させた状態で支持するためのランプ１７をさらに備えている。
【００４７】
図７は、サーティファイ検査装置１０で用いられるＨＳＡ１３の構成の一例を示す図である。
位置設定機構の一例としてのＨＳＡ１３は、上述したピボット２１と、ピボット２１からピボット２１の軸方向に交差する方向に沿って伸びるアーム２２と、ピボット２１からピボット２１の軸方向に交差する方向であってアーム２２とは反対側に取り付けられるボイス・コイル２４とを備える。ここで、アーム２２は、ピボット２１の軸方向に積層される第１アーム２２１、第２アーム２２２、第３アーム２２３および第４アーム２２４を備えている。また、ピボット２１の周囲には、上述したＦＰＣ１６を取り付けるためのコネクタ２５が設けられている。
【００４８】
また、アーム２２の自由端側には、磁気ヘッド２３が取り付けられている。本実施の形態の磁気ヘッド２３は、第１アーム２２１に取り付けられた第１磁気ヘッド２３１と、第２アーム２２２に取り付けられた第２磁気ヘッド２３２と、第３アーム２２３に取り付けられた第３磁気ヘッド２３３と、第４アーム２２４に取り付けられた第４磁気ヘッド２３４とを有している。図７において、第１磁気ヘッド２３１は第１アーム２２１に対し下側を向くように、第２磁気ヘッド２３２は第２アーム２２２に対し上側を向くように、第３磁気ヘッド２３３は第３アーム２２３に対し下側を向くように、そして第４磁気ヘッド２３４は第４アーム２２４に対し上側を向くように、それぞれ取り付けられている。なお、本実施の形態では、第１磁気ヘッド２３１および第２磁気ヘッド２３２が第１のヘッドに、第３磁気ヘッド２３３および第４磁気ヘッド２３４が第２のヘッドに、それぞれ対応している。
【００４９】
そして、図７に示すＨＳＡ１３を、図６に示すサーティファイ検査装置１０に取り付けてロードさせた際に、第１アーム２２１と第２アーム２２２との間に上段媒体１Ａが位置し、且つ、第３アーム２２３と第４アーム２２４との間に下段媒体１Ｂが位置するようになっている。その結果、上段媒体１Ａのうち図中上側を向く面（以下の説明では上段媒体１Ａの第１面と称する）に、第１アーム２２１に取り付けられた第１磁気ヘッド２３１が対向する。また、上段媒体１Ａのうち図中下側を向く面（以下の説明では上段媒体１Ａの第２面と称する）に、第２アーム２２２に取り付けられた第２磁気ヘッド２３２が対向する。さらに、下段媒体１Ｂのうち図中上側を向く面（以下の説明では下段媒体１Ｂの第１面と称する）に、第３アーム２２３に取り付けられた第３磁気ヘッド２３３が対向する。そして、下段媒体１Ｂのうち図中下側を向く面（以下の説明では下段媒体１Ｂの第２面と称する）に、第４アーム２２４に取り付けられた第４磁気ヘッド２３４が対向する。
【００５０】
また、図７に示すＨＳＡ１３を、図６に示すサーティファイ検査装置１０に取り付けた際に、マグネット部１４の内部にボイス・コイル２４が位置するようになっている。なお、本実施の形態では、基台１１に取り付けられたマグネット部１４と、ＨＳＡ１３に設けられたボイス・コイル２４とによって、ボイス・コイル・モータ（Voice Coil Motor：ＶＣＭ）が構成されている。
【００５１】
図８は、サーティファイ検査装置１０における制御ブロックの一例を示す図である。
ここで、第１磁気ヘッド２３１は、データの記録を行うための第１記録ヘッド２３１Ｗとデータの再生を行うための第１再生ヘッド２３１Ｒとを備えている。また、第２磁気ヘッド２３２は、データの記録を行うための第２記録ヘッド２３２Ｗとデータの再生を行うための第２再生ヘッド２３２Ｒとを備えている。さらに、第３磁気ヘッド２３３は、データの記録を行うための第３記録ヘッド２３３Ｗとデータの再生を行うための第３再生ヘッド２３３Ｒとを備えている。そして、第４磁気ヘッド２３４は、データの記録を行うための第４記録ヘッド２３４Ｗとデータの再生を行うための第４再生ヘッド２３４Ｒとを備えている。
【００５２】
制御部の一例としてのコントローラ１５は、サーティファイ検査装置１０の全体的な制御を行う主制御部１５ａと、媒体駆動部１２（図６参照）に設けられたスピンドルを回転させるスピンドル・モータ１２ａの駆動を制御するスピンドル制御部１５ｂと、ＨＳＡ１３に設けられたボイス・コイル２４に供給する電流を調整することによってＶＣＭを制御するＶＣＭ制御部１５ｃと、第１記録ヘッド２３１Ｗ、第２記録ヘッド２３２Ｗ、第３記録ヘッド２３３Ｗおよび第４記録ヘッド２３４Ｗに対し記録信号の出力を行う記録信号出力部１５ｄと、第１再生ヘッド２３１Ｒ、第２再生ヘッド２３２Ｒ、第３再生ヘッド２３３Ｒおよび第４再生ヘッド２３４Ｒからの再生信号を処理する再生信号処理部１５ｅとを備えている。また、コントローラ１５の主制御部１５ａには、サーティファイ検査装置１０のＰＣＢＡ（図示せず）に設けられたコネクタ２５を介してパーソナル・コンピュータ（ＰＣ）１８が接続されている。判断部の一例としてのパーソナル・コンピュータ１８は、サーティファイ検査装置１０に取り付けられた２枚の磁気記録媒体１（上段媒体１Ａおよび下段媒体１Ｂ）のサーティファイ検査における合否判定を行う。
【００５３】
では、サーティファイ検査装置１０の動作すなわちステップ１１３のサーティファイ検査工程について、具体的に説明する。
図９は、サーティファイ検査工程における検査手順の一例を示すフローチャートである。
サーティファイ検査の開始にあたって、まず、媒体駆動部１２に設けられたスピンドルに対し、２枚の磁気記録媒体１すなわち上段媒体１Ａおよび下段媒体１Ｂの取り付けを行う（ステップ２０１）。なお、ステップ２０１が開始される前の段階において、ＨＳＡ１３はランプ１７に待避しており、ＨＳＡ１３が磁気記録媒体１の取り付けの妨げとなることはない。
【００５４】
次に、主制御部１５ａは、スピンドル制御部１５ｂを介して媒体駆動部１２に設けられたスピンドル・モータ１２ａの駆動を開始させる（ステップ２０２）。これに伴い、スピンドルに取り付けられた上段媒体１Ａおよび下段媒体１Ｂは、予め決められた回転速度で定速回転する。なお、このときの回転速度は、磁気記録媒体１を磁気記録再生装置に組み込んで使用する際の値に合わせておくことが望ましい。なお、ステップ２０２が媒体回転工程に対応している。
【００５５】
それから、主制御部１５ａは、ＶＣＭ制御部１５ｃを介してＨＳＡ１３に設けられたボイス・コイル２４に電流を供給する。すると、ボイス・コイル２４とマグネット部１４との間に働く磁力の作用により、ピボット２１を軸としてＨＳＡ１３が回転する。これにより、ランプ１７から上段媒体１Ａおよび下段媒体１Ｂ側にＨＳＡ１３をロードする（ステップ２０３）。なお、このとき、ＨＳＡ１３に設けられた第１アーム２２１、第２アーム２２２、第３アーム２２３および第４アーム２２４は一体的に回転する。このため、第１アーム２２１に設けられた第１磁気ヘッド２３１は上段媒体１Ａの第１面に、第２アーム２２２に設けられた第２磁気ヘッド２３２は上段媒体１Ａの第２面に、第３アーム２２３に設けられた第３磁気ヘッド２３３は下段媒体１Ｂの第１面に、そして第４アーム２２４に設けられた第４磁気ヘッド２３４は下段媒体１Ｂの第２面に、それぞれ対峙するようになる。また、上段媒体１Ａおよび下段媒体１Ｂが高速で回転していることから、第１磁気ヘッド２３１および第２磁気ヘッド２３２は上段媒体１Ａから、また、第３磁気ヘッド２３３および第４磁気ヘッド２３４は下段媒体１Ｂから、それぞれ微小距離だけ浮き上がった状態となる。なお、ステップ２０３が、ヘッド駆動工程に対応している。
【００５６】
また、本実施の形態では、サーティファイ検査装置１０によるサーティファイ検査において、上段媒体１Ａの第１面に対する第１磁気ヘッド２３１を用いた位置決め位置と、上段媒体１Ａの第２面に対する第２磁気ヘッド２３２を用いた位置決め位置と、下段媒体１Ｂの第１面に対する第３磁気ヘッド２３３を用いた位置決め位置と、下段媒体１Ｂの第２面に対する第４磁気ヘッド２３４を用いた位置決め位置とを近似した位置とすることにより、サーティファイ検査における磁気ヘッド２３の移動距離を減らし、検査工程の効率を高めることができる。
【００５７】
具体的には、各磁気記録媒体１において検査対象となるトラックＴをそれぞれの内側から第１トラック、第２トラック、第３トラック、・・・、第ｎトラックとした場合、第１磁気ヘッド２３１を用いた上段媒体１Ａの第１面、第１トラックの検査を行い（ステップ２０４）、ステップ２０４の検査が完了した後に第２磁気ヘッド２３２を用いた上段媒体１Ａの第２面、第１トラックの検査を行い（ステップ２０５）、ステップ２０５の検査が完了した後に第３磁気ヘッド２３３を用いた下段媒体１Ｂの第１面、１トラックの検査を行い（ステップ２０６）、ステップ２０６の検査が完了した後に第４磁気ヘッド２３４を用いた下段媒体１Ｂの第２面、第１トラックの検査を行う（ステップ２０７）。その後、第１磁気ヘッド２３１を用いた上段媒体１Ａの第１面、第２トラックの検査を行い（ステップ２０４）、ステップ２０４の検査が完了した後に第２磁気ヘッド２３２を用いた上段媒体１Ａの第２面、第２トラックの検査を行い（ステップ２０５）、ステップ２０５の検査が完了した後に第３磁気ヘッド２３３を用いた下段媒体１Ｂの第１面、第２トラックの検査を行い（ステップ２０６）、ステップ２０６の検査が完了した後に第４磁気ヘッド２３４を用いた下段媒体１Ｂの第２面、第２トラックの検査を行い（ステップ２０７）、その後、ステップ２０４〜ステップ２０７を繰り返して第ｎトラックまでの検査を行う。ここで、ステップ２０４〜ステップ２０７では、それぞれの面に対応する記録ヘッドによるデータの記録を行うとともに、それぞれの面に対応する再生ヘッドによるデータの再生を行う。例えばステップ２０４では、上段媒体１Ａの第１面に対し、第１記録ヘッド２３１Ｗを用いてデータの記録を行い、第１記録ヘッド２３１Ｗによって上段媒体１Ａの第１面に記録されたデータを、第１再生ヘッド２３１Ｒを用いて再生する。そして、第１磁気ヘッド２３１を用いたデータの記録および再生においては、第１再生ヘッド２３１Ｒにて上段媒体１Ａの第１面に磁気転写によって記録されたサーボ・データの再生を行い、その結果に基づく第１磁気ヘッド２３１の位置決めを実行する。ここで、本実施の形態では、ステップ２０４が第１の記録再生工程に、ステップ２０５が第２の記録再生工程に、ステップ２０６が第３の記録再生工程に、ステップ２０７が第４の記録再生工程に、それぞれ対応している。なお、同一のトラックの検査におけるステップ２０４〜ステップ２０７の順番に制限はなく、ステップ２０４、ステップ２０５、ステップ２０６、ステップ２０７の順でなくとも、ステップ２０４、ステップ２０６、ステップ２０５、ステップ２０７の順であってもよい。
【００５８】
その後、主制御部１５ａは、ＶＣＭ制御部１５ｃを介してＨＳＡ１３に設けられたボイス・コイル２４への電流の供給を停止する。すると、ボイス・コイル２４とマグネット部１４との間に作用する磁力がなくなることにより、ピボット２１を軸としてＨＳＡ１３が回転する。これにより、上段媒体１Ａおよび下段媒体１Ｂ側からランプ１７にＨＳＡ１３をアンロードする（ステップ２０８）。このとき、第１アーム２２１に設けられた第１磁気ヘッド２３１は上段媒体１Ａの第１面から、第２アーム２２２に設けられた第２磁気ヘッド２３２は上段媒体１Ａの第２面から、第３アーム２２３に設けられた第３磁気ヘッド２３３は下段媒体１Ｂの第１面から、そして第４アーム２２４に設けられた第４磁気ヘッド２３４は下段媒体１Ｂの第２面から、それぞれ待避するようになる。
【００５９】
次に、主制御部１５ａは、スピンドル制御部１５ｂを介して媒体駆動部１２に設けられたスピンドル・モータ１２ａの駆動を停止させる（ステップ２０９）。これに伴い、スピンドルに取り付けられた上段媒体１Ａおよび下段媒体１Ｂは、予め決められた回転速度から減速し、最終的に回転を停止する。
【００６０】
そして、媒体駆動部１２に設けられたスピンドルから、サーティファイ検査が完了した２枚の磁気記録媒体１すなわち上段媒体１Ａおよび下段媒体１Ｂの取り外しを行う（ステップ２１０）。なお、ステップ２１０が完了するまでの間に、ＰＣ１８による、上段媒体１Ａの第１面、第２面に対する評価および下段媒体１Ｂの第１面、第２面に対する評価が完了している。そして、第１面および第２面の検査結果がともに合格となった磁気記録媒体１が、製品として出荷されることになる。
【００６１】
上述したように、本実施の形態では、複数の磁気記録媒体１を１台のサーティファイ検査装置１０に重ねて搭載し、各磁気記録媒体１の各面に対し、磁気的な検査を行うようにしている。このような構成を採用することにより、例えば１台のサーティファイ検査装置１０に１枚の磁気記録媒体１を取り付けて検査を行う場合に比較して、磁気記録媒体１の交換に要する時間を短くできる分、単位時間あたりの磁気記録媒体１の検査枚数（処理枚数）を増加させることが可能となり、検査の効率を向上させることが可能になる。
【００６２】
また、本実施の形態では、磁気転写によってサーボ・パターンがすでに記録された磁気記録媒体１に対し、サーボ・パターンを利用して位置決めを行いながらサーティファイ検査を行うようにしている。このため、テスト・データの書き込みおよび書き込んだテスト・データの読み取りによって磁気記録媒体１の合否を判断するサーティファイ検査において、サーボ・パターンの読み取り結果から、磁気記録媒体１へのサーボ・パターンの転写不良に起因する不具合も検出することが可能になる。
【００６３】
また、本実施の形態では、１台のサーティファイ検査装置１０に、一度に２枚の磁気記録媒体１を取り付けて連続的に検査するようにし、それに際して磁気ヘッド２３の移動量を極力減らすようにしているため、サーティファイ検査における検査の効率を向上させることが可能になる。
【００６４】
なお、本実施の形態では、１台のサーティファイ検査装置１０に、一度に２枚の磁気記録媒体１を取り付けて連続的に検査するようにしていたが、これに限られるものではなく、一度に３枚以上の磁気記録媒体１を取り付けて連続的に検査するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００６５】
１…磁気記録媒体、１Ａ…上段媒体、１Ｂ…下段媒体、１０…サーティファイ検査装置、１１…基台、１２…媒体駆動部、１３…ヘッド・スタック・アッセンブリ（ＨＳＡ）、１４…マグネット部、１５…コントローラ、１５ａ…主制御部、１５ｂ…スピンドル制御部、１５ｃ…ＶＣＭ制御部、１５ｄ…記録信号出力部、１５ｅ…再生信号処理部、１６…フレキシブル・プリント基板（ＦＰＣ）、１７…ランプ、１８…パーソナル・コンピュータ（ＰＣ）、２１…ピボット、２２…アーム、２２１…第１アーム、２２２…第２アーム、２２３…第３アーム、２２４…第４アーム、２３…磁気ヘッド、２３１…第１磁気ヘッド、２３２…第２磁気ヘッド、２３３…第３磁気ヘッド、２３４…第４磁気ヘッド、２４…ボイス・コイル、７０…磁気転写装置、２００…マスタ情報記録体、Ａ１…読み書きデータ記憶領域、Ａ２…位置決めデータ記憶領域、Ｔ…トラック、Ｓ…セクタ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置決めデータが記録された磁気記録媒体の検査方法および位置決めデータが記録された磁気記録媒体の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハード・ディスク・ドライブ等に代表される磁気記録装置では、回転する磁気記録媒体に対し、磁気ヘッドを用いたデータの書き込みおよび読み取りが行われる。
この種の磁気記録装置では、磁気記録媒体上の目的とする位置に磁気ヘッドを移動させ、且つ、その位置でのデータの書き込みおよび読み取りを行わせるために、磁気ヘッドの位置決めを行っている。このため、磁気記録媒体には、予め、磁気ヘッドによって読み取られるとともに磁気ヘッドの位置決めに使用される位置決めデータが記録されている。
【０００３】
公報記載の従来技術として、磁気記録媒体に対する位置決めデータ等の記録を、所謂磁気転写方式にて行うことが提案されている（特許文献１参照）。また、特許文献１には、磁性層を含む各層が積層された磁気記録媒体に初期磁化を施し、初期磁化が施された磁気記録媒体に、突起を検出するグライド検査およびデータの読み書きによって磁性層の欠陥を検出するサーティファイ検査を行った後、位置決めデータ等を磁気転写にて記録することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２０３３３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、磁気記録媒体の需要が今後さらに増加する傾向にあることを考慮すると、上述したサーティファイ検査についても効率化を図ることが要請されている。そして、位置決めデータ等を記録した磁気記録媒体に対して、その記録データの良否を含めて判断できるサーティファイ検査が求められる。
ここで、位置決めデータが記録されている磁気記録媒体にサーティファイ検査を行う場合、磁気記録媒体に対しデータを読み書きする位置を設定するための位置決め機構を別途設ける必要があり、検査装置の大型化、複雑化、検査効率の低下を招くことになる。
また、磁気記録媒体を１枚ずつサーティファイ検査装置に取り付けて検査を行った場合には、磁気記録媒体の交換に要する期間が長くなり、その点でも検査効率が低下してしまう。
本発明は、位置決めデータが記録された磁気記録媒体の検査における、単位時間あたりの処理枚数を増加させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、両面に位置決めデータが記録された少なくとも２枚の円盤状の磁気記録媒体の検査方法であって、第１の位置決めデータが記録された第１の磁気記録媒体面と、その裏側において第２の位置決めデータが記録された第２の磁気記録媒体面と、第３の位置決めデータが記録された第３の磁気記録媒体面と、その裏側において第４の位置決めデータが記録された第４の磁気記録媒体面とを、同軸中心で回転させる媒体回転工程と、第１の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第１のヘッドと、第２の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第２のヘッドと、第３の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第３のヘッドと、第４の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第４のヘッドとを、同軸中心で一体的に回転させるヘッド駆動工程と、回転する第１の磁気記録媒体面に記録された第１の位置決めデータを第１のヘッドで再生させた結果に基づいて、第１の磁気記録媒体面に対する第１のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた第１のヘッドを用いて第１の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、第１の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第１のヘッドで再生させる第１の記録再生工程と、回転する第２の磁気記録媒体面に記録された第２の位置決めデータを第２のヘッドで再生させた結果に基づいて、第２の磁気記録媒体面に対する第２のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた第２のヘッドを用いて第２の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、第２の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第２のヘッドで再生させる第２の記録再生工程と、回転する第３の磁気記録媒体面に記録された第３の位置決めデータを第３のヘッドで再生させた結果に基づいて、第３の磁気記録媒体面に対する第３のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた第３のヘッドを用いて第３の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、第３の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第３のヘッドで再生させる第３の記録再生工程と、回転する第４の磁気記録媒体面に記録された第４の位置決めデータを第４のヘッドで再生させた結果に基づいて、第４の磁気記録媒体面に対する第４のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた第４のヘッドを用いて第４の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、第４の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第４のヘッドで再生させる第４の記録再生工程とを含んでいる。
【０００７】
この磁気記録媒体の検査方法において、媒体回転工程よりも前に、第１の磁気記録媒体面に、磁気転写法を用いて第１の位置決めデータを記録する第１の磁気転写工程と、第２の磁気記録媒体面に、磁気転写法を用いて第２の位置決めデータを記録する第２の磁気転写工程と、第３の磁気記録媒体面に、磁気転写法を用いて第３の位置決めデータを記録する第３の磁気転写工程と、第４の磁気記録媒体面に、磁気転写法を用いて第４の位置決めデータを記録する第４の磁気転写工程とをさらに含むことを特徴とすることができる。
また、第１の記録再生工程において第１の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第１のヘッドで再生させた結果に基づいて第１の磁気記録媒体面の合否を判断し、第２の記録再生工程において第２の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第２のヘッドで再生させた結果に基づいて第２の磁気記録媒体面の合否を判断し、第３の記録再生工程において第３の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第３のヘッドで再生させた結果に基づいて第３の磁気記録媒体面の合否を判断し、第４の記録再生工程において第４の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第４のヘッドで再生させた結果に基づいて第４の磁気記録媒体面の合否を判断する判断工程をさらに含むことを特徴とすることができる。
また、判断工程では、さらに、第１の記録再生工程において第１の磁気記録媒体面に記録された第１の位置決めデータを第１のヘッドで再生させた結果に基づいて第１の磁気記録媒体面の合否を判断し、第２の記録再生工程において第２の磁気記録媒体面に記録された第２の位置決めデータを第２のヘッドで再生させた結果に基づいて第２の磁気記録媒体面の合否を判断し、第３の記録再生工程において第３の磁気記録媒体面に記録された第３の位置決めデータを第３のヘッドで再生させた結果に基づいて第３の磁気記録媒体面の合否を判断し、第４の記録再生工程において第４の磁気記録媒体面に記録された第４の位置決めデータを第４のヘッドで再生させた結果に基づいて第４の磁気記録媒体面の合否を判断することを特徴とすることができる。
さらに、第１の磁気記録媒体面に対する第１のヘッドを用いた記録再生工程での位置決め位置と、第２の磁気記録媒体面に対する第２のヘッドを用いた記録再生工程での位置決め位置と、第３の磁気記録媒体面に対する第３のヘッドを用いた記録再生工程での位置決め位置と、第４の磁気記録媒体面に対する第４のヘッドを用いた記録再生工程での位置決め位置とが、近似した位置であることを特徴とすることができる。
【０００８】
また、他の観点から捉えると、本発明は、両面に位置決めデータが記録された少なくとも２枚の円盤状の磁気記録媒体の検査装置であって、第１の位置決めデータが記録された第１の磁気記録媒体面と、その裏側において第２の位置決めデータが記録された第２の磁気記録媒体面と、第３の位置決めデータが記録された第３の磁気記録媒体面と、その裏側において第４の位置決めデータが記録された第４の磁気記録媒体面とを、同軸中心で回転させる回転機構と、第１の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第１のヘッドと、第２の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第２のヘッドと、第３の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第３のヘッドと、第４の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第４のヘッドとを、同軸中心で一体的に回転させることにより、第１の磁気記録媒体面に対する第１のヘッドの位置を設定し、第２の磁気記録媒体面に対する第２のヘッドの位置を設定し、第３の磁気記録媒体面に対する第３のヘッドの位置を設定し、第４の磁気記録媒体面に対する第４のヘッドの位置を設定する位置設定機構と、回転する第１の磁気記録媒体面に記録された第１の位置決めデータを第１のヘッドで再生させた結果に基づいて、位置設定機構を用いて第１の磁気記録媒体面に対する第１のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた第１のヘッドを用いて第１の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、第１の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第１のヘッドで再生させ、回転する第２の磁気記録媒体面に記録された第２の位置決めデータを第２のヘッドで再生させた結果に基づいて、位置設定機構を用いて第２の磁気記録媒体面に対する第２のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた第２のヘッドを用いて第２の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、第２の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第２のヘッドで再生させ、回転する第３の磁気記録媒体面に記録された第３の位置決めデータを第３のヘッドで再生させた結果に基づいて、位置設定機構を用いて第３の磁気記録媒体面に対する第３のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた第３のヘッドを用いて第３の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、第３の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第３のヘッドで再生させ、回転する第４の磁気記録媒体面に記録された第４の位置決めデータを第４のヘッドで再生させた結果に基づいて、位置設定機構を用いて第４の磁気記録媒体面に対する第４のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた第４のヘッドを用いて第４の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、第４の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第４のヘッドで再生させる制御を行う制御部とを含んでいる。
【０００９】
この磁気記録媒体の検査装置は、第１の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第１のヘッドで再生させた結果に基づいて第１の磁気記録媒体面の合否を判断し、第２の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第２のヘッドで再生させた結果に基づいて第２の磁気記録媒体面の合否を判断し、第３の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第３のヘッドで再生させた結果に基づいて第３の磁気記録媒体面の合否を判断し、第４の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを第４のヘッドで再生させた結果に基づいて第４の磁気記録媒体面の合否を判断する判断部をさらに含むことを特徴とすることができる。
また、判断部は、さらに、第１の磁気記録媒体面に記録された第１の位置決めデータを第１のヘッドで再生させた結果に基づいて第１の磁気記録媒体面の合否を判断し、第２の磁気記録媒体面に記録された第２の位置決めデータを第２のヘッドで再生させた結果に基づいて第２の磁気記録媒体面の合否を判断し、第３の磁気記録媒体面に記録された第３の位置決めデータを第３のヘッドで再生させた結果に基づいて第３の磁気記録媒体面の合否を判断し、第４の磁気記録媒体面に記録された第４の位置決めデータを第４のヘッドで再生させた結果に基づいて第４の磁気記録媒体面の合否を判断することを特徴とすることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、位置決めデータが記録された磁気記録媒体の検査における、単位時間あたりの処理枚数を増加させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】磁気記録媒体の断面構成の一例を示す図である。
【図２】磁気記録媒体の片面の上面図である。
【図３】本実施の形態における磁気記録媒体の製造方法の一例を示すフローチャートである。
【図４】磁気転写工程で用いられる磁気転写装置の構成の一例を示す図である。
【図５】磁気転写装置で用いられるマスタ情報記録体の構成の一例を示す図である。
【図６】サーティファイ検査工程で用いられるサーティファイ検査装置の構成の一例を示す図である。
【図７】サーティファイ検査装置で用いられるヘッド・スタック・アッセンブリの構成の一例を示す図である。
【図８】サーティファイ検査装置における制御ブロックの一例を示す図である。
【図９】サーティファイ検査工程における検査手順の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は、磁気記録媒体１の断面構成の一例を示す図である。なお、磁気記録媒体１に対するデータの記録方式には面内記録方式と垂直記録方式とが存在するが、本実施の形態では、垂直記録方式において使用される磁気記録媒体１について説明を行う。
この磁気記録媒体１は、円盤状の基板１００と、円盤状の基板１００の両面上に形成された密着層１１０と、密着層１１０の上に形成された軟磁性下地層１２０と、軟磁性下地層１２０の上に形成された配向制御層１３０と、配向制御層１３０の上に形成された非磁性下地層１４０と、非磁性下地層１４０の上に形成された垂直記録層１５０と、垂直記録層１５０の上に形成された保護層１６０と、保護層１６０の上に形成された潤滑層１７０とを備えている。そして、本実施の形態では、基板１００の両面のそれぞれに、密着層１１０、軟磁性下地層１２０、配向制御層１３０、非磁性下地層１４０、垂直記録層１５０、保護層１６０、および潤滑層１７０が形成されるようになっている。なお、以下の説明においては、必要に応じて、基板１００の両面に密着層１１０から保護層１６０までを積層したもの、換言すれば、基板１００に潤滑層１７０以外を形成したものを、積層基板１８０と称することがある。
【００１３】
図２は、磁気記録媒体１の片面の上面図である。また、図２には、磁気記録媒体１の表面に設けられる複数のデータ領域を模式的に示している。
本実施の形態における磁気記録媒体１は、上述したように円盤状の形状を有しており、その中央部には磁気記録媒体１の表裏を貫通する円形状の孔が形成されている。以下の説明では、磁気記録媒体１における円形状の孔の縁を内端１ａと称し、磁気記録媒体１における外周の縁を外端１ｂと称する。
【００１４】
図２に示す磁気記録媒体１の表面には、磁気ヘッドを用いたデータの読み書きを行うための読み書きデータ記憶領域Ａ１と、磁気ヘッドを用いたデータの読み書きにおいて磁気ヘッドの位置決めに用いられるデータ（位置決めデータという）を記憶する位置決めデータ記憶領域Ａ２とが設けられている。この例において、位置決めデータ記憶領域Ａ２は、磁気記録媒体１の表面に、放射状に複数設けられている。また、磁気記録媒体１の表面には、同心円状に、複数のトラックＴが設けられる。さらに、磁気記録媒体１の表面において、隣接する２つの位置決めデータ記憶領域Ａ２に挟まれた各領域をセクタＳと呼ぶ。なお、図示はしていないが、図２に示す磁気記録媒体１の裏面にも、同様にして、読み書きデータ記憶領域Ａ１と位置決めデータ記憶領域Ａ２とが設けられている。ただし、磁気記録媒体１の表裏面のそれぞれに設けられた位置決めデータ記憶領域Ａ２は、表裏で位置を合わせなくてもかまわない。
【００１５】
磁気記録媒体１の位置決めデータ記憶領域Ａ２には、位置決めデータとして、例えば、磁気ヘッドによる読み取り時において検出信号の利得調整に用いられるＡＧＣ（Auto Gain Control）パターン、サーボ信号の検出に用いられる検出パターン、サーボ・トラックのシリンダ情報あるいはセクタ情報の検出に用いられるアドレス・パターン、そして目的とするトラックＴに磁気ヘッドを移動させた後にそのトラックＴ上に磁気ヘッドを追従させるのに用いられるバースト・パターン（いずれも図示せず）等を含むサーボ・パターンが、磁気記録媒体１に設けられた垂直記録層１５０に磁気記録されている。
【００１６】
図３は、本実施の形態における磁気記録媒体１の製造方法の一例を示すフローチャートである。本実施の形態では、磁気記録媒体１の製造過程において、上述した位置決めデータ記憶領域Ａ２にサーボ・パターンの書き込みを行っていること、より具体的には、後述するマスタ情報記録体２００（図５参照）を用いて、磁気記録媒体１の両面にサーボ・パターンを磁気転写していることに特徴がある。また、本実施の形態では、磁気記録媒体１の製造過程において、磁気記録媒体１に磁気転写されたサーボ・パターンを用いて、複数枚の磁気記録媒体１に対する磁気的な検査を、一台の検査装置でまとめて行うことに特徴がある。
【００１７】
以下、磁気記録媒体１の製造工程を簡単に説明する。
磁気記録媒体１の製造に先立ち、予め円盤状に形成されるとともに中央部に表裏を貫通する円形状の孔が形成された基板１００を準備し、予備洗浄を行った後、この基板１００に対する研磨を行う（ステップ１０１）。ステップ１０１における基板１００の研磨は、例えばダイヤモンドスラリーを用いたメカニカルポリッシュで行うことが望ましい。
【００１８】
次に、研磨が施された基板１００に対し、前洗浄を行う（ステップ１０２）。ステップ１０２における基板１００の前洗浄は、研磨が施された基板１００を、純水あるいは超純水に浸漬して超音波振動を加えながら行うことが好ましい。そして、前洗浄がなされた基板１００は、速やかにスピン法等で乾燥させることが好ましい。
【００１９】
続いて、前洗浄が施された基板１００の両面に対し、密着層１１０、軟磁性下地層１２０、配向制御層１３０、非磁性下地層１４０、垂直記録層１５０および保護層１６０を順次積層する成膜工程を行う（ステップ１０３）。ここで、生産性を向上させるという観点からすれば、ステップ１０３における各層の形成を、例えばそれぞれが成膜機能を備えた複数のチャンバを直列に接続したインライン式成膜装置で行うことが好ましい。また、生産性を向上させるという観点からすれば、成膜工程で形成される各層をスパッタリング法で形成することが望ましい。ただし、保護層１６０の強度を確保しつつ薄膜化するという観点からすれば、密着層１１０から垂直記録層１５０についてはスパッタリング法で形成する一方、保護層１６０についてはＣＶＤ法で形成することが好ましい。このように、前洗浄が施された基板１００に対し成膜工程を行うことで、積層基板１８０（図１参照）が得られる。
【００２０】
そして、成膜工程によって得られた積層基板１８０に対し、後洗浄を行う（ステップ１０４）。
【００２１】
次に、後洗浄が施された積層基板１８０に対し、潤滑剤を塗布し（ステップ１０５）、積層基板１８０に潤滑層１７０を形成する。続いて、潤滑層１７０が塗布された積層基板１８０を１００℃程度で数分間加熱するベークを行う（ステップ１０６）。これにより、潤滑層１７０に含まれる水分が揮発し、且つ、積層基板１８０の最表面側に設けられた保護層１６０と保護層１６０に接する潤滑層１７０との密着性が高まる。以上により、磁気記録媒体１が得られる。
【００２２】
次いで、ベークが施された磁気記録媒体１の両面をワイピングする（ステップ１０７）。ワイピング工程は、磁気記録媒体１の両面に付着したスパッタダスト等を拭き取るために行われる。
【００２３】
そして、ワイピングが施された磁気記録媒体１の両面に対しバーニッシュを行う（ステップ１０８）。
バーニッシュ工程は、磁気記録媒体１の表面に形成または付着した突起物を除去するため、その表面を、研磨テープを用いて研磨する工程である。このような処理を行うことにより、得られた磁気記録媒体１を磁気記録再生装置に組み込んだ場合に、磁気記録媒体１に対する磁気ヘッドの浮上量をより小さくすることができる。また、後述する磁気転写工程において、磁気記録媒体１とマスタ情報記録体２００との間に隙間が生じて転写パターンが不鮮明となり、マスタ情報記録体２００が損傷を受けるのを防ぐことができる。
【００２４】
次に、バーニッシュが施された磁気記録媒体１に対し、初期磁化を行う（ステップ１０９）。この例では、垂直記録方式で用いられる磁気記録媒体１を対象としているため、初期磁化工程は、磁気記録媒体１の表面に垂直方向に一方向の初期直流磁界を印加することによって行われる。その際に印加する初期直流磁界は永久磁石、電磁石によって発生させることが可能であり、好ましくは、より安定で磁力の強いＮｄＦｅＢ系の焼結磁石を用いて発生させるのが好ましい。また、初期磁化工程は磁気記録媒体１と磁石とを非接触状態で行うことが、磁気記録媒体１の表面の清浄性を維持する上で好ましい。
【００２５】
ここで、本実施の形態の磁気記録媒体１における垂直記録層１５０（第１磁性層１５１、第２磁性層１５３、第３磁性層１５５）の保磁力Ｈｃは、通常、３２０ｋＡ／ｍ（約４０００Ｏｅ）以上になっている。よって、初期磁化工程では、垂直記録層１５０の各磁性層を直流磁化することが可能な磁石を用いるとよい。
【００２６】
その後、初期磁化が施された磁気記録媒体１に対し、表面検査を行う（ステップ１１０）。表面検査工程では、初期磁化後の磁気記録媒体１の表面への塵埃の付着や異常突起の有無を検査する。
そして、表面検査が完了した磁気記録媒体１に対し磁気転写を行い（ステップ１１１）、磁気記録媒体１にサーボ・パターンを記憶させた位置決めデータ記憶領域Ａ２（図２参照）を設ける。
【００２７】
続いて、磁気転写が施された磁気記録媒体１に対しグライド検査を行う（ステップ１１２）。グライド検査工程では、磁気転写済の磁気記録媒体１の表面に突起物が無いかどうか、実際にヘッドを浮上走行させて検査する。磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体１をデータの書き込み（記録）および読み出し（再生）を実行する際に、磁気記録媒体１の表面に浮上量（磁気記録媒体１と磁気ヘッドとの間隔）以上の高さの突起があると、磁気ヘッドが突起にぶつかって磁気ヘッドが損傷したり、磁気記録媒体１に欠陥が発生したりする原因となる。このため、グライド検査では、そのような高い突起の有無を検査する。
【００２８】
次いで、グライド検査に合格した磁気記録媒体１に対し、サーティファイ検査を行う（ステップ１１３）。サーティファイ検査工程では、通常の磁気記録再生装置と同様に、磁気記録媒体１に対して磁気ヘッドで予め決められた信号を記録した後、記録した信号を再生し、得られた再生信号によって磁気記録媒体１の記録不良を検出し、磁気記録媒体１の電気特性や欠陥の有無など磁気記録媒体１の品質を確かめる。上述した方法で製造した磁気記録媒体１には、既にサーボ・パターンが書き込まれているため、サーボ情報を用いない従来の方式でのサーティファイ検査を実施することが困難となっている。このため、本実施の形態では、磁気記録媒体１に磁気転写されたサーボ・パターン（位置決めデータ）を利用して磁気ヘッドを特定箇所に位置づけし、データの読み書きを行う形式の検査を行う。なお、サーティファイ検査工程の詳細については後述する。
そして、サーティファイ検査に合格した磁気記録媒体１が、製品として出荷されることになる。
【００２９】
図４は、上述したステップ１１１の磁気転写工程で用いられる磁気転写装置７０の構成の一例を示す図である。
磁気転写装置７０は、移動可能に取り付けられ、サーボ・パターンが予め記録されたマスタ情報記録体２００を固定した状態で保持する第１記録体ホルダ３０と、第１記録体ホルダ３０に対向して配置されるとともに移動可能に取り付けられ、サーボ・パターンが予め記録されたマスタ情報記録体２００を固定した状態で保持する第２記録体ホルダ４０とを備える。ここで、第１記録体ホルダ３０および第２記録体ホルダ４０は、互いに近づく側および遠ざかる側に移動するように構成されている。そして、第１記録体ホルダ３０に取り付けられたマスタ情報記録体２００および第２記録体ホルダ４０に取り付けられたマスタ情報記録体２００は、互いに対向した状態で配置される。また、本実施の形態では、第１記録体ホルダ３０と第２記録体ホルダ４０との間すなわち２枚のマスタ情報記録体２００の間に、磁気記録媒体１が順次対向配置されるようになっている。
【００３０】
また、マスタ情報記録体２００を保持した第１記録体ホルダ３０の背面側には、第１磁石５１を備えた第１磁石部材５０が配置されている。第１磁石部材５０は、第１記録体ホルダ３０の背面に対向配置される第１磁石５１と、第１磁石５１を保持する第１磁石保持部５２と、第１磁石保持部５２の背面側から伸びる第１磁石支持部５３とを備えている。第１磁石支持部５３は、図中矢印方向に回転可能に支持されている。これにより、第１磁石支持部５３の進退に伴って第１磁石保持部５２に保持された第１磁石５１が進退するとともに、第１磁石支持部５３の回転に伴って第１磁石保持部５２に保持された第１磁石５１が回転するようになっている。
【００３１】
一方、マスタ情報記録体２００を保持した第２記録体ホルダ４０の背面側には、第２磁石６１を備えた第２磁石部材６０が配置されている。第２磁石部材６０は、第２記録体ホルダ４０の背面に対向配置される第２磁石６１と、第２磁石６１を保持する第２磁石保持部６２と、第２磁石保持部６２の背面側から伸びる第２磁石支持部６３とを備えている。第２磁石支持部６３は、図中矢印方向に回転可能に支持されている。これにより、第２磁石支持部６３の進退に伴って第２磁石保持部６２に保持された第２磁石６１が進退するとともに、第２磁石支持部６３の回転に伴って第２磁石保持部６２に保持された第２磁石６１が回転するようになっている。
【００３２】
また、第１磁石部材５０において、第１磁石５１は、第１磁石保持部５２に対し、第１磁石支持部５３の回転中心から偏倚した位置に放射方向に取り付けられている。また、第１磁石５１は、第１記録体ホルダ３０と対向する側が一方の極性の磁極（例えばＮ極）となるように第１磁石保持部５２に保持されている。
一方、第２磁石部材６０において、第２磁石６１は、第２磁石保持部６２に対し、第２磁石支持部６３の回転中心から偏倚した位置に放射方向に取り付けられている。また、第２磁石６１は、第２記録体ホルダ４０と対向する側が他方の極性の磁極（例えばＳ極）となるように第２磁石保持部６２に保持されている。
【００３３】
そして、本実施の形態では、第１磁石５１と第２磁石６１とが、第１記録体ホルダ３０および第２記録体ホルダ４０を挟んで対向するように配置される。また、第１磁石部材５０および第２磁石部材６０は、第１磁石５１と第２磁石６１とを対向させた状態を維持しながら、ともに回転するように構成されている。
【００３４】
図５は、磁気転写装置７０で用いられるマスタ情報記録体２００の構成の一例を示す図である。ここで、図５（ａ）はマスタ情報記録体２００の上面図を、また、図５（ｂ）は図５（ａ）におけるＶＢ−ＶＢ断面図を、それぞれ示している。
【００３５】
マスタ情報記録体２００は、基板１００よりも直径が大きい円盤状の形状を有している。また、マスタ情報記録体２００の一方の面（形成面に対応）には、サーボ・パターンに対応する微細な凹凸が形成されたサーボ・パターン形成領域ＳＰが設けられている。この例において、サーボ・パターン形成領域ＳＰは、マスタ情報記録体２００の一方の面に、中央部と外縁部とを除いて、放射状に複数設けられている。なお、図４に示す第１記録体ホルダ３０あるいは第２記録体ホルダ４０にマスタ情報記録体２００を取り付けた際には、サーボ・パターン形成領域ＳＰを設けた面が、互いに露出した状態で対向することになる。
【００３６】
次に、マスタ情報記録体２００の構造について説明すると、マスタ情報記録体２００は、円盤状の基体２０１と、この基体２０１の一方の面に形成されたマスタ磁性層２０２と、マスタ磁性層２０２の上に形成されたマスタ保護層２０３とを備えている。ここで、図５（ｂ）は、サーボ・パターン形成領域ＳＰにおけるマスタ情報記録体２００の断面構成を示しており、この部位には、サーボ・パターンに対応した凸部２０４および凹部２０５が存在している。なお、マスタ情報記録体２００の一方の面のうち、サーボ・パターン形成領域ＳＰ以外の領域は、サーボ・パターン形成領域ＳＰにおける凸部２０４と同じ高さとなっている。
【００３７】
マスタ情報記録体２００は公知の方法によって製造できるが、例えば次の製造方法を掲げることができる。先ず、シリコンウェハの表面に電子線レジストをスピンコート法により塗布する。塗布後、このレジストに対し、電子線露光装置を用いて、サーボ・パターンに対応させて変調した電子ビームを照射し、レジストを露光する。その後、レジストを現像し、未露光部分を除去して、シリコンウェハ上にレジストのパターンを形成する。
【００３８】
次いで、このレジストパターンをマスクとして用い、シリコンウェハに対して反応性エッチング処理を行い、レジストでマスクされていない箇所を掘り下げる。このエッチング処理後、シリコンウェハ上に残存するレジストを溶剤で洗浄除去する。その後、シリコンウェハを乾燥させてマスタ情報記録体２００を作製するための原盤を得る。
【００３９】
この原盤上に、Ｎｉからなる導電層をスパッタリング法により１０ｎｍ程度形成する。その後、この導電層を形成した原盤を母型として用い、電鋳法により、この原盤上に数μｍ厚のＮｉ層を形成する。その後、Ｎｉ層を原盤から外し、このＮｉ層を洗浄等して、表面に凸部を配設した基体２０１を得る。
【００４０】
次いで、この基体２０１の表面にマスタ磁性層２０２を形成する。このマスタ磁性層２０２については磁気記録媒体１に用いられる磁性層（第１磁性層１５１等）と同じものが使用できる。またマスタ磁性層２０２の上には磁気記録媒体１と同様にマスタ保護層２０３を形成する。このマスタ保護層２０３は、マスタ情報記録体２００の耐摩耗性すなわちマスタ情報記録体２００の転写耐久性を高めるものであり、数ｎｍ程度の厚さの硬質炭素膜等を用いることができる。以上の製造工程によってマスタ情報記録体２００を得ることができる。
なお、このようにして得られたマスタ情報記録体２００は、例えば１０万枚以上の磁気記録媒体１の製造（磁気転写）に繰り返し使用される。
【００４１】
ここで、ステップ１１１の磁気転写工程についてより具体的に説明すると、磁気転写装置７０は、まず、第１記録体ホルダ３０に取り付けられたマスタ情報記録体２００と第２記録体ホルダ４０に取り付けられたマスタ情報記録体２００との間に、磁気記録媒体１を搬送し停止させる。次に、第１記録体ホルダ３０および第２記録体ホルダ４０が移動し、第１記録体ホルダ３０に取り付けられたマスタ情報記録体２００と第２記録体ホルダ４０に取り付けられたマスタ情報記録体２００とによって、磁気記録媒体１を挟み込んだ状態で停止する。
【００４２】
次に、第１磁石部材５０および第２磁石部材６０では、第１磁石保持部５２および第２磁石保持部６２が、第１磁石支持部５３および第２磁石支持部６３を軸とし、２枚のマスタ情報記録体２００と磁気記録媒体１とを挟んで、第１磁石５１および第２磁石６１を対向させた状態を維持しながら少なくとも１回転する。
第１磁石５１および第２磁石６１が１回転する間、２枚のマスタ情報記録体２００に挟まれた磁気記録媒体１には、第１磁石５１および第２磁石６１により、初期磁化工程とは逆向きの転写直流磁界が周方向に順次印加される。すると、磁気記録媒体１のうち、第１記録体ホルダ３０側のマスタ情報記録体２００と接する側では、このマスタ情報記録体２００の凹部２０５と対向する部位における磁性層の磁化の向きは初期磁化工程後の状態を維持するものの、凸部２０４と接する部位における磁性層の磁化の向きは反転した状態となる。また、この磁気記録媒体１のうち、第２記録体ホルダ４０側のマスタ情報記録体２００と接する側でも、このマスタ情報記録体２００の凹部２０５と対向する部位における磁性層の磁化の向きは初期磁化工程後の状態を維持するものの、凸部２０４と接する部位における磁性層の磁化の向きは反転した状態となる。このようにして、磁気記録媒体１の両面には、それぞれ、マスタ情報記録体２００に設けられた凹凸の配列からなるサーボ・パターンが、磁化の向きの配列からなるサーボ・パターンとして転写される。
【００４３】
その後、第１記録体ホルダ３０および第２記録体ホルダ４０が、磁気転写済の磁気記録媒体１から離れる方向に移動する。そして、磁気転写が完了しサーボ・パターンが転写された磁気記録媒体１を、第１記録体ホルダ３０および第２記録体ホルダ４０に挟まれた位置から遠ざかる側に搬送することで、１枚の磁気記録媒体１に対する磁気転写を完了する。
【００４４】
では続いて、上述したステップ１１３におけるサーティファイ検査工程について詳細に説明する。
図６は、サーティファイ検査工程で用いられるサーティファイ検査装置１０の構成の一例を示す図である。
図６に示すサーティファイ検査装置１０は、図中上側となる前面および図中下側となる背面を有する板状の形状を有し、背面側には図示しないプリント基板（Printed Circuit Board Assembly：ＰＣＢＡ）が取り付けられた基台１１と、基台１１の前面側に設けられ、２枚の磁気記録媒体１を保持して回転させる媒体駆動部１２と、基台１１の前面側に固定されたピボット２１を軸として回転可能に取り付けられ、２枚の磁気記録媒体１の各面（合計で４面）に対するデータの書き込み（記録）および２枚の磁気記録媒体１の各面からのデータの読み取り（再生）を行うヘッド・スタック・アッセンブリ（Head Stack Assembly：ＨＳＡ）１３と、基台１１の前面側に取り付けられ、ＨＳＡ１３を駆動するのに用いられるマグネット部１４とを備えている。またサーティファイ検査装置１０は、基台１１の前面側に取り付けられ、媒体駆動部１２およびＨＳＡ１３の駆動制御を行うとともに、媒体駆動部１２に保持された２枚の磁気記録媒体１の各面への記録信号の出力やこれら２枚の磁気記録媒体１の各面からの再生信号に対する処理を行うコントローラ１５と、コントローラ１５とＨＳＡ１３とを電気的に接続するフレキシブル・プリント基板（Flexible printed circuits：ＦＰＣ）１６とを備えている。なお、コントローラ１５と媒体駆動部１２とは、上述した図示しないＰＣＢＡを介して電気的に接続されている。
【００４５】
これらのうち、回転機構の一例としての媒体駆動部１２は、サーボ・パターンが磁気転写された２枚の磁気記録媒体１を、それぞれの内端１ａ（図２参照）側を中心として同軸に重ねて取り付けること、および、取り付けられた２枚の磁気記録媒体１を取り外すことが可能なスピンドルを備えている。なお、以下の説明においては、必要に応じて、スピンドルに取り付けられた２枚の磁気記録媒体１のうち、基台１１に近い側すなわち図中において下方側に取り付けられた磁気記録媒体１を下段媒体１Ｂと称し、また、図中において下段媒体１Ｂの上側に取り付けられた磁気記録媒体１を上段媒体１Ａと称することがある。ここで、例えば上段媒体１Ａの表面（第１面）は第１の磁気記録媒体面に対応しており、上段媒体１Ａの裏面（第２面）は第２の磁気記録媒体面に対応しており、下段媒体１Ｂの第１面は第３の磁気記録媒体面に対応しており、下段媒体１Ｂの第２面は第４の磁気記録媒体面に対応している。したがって、上段媒体１Ａ第１面に磁気転写されたサーボ・パターンは第１の位置決めデータに対応しており、上段媒体１Ａ第２面に磁気転写されたサーボ・パターンは第２の位置決めデータに対応しており、下段媒体１Ｂ第１面に磁気転写されたサーボ・パターンは第３の位置決めデータに対応しており、下段媒体１Ｂ第２面に磁気転写されたサーボ・パターンは第４の位置決めデータに対応している。また、上述した磁気転写工程において、上段媒体１Ａ第１面となる磁気記録媒体１へのサーボ・パターンの磁気転写が第１の磁気転写工程に、上段媒体１Ａ第２面となる磁気記録媒体１へのサーボ・パターンの磁気転写が第２の磁気転写工程に、下段媒体１Ｂ第１面となる磁気記録媒体１へのサーボ・パターンの磁気転写が第３の磁気転写工程に、下段媒体１Ｂ第２面となる磁気記録媒体１へのサーボ・パターンの磁気転写が第４の磁気転写工程に、それぞれ対応している。
なお、本実施の形態では、磁気記録媒体１を２枚同時に検査する構成としたが、本願発明の検査は磁気記録媒体１を３枚以上設置することも可能である。ここで、磁気記録媒体１の枚数が増えるほど検査装置での生産性（検査効率）が高まるものの、一方で、枚数が増えると磁気記録媒体１を回転させるスピンドルのブレが生じやすくなり、また高速回転性が低下しやすくなる。
【００４６】
そして、サーティファイ検査装置１０は、基台１１の前面側において媒体駆動部１２のスピンドルに取り付けられた２枚の磁気記録媒体１の外端１ｂ（図２参照）よりもわずかに外側に配置され、２枚の磁気記録媒体１に対するデータの書き込みおよび磁気記録媒体１からのデータの読み取りを行わない場合に、ＨＳＡ１３の自由端側を磁気記録媒体１から待避させた状態で支持するためのランプ１７をさらに備えている。
【００４７】
図７は、サーティファイ検査装置１０で用いられるＨＳＡ１３の構成の一例を示す図である。
位置設定機構の一例としてのＨＳＡ１３は、上述したピボット２１と、ピボット２１からピボット２１の軸方向に交差する方向に沿って伸びるアーム２２と、ピボット２１からピボット２１の軸方向に交差する方向であってアーム２２とは反対側に取り付けられるボイス・コイル２４とを備える。ここで、アーム２２は、ピボット２１の軸方向に積層される第１アーム２２１、第２アーム２２２、第３アーム２２３および第４アーム２２４を備えている。また、ピボット２１の周囲には、上述したＦＰＣ１６を取り付けるためのコネクタ２５が設けられている。
【００４８】
また、アーム２２の自由端側には、磁気ヘッド２３が取り付けられている。本実施の形態の磁気ヘッド２３は、第１アーム２２１に取り付けられた第１磁気ヘッド２３１と、第２アーム２２２に取り付けられた第２磁気ヘッド２３２と、第３アーム２２３に取り付けられた第３磁気ヘッド２３３と、第４アーム２２４に取り付けられた第４磁気ヘッド２３４とを有している。図７において、第１磁気ヘッド２３１は第１アーム２２１に対し下側を向くように、第２磁気ヘッド２３２は第２アーム２２２に対し上側を向くように、第３磁気ヘッド２３３は第３アーム２２３に対し下側を向くように、そして第４磁気ヘッド２３４は第４アーム２２４に対し上側を向くように、それぞれ取り付けられている。なお、本実施の形態では、第１磁気ヘッド２３１および第２磁気ヘッド２３２が第１のヘッドに、第３磁気ヘッド２３３および第４磁気ヘッド２３４が第２のヘッドに、それぞれ対応している。
【００４９】
そして、図７に示すＨＳＡ１３を、図６に示すサーティファイ検査装置１０に取り付けてロードさせた際に、第１アーム２２１と第２アーム２２２との間に上段媒体１Ａが位置し、且つ、第３アーム２２３と第４アーム２２４との間に下段媒体１Ｂが位置するようになっている。その結果、上段媒体１Ａのうち図中上側を向く面（以下の説明では上段媒体１Ａの第１面と称する）に、第１アーム２２１に取り付けられた第１磁気ヘッド２３１が対向する。また、上段媒体１Ａのうち図中下側を向く面（以下の説明では上段媒体１Ａの第２面と称する）に、第２アーム２２２に取り付けられた第２磁気ヘッド２３２が対向する。さらに、下段媒体１Ｂのうち図中上側を向く面（以下の説明では下段媒体１Ｂの第１面と称する）に、第３アーム２２３に取り付けられた第３磁気ヘッド２３３が対向する。そして、下段媒体１Ｂのうち図中下側を向く面（以下の説明では下段媒体１Ｂの第２面と称する）に、第４アーム２２４に取り付けられた第４磁気ヘッド２３４が対向する。
【００５０】
また、図７に示すＨＳＡ１３を、図６に示すサーティファイ検査装置１０に取り付けた際に、マグネット部１４の内部にボイス・コイル２４が位置するようになっている。なお、本実施の形態では、基台１１に取り付けられたマグネット部１４と、ＨＳＡ１３に設けられたボイス・コイル２４とによって、ボイス・コイル・モータ（Voice Coil Motor：ＶＣＭ）が構成されている。
【００５１】
図８は、サーティファイ検査装置１０における制御ブロックの一例を示す図である。
ここで、第１磁気ヘッド２３１は、データの記録を行うための第１記録ヘッド２３１Ｗとデータの再生を行うための第１再生ヘッド２３１Ｒとを備えている。また、第２磁気ヘッド２３２は、データの記録を行うための第２記録ヘッド２３２Ｗとデータの再生を行うための第２再生ヘッド２３２Ｒとを備えている。さらに、第３磁気ヘッド２３３は、データの記録を行うための第３記録ヘッド２３３Ｗとデータの再生を行うための第３再生ヘッド２３３Ｒとを備えている。そして、第４磁気ヘッド２３４は、データの記録を行うための第４記録ヘッド２３４Ｗとデータの再生を行うための第４再生ヘッド２３４Ｒとを備えている。
【００５２】
制御部の一例としてのコントローラ１５は、サーティファイ検査装置１０の全体的な制御を行う主制御部１５ａと、媒体駆動部１２（図６参照）に設けられたスピンドルを回転させるスピンドル・モータ１２ａの駆動を制御するスピンドル制御部１５ｂと、ＨＳＡ１３に設けられたボイス・コイル２４に供給する電流を調整することによってＶＣＭを制御するＶＣＭ制御部１５ｃと、第１記録ヘッド２３１Ｗ、第２記録ヘッド２３２Ｗ、第３記録ヘッド２３３Ｗおよび第４記録ヘッド２３４Ｗに対し記録信号の出力を行う記録信号出力部１５ｄと、第１再生ヘッド２３１Ｒ、第２再生ヘッド２３２Ｒ、第３再生ヘッド２３３Ｒおよび第４再生ヘッド２３４Ｒからの再生信号を処理する再生信号処理部１５ｅとを備えている。また、コントローラ１５の主制御部１５ａには、サーティファイ検査装置１０のＰＣＢＡ（図示せず）に設けられたコネクタ２５を介してパーソナル・コンピュータ（ＰＣ）１８が接続されている。判断部の一例としてのパーソナル・コンピュータ１８は、サーティファイ検査装置１０に取り付けられた２枚の磁気記録媒体１（上段媒体１Ａおよび下段媒体１Ｂ）のサーティファイ検査における合否判定を行う。
【００５３】
では、サーティファイ検査装置１０の動作すなわちステップ１１３のサーティファイ検査工程について、具体的に説明する。
図９は、サーティファイ検査工程における検査手順の一例を示すフローチャートである。
サーティファイ検査の開始にあたって、まず、媒体駆動部１２に設けられたスピンドルに対し、２枚の磁気記録媒体１すなわち上段媒体１Ａおよび下段媒体１Ｂの取り付けを行う（ステップ２０１）。なお、ステップ２０１が開始される前の段階において、ＨＳＡ１３はランプ１７に待避しており、ＨＳＡ１３が磁気記録媒体１の取り付けの妨げとなることはない。
【００５４】
次に、主制御部１５ａは、スピンドル制御部１５ｂを介して媒体駆動部１２に設けられたスピンドル・モータ１２ａの駆動を開始させる（ステップ２０２）。これに伴い、スピンドルに取り付けられた上段媒体１Ａおよび下段媒体１Ｂは、予め決められた回転速度で定速回転する。なお、このときの回転速度は、磁気記録媒体１を磁気記録再生装置に組み込んで使用する際の値に合わせておくことが望ましい。なお、ステップ２０２が媒体回転工程に対応している。
【００５５】
それから、主制御部１５ａは、ＶＣＭ制御部１５ｃを介してＨＳＡ１３に設けられたボイス・コイル２４に電流を供給する。すると、ボイス・コイル２４とマグネット部１４との間に働く磁力の作用により、ピボット２１を軸としてＨＳＡ１３が回転する。これにより、ランプ１７から上段媒体１Ａおよび下段媒体１Ｂ側にＨＳＡ１３をロードする（ステップ２０３）。なお、このとき、ＨＳＡ１３に設けられた第１アーム２２１、第２アーム２２２、第３アーム２２３および第４アーム２２４は一体的に回転する。このため、第１アーム２２１に設けられた第１磁気ヘッド２３１は上段媒体１Ａの第１面に、第２アーム２２２に設けられた第２磁気ヘッド２３２は上段媒体１Ａの第２面に、第３アーム２２３に設けられた第３磁気ヘッド２３３は下段媒体１Ｂの第１面に、そして第４アーム２２４に設けられた第４磁気ヘッド２３４は下段媒体１Ｂの第２面に、それぞれ対峙するようになる。また、上段媒体１Ａおよび下段媒体１Ｂが高速で回転していることから、第１磁気ヘッド２３１および第２磁気ヘッド２３２は上段媒体１Ａから、また、第３磁気ヘッド２３３および第４磁気ヘッド２３４は下段媒体１Ｂから、それぞれ微小距離だけ浮き上がった状態となる。なお、ステップ２０３が、ヘッド駆動工程に対応している。
【００５６】
また、本実施の形態では、サーティファイ検査装置１０によるサーティファイ検査において、上段媒体１Ａの第１面に対する第１磁気ヘッド２３１を用いた位置決め位置と、上段媒体１Ａの第２面に対する第２磁気ヘッド２３２を用いた位置決め位置と、下段媒体１Ｂの第１面に対する第３磁気ヘッド２３３を用いた位置決め位置と、下段媒体１Ｂの第２面に対する第４磁気ヘッド２３４を用いた位置決め位置とを近似した位置とすることにより、サーティファイ検査における磁気ヘッド２３の移動距離を減らし、検査工程の効率を高めることができる。
【００５７】
具体的には、各磁気記録媒体１において検査対象となるトラックＴをそれぞれの内側から第１トラック、第２トラック、第３トラック、・・・、第ｎトラックとした場合、第１磁気ヘッド２３１を用いた上段媒体１Ａの第１面、第１トラックの検査を行い（ステップ２０４）、ステップ２０４の検査が完了した後に第２磁気ヘッド２３２を用いた上段媒体１Ａの第２面、第１トラックの検査を行い（ステップ２０５）、ステップ２０５の検査が完了した後に第３磁気ヘッド２３３を用いた下段媒体１Ｂの第１面、１トラックの検査を行い（ステップ２０６）、ステップ２０６の検査が完了した後に第４磁気ヘッド２３４を用いた下段媒体１Ｂの第２面、第１トラックの検査を行う（ステップ２０７）。その後、第１磁気ヘッド２３１を用いた上段媒体１Ａの第１面、第２トラックの検査を行い（ステップ２０４）、ステップ２０４の検査が完了した後に第２磁気ヘッド２３２を用いた上段媒体１Ａの第２面、第２トラックの検査を行い（ステップ２０５）、ステップ２０５の検査が完了した後に第３磁気ヘッド２３３を用いた下段媒体１Ｂの第１面、第２トラックの検査を行い（ステップ２０６）、ステップ２０６の検査が完了した後に第４磁気ヘッド２３４を用いた下段媒体１Ｂの第２面、第２トラックの検査を行い（ステップ２０７）、その後、ステップ２０４〜ステップ２０７を繰り返して第ｎトラックまでの検査を行う。ここで、ステップ２０４〜ステップ２０７では、それぞれの面に対応する記録ヘッドによるデータの記録を行うとともに、それぞれの面に対応する再生ヘッドによるデータの再生を行う。例えばステップ２０４では、上段媒体１Ａの第１面に対し、第１記録ヘッド２３１Ｗを用いてデータの記録を行い、第１記録ヘッド２３１Ｗによって上段媒体１Ａの第１面に記録されたデータを、第１再生ヘッド２３１Ｒを用いて再生する。そして、第１磁気ヘッド２３１を用いたデータの記録および再生においては、第１再生ヘッド２３１Ｒにて上段媒体１Ａの第１面に磁気転写によって記録されたサーボ・データの再生を行い、その結果に基づく第１磁気ヘッド２３１の位置決めを実行する。ここで、本実施の形態では、ステップ２０４が第１の記録再生工程に、ステップ２０５が第２の記録再生工程に、ステップ２０６が第３の記録再生工程に、ステップ２０７が第４の記録再生工程に、それぞれ対応している。なお、同一のトラックの検査におけるステップ２０４〜ステップ２０７の順番に制限はなく、ステップ２０４、ステップ２０５、ステップ２０６、ステップ２０７の順でなくとも、ステップ２０４、ステップ２０６、ステップ２０５、ステップ２０７の順であってもよい。
【００５８】
その後、主制御部１５ａは、ＶＣＭ制御部１５ｃを介してＨＳＡ１３に設けられたボイス・コイル２４への電流の供給を停止する。すると、ボイス・コイル２４とマグネット部１４との間に作用する磁力がなくなることにより、ピボット２１を軸としてＨＳＡ１３が回転する。これにより、上段媒体１Ａおよび下段媒体１Ｂ側からランプ１７にＨＳＡ１３をアンロードする（ステップ２０８）。このとき、第１アーム２２１に設けられた第１磁気ヘッド２３１は上段媒体１Ａの第１面から、第２アーム２２２に設けられた第２磁気ヘッド２３２は上段媒体１Ａの第２面から、第３アーム２２３に設けられた第３磁気ヘッド２３３は下段媒体１Ｂの第１面から、そして第４アーム２２４に設けられた第４磁気ヘッド２３４は下段媒体１Ｂの第２面から、それぞれ待避するようになる。
【００５９】
次に、主制御部１５ａは、スピンドル制御部１５ｂを介して媒体駆動部１２に設けられたスピンドル・モータ１２ａの駆動を停止させる（ステップ２０９）。これに伴い、スピンドルに取り付けられた上段媒体１Ａおよび下段媒体１Ｂは、予め決められた回転速度から減速し、最終的に回転を停止する。
【００６０】
そして、媒体駆動部１２に設けられたスピンドルから、サーティファイ検査が完了した２枚の磁気記録媒体１すなわち上段媒体１Ａおよび下段媒体１Ｂの取り外しを行う（ステップ２１０）。なお、ステップ２１０が完了するまでの間に、ＰＣ１８による、上段媒体１Ａの第１面、第２面に対する評価および下段媒体１Ｂの第１面、第２面に対する評価が完了している。そして、第１面および第２面の検査結果がともに合格となった磁気記録媒体１が、製品として出荷されることになる。
【００６１】
上述したように、本実施の形態では、複数の磁気記録媒体１を１台のサーティファイ検査装置１０に重ねて搭載し、各磁気記録媒体１の各面に対し、磁気的な検査を行うようにしている。このような構成を採用することにより、例えば１台のサーティファイ検査装置１０に１枚の磁気記録媒体１を取り付けて検査を行う場合に比較して、磁気記録媒体１の交換に要する時間を短くできる分、単位時間あたりの磁気記録媒体１の検査枚数（処理枚数）を増加させることが可能となり、検査の効率を向上させることが可能になる。
【００６２】
また、本実施の形態では、磁気転写によってサーボ・パターンがすでに記録された磁気記録媒体１に対し、サーボ・パターンを利用して位置決めを行いながらサーティファイ検査を行うようにしている。このため、テスト・データの書き込みおよび書き込んだテスト・データの読み取りによって磁気記録媒体１の合否を判断するサーティファイ検査において、サーボ・パターンの読み取り結果から、磁気記録媒体１へのサーボ・パターンの転写不良に起因する不具合も検出することが可能になる。
【００６３】
また、本実施の形態では、１台のサーティファイ検査装置１０に、一度に２枚の磁気記録媒体１を取り付けて連続的に検査するようにし、それに際して磁気ヘッド２３の移動量を極力減らすようにしているため、サーティファイ検査における検査の効率を向上させることが可能になる。
【００６４】
なお、本実施の形態では、１台のサーティファイ検査装置１０に、一度に２枚の磁気記録媒体１を取り付けて連続的に検査するようにしていたが、これに限られるものではなく、一度に３枚以上の磁気記録媒体１を取り付けて連続的に検査するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００６５】
１…磁気記録媒体、１Ａ…上段媒体、１Ｂ…下段媒体、１０…サーティファイ検査装置、１１…基台、１２…媒体駆動部、１３…ヘッド・スタック・アッセンブリ（ＨＳＡ）、１４…マグネット部、１５…コントローラ、１５ａ…主制御部、１５ｂ…スピンドル制御部、１５ｃ…ＶＣＭ制御部、１５ｄ…記録信号出力部、１５ｅ…再生信号処理部、１６…フレキシブル・プリント基板（ＦＰＣ）、１７…ランプ、１８…パーソナル・コンピュータ（ＰＣ）、２１…ピボット、２２…アーム、２２１…第１アーム、２２２…第２アーム、２２３…第３アーム、２２４…第４アーム、２３…磁気ヘッド、２３１…第１磁気ヘッド、２３２…第２磁気ヘッド、２３３…第３磁気ヘッド、２３４…第４磁気ヘッド、２４…ボイス・コイル、７０…磁気転写装置、２００…マスタ情報記録体、Ａ１…読み書きデータ記憶領域、Ａ２…位置決めデータ記憶領域、Ｔ…トラック、Ｓ…セクタ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
両面に位置決めデータが記録された少なくとも２枚の円盤状の磁気記録媒体の検査方法であって、
第１の位置決めデータが記録された第１の磁気記録媒体面と、その裏側において第２の位置決めデータが記録された第２の磁気記録媒体面と、第３の位置決めデータが記録された第３の磁気記録媒体面と、その裏側において第４の位置決めデータが記録された第４の磁気記録媒体面とを、同軸中心で回転させる媒体回転工程と、
前記第１の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第１のヘッドと、前記第２の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第２のヘッドと、前記第３の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第３のヘッドと、前記第４の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第４のヘッドとを、同軸中心で一体的に回転させるヘッド駆動工程と、
回転する前記第１の磁気記録媒体面に記録された前記第１の位置決めデータを前記第１のヘッドで再生させた結果に基づいて、当該第１の磁気記録媒体面に対する当該第１のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた当該第１のヘッドを用いて当該第１の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、当該第１の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを当該第１のヘッドで再生させる第１の記録再生工程と、
回転する前記第２の磁気記録媒体面に記録された前記第２の位置決めデータを前記第２のヘッドで再生させた結果に基づいて、当該第２の磁気記録媒体面に対する当該第２のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた当該第２のヘッドを用いて当該第２の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、当該第２の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを当該第２のヘッドで再生させる第２の記録再生工程と、
回転する前記第３の磁気記録媒体面に記録された前記第３の位置決めデータを前記第３のヘッドで再生させた結果に基づいて、当該第３の磁気記録媒体面に対する当該第３のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた当該第３のヘッドを用いて当該第３の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、当該第３の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを当該第３のヘッドで再生させる第３の記録再生工程と、
回転する前記第４の磁気記録媒体面に記録された前記第４の位置決めデータを前記第４のヘッドで再生させた結果に基づいて、当該第４の磁気記録媒体面に対する当該第４のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた当該第４のヘッドを用いて当該第４の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、当該第４の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを当該第４のヘッドで再生させる第４の記録再生工程と
を含む磁気記録媒体の検査方法。
【請求項２】
前記媒体回転工程よりも前に、
前記第１の磁気記録媒体面に、磁気転写法を用いて前記第１の位置決めデータを記録する第１の磁気転写工程と、
前記第２の磁気記録媒体面に、磁気転写法を用いて前記第２の位置決めデータを記録する第２の磁気転写工程と、
前記第３の磁気記録媒体面に、磁気転写法を用いて前記第３の位置決めデータを記録する第３の磁気転写工程と、
前記第４の磁気記録媒体面に、磁気転写法を用いて前記第４の位置決めデータを記録する第４の磁気転写工程と
をさらに含むことを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体の検査方法。
【請求項３】
前記第１の記録再生工程において前記第１の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを前記第１のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第１の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第２の記録再生工程において前記第２の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを前記第２のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第２の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第３の記録再生工程において前記第３の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを前記第３のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第３の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第４の記録再生工程において前記第４の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを前記第４のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第４の磁気記録媒体面の合否を判断する判断工程をさらに含むことを特徴とする請求項１または２記載の磁気記録媒体の検査方法。
【請求項４】
前記判断工程では、さらに、
前記第１の記録再生工程において前記第１の磁気記録媒体面に記録された前記第１の位置決めデータを前記第１のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第１の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第２の記録再生工程において前記第２の磁気記録媒体面に記録された前記第２の位置決めデータを前記第２のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第２の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第３の記録再生工程において前記第３の磁気記録媒体面に記録された前記第３の位置決めデータを前記第３のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第３の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第４の記録再生工程において前記第４の磁気記録媒体面に記録された前記第４の位置決めデータを前記第４のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第４の磁気記録媒体面の合否を判断することを特徴とする請求項３記載の磁気記録媒体の検査方法。
【請求項５】
前記第１の磁気記録媒体面に対する当該第１のヘッドを用いた記録再生工程での位置決め位置と、前記第２の磁気記録媒体面に対する当該第２のヘッドを用いた記録再生工程での位置決め位置と、前記第３の磁気記録媒体面に対する当該第３のヘッドを用いた記録再生工程での位置決め位置と、前記第４の磁気記録媒体面に対する当該第４のヘッドを用いた記録再生工程での位置決め位置とが、近似した位置であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の磁気記録媒体の検査方法。
【請求項６】
両面に位置決めデータが記録された少なくとも２枚の円盤状の磁気記録媒体の検査装置であって、
第１の位置決めデータが記録された第１の磁気記録媒体面と、その裏側において第２の位置決めデータが記録された第２の磁気記録媒体面と、第３の位置決めデータが記録された第３の磁気記録媒体面と、その裏側において第４の位置決めデータが記録された第４の磁気記録媒体面とを、同軸中心で回転させる回転機構と、
前記第１の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第１のヘッドと、前記第２の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第２のヘッドと、前記第３の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第３のヘッドと、前記第４の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第４のヘッドとを、同軸中心で一体的に回転させることにより、当該第１の磁気記録媒体面に対する当該第１のヘッドの位置を設定し、当該第２の磁気記録媒体面に対する当該第２のヘッドの位置を設定し、当該第３の磁気記録媒体面に対する当該第３のヘッドの位置を設定し、当該第４の磁気記録媒体面に対する当該第４のヘッドの位置を設定する位置設定機構と、
回転する前記第１の磁気記録媒体面に記録された前記第１の位置決めデータを前記第１のヘッドで再生させた結果に基づいて、前記位置設定機構を用いて当該第１の磁気記録媒体面に対する当該第１のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた当該第１のヘッドを用いて当該第１の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、当該第１の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを当該第１のヘッドで再生させ、回転する前記第２の磁気記録媒体面に記録された前記第２の位置決めデータを前記第２のヘッドで再生させた結果に基づいて、当該位置設定機構を用いて当該第２の磁気記録媒体面に対する当該第２のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた当該第２のヘッドを用いて当該第２の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、当該第２の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを当該第２のヘッドで再生させ、回転する前記第３の磁気記録媒体面に記録された前記第３の位置決めデータを前記第３のヘッドで再生させた結果に基づいて、当該位置設定機構を用いて当該第３の磁気記録媒体面に対する当該第３のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた当該第３のヘッドを用いて当該第３の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、当該第３の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを当該第３のヘッドで再生させ、回転する前記第４の磁気記録媒体面に記録された前記第４の位置決めデータを前記第４のヘッドで再生させた結果に基づいて、当該位置設定機構を用いて当該第４の磁気記録媒体面に対する当該第４のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた当該第４のヘッドを用いて当該第４の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、当該第４の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを当該第４のヘッドで再生させる制御を行う制御部と
を含む磁気記録媒体の検査装置。
【請求項７】
前記第１の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを前記第１のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第１の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第２の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを前記第２のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第２の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第３の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを前記第３のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第３の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第４の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを前記第４のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第４の磁気記録媒体面の合否を判断する判断部をさらに含むことを特徴とする請求項６記載の磁気記録媒体の検査装置。
【請求項８】
前記判断部は、さらに、前記第１の磁気記録媒体面に記録された前記第１の位置決めデータを前記第１のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第１の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第２の磁気記録媒体面に記録された前記第２の位置決めデータを前記第２のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第２の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第３の磁気記録媒体面に記録された前記第３の位置決めデータを前記第３のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第３の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第４の磁気記録媒体面に記録された前記第４の位置決めデータを前記第４のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第４の磁気記録媒体面の合否を判断することを特徴とする請求項７記載の磁気記録媒体の検査装置。
【請求項１】
両面に位置決めデータが記録された少なくとも２枚の円盤状の磁気記録媒体の検査方法であって、
第１の位置決めデータが記録された第１の磁気記録媒体面と、その裏側において第２の位置決めデータが記録された第２の磁気記録媒体面と、第３の位置決めデータが記録された第３の磁気記録媒体面と、その裏側において第４の位置決めデータが記録された第４の磁気記録媒体面とを、同軸中心で回転させる媒体回転工程と、
前記第１の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第１のヘッドと、前記第２の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第２のヘッドと、前記第３の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第３のヘッドと、前記第４の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第４のヘッドとを、同軸中心で一体的に回転させるヘッド駆動工程と、
回転する前記第１の磁気記録媒体面に記録された前記第１の位置決めデータを前記第１のヘッドで再生させた結果に基づいて、当該第１の磁気記録媒体面に対する当該第１のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた当該第１のヘッドを用いて当該第１の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、当該第１の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを当該第１のヘッドで再生させる第１の記録再生工程と、
回転する前記第２の磁気記録媒体面に記録された前記第２の位置決めデータを前記第２のヘッドで再生させた結果に基づいて、当該第２の磁気記録媒体面に対する当該第２のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた当該第２のヘッドを用いて当該第２の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、当該第２の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを当該第２のヘッドで再生させる第２の記録再生工程と、
回転する前記第３の磁気記録媒体面に記録された前記第３の位置決めデータを前記第３のヘッドで再生させた結果に基づいて、当該第３の磁気記録媒体面に対する当該第３のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた当該第３のヘッドを用いて当該第３の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、当該第３の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを当該第３のヘッドで再生させる第３の記録再生工程と、
回転する前記第４の磁気記録媒体面に記録された前記第４の位置決めデータを前記第４のヘッドで再生させた結果に基づいて、当該第４の磁気記録媒体面に対する当該第４のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた当該第４のヘッドを用いて当該第４の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、当該第４の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを当該第４のヘッドで再生させる第４の記録再生工程と
を含む磁気記録媒体の検査方法。
【請求項２】
前記媒体回転工程よりも前に、
前記第１の磁気記録媒体面に、磁気転写法を用いて前記第１の位置決めデータを記録する第１の磁気転写工程と、
前記第２の磁気記録媒体面に、磁気転写法を用いて前記第２の位置決めデータを記録する第２の磁気転写工程と、
前記第３の磁気記録媒体面に、磁気転写法を用いて前記第３の位置決めデータを記録する第３の磁気転写工程と、
前記第４の磁気記録媒体面に、磁気転写法を用いて前記第４の位置決めデータを記録する第４の磁気転写工程と
をさらに含むことを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体の検査方法。
【請求項３】
前記第１の記録再生工程において前記第１の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを前記第１のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第１の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第２の記録再生工程において前記第２の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを前記第２のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第２の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第３の記録再生工程において前記第３の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを前記第３のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第３の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第４の記録再生工程において前記第４の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを前記第４のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第４の磁気記録媒体面の合否を判断する判断工程をさらに含むことを特徴とする請求項１または２記載の磁気記録媒体の検査方法。
【請求項４】
前記判断工程では、さらに、
前記第１の記録再生工程において前記第１の磁気記録媒体面に記録された前記第１の位置決めデータを前記第１のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第１の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第２の記録再生工程において前記第２の磁気記録媒体面に記録された前記第２の位置決めデータを前記第２のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第２の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第３の記録再生工程において前記第３の磁気記録媒体面に記録された前記第３の位置決めデータを前記第３のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第３の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第４の記録再生工程において前記第４の磁気記録媒体面に記録された前記第４の位置決めデータを前記第４のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第４の磁気記録媒体面の合否を判断することを特徴とする請求項３記載の磁気記録媒体の検査方法。
【請求項５】
前記第１の磁気記録媒体面に対する当該第１のヘッドを用いた記録再生工程での位置決め位置と、前記第２の磁気記録媒体面に対する当該第２のヘッドを用いた記録再生工程での位置決め位置と、前記第３の磁気記録媒体面に対する当該第３のヘッドを用いた記録再生工程での位置決め位置と、前記第４の磁気記録媒体面に対する当該第４のヘッドを用いた記録再生工程での位置決め位置とが、近似した位置であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の磁気記録媒体の検査方法。
【請求項６】
両面に位置決めデータが記録された少なくとも２枚の円盤状の磁気記録媒体の検査装置であって、
第１の位置決めデータが記録された第１の磁気記録媒体面と、その裏側において第２の位置決めデータが記録された第２の磁気記録媒体面と、第３の位置決めデータが記録された第３の磁気記録媒体面と、その裏側において第４の位置決めデータが記録された第４の磁気記録媒体面とを、同軸中心で回転させる回転機構と、
前記第１の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第１のヘッドと、前記第２の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第２のヘッドと、前記第３の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第３のヘッドと、前記第４の磁気記録媒体面におけるデータの記録および再生を行う第４のヘッドとを、同軸中心で一体的に回転させることにより、当該第１の磁気記録媒体面に対する当該第１のヘッドの位置を設定し、当該第２の磁気記録媒体面に対する当該第２のヘッドの位置を設定し、当該第３の磁気記録媒体面に対する当該第３のヘッドの位置を設定し、当該第４の磁気記録媒体面に対する当該第４のヘッドの位置を設定する位置設定機構と、
回転する前記第１の磁気記録媒体面に記録された前記第１の位置決めデータを前記第１のヘッドで再生させた結果に基づいて、前記位置設定機構を用いて当該第１の磁気記録媒体面に対する当該第１のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた当該第１のヘッドを用いて当該第１の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、当該第１の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを当該第１のヘッドで再生させ、回転する前記第２の磁気記録媒体面に記録された前記第２の位置決めデータを前記第２のヘッドで再生させた結果に基づいて、当該位置設定機構を用いて当該第２の磁気記録媒体面に対する当該第２のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた当該第２のヘッドを用いて当該第２の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、当該第２の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを当該第２のヘッドで再生させ、回転する前記第３の磁気記録媒体面に記録された前記第３の位置決めデータを前記第３のヘッドで再生させた結果に基づいて、当該位置設定機構を用いて当該第３の磁気記録媒体面に対する当該第３のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた当該第３のヘッドを用いて当該第３の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、当該第３の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを当該第３のヘッドで再生させ、回転する前記第４の磁気記録媒体面に記録された前記第４の位置決めデータを前記第４のヘッドで再生させた結果に基づいて、当該位置設定機構を用いて当該第４の磁気記録媒体面に対する当該第４のヘッドの位置決めを行わせ、位置決めがなされた当該第４のヘッドを用いて当該第４の磁気記録媒体面に対するテスト・データの記録を行わせ、当該第４の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを当該第４のヘッドで再生させる制御を行う制御部と
を含む磁気記録媒体の検査装置。
【請求項７】
前記第１の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを前記第１のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第１の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第２の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを前記第２のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第２の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第３の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを前記第３のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第３の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第４の磁気記録媒体面に記録されたテスト・データを前記第４のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第４の磁気記録媒体面の合否を判断する判断部をさらに含むことを特徴とする請求項６記載の磁気記録媒体の検査装置。
【請求項８】
前記判断部は、さらに、前記第１の磁気記録媒体面に記録された前記第１の位置決めデータを前記第１のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第１の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第２の磁気記録媒体面に記録された前記第２の位置決めデータを前記第２のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第２の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第３の磁気記録媒体面に記録された前記第３の位置決めデータを前記第３のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第３の磁気記録媒体面の合否を判断し、前記第４の磁気記録媒体面に記録された前記第４の位置決めデータを前記第４のヘッドで再生させた結果に基づいて当該第４の磁気記録媒体面の合否を判断することを特徴とする請求項７記載の磁気記録媒体の検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２０１２−３３２４５（Ｐ２０１２−３３２４５Ａ）
【公開日】平成２４年２月１６日（２０１２．２．１６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１７３８２１（Ｐ２０１０−１７３８２１）
【出願日】平成２２年８月２日（２０１０．８．２）
【出願人】（０００００２００４）昭和電工株式会社 (3,251)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年２月１６日（２０１２．２．１６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年８月２日（２０１０．８．２）
【出願人】（０００００２００４）昭和電工株式会社 (3,251)
【Ｆターム（参考）】
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