置換型無電解金めっき液
還元剤を使うことなく被金めっき金属表面の酸化を防止して、はんだ接合特性が良好な金皮膜を形成させる、置換型無電解金めっき液を開示する。水溶性金塩、電導性向上剤、イミノ２酢酸構造を有するキレート剤、主鎖または環中に窒素原子を２個以上含む有機化合物からなる表面酸化抑制剤、および残部としての溶媒を含んでなる、置換型無電解金めっき液。
【発明の詳細な説明】
［発明の背景］
発明の分野
本発明は、置換型無電解金めっき液に関するものである。
【背景技術】
置換型金めっき液は、電子部品に施され、通常０．２ミクロン以下の薄膜を形成させるのに使われている。これは電子部品実装時の接合部を金薄膜で保護する為で、めっき工程で置換金めっきが施された電子部品の金めっき被覆部は、実装工程においてはんだ等を用いて別の電子部品と接合されて、最終的にはパソコン、携帯電話等の電子装置として組み上げられている。
近年、電子装置が小型化、軽量化されるにつれ、置換型金めっきのはんだ接合特性が問題として採り上げられることが多くなった。これは、電子装置の小型化、軽量化への要求に応えるためにはんだ接合部の面積が小さくなっていることに加え、電子装置の移動機会の増加によって、落下等の機械的衝撃、圧迫や変形圧力に曝される機会が多くなってきていることによる。電子回路の断線を防止するために、従来よりさらに高いはんだ接合強度が必要になってきている。
置換型金めっきは、主として、下地金属（例えば銅、ニッケル、コバルト、パラジウム等）の腐食を防止し、はんだ溶融時の濡れ性を確保するために用いられているが、この置換型金めっきが正しく行われないと、はんだの接合強度が低下する。すなわち、置換型金めっきが正しく行われなかった場合、下地金属（例えば銅、ニッケル等）の酸化が起きていることがあり、このような金めっき表面をはんだ接合すると、下地金属とはんだとの間に形成される接着層が十分な強度を与えないことがある。下地金属の上に形成された金の薄膜は、はんだ溶融時にはんだ内部に拡散してゆき、界面合金層が被めっき金属とはんだとで形成される。
従来より、置換型金めっき工程中の下地金属の酸化を如何に防止するか多くの技術検討がなされている。ここで、置換型金めっきとは、めっき液中の金と、下地金属（例えば銅やニッケル等）とのイオン化傾向の差異を利用した金めっき法であって、最もイオン化しにくい金属である金をイオンとしてめっき液に溶解させ、ここに被めっき基板として下地金属を設けた基板を浸漬すると、イオン化傾向の大きい下地金属がイオンとなってめっき液に溶解し、代わりにめっき液中の金イオンが金属として下地金属上に析出して、金皮膜を形成することを利用したものである。従って、置換金めっき法では、還元剤を必要としない。
一方、還元剤を必要とする無電解金めっきは、還元型めっきとも言われており、置換型よりも厚い膜厚が必要な場合、通常は０．２ミクロン以上の場合、に使われている。
最近、還元剤を置換めっき液に添加して置換反応と還元反応とを同時に進行させる置換還元めっきと呼ばれるめっき液が紹介されている。この方法では、還元剤の作用により金が析出するだけでなく、下地金属の酸化が防止され、結果としてはんだ接合強度が改良されると解釈されている。特開２０００−２１９９７３号公報では、ヒドラジン、ヒドロキシルアミン等の還元剤を添加した無電解金めっき液が紹介され、特開２００１−１０７２５９号公報では、次亜リン酸塩、ヒドラジン化合物の還元剤を添加した無電解金めっき液が紹介されている。
しかし、このような還元剤を添加した置換還元めっき液には、めっき液中の還元剤の分析・補充をめっき作業中に常時行なわなければならないという問題点がある。還元剤は、めっき浴の加熱により分解しこの際電子を放出する物質であるから、めっき液中に添加されて使用されるためにはこの分解反応は必要な化学反応である。このことから、めっきの進行につれて還元剤が分解し、有効な還元剤の量は次第に減少している。よって、めっき浴中に残存している還元剤の量を分析し、分解した分を補給する作業は置換還元型のめっき液には不可欠の作業といえる。還元剤の補給が良好に行われない場合には、めっき液中の還元剤濃度の変化や分解等による金析出状態の変化が生じて、良好なめっきを安定して行うことが困難になる結果、はんだ接合強度も不安定になりがちだった。
一方、通常の置換めっき液には還元剤が含有されていないので、このような作業は不要となる。特開２００１−１４４４４１号公報には、めっき液中に下地金属を溶解しない錯化剤および下地金属の過剰なエッチングを抑制する金析出防止剤を必須成分とする無電解金めっき液に関する技術が紹介されている。この技術は、下地金属の過度のエッチング抑制を目的とするものであって、下地金属の酸化防止については検討がなされていない。
また、下地金属を溶解しない錯化剤を使用すると、置換反応により溶出する下地金属を安定に溶解させることが出来ず、下地金属も金と一緒に再析出を起こしやすくなり、得られる金メッキは茶色がかった色調となり、金本来のレモンイエローの色調を示さなくなることがある。
［発明の概要］
本発明は、還元剤を使うことなく、被めっき金属表面の酸化を有効に防止して、はんだ接合特性の良好な金皮膜を形成させる無電解金めっき液を提供する。換言すれば、使用時の還元剤の分析・補充が不要な置換型無電解金めっき液を提供することである。
したがって、本発明による置換型無電解金めっき液は、水溶性金塩、電導性向上剤、イミノ２酢酸型キレート剤、主鎖または環中に窒素原子を２個以上含む有機化合物からなる表面酸化抑制剤、および残部としての溶媒を含んでなること、を特徴とするものである。
本発明者らは、水溶性金塩、電導性向上剤および錯化剤からなるめっき液に各種化合物を添加して置換型無電解金めっき液を得て、この金めっき液によって形成させた金めっき皮膜にはんだ接合を行って、その接合強度を測定した。
本発明者らは、電子部品に広く用いられている銅、ニッケル等の表面には、主鎖または環中に窒素原子を２個以上含む有機化合物が表面酸化抑制剤として有効であることを見出し、本発明に到達した。
これらの一連の表面酸化抑制剤を必須成分とする本発明による置換型無電解金めっき液は、還元剤を含有しないにもかかわらず、得られる金めっき皮膜のはんだ特性が良好なものである。そして、この金めっき液は、還元剤を含有しない為、熱安定性に優れかつめっき作業中に常時還元剤の分析・補充等を行わなくても良いものである。
また、本発明のめっき液は下地金属をキレートし安定に溶解させるので、めっき液を使用することによって蓄積される置換反応生成物（金が析出する際、溶出した下地金属イオン）が、金めっき析出層に混入して、金メッキの色調（レモンイエロー）を損なうこともなく、長時間のめっき液の使用に耐えられることになる。
本発明によれば、還元剤を使うことなく、被めっき金属表面の酸化を防止して、はんだ接合特性の良好な金皮膜を形成させる置換型無電解金めっき液を提供することができる。この金めっき液は、保存安定性が良好なものであって、かつ還元剤量の分析および補給作業を全く必要としないものである。
そして、本発明による金めっき液は、めっき液中に蓄積される溶出金属、例えば、銅およびニッケル、コバルト、パラジウム等の金属イオンの影響を受けにくいものなので、良好な特性の金めっき層を安定的かつ長期にわたって形成可能なものである。
【図面の簡単な説明】
図１は、はんだ接合特性を評価するための基板を示す図である。
図２ＡおよびＢは、本発明によるめっき処理基板を示す断面図である。
図３は、はんだ接合特性の評価に用いたはんだボールを示す図である。
図４は、はんだボールのシェアー強度測定の概要を示す図である。
図５は、接合が良好な場合の剥離状態を示す図である。
図６は、接合が不良の場合の剥離状態を示す図である。
図７ＡおよびＢは、実施例１のＡｕｇｅｒ測定結果を示す図である。
図８ＡおよびＢは、比較例１のＡｕｇｅｒ測定結果を示す図である。
図９は、実施例３のＥＳＣＡ測定結果を示す図である。
［発明の具体的な説明］
＜構成成分＞
本発明による金めっき液の主要構成成分は、水溶性金塩、電導性向上剤、イミノ２酢酸構造を有するキレート剤、および主鎖または環中に窒素原子を２個以上含む有機化合物からなる表面酸化抑制剤である。ここで、「金めっき」とは、２４Ｋ金めっき（純度９８％以上）および２４Ｋ金めっきから１４Ｋ（純度５６〜６０％）程度に至るまでの各種金属種（例えば、Ｎｉ、Ｃｏ、Ａｇ、Ｉｎ等）との任意の合金比率の合金金めっきをも言うものである。
（１） 水溶性金塩
水溶性金塩としては、シアン化第１金カリウム、シアン化第２金カリウム、塩化第１金ナトリウム、塩化第２金ナトリウム、亜硫酸金アンモニウム、亜硫酸金カリウム、亜硫酸金ナトリウム、チオ硫酸金ナトリウム、チオ硫酸金カリウムおよびこれらの混合物が良好な性質を示す。本発明において特に好ましいものは、シアン化第１金カリウムおよび亜硫酸金ナトリウムである。金めっき液中の水溶性金塩の濃度としては、０．１〜１０ｇ／Ｌの範囲が使用可能であり、特に望ましいのは０．５〜５ｇ／Ｌの範囲である。
（２） 電導性向上剤
電導性向上剤としては、ホウ酸、ホウ酸塩、リン酸、リン酸塩、硫酸、硫酸塩、チオ硫酸塩、硝酸塩、塩化物塩などの無機化合物、クエン酸、クエン酸塩、リンゴ酸、リンゴ酸塩、コハク酸、コハク酸塩、乳酸、乳酸塩、マロン酸、マロン酸塩、マレイン酸、マレイン酸塩、蓚酸、蓚酸塩、酒石酸、酒石酸塩、フタル酸、フタル酸塩、安息香酸、安息香酸塩、グリシン、グリシン塩、グルタミン酸、グルタミン酸塩などの有機化合物、およびこれらの混合物が良好な性質を示す。塩化合物である場合、該化合物はカリウム塩、ナトリウム塩またはアンモニウム塩であることが好ましい。
本発明において特に好ましい電導性向上剤は、脂肪族多価カルボン酸およびこれらのカリウム塩、ナトリウム塩、アンモニウム塩である。金めっき液中の電導性向上剤の濃度は、５〜５００ｇ／Ｌの範囲が使用可能であり、特に好ましいのは１０〜２００ｇ／Ｌの範囲である。
（３） キレート剤
本発明による金めっき液におけるキレート剤としては、イミノ２酢酸構造を有するキレート剤を使用する。このようなキレート剤は、金めっきが施される基板の表面金属、例えば銅、ニッケル、コバルト、鉄等（合金を含む）の金属を、金めっき処理の際にめっき液中に安定に溶解可能なものである。このような銅、ニッケル、コバルト、鉄等（合金を含む）の金属を溶解可能なイミノ２酢酸構造を有するキレート剤を必須成分として使用することによって、金めっきが施される基板の表面金属（例えば銅、ニッケル、コバルト、鉄等）のめっき液中への溶解を促進するとともに、これらの金属が再析出するのを防止することができる。
このようなイミノ２酢酸構造を有するキレート剤としては、エチレンジアミン４酢酸、ヒドロキシエチルイミノ２酢酸、ニトリロ３酢酸、ヒドロキシエチルエチレンジアミン３酢酸、ジエチレントリアミン５酢酸、トリエチレンテトラミン６酢酸、ジカルボキシメチルグルタミン酸、プロパンジアミン４酢酸、１，３−ジアミノ−２−ヒドロキシプロパン４酢酸、およびこれらの水溶性塩（例えば、好ましくはナトリウム塩、カリウム塩、アンモニウム塩）、およびこれらの混合物等を挙げることができる。
イミノ２酢酸タイプの錯化剤のなかでも好ましいのはＮｉやＣｕを安定に溶解させる作用の強いキレート剤であり、酢酸ユニットを分子内に３個以上含むものが特に好ましい。即ち、ニトリロ３酢酸、ヒドロキシエチルエチレンジアミン３酢酸、エチレンジアミン４酢酸、ジエチレントリアミン５酢酸、トリエチレンテトラミン６酢酸、およびこれらの水溶性塩が特に好ましい。
金めっき液中におけるイミノ２酢酸構造を有するキレート剤の濃度は、１〜２００ｇ／Ｌの範囲で使用され、特に好ましいのは２〜１００ｇ／Ｌの範囲である。
なお、このようなイミノ２酢酸構造を有するキレート剤には、必要に応じて他のキレート剤を併用することができる。但し、有機ホスホン酸化合物等のように下地金属（例えば銅、ニッケル、コバルト等）を実質的に溶解しないものは、置換反応により溶出する下地金属を安定に溶解させることが出来ず、下地金属も金と一緒に再析出を起こしやすくなって、得られる金メッキの色調が不良になったり、はんだ接合強度が不足する場合があるので、本発明では適さない。
（４） 表面酸化抑制剤
本発明において使用される表面酸化抑制剤は、主鎖または環中に窒素原子を２個以上、好ましくは３個以上、含む有機化合物である。この表面酸化抑制剤は、電子供与性化合物であることが好ましく、その場合の電子供与性が該化合物の主鎖または環中に存在する窒素原子が−ＮＨ−構造であることによって、即ち、主鎖または環中に１または２個以上の−ＮＨ−基が存在することによって、付与されているものが好ましい。
このような本発明の表面酸化抑制剤の具体例としては、下記の式〔Ｉ〕で示される脂肪族化合物および式〔ＩＩ〕で示される複素環化合物を挙げることができる。
〔ここで、Ｒ１〜Ｒ４は、それぞれ独立に、水素、炭素数１〜３のアルキル基、−（Ｃ２Ｈ４）ｍ−ＮＨ２、−（Ｃ２Ｈ４）ｎ−ＯＨを示す（ここで、ｍは０または１であり、ｎは０または１である）。ｐは０〜４の整数である。〕
〔ここで、
は、−ＮＨ−基の窒素原子および炭素原子を環中に有する複素環を示す。Ｒ５は、この複素環中の炭素原子に結合した水素、炭素数１〜３のアルキル基、アミノ基、炭素数１〜３のアルキルアミノ基を示す。〕
上記式〔Ｉ〕、の化合物において、Ｒ１〜Ｒ４としては水素、メチル基が好ましく、ｍとしては０または１、ｎとしては０または１、ｐとしては１〜３が好ましい。
上記式〔ＩＩ〕の化合物において、Ｒ５としては水素、メチル基、アミノ基が好ましい。「−ＮＨ−基の窒素原子および炭素原子を環中に有する複素環」としては５員環のものが好ましい。この五員環の複素環の残りの４原子（即ち、上記−ＮＨ−基の窒素原子以外の原子）は、４個の炭素原子、３個の炭素原子と１個の窒素原子、２個の炭素原子と２個の窒素原子、１個の炭素原子と３個の窒素原子であることができる。この炭素原子にはＲ５が結合することができる。上記式〔ＩＩ〕の複素環化合物は、１つの「−ＮＨ−基の窒素原子および炭素原子を環中に有する複素環」からなる複素単環化合物であっても、この複素単環化合物中の２つの炭素原子を共有した形で２つまたはそれ以上の環が形成されている縮合複素環系化合物であってもよい。ベンズイミダゾールおよびベンズトリアゾールはこの縮合複素環系化合物の好ましい具体例である。
前記のように、本発明における表面酸化抑制剤は電子供与性化合物であることが好ましいことから、主鎖または環中に窒素原子を３個以上含みかつこのうちの少なくとも１個以上の窒素原子が−ＮＨ−構造のものである化合物、その中でも特にπ電子過剰タイプの芳香族化合物が好ましい。
本発明の表面酸化抑制剤の好ましい具体例としては、下記化合物を例示することができる。
脂肪族化合物としては、エチレンジアミン、Ｎ，Ｎ’−ビス（ベータヒドロキシエチル）−エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、Ｎ，Ｎ’−ビス（ベータヒドロキシエチル）−ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、Ｎ，Ｎ’−ビス（ベータヒドロキシエチル）−トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、Ｎ，Ｎ’−ビス（ベータヒドロキシエチル）−テトラエチレンペンタミン等が挙げられる。特に好ましいものは、窒素原子数が３個以上で、かつ少なくとも１個の窒素原子が２級アミン構造の脂肪族化合物である。
芳香族化合物としては、２−アミノピロール、３−アミノピロール、２−アミノインドール、３−アミノインドール、ピラゾール、３−アミノピラゾール、４−アミノピラゾール、５−アミノピラゾール、イミダゾール、２−アミノイミダゾール、４−アミノイミダゾール、５−アミノイミダゾール、１，２，３−トリアゾール、４−アミノ−１，２，３−トリアゾール、５−アミノ−１，２，３−トリアゾール、１，２，４−トリアゾール、３−アミノ−１，２，４−トリアゾール、５−アミノ−１，２，４−トリアゾール、テトラゾール、５−アミノ−テトラゾール、ベンズイミダゾール、２−アミノ−ベンズイミダゾール、ベンズトリアゾール等が挙げられる。この中で特に好ましいものは、窒素原子数が３個以上で、かつπ電子過剰タイプの芳香族複素環化合物である。複素環化合物のπ電子過剰タイプと欠乏タイプについては、成書 “Ｈｅｔｅｒｏｃｙｃｌｉｃ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ，ｂｙ Ａｄｒｉｅｎ Ａｌｂｅｒｔ，Ｔｈｅ Ａｎｔｈｏｎ Ｐｒｅｓｓ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ Ｌｏｎｄｏｎ，１９５９”に詳細に解説されている。特開２０００−１４４４１号公報には、金析出抑制剤として多様な窒素含有化合物が列挙されているが、このうちパイ電子欠乏タイプのピリジン、トリアジン等の芳香族化合物は本発明では使用できない。
金めっき液中の表面酸化抑制剤の濃度は、５〜５００００ｐｐｍの範囲で使用可能であり、特に好ましいのは１０〜１００００ｐｐｍの範囲である。
（５） 他の成分（任意成分）
本発明による金めっき液には、必要に応じて、結晶調整剤、界面活性剤および（または）緩衝剤などを適宜選択して添加することが出来る。本発明において好ましい結晶調整剤としては、例えばタリウムおよび鉛を例示することができる。結晶調整剤のめっき液中の濃度は、０．１〜１００ｐｐｍ、特に１〜５０ｐｐｍ、が好ましい。
界面活性剤は、主としてめっき液の被めっき基材への濡れ性を調節するために使用されるものである。本発明では、中性、アニオン性、カチオン性の界面活性剤を使用することができる。界面活性剤のめっき液中の濃度は、１〜１０００ｐｐｍの範囲で適宜使用することができる。
緩衝剤に関しては、電導塩成分として緩衝作用を持つ化合物（緩衝剤）が使われることもあるが、別途添加することも可能である。フタル酸塩、燐酸塩、ホウ酸塩、酒石酸塩、乳酸塩、酢酸塩などを１０〜２００ｇ／Ｌの範囲で使用することが出来る。
（６） 金めっき液の使用
上記の成分からなる本発明による置換型無電解金めっき液は、浴槽に入れられ、所定のｐＨに調整された後、加熱され、使用される。ｐＨは通常４〜８の範囲で、浴温は通常６０〜１００℃の範囲である。
めっき液に浸漬される被めっき材は、金属部に好ましくは銅または銅合金、または銅上の形成されたニッケルめっき皮膜を有するものである。銅または銅合金として圧延等の機械的加工、電気めっき法、無電解めっき法、気相めっき法などの各種方法で形成されたものを被めっき部分とすることが出来る。ニッケルめっき皮膜としては、銅の上に０．２〜１０ミクロンの厚さで電気めっきまたは無電解めっきにて形成されたものを被めっき部分とすることが出来る。
これらの被めっき部に形成される金めっき薄膜は、通常０．０２〜０．４μｍ、好ましくは０．０３〜０．２μｍの厚さである。この金皮膜上に搭載されるはんだボールは、接続部（パッド）の大きさに応じて直径が１００μｍ〜１ｍｍの範囲内のものが使われる。
はんだ組成は、旧来のＳｎ−Ｐｂ系以外に、Ｐｂフリーはんだと総称される多様な組成のものが使用可能である。
＜はんだ接合特性の評価法＞
図１は、本発明において、はんだ接合特性評価に用いた基板の概要を示すものである。
図１に示される被めっき処理基板は、縦４０ｍｍ×横４０ｍｍ×厚さ１ｍｍのガラスエポキシ基板１に、直径０．７６ｍｍの円形の銅パッド２が碁盤目状に配列されているものであって、各銅パッド周辺がフォトソルダーレジスト３で被覆されているものである。それぞれの銅パッド２は厚さ１２μｍの銅により形成され、レジスト被覆３の厚みは２０ミクロン、銅パッド２の開口部の直径は０．６２ｍｍである。
上記基板を下記の表１の条件に従い、脱脂処理、ソフトエッチングおよび酸活性化（酸洗）からなる前処理を行なった後に、置換型無電解金めっきを行って、各銅パッド部２の開口部の銅表面上に厚さ０．０６μｍの金めっき皮膜４が直接形成された基板１ａ（以下、直接金めっき処理基板１ａという）を得た（図２（ａ））。
別に、上記基板を下記の表２の条件に従って、各銅パッド２の銅表面上に厚さ５μｍのニッケルめっき皮膜５が形成され、さらにこのニッケルめっき皮膜５上に厚さ０．０６μｍの金めっき皮膜４が形成された基板１ｂ（以下、下地ニッケルめっき処理基板１ｂという）を得た（図２（ｂ））。
図２（ａ）は、上記で得られた直接金めっき処理基板１ａの断面を、図２（ｂ）は、上記で得られた下地ニッケルめっき処理基板１ｂの断面を、示すものである。
上記の直接金めっき処理基板１ａおよび下地ニッケルめっき処理基板１ｂのそれぞれのパッド部の金めっき皮膜４の表面に、それぞれ直径０．７６ｍｍのはんだボール６を搭載し、これを融着してはんだ接合し（図３）、その接合強度を下記方法によって評価した。
はんだボール６は、ＰｂはんだおよびＰｂフリーはんだを使用した。
はんだ搭載プロセスおよびはんだ接合特性の評価は、次のように行った。
上記の直接金めっき処理基板１ａおよび下地ニッケルめっき処理基板１ｂの各パッド部にはんだボール６を設置し、リフロー装置（本検討では、リフローはんだ付け装置「ＲＦ−４３０」、日本パルス技研社製を使用した）にて、はんだボールを溶解させ、はんだボール６をパッド部の金めっき皮膜４に接合させた（図３）。このとき、金皮膜４は、その一部がはんだボール中に溶解し、下地の銅またはニッケルとの合金層が形成させ、はんだボールは固定される。
リフロー温度およびリフロー時間を、使用するはんだの組成等を考慮して２００〜３００℃の範囲にて適宜設定し、評価を行った。
はんだ接合特性の評価は、シェアー強度測定装置（本検討では、「ボンドテスター４０００」、デイジ社を使用した）を用い、はんだボール６をパッドから剥離し（図４）、その剥離面の状況を観察することによって行った。
剥離面７がはんだボールのボール部内（即ち、レジスト３の表面より上方）にできる場合（図５）が接合信頼性が高く、剥離面７がパッド部内（即ち、レジスト３の表面より下方）にできる場合（図６）は接合信頼性が低いと判断した。
はんだ接合特性を評価する際は、はんだが接合されるパッド上の金めっき皮膜の厚さも厳密にコントロールして行う必要があることから、金めっき厚の測定は、蛍光Ｘ線膜厚計（「ＳＥＡ５１２０」、セイコーインスツルメンツ社製）を使用して精密に行って、評価結果にバラツキがないようにした。
【実施例】
【実施例１】
表３の実施例１に記載の組成の金めっき液を５００ｍＬビーカーに用意し、ｐＨを７．０に調整後、湯浴にて８５℃に加熱した。図１の基板を、表２の条件にてニッケルめっきした後（図２（ｂ））、用意した金めっき浴に１０分間浸漬し、０．０６ミクロンの厚みの金皮膜を形成させた。Ｐｂはんだボールを金めっきされた２０個のパッド部に搭載し、２３０℃のリフロー装置にて融着後、シェアー装置にて２０個のはんだボールを剥離し、各剥離部を観察した。
はんだ内の切断によるもの（即ち、剥離面がはんだボールのボール部内にできたもの）が１００％で、Ｎｉ界面が露出したパッドは皆無で、良好なはんだ接続適性を示した。
次に、この金めっき液を９０℃のオーブンに入れ、８０時間放置後、取り出したが、金めっき液中に金の析出は認めらず、めっき浴の熱安定性は良好であった。
めっき液を室温に戻してから、再度ｐＨを７．０に調整し、湯浴にて８５℃に加熱後、図１の基板を、表２の条件にてニッケルめっきしたもの（図２（ｂ））を１０分間浸漬し、０．０６ミクロンの金めっき皮膜を得た。Ｐｂはんだボールを２０個搭載し、２３０℃のリフロー温度にて融着後、はんだ剥離モードを測定したところ、はんだ内の剥離が９５％で、Ｎｉ界面が露出したパッドは５％に過ぎなかった。
【実施例２】
表３の実施例２に示した組成の金めっき液を用意し、実施例１と同様な方法で、ニッケルめっき処理した基板（図２（ｂ））にてめっき処理を行い、０．０５ミクロンの厚みの金めっき皮膜を形成させた。この金めっき基板にて、２０個のＰｂはんだボールの剥離モードを測定したところ、はんだ内切断が１００％と良好であった。次に、この金めっき液を９０℃のオーブンに入れると、８０時間後も、金の析出は起こらず安定であった。
めっき液を室温に戻してから、再度ｐＨを７．０に調整し、湯浴にて８５℃に加熱後、図１の基板を、表２の条件にてニッケルめっきしたもの（図２（ｂ））を１０分間浸漬し、０．０５ミクロンの金めっき皮膜を得た。Ｐｂはんだボールを２０個搭載し、２３０℃のリフロー温度にて融着後、はんだ剥離モードを測定したところ、はんだ内の剥離が９５％で、Ｎｉ界面が露出したパッドは５％に過ぎなかった。
【実施例３】
表３の実施例３に記載の組成の金めっき液を５００ｍＬビーカーに用意し、ｐＨを５．０に調整後、湯浴にて８５℃に加熱した。図１の基板を、表１の条件にて前処理した後（図２（ａ））、用意した金めっき浴に１０分間浸漬し、０．０６ミクロンの厚みの皮膜を形成させた。得られた金めっき皮膜の深さ方向の分析をＥＳＣＡ（ＵＬＶＡＣ製、ＱＵＡＮＴＵＭ２０００）にて行なった結果を図９に示す。下地の銅の酸化は認められず、金めっき皮膜中に炭素も検出されていない。表面酸化抑制剤は銅表面の酸化を抑制するが、金めっき皮膜中には取り込まれないことを示している。次に、はんだボールテストを行なった。Ｐｂフリーはんだボール（Ｓｎ−Ａｇ３．０−Ｃｕ０．５）を金めっきされた２０個のパッド部に搭載し、２５５℃のリフロー装置にて融着後、シェアー装置にて２０個のはんだボールを剥離し、各剥離部を観察した。
はんだ内の切断によるものが９５％で、Ｃｕ界面が露出したパッドは５％のみで、良好なはんだ接続適性を示した。
次に、この金めっき液を９０℃のオーブンに入れ、１００時間放置後、取り出したが、金めっき液中に金の析出は認めらず、熱安定性は良好であった。
めっき液を室温に戻してから、再度ｐＨを５．０に調整し、湯浴にて８５℃に加熱後、図１の基板を、表１の条件にて前処理したもの（図２（ａ））を１０分間浸漬し、０．０６ミクロンの金めっき皮膜を得た。金めっき皮膜の色調は鮮やかなレモンイエローであった。
Ｐｂフリーはんだボール（Ｓｎ−Ａｇ３．０−Ｃｕ０．５）を２０個搭載し、２５５℃のリフロー温度にて融着後、はんだ剥離モードを測定したところ、はんだ内の剥離が９５％で、Ｃｕ界面が露出したパッドは５％に過ぎなかった。
【実施例４】
実施例３に記載の金めっき液を５００ｍＬ調合し、１０００ｍＬのビーカーに入れてめっきランニングテストを行なった。５ｃｍ角の銅板を多数用意し、実施例３に記載の条件で金めっきを行い、０．０６ミクロン付近の金めっき皮膜を形成させる作業を繰り返し行なった。ランニング中にめっき液中の金濃度をＩＣＰ（セイコーインスツルメンツ製、ＳＰＳ３０００）に測定し、金濃度が０．２ｇ／Ｌ減少するたびに同量のシアン化第１金カリウムを補充しながら、めっき作業を繰り返し、総量４．０ｇ／Ｌの金が消費された時点でランニングを終了した。このテストに要した日数は５日間であった。
テスト終了後の金めっき液中の表面酸化抑制剤の濃度をキャピラリー電気泳動装置（大塚電子製、ＣＡＰＩ３２００）にて分析したところ、１２４トリアゾールの濃度は１０００±４０ｐｐｍであり、ランニング前の濃度と同じであった。
本発明の表面酸化抑制剤は長時間の加温条件下（８５℃、５日間）でも分解せず、かつ、めっき反応時に消費もされていなことがわかった。
（比較例１）
表３の比較例１に示した組成の金めっき液を用意し、実施例１と同様な方法でめっき処理を行い、０．０７ミクロンの厚みの金めっき皮膜を形成させた。この金めっき基板に２０個のＰｂはんだボールを実施例１と同様に搭載し、はんだ剥離モードを測定したところ、はんだ内切断はわずかに１０％で、残りの９０％はニッケル界面が露出し、不満足なはんだ接続特性であった。
（比較例２）
表３の比較例２に示した組成の金めっき液を用意し、実施例１と同様な方法でめっき処理を行い、０．０７ミクロンの厚みの金めっき皮膜を形成させた。この金めっき基板に２０個のＰｂはんだボールを実施例１と同様に搭載し、はんだ剥離モードを測定したところ、はんだ内切断はわずかに５％で、残りの９５％はニッケル界面が露出し、不満足なはんだ接続特性であった。
（深さＡｕｇｅｒ測定）
本発明の金めっき液の表面酸化抑制の効果を調べる為、実施例１で作成した金めっき皮膜と比較例１で作成した金めっき皮膜の、下地金属（ニッケル）の酸化の度合い深さＡｕｇｅｒ測定（Ｍｉｃｒｏｌａｂ ３１０−Ｆ、英国ＶＧ社、電子源：フィールドエミッション）にて行なった。
実施例１のＡｕｇｅｒ測定結果を図７に、比較例１を図８に示す。表面酸化抑制剤が添加されてない比較例１の方が、Ｎｉ下地が激しく酸化されている。
（比較例３）
表３の比較例３に示した組成の金めっき液を用意し、実施例３と同様な方法で処理した基板にてめっき処理を行い、０．０５ミクロンの厚みの金めっき皮膜を形成させた。この金めっき基板にて、２０個のＰｂフリーはんだ（実施例３と同一組成）ボールの剥離モードを測定したところ、はんだ内切断が６０％、Ｃｕ界面露出４０％であった。次にこの金めっき液を９０℃のオーブンに入れると８時間後には、金の析出（ビーカー底への金の沈殿）が起こり、金めっき液は分解した。この金めっき液は還元剤のアスコルビン酸が添加されているため熱安定性が劣っていた。
（比較例４）
表３の比較例４に示した組成の金めっき液を用意し、実施例３と同様な方法でめっき処理を行い、０．０７ミクロンの厚みの金めっき皮膜を形成させた。この金めっき基板に２０個のＰｂフリーはんだ（実施例３と同一組成）ボールを実施例３と同様に搭載し、はんだ剥離モードを測定したところ、はんだ内切断はわずかに１０％で、残りの９０％はＣｕ界面が露出し、不満足なはんだ接続特性であった。
（比較例５）
表３の比較例５に示した組成の金めっき液を用意し、実施例３と同様な方法でめっき処理を行ったが、黒色の金めっき析出層となり、レモンイエローの金めっき皮膜は得られなかった。ホスホン酸を用いたキレート剤の銅溶解性が低く、銅が金と一緒に共析したものと思われる。
（比較例６）
表３の比較例６に示した金めっき液を用意し、実施例３と同様な方法でめっき処理を行い、０．０６ミクロンの金めっき皮膜を形成させた。金めっき皮膜の色調はレモンイエローであった。この金めっき基板に２０個のＰｂフリーはんだ（実施例３と同一組成）ボールを実施例３と同様に搭載し、はんだ剥離モードを測定したところ、はんだ内切断は２０％しかなく、残りの８０％のパッドでＣｕ界面が露出し、不満足なはんだ接続特性であった。
【図１】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図９】
［発明の背景］
発明の分野
本発明は、置換型無電解金めっき液に関するものである。
【背景技術】
置換型金めっき液は、電子部品に施され、通常０．２ミクロン以下の薄膜を形成させるのに使われている。これは電子部品実装時の接合部を金薄膜で保護する為で、めっき工程で置換金めっきが施された電子部品の金めっき被覆部は、実装工程においてはんだ等を用いて別の電子部品と接合されて、最終的にはパソコン、携帯電話等の電子装置として組み上げられている。
近年、電子装置が小型化、軽量化されるにつれ、置換型金めっきのはんだ接合特性が問題として採り上げられることが多くなった。これは、電子装置の小型化、軽量化への要求に応えるためにはんだ接合部の面積が小さくなっていることに加え、電子装置の移動機会の増加によって、落下等の機械的衝撃、圧迫や変形圧力に曝される機会が多くなってきていることによる。電子回路の断線を防止するために、従来よりさらに高いはんだ接合強度が必要になってきている。
置換型金めっきは、主として、下地金属（例えば銅、ニッケル、コバルト、パラジウム等）の腐食を防止し、はんだ溶融時の濡れ性を確保するために用いられているが、この置換型金めっきが正しく行われないと、はんだの接合強度が低下する。すなわち、置換型金めっきが正しく行われなかった場合、下地金属（例えば銅、ニッケル等）の酸化が起きていることがあり、このような金めっき表面をはんだ接合すると、下地金属とはんだとの間に形成される接着層が十分な強度を与えないことがある。下地金属の上に形成された金の薄膜は、はんだ溶融時にはんだ内部に拡散してゆき、界面合金層が被めっき金属とはんだとで形成される。
従来より、置換型金めっき工程中の下地金属の酸化を如何に防止するか多くの技術検討がなされている。ここで、置換型金めっきとは、めっき液中の金と、下地金属（例えば銅やニッケル等）とのイオン化傾向の差異を利用した金めっき法であって、最もイオン化しにくい金属である金をイオンとしてめっき液に溶解させ、ここに被めっき基板として下地金属を設けた基板を浸漬すると、イオン化傾向の大きい下地金属がイオンとなってめっき液に溶解し、代わりにめっき液中の金イオンが金属として下地金属上に析出して、金皮膜を形成することを利用したものである。従って、置換金めっき法では、還元剤を必要としない。
一方、還元剤を必要とする無電解金めっきは、還元型めっきとも言われており、置換型よりも厚い膜厚が必要な場合、通常は０．２ミクロン以上の場合、に使われている。
最近、還元剤を置換めっき液に添加して置換反応と還元反応とを同時に進行させる置換還元めっきと呼ばれるめっき液が紹介されている。この方法では、還元剤の作用により金が析出するだけでなく、下地金属の酸化が防止され、結果としてはんだ接合強度が改良されると解釈されている。特開２０００−２１９９７３号公報では、ヒドラジン、ヒドロキシルアミン等の還元剤を添加した無電解金めっき液が紹介され、特開２００１−１０７２５９号公報では、次亜リン酸塩、ヒドラジン化合物の還元剤を添加した無電解金めっき液が紹介されている。
しかし、このような還元剤を添加した置換還元めっき液には、めっき液中の還元剤の分析・補充をめっき作業中に常時行なわなければならないという問題点がある。還元剤は、めっき浴の加熱により分解しこの際電子を放出する物質であるから、めっき液中に添加されて使用されるためにはこの分解反応は必要な化学反応である。このことから、めっきの進行につれて還元剤が分解し、有効な還元剤の量は次第に減少している。よって、めっき浴中に残存している還元剤の量を分析し、分解した分を補給する作業は置換還元型のめっき液には不可欠の作業といえる。還元剤の補給が良好に行われない場合には、めっき液中の還元剤濃度の変化や分解等による金析出状態の変化が生じて、良好なめっきを安定して行うことが困難になる結果、はんだ接合強度も不安定になりがちだった。
一方、通常の置換めっき液には還元剤が含有されていないので、このような作業は不要となる。特開２００１−１４４４４１号公報には、めっき液中に下地金属を溶解しない錯化剤および下地金属の過剰なエッチングを抑制する金析出防止剤を必須成分とする無電解金めっき液に関する技術が紹介されている。この技術は、下地金属の過度のエッチング抑制を目的とするものであって、下地金属の酸化防止については検討がなされていない。
また、下地金属を溶解しない錯化剤を使用すると、置換反応により溶出する下地金属を安定に溶解させることが出来ず、下地金属も金と一緒に再析出を起こしやすくなり、得られる金メッキは茶色がかった色調となり、金本来のレモンイエローの色調を示さなくなることがある。
［発明の概要］
本発明は、還元剤を使うことなく、被めっき金属表面の酸化を有効に防止して、はんだ接合特性の良好な金皮膜を形成させる無電解金めっき液を提供する。換言すれば、使用時の還元剤の分析・補充が不要な置換型無電解金めっき液を提供することである。
したがって、本発明による置換型無電解金めっき液は、水溶性金塩、電導性向上剤、イミノ２酢酸型キレート剤、主鎖または環中に窒素原子を２個以上含む有機化合物からなる表面酸化抑制剤、および残部としての溶媒を含んでなること、を特徴とするものである。
本発明者らは、水溶性金塩、電導性向上剤および錯化剤からなるめっき液に各種化合物を添加して置換型無電解金めっき液を得て、この金めっき液によって形成させた金めっき皮膜にはんだ接合を行って、その接合強度を測定した。
本発明者らは、電子部品に広く用いられている銅、ニッケル等の表面には、主鎖または環中に窒素原子を２個以上含む有機化合物が表面酸化抑制剤として有効であることを見出し、本発明に到達した。
これらの一連の表面酸化抑制剤を必須成分とする本発明による置換型無電解金めっき液は、還元剤を含有しないにもかかわらず、得られる金めっき皮膜のはんだ特性が良好なものである。そして、この金めっき液は、還元剤を含有しない為、熱安定性に優れかつめっき作業中に常時還元剤の分析・補充等を行わなくても良いものである。
また、本発明のめっき液は下地金属をキレートし安定に溶解させるので、めっき液を使用することによって蓄積される置換反応生成物（金が析出する際、溶出した下地金属イオン）が、金めっき析出層に混入して、金メッキの色調（レモンイエロー）を損なうこともなく、長時間のめっき液の使用に耐えられることになる。
本発明によれば、還元剤を使うことなく、被めっき金属表面の酸化を防止して、はんだ接合特性の良好な金皮膜を形成させる置換型無電解金めっき液を提供することができる。この金めっき液は、保存安定性が良好なものであって、かつ還元剤量の分析および補給作業を全く必要としないものである。
そして、本発明による金めっき液は、めっき液中に蓄積される溶出金属、例えば、銅およびニッケル、コバルト、パラジウム等の金属イオンの影響を受けにくいものなので、良好な特性の金めっき層を安定的かつ長期にわたって形成可能なものである。
【図面の簡単な説明】
図１は、はんだ接合特性を評価するための基板を示す図である。
図２ＡおよびＢは、本発明によるめっき処理基板を示す断面図である。
図３は、はんだ接合特性の評価に用いたはんだボールを示す図である。
図４は、はんだボールのシェアー強度測定の概要を示す図である。
図５は、接合が良好な場合の剥離状態を示す図である。
図６は、接合が不良の場合の剥離状態を示す図である。
図７ＡおよびＢは、実施例１のＡｕｇｅｒ測定結果を示す図である。
図８ＡおよびＢは、比較例１のＡｕｇｅｒ測定結果を示す図である。
図９は、実施例３のＥＳＣＡ測定結果を示す図である。
［発明の具体的な説明］
＜構成成分＞
本発明による金めっき液の主要構成成分は、水溶性金塩、電導性向上剤、イミノ２酢酸構造を有するキレート剤、および主鎖または環中に窒素原子を２個以上含む有機化合物からなる表面酸化抑制剤である。ここで、「金めっき」とは、２４Ｋ金めっき（純度９８％以上）および２４Ｋ金めっきから１４Ｋ（純度５６〜６０％）程度に至るまでの各種金属種（例えば、Ｎｉ、Ｃｏ、Ａｇ、Ｉｎ等）との任意の合金比率の合金金めっきをも言うものである。
（１） 水溶性金塩
水溶性金塩としては、シアン化第１金カリウム、シアン化第２金カリウム、塩化第１金ナトリウム、塩化第２金ナトリウム、亜硫酸金アンモニウム、亜硫酸金カリウム、亜硫酸金ナトリウム、チオ硫酸金ナトリウム、チオ硫酸金カリウムおよびこれらの混合物が良好な性質を示す。本発明において特に好ましいものは、シアン化第１金カリウムおよび亜硫酸金ナトリウムである。金めっき液中の水溶性金塩の濃度としては、０．１〜１０ｇ／Ｌの範囲が使用可能であり、特に望ましいのは０．５〜５ｇ／Ｌの範囲である。
（２） 電導性向上剤
電導性向上剤としては、ホウ酸、ホウ酸塩、リン酸、リン酸塩、硫酸、硫酸塩、チオ硫酸塩、硝酸塩、塩化物塩などの無機化合物、クエン酸、クエン酸塩、リンゴ酸、リンゴ酸塩、コハク酸、コハク酸塩、乳酸、乳酸塩、マロン酸、マロン酸塩、マレイン酸、マレイン酸塩、蓚酸、蓚酸塩、酒石酸、酒石酸塩、フタル酸、フタル酸塩、安息香酸、安息香酸塩、グリシン、グリシン塩、グルタミン酸、グルタミン酸塩などの有機化合物、およびこれらの混合物が良好な性質を示す。塩化合物である場合、該化合物はカリウム塩、ナトリウム塩またはアンモニウム塩であることが好ましい。
本発明において特に好ましい電導性向上剤は、脂肪族多価カルボン酸およびこれらのカリウム塩、ナトリウム塩、アンモニウム塩である。金めっき液中の電導性向上剤の濃度は、５〜５００ｇ／Ｌの範囲が使用可能であり、特に好ましいのは１０〜２００ｇ／Ｌの範囲である。
（３） キレート剤
本発明による金めっき液におけるキレート剤としては、イミノ２酢酸構造を有するキレート剤を使用する。このようなキレート剤は、金めっきが施される基板の表面金属、例えば銅、ニッケル、コバルト、鉄等（合金を含む）の金属を、金めっき処理の際にめっき液中に安定に溶解可能なものである。このような銅、ニッケル、コバルト、鉄等（合金を含む）の金属を溶解可能なイミノ２酢酸構造を有するキレート剤を必須成分として使用することによって、金めっきが施される基板の表面金属（例えば銅、ニッケル、コバルト、鉄等）のめっき液中への溶解を促進するとともに、これらの金属が再析出するのを防止することができる。
このようなイミノ２酢酸構造を有するキレート剤としては、エチレンジアミン４酢酸、ヒドロキシエチルイミノ２酢酸、ニトリロ３酢酸、ヒドロキシエチルエチレンジアミン３酢酸、ジエチレントリアミン５酢酸、トリエチレンテトラミン６酢酸、ジカルボキシメチルグルタミン酸、プロパンジアミン４酢酸、１，３−ジアミノ−２−ヒドロキシプロパン４酢酸、およびこれらの水溶性塩（例えば、好ましくはナトリウム塩、カリウム塩、アンモニウム塩）、およびこれらの混合物等を挙げることができる。
イミノ２酢酸タイプの錯化剤のなかでも好ましいのはＮｉやＣｕを安定に溶解させる作用の強いキレート剤であり、酢酸ユニットを分子内に３個以上含むものが特に好ましい。即ち、ニトリロ３酢酸、ヒドロキシエチルエチレンジアミン３酢酸、エチレンジアミン４酢酸、ジエチレントリアミン５酢酸、トリエチレンテトラミン６酢酸、およびこれらの水溶性塩が特に好ましい。
金めっき液中におけるイミノ２酢酸構造を有するキレート剤の濃度は、１〜２００ｇ／Ｌの範囲で使用され、特に好ましいのは２〜１００ｇ／Ｌの範囲である。
なお、このようなイミノ２酢酸構造を有するキレート剤には、必要に応じて他のキレート剤を併用することができる。但し、有機ホスホン酸化合物等のように下地金属（例えば銅、ニッケル、コバルト等）を実質的に溶解しないものは、置換反応により溶出する下地金属を安定に溶解させることが出来ず、下地金属も金と一緒に再析出を起こしやすくなって、得られる金メッキの色調が不良になったり、はんだ接合強度が不足する場合があるので、本発明では適さない。
（４） 表面酸化抑制剤
本発明において使用される表面酸化抑制剤は、主鎖または環中に窒素原子を２個以上、好ましくは３個以上、含む有機化合物である。この表面酸化抑制剤は、電子供与性化合物であることが好ましく、その場合の電子供与性が該化合物の主鎖または環中に存在する窒素原子が−ＮＨ−構造であることによって、即ち、主鎖または環中に１または２個以上の−ＮＨ−基が存在することによって、付与されているものが好ましい。
このような本発明の表面酸化抑制剤の具体例としては、下記の式〔Ｉ〕で示される脂肪族化合物および式〔ＩＩ〕で示される複素環化合物を挙げることができる。
〔ここで、Ｒ１〜Ｒ４は、それぞれ独立に、水素、炭素数１〜３のアルキル基、−（Ｃ２Ｈ４）ｍ−ＮＨ２、−（Ｃ２Ｈ４）ｎ−ＯＨを示す（ここで、ｍは０または１であり、ｎは０または１である）。ｐは０〜４の整数である。〕
〔ここで、
は、−ＮＨ−基の窒素原子および炭素原子を環中に有する複素環を示す。Ｒ５は、この複素環中の炭素原子に結合した水素、炭素数１〜３のアルキル基、アミノ基、炭素数１〜３のアルキルアミノ基を示す。〕
上記式〔Ｉ〕、の化合物において、Ｒ１〜Ｒ４としては水素、メチル基が好ましく、ｍとしては０または１、ｎとしては０または１、ｐとしては１〜３が好ましい。
上記式〔ＩＩ〕の化合物において、Ｒ５としては水素、メチル基、アミノ基が好ましい。「−ＮＨ−基の窒素原子および炭素原子を環中に有する複素環」としては５員環のものが好ましい。この五員環の複素環の残りの４原子（即ち、上記−ＮＨ−基の窒素原子以外の原子）は、４個の炭素原子、３個の炭素原子と１個の窒素原子、２個の炭素原子と２個の窒素原子、１個の炭素原子と３個の窒素原子であることができる。この炭素原子にはＲ５が結合することができる。上記式〔ＩＩ〕の複素環化合物は、１つの「−ＮＨ−基の窒素原子および炭素原子を環中に有する複素環」からなる複素単環化合物であっても、この複素単環化合物中の２つの炭素原子を共有した形で２つまたはそれ以上の環が形成されている縮合複素環系化合物であってもよい。ベンズイミダゾールおよびベンズトリアゾールはこの縮合複素環系化合物の好ましい具体例である。
前記のように、本発明における表面酸化抑制剤は電子供与性化合物であることが好ましいことから、主鎖または環中に窒素原子を３個以上含みかつこのうちの少なくとも１個以上の窒素原子が−ＮＨ−構造のものである化合物、その中でも特にπ電子過剰タイプの芳香族化合物が好ましい。
本発明の表面酸化抑制剤の好ましい具体例としては、下記化合物を例示することができる。
脂肪族化合物としては、エチレンジアミン、Ｎ，Ｎ’−ビス（ベータヒドロキシエチル）−エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、Ｎ，Ｎ’−ビス（ベータヒドロキシエチル）−ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、Ｎ，Ｎ’−ビス（ベータヒドロキシエチル）−トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、Ｎ，Ｎ’−ビス（ベータヒドロキシエチル）−テトラエチレンペンタミン等が挙げられる。特に好ましいものは、窒素原子数が３個以上で、かつ少なくとも１個の窒素原子が２級アミン構造の脂肪族化合物である。
芳香族化合物としては、２−アミノピロール、３−アミノピロール、２−アミノインドール、３−アミノインドール、ピラゾール、３−アミノピラゾール、４−アミノピラゾール、５−アミノピラゾール、イミダゾール、２−アミノイミダゾール、４−アミノイミダゾール、５−アミノイミダゾール、１，２，３−トリアゾール、４−アミノ−１，２，３−トリアゾール、５−アミノ−１，２，３−トリアゾール、１，２，４−トリアゾール、３−アミノ−１，２，４−トリアゾール、５−アミノ−１，２，４−トリアゾール、テトラゾール、５−アミノ−テトラゾール、ベンズイミダゾール、２−アミノ−ベンズイミダゾール、ベンズトリアゾール等が挙げられる。この中で特に好ましいものは、窒素原子数が３個以上で、かつπ電子過剰タイプの芳香族複素環化合物である。複素環化合物のπ電子過剰タイプと欠乏タイプについては、成書 “Ｈｅｔｅｒｏｃｙｃｌｉｃ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ，ｂｙ Ａｄｒｉｅｎ Ａｌｂｅｒｔ，Ｔｈｅ Ａｎｔｈｏｎ Ｐｒｅｓｓ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ Ｌｏｎｄｏｎ，１９５９”に詳細に解説されている。特開２０００−１４４４１号公報には、金析出抑制剤として多様な窒素含有化合物が列挙されているが、このうちパイ電子欠乏タイプのピリジン、トリアジン等の芳香族化合物は本発明では使用できない。
金めっき液中の表面酸化抑制剤の濃度は、５〜５００００ｐｐｍの範囲で使用可能であり、特に好ましいのは１０〜１００００ｐｐｍの範囲である。
（５） 他の成分（任意成分）
本発明による金めっき液には、必要に応じて、結晶調整剤、界面活性剤および（または）緩衝剤などを適宜選択して添加することが出来る。本発明において好ましい結晶調整剤としては、例えばタリウムおよび鉛を例示することができる。結晶調整剤のめっき液中の濃度は、０．１〜１００ｐｐｍ、特に１〜５０ｐｐｍ、が好ましい。
界面活性剤は、主としてめっき液の被めっき基材への濡れ性を調節するために使用されるものである。本発明では、中性、アニオン性、カチオン性の界面活性剤を使用することができる。界面活性剤のめっき液中の濃度は、１〜１０００ｐｐｍの範囲で適宜使用することができる。
緩衝剤に関しては、電導塩成分として緩衝作用を持つ化合物（緩衝剤）が使われることもあるが、別途添加することも可能である。フタル酸塩、燐酸塩、ホウ酸塩、酒石酸塩、乳酸塩、酢酸塩などを１０〜２００ｇ／Ｌの範囲で使用することが出来る。
（６） 金めっき液の使用
上記の成分からなる本発明による置換型無電解金めっき液は、浴槽に入れられ、所定のｐＨに調整された後、加熱され、使用される。ｐＨは通常４〜８の範囲で、浴温は通常６０〜１００℃の範囲である。
めっき液に浸漬される被めっき材は、金属部に好ましくは銅または銅合金、または銅上の形成されたニッケルめっき皮膜を有するものである。銅または銅合金として圧延等の機械的加工、電気めっき法、無電解めっき法、気相めっき法などの各種方法で形成されたものを被めっき部分とすることが出来る。ニッケルめっき皮膜としては、銅の上に０．２〜１０ミクロンの厚さで電気めっきまたは無電解めっきにて形成されたものを被めっき部分とすることが出来る。
これらの被めっき部に形成される金めっき薄膜は、通常０．０２〜０．４μｍ、好ましくは０．０３〜０．２μｍの厚さである。この金皮膜上に搭載されるはんだボールは、接続部（パッド）の大きさに応じて直径が１００μｍ〜１ｍｍの範囲内のものが使われる。
はんだ組成は、旧来のＳｎ−Ｐｂ系以外に、Ｐｂフリーはんだと総称される多様な組成のものが使用可能である。
＜はんだ接合特性の評価法＞
図１は、本発明において、はんだ接合特性評価に用いた基板の概要を示すものである。
図１に示される被めっき処理基板は、縦４０ｍｍ×横４０ｍｍ×厚さ１ｍｍのガラスエポキシ基板１に、直径０．７６ｍｍの円形の銅パッド２が碁盤目状に配列されているものであって、各銅パッド周辺がフォトソルダーレジスト３で被覆されているものである。それぞれの銅パッド２は厚さ１２μｍの銅により形成され、レジスト被覆３の厚みは２０ミクロン、銅パッド２の開口部の直径は０．６２ｍｍである。
上記基板を下記の表１の条件に従い、脱脂処理、ソフトエッチングおよび酸活性化（酸洗）からなる前処理を行なった後に、置換型無電解金めっきを行って、各銅パッド部２の開口部の銅表面上に厚さ０．０６μｍの金めっき皮膜４が直接形成された基板１ａ（以下、直接金めっき処理基板１ａという）を得た（図２（ａ））。
別に、上記基板を下記の表２の条件に従って、各銅パッド２の銅表面上に厚さ５μｍのニッケルめっき皮膜５が形成され、さらにこのニッケルめっき皮膜５上に厚さ０．０６μｍの金めっき皮膜４が形成された基板１ｂ（以下、下地ニッケルめっき処理基板１ｂという）を得た（図２（ｂ））。
図２（ａ）は、上記で得られた直接金めっき処理基板１ａの断面を、図２（ｂ）は、上記で得られた下地ニッケルめっき処理基板１ｂの断面を、示すものである。
上記の直接金めっき処理基板１ａおよび下地ニッケルめっき処理基板１ｂのそれぞれのパッド部の金めっき皮膜４の表面に、それぞれ直径０．７６ｍｍのはんだボール６を搭載し、これを融着してはんだ接合し（図３）、その接合強度を下記方法によって評価した。
はんだボール６は、ＰｂはんだおよびＰｂフリーはんだを使用した。
はんだ搭載プロセスおよびはんだ接合特性の評価は、次のように行った。
上記の直接金めっき処理基板１ａおよび下地ニッケルめっき処理基板１ｂの各パッド部にはんだボール６を設置し、リフロー装置（本検討では、リフローはんだ付け装置「ＲＦ−４３０」、日本パルス技研社製を使用した）にて、はんだボールを溶解させ、はんだボール６をパッド部の金めっき皮膜４に接合させた（図３）。このとき、金皮膜４は、その一部がはんだボール中に溶解し、下地の銅またはニッケルとの合金層が形成させ、はんだボールは固定される。
リフロー温度およびリフロー時間を、使用するはんだの組成等を考慮して２００〜３００℃の範囲にて適宜設定し、評価を行った。
はんだ接合特性の評価は、シェアー強度測定装置（本検討では、「ボンドテスター４０００」、デイジ社を使用した）を用い、はんだボール６をパッドから剥離し（図４）、その剥離面の状況を観察することによって行った。
剥離面７がはんだボールのボール部内（即ち、レジスト３の表面より上方）にできる場合（図５）が接合信頼性が高く、剥離面７がパッド部内（即ち、レジスト３の表面より下方）にできる場合（図６）は接合信頼性が低いと判断した。
はんだ接合特性を評価する際は、はんだが接合されるパッド上の金めっき皮膜の厚さも厳密にコントロールして行う必要があることから、金めっき厚の測定は、蛍光Ｘ線膜厚計（「ＳＥＡ５１２０」、セイコーインスツルメンツ社製）を使用して精密に行って、評価結果にバラツキがないようにした。
【実施例】
【実施例１】
表３の実施例１に記載の組成の金めっき液を５００ｍＬビーカーに用意し、ｐＨを７．０に調整後、湯浴にて８５℃に加熱した。図１の基板を、表２の条件にてニッケルめっきした後（図２（ｂ））、用意した金めっき浴に１０分間浸漬し、０．０６ミクロンの厚みの金皮膜を形成させた。Ｐｂはんだボールを金めっきされた２０個のパッド部に搭載し、２３０℃のリフロー装置にて融着後、シェアー装置にて２０個のはんだボールを剥離し、各剥離部を観察した。
はんだ内の切断によるもの（即ち、剥離面がはんだボールのボール部内にできたもの）が１００％で、Ｎｉ界面が露出したパッドは皆無で、良好なはんだ接続適性を示した。
次に、この金めっき液を９０℃のオーブンに入れ、８０時間放置後、取り出したが、金めっき液中に金の析出は認めらず、めっき浴の熱安定性は良好であった。
めっき液を室温に戻してから、再度ｐＨを７．０に調整し、湯浴にて８５℃に加熱後、図１の基板を、表２の条件にてニッケルめっきしたもの（図２（ｂ））を１０分間浸漬し、０．０６ミクロンの金めっき皮膜を得た。Ｐｂはんだボールを２０個搭載し、２３０℃のリフロー温度にて融着後、はんだ剥離モードを測定したところ、はんだ内の剥離が９５％で、Ｎｉ界面が露出したパッドは５％に過ぎなかった。
【実施例２】
表３の実施例２に示した組成の金めっき液を用意し、実施例１と同様な方法で、ニッケルめっき処理した基板（図２（ｂ））にてめっき処理を行い、０．０５ミクロンの厚みの金めっき皮膜を形成させた。この金めっき基板にて、２０個のＰｂはんだボールの剥離モードを測定したところ、はんだ内切断が１００％と良好であった。次に、この金めっき液を９０℃のオーブンに入れると、８０時間後も、金の析出は起こらず安定であった。
めっき液を室温に戻してから、再度ｐＨを７．０に調整し、湯浴にて８５℃に加熱後、図１の基板を、表２の条件にてニッケルめっきしたもの（図２（ｂ））を１０分間浸漬し、０．０５ミクロンの金めっき皮膜を得た。Ｐｂはんだボールを２０個搭載し、２３０℃のリフロー温度にて融着後、はんだ剥離モードを測定したところ、はんだ内の剥離が９５％で、Ｎｉ界面が露出したパッドは５％に過ぎなかった。
【実施例３】
表３の実施例３に記載の組成の金めっき液を５００ｍＬビーカーに用意し、ｐＨを５．０に調整後、湯浴にて８５℃に加熱した。図１の基板を、表１の条件にて前処理した後（図２（ａ））、用意した金めっき浴に１０分間浸漬し、０．０６ミクロンの厚みの皮膜を形成させた。得られた金めっき皮膜の深さ方向の分析をＥＳＣＡ（ＵＬＶＡＣ製、ＱＵＡＮＴＵＭ２０００）にて行なった結果を図９に示す。下地の銅の酸化は認められず、金めっき皮膜中に炭素も検出されていない。表面酸化抑制剤は銅表面の酸化を抑制するが、金めっき皮膜中には取り込まれないことを示している。次に、はんだボールテストを行なった。Ｐｂフリーはんだボール（Ｓｎ−Ａｇ３．０−Ｃｕ０．５）を金めっきされた２０個のパッド部に搭載し、２５５℃のリフロー装置にて融着後、シェアー装置にて２０個のはんだボールを剥離し、各剥離部を観察した。
はんだ内の切断によるものが９５％で、Ｃｕ界面が露出したパッドは５％のみで、良好なはんだ接続適性を示した。
次に、この金めっき液を９０℃のオーブンに入れ、１００時間放置後、取り出したが、金めっき液中に金の析出は認めらず、熱安定性は良好であった。
めっき液を室温に戻してから、再度ｐＨを５．０に調整し、湯浴にて８５℃に加熱後、図１の基板を、表１の条件にて前処理したもの（図２（ａ））を１０分間浸漬し、０．０６ミクロンの金めっき皮膜を得た。金めっき皮膜の色調は鮮やかなレモンイエローであった。
Ｐｂフリーはんだボール（Ｓｎ−Ａｇ３．０−Ｃｕ０．５）を２０個搭載し、２５５℃のリフロー温度にて融着後、はんだ剥離モードを測定したところ、はんだ内の剥離が９５％で、Ｃｕ界面が露出したパッドは５％に過ぎなかった。
【実施例４】
実施例３に記載の金めっき液を５００ｍＬ調合し、１０００ｍＬのビーカーに入れてめっきランニングテストを行なった。５ｃｍ角の銅板を多数用意し、実施例３に記載の条件で金めっきを行い、０．０６ミクロン付近の金めっき皮膜を形成させる作業を繰り返し行なった。ランニング中にめっき液中の金濃度をＩＣＰ（セイコーインスツルメンツ製、ＳＰＳ３０００）に測定し、金濃度が０．２ｇ／Ｌ減少するたびに同量のシアン化第１金カリウムを補充しながら、めっき作業を繰り返し、総量４．０ｇ／Ｌの金が消費された時点でランニングを終了した。このテストに要した日数は５日間であった。
テスト終了後の金めっき液中の表面酸化抑制剤の濃度をキャピラリー電気泳動装置（大塚電子製、ＣＡＰＩ３２００）にて分析したところ、１２４トリアゾールの濃度は１０００±４０ｐｐｍであり、ランニング前の濃度と同じであった。
本発明の表面酸化抑制剤は長時間の加温条件下（８５℃、５日間）でも分解せず、かつ、めっき反応時に消費もされていなことがわかった。
（比較例１）
表３の比較例１に示した組成の金めっき液を用意し、実施例１と同様な方法でめっき処理を行い、０．０７ミクロンの厚みの金めっき皮膜を形成させた。この金めっき基板に２０個のＰｂはんだボールを実施例１と同様に搭載し、はんだ剥離モードを測定したところ、はんだ内切断はわずかに１０％で、残りの９０％はニッケル界面が露出し、不満足なはんだ接続特性であった。
（比較例２）
表３の比較例２に示した組成の金めっき液を用意し、実施例１と同様な方法でめっき処理を行い、０．０７ミクロンの厚みの金めっき皮膜を形成させた。この金めっき基板に２０個のＰｂはんだボールを実施例１と同様に搭載し、はんだ剥離モードを測定したところ、はんだ内切断はわずかに５％で、残りの９５％はニッケル界面が露出し、不満足なはんだ接続特性であった。
（深さＡｕｇｅｒ測定）
本発明の金めっき液の表面酸化抑制の効果を調べる為、実施例１で作成した金めっき皮膜と比較例１で作成した金めっき皮膜の、下地金属（ニッケル）の酸化の度合い深さＡｕｇｅｒ測定（Ｍｉｃｒｏｌａｂ ３１０−Ｆ、英国ＶＧ社、電子源：フィールドエミッション）にて行なった。
実施例１のＡｕｇｅｒ測定結果を図７に、比較例１を図８に示す。表面酸化抑制剤が添加されてない比較例１の方が、Ｎｉ下地が激しく酸化されている。
（比較例３）
表３の比較例３に示した組成の金めっき液を用意し、実施例３と同様な方法で処理した基板にてめっき処理を行い、０．０５ミクロンの厚みの金めっき皮膜を形成させた。この金めっき基板にて、２０個のＰｂフリーはんだ（実施例３と同一組成）ボールの剥離モードを測定したところ、はんだ内切断が６０％、Ｃｕ界面露出４０％であった。次にこの金めっき液を９０℃のオーブンに入れると８時間後には、金の析出（ビーカー底への金の沈殿）が起こり、金めっき液は分解した。この金めっき液は還元剤のアスコルビン酸が添加されているため熱安定性が劣っていた。
（比較例４）
表３の比較例４に示した組成の金めっき液を用意し、実施例３と同様な方法でめっき処理を行い、０．０７ミクロンの厚みの金めっき皮膜を形成させた。この金めっき基板に２０個のＰｂフリーはんだ（実施例３と同一組成）ボールを実施例３と同様に搭載し、はんだ剥離モードを測定したところ、はんだ内切断はわずかに１０％で、残りの９０％はＣｕ界面が露出し、不満足なはんだ接続特性であった。
（比較例５）
表３の比較例５に示した組成の金めっき液を用意し、実施例３と同様な方法でめっき処理を行ったが、黒色の金めっき析出層となり、レモンイエローの金めっき皮膜は得られなかった。ホスホン酸を用いたキレート剤の銅溶解性が低く、銅が金と一緒に共析したものと思われる。
（比較例６）
表３の比較例６に示した金めっき液を用意し、実施例３と同様な方法でめっき処理を行い、０．０６ミクロンの金めっき皮膜を形成させた。金めっき皮膜の色調はレモンイエローであった。この金めっき基板に２０個のＰｂフリーはんだ（実施例３と同一組成）ボールを実施例３と同様に搭載し、はんだ剥離モードを測定したところ、はんだ内切断は２０％しかなく、残りの８０％のパッドでＣｕ界面が露出し、不満足なはんだ接続特性であった。
【図１】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図９】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水溶性金塩、電導性向上剤、イミノ２酢酸構造を有するキレート剤、主鎖または環中に窒素原子を２個以上含む有機化合物からなる表面酸化抑制剤、および残部としての溶媒を含んでなる、置換型無電解金めっき液。
【請求項２】
水溶性金塩が、シアン化第１金カリウム、シアン化第２金カリウム、塩化第１金カリウム、塩化第２金カリウム、亜硫酸金カリウム、亜硫酸金ナトリウム、チオ硫酸金カリウム、チオ硫酸金ナトリウム、およびこれらの混合物からなる群から選ばれたものである、請求項１に記載の置換型無電解金めっき液。
【請求項３】
電導性向上剤が、ホウ酸、リン酸、硫酸、チオ硫酸、硝酸、塩化物、クエン酸、リンゴ酸、コハク酸、乳酸、マロン酸、マレイン酸、蓚酸、酒石酸、フタル酸、安息香酸、グリシン、グルタミン酸、これらのカリウム塩、ナトリウム塩またはアンモニウム塩、およびこれらの混合物からなる群から選ばれたものである、請求項１または２に記載の置換型無電解金めっき液。
【請求項４】
キレート剤が、エチレンジアミン４酢酸、ヒドロキシエチルイミノ２酢酸、ニトリロ３酢酸、ヒドロキシエチルエチレンジアミン３酢酸、ジエチレントリアミン５酢酸、トリエチレンテトラミン６酢酸、ジカルボキシメチルグルタミン酸、プロパンジアミン４酢酸、１，３−ジアミノ−２−ヒドロキシプロパン４酢酸、これらのナトリウム塩、カリウム塩またはアンモニウム塩、およびこれらの混合物混合物からなる群から選ばれたものである、請求項１〜３のいずれか１項に記載の無電解置換型金めっき液。
【請求項５】
表面酸化抑制剤が、電子供与性化合物である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の置換型無電解金めっき液。
【請求項６】
表面酸化抑制剤が、主鎖または環中に窒素原子を３個以上含みかつこのうちの少なくとも１個以上の窒素原子が−ＮＨ−構造のものである、請求項１〜５のいずれか１項に記載の置換型無電解金めっき液。
【請求項７】
表面酸化抑制剤が、下記の式〔Ｉ〕で示される脂肪族化合物または式〔ＩＩ〕で示される複素環化合物である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の置換型無電解金めっき液。
〔ここで、Ｒ１〜Ｒ４は、それぞれ独立に、水素、炭素数１〜３のアルキル基、−（Ｃ２Ｈ４）ｍ−ＮＨ２、−（Ｃ２Ｈ４）ｎ−ＯＨを示す（ここで、ｍは０または１であり、ｎは０または１である）。ｐは０〜４の整数である。〕
〔ここで、
は、−ＮＨ−基の窒素原子および炭素原子を環中に有する複素環を示す。Ｒ５は、この複素環中の炭素原子に結合した水素、炭素数１〜３のアルキル基、アミノ基、炭素数１〜３のアルキルアミノ基を示す。〕
【請求項８】
表面酸化抑制剤が、エチレンジアミン、Ｎ，Ｎ’−ビス（ベータヒドロキシエチル）−エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、Ｎ，Ｎ’−ビス（ベータヒドロキシエチル）−ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、Ｎ，Ｎ’−ビス（ベータヒドロキシエチル）−トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、Ｎ，Ｎ’−ビス（ベータヒドロキシエチル）−テトラエチレンペンタミン、２−アミノピロール、３−アミノピロール、２−アミノインドール、３−アミノインドール、ピラゾール、３−アミノピラゾール、４−アミノピラゾール、５−アミノピラゾール、イミダゾール、２−アミノイミダゾール、４−アミノイミダゾール、５−アミノイミダゾール、１，２，３−トリアゾール、４−アミノ−１，２，３−トリアゾール、５−アミノ−１，２，３−トリアゾール、１，２，４−トリアゾール、３−アミノ−１，２，４−トリアゾール、５−アミノ−１，２，４−トリアゾール、テトラゾール、５−アミノ−テトラゾール、ベンズイミダゾール、２−アミノ−ベンズイミダゾール、ベンズトリアゾールおよびこれらの混合物からなる群から選ばれたものである、請求項１〜７のいずれか１項に記載の置換型無電解金めっき液。
【請求項９】
水溶性金塩の濃度が、０．１〜１０ｇ／Ｌ、電導性向上剤の濃度が５〜５００ｇ／Ｌ、キレート剤の濃度が１〜２００ｇ／Ｌ、表面酸化抑制剤の濃度が５〜５００００ｐｐｍである、請求項１〜８のいずれか１項に記載の置換型無電解金めっき液。
【請求項１０】
水溶性金塩の濃度が、０．５〜５．０ｇ／Ｌ、電導性向上剤の濃度が１０〜２００ｇ／Ｌ、キレート剤の濃度が５〜１００ｇ／Ｌ、表面酸化抑制剤の濃度が１０〜１００００ｐｐｍである、請求項１〜９のいずれか１項に記載の置換型無電解金めっき液。
【請求項１】
水溶性金塩、電導性向上剤、イミノ２酢酸構造を有するキレート剤、主鎖または環中に窒素原子を２個以上含む有機化合物からなる表面酸化抑制剤、および残部としての溶媒を含んでなる、置換型無電解金めっき液。
【請求項２】
水溶性金塩が、シアン化第１金カリウム、シアン化第２金カリウム、塩化第１金カリウム、塩化第２金カリウム、亜硫酸金カリウム、亜硫酸金ナトリウム、チオ硫酸金カリウム、チオ硫酸金ナトリウム、およびこれらの混合物からなる群から選ばれたものである、請求項１に記載の置換型無電解金めっき液。
【請求項３】
電導性向上剤が、ホウ酸、リン酸、硫酸、チオ硫酸、硝酸、塩化物、クエン酸、リンゴ酸、コハク酸、乳酸、マロン酸、マレイン酸、蓚酸、酒石酸、フタル酸、安息香酸、グリシン、グルタミン酸、これらのカリウム塩、ナトリウム塩またはアンモニウム塩、およびこれらの混合物からなる群から選ばれたものである、請求項１または２に記載の置換型無電解金めっき液。
【請求項４】
キレート剤が、エチレンジアミン４酢酸、ヒドロキシエチルイミノ２酢酸、ニトリロ３酢酸、ヒドロキシエチルエチレンジアミン３酢酸、ジエチレントリアミン５酢酸、トリエチレンテトラミン６酢酸、ジカルボキシメチルグルタミン酸、プロパンジアミン４酢酸、１，３−ジアミノ−２−ヒドロキシプロパン４酢酸、これらのナトリウム塩、カリウム塩またはアンモニウム塩、およびこれらの混合物混合物からなる群から選ばれたものである、請求項１〜３のいずれか１項に記載の無電解置換型金めっき液。
【請求項５】
表面酸化抑制剤が、電子供与性化合物である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の置換型無電解金めっき液。
【請求項６】
表面酸化抑制剤が、主鎖または環中に窒素原子を３個以上含みかつこのうちの少なくとも１個以上の窒素原子が−ＮＨ−構造のものである、請求項１〜５のいずれか１項に記載の置換型無電解金めっき液。
【請求項７】
表面酸化抑制剤が、下記の式〔Ｉ〕で示される脂肪族化合物または式〔ＩＩ〕で示される複素環化合物である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の置換型無電解金めっき液。
〔ここで、Ｒ１〜Ｒ４は、それぞれ独立に、水素、炭素数１〜３のアルキル基、−（Ｃ２Ｈ４）ｍ−ＮＨ２、−（Ｃ２Ｈ４）ｎ−ＯＨを示す（ここで、ｍは０または１であり、ｎは０または１である）。ｐは０〜４の整数である。〕
〔ここで、
は、−ＮＨ−基の窒素原子および炭素原子を環中に有する複素環を示す。Ｒ５は、この複素環中の炭素原子に結合した水素、炭素数１〜３のアルキル基、アミノ基、炭素数１〜３のアルキルアミノ基を示す。〕
【請求項８】
表面酸化抑制剤が、エチレンジアミン、Ｎ，Ｎ’−ビス（ベータヒドロキシエチル）−エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、Ｎ，Ｎ’−ビス（ベータヒドロキシエチル）−ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、Ｎ，Ｎ’−ビス（ベータヒドロキシエチル）−トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、Ｎ，Ｎ’−ビス（ベータヒドロキシエチル）−テトラエチレンペンタミン、２−アミノピロール、３−アミノピロール、２−アミノインドール、３−アミノインドール、ピラゾール、３−アミノピラゾール、４−アミノピラゾール、５−アミノピラゾール、イミダゾール、２−アミノイミダゾール、４−アミノイミダゾール、５−アミノイミダゾール、１，２，３−トリアゾール、４−アミノ−１，２，３−トリアゾール、５−アミノ−１，２，３−トリアゾール、１，２，４−トリアゾール、３−アミノ−１，２，４−トリアゾール、５−アミノ−１，２，４−トリアゾール、テトラゾール、５−アミノ−テトラゾール、ベンズイミダゾール、２−アミノ−ベンズイミダゾール、ベンズトリアゾールおよびこれらの混合物からなる群から選ばれたものである、請求項１〜７のいずれか１項に記載の置換型無電解金めっき液。
【請求項９】
水溶性金塩の濃度が、０．１〜１０ｇ／Ｌ、電導性向上剤の濃度が５〜５００ｇ／Ｌ、キレート剤の濃度が１〜２００ｇ／Ｌ、表面酸化抑制剤の濃度が５〜５００００ｐｐｍである、請求項１〜８のいずれか１項に記載の置換型無電解金めっき液。
【請求項１０】
水溶性金塩の濃度が、０．５〜５．０ｇ／Ｌ、電導性向上剤の濃度が１０〜２００ｇ／Ｌ、キレート剤の濃度が５〜１００ｇ／Ｌ、表面酸化抑制剤の濃度が１０〜１００００ｐｐｍである、請求項１〜９のいずれか１項に記載の置換型無電解金めっき液。
【国際公開番号】ＷＯ２００４／０３８０６３
【国際公開日】平成１６年５月６日（２００４．５．６）
【発行日】平成１８年２月２３日（２００６．２．２３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−５４６４１４（Ｐ２００４−５４６４１４）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＪＰ２００３／０１３２４３
【国際出願日】平成１５年１０月１６日（２００３．１０．１６）
【出願人】（３９９１３３９４７）日本高純度化学株式会社 (8)
【Ｆターム（参考）】
【国際公開日】平成１６年５月６日（２００４．５．６）
【発行日】平成１８年２月２３日（２００６．２．２３）
【国際特許分類】
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＪＰ２００３／０１３２４３
【国際出願日】平成１５年１０月１６日（２００３．１０．１６）
【出願人】（３９９１３３９４７）日本高純度化学株式会社 (8)
【Ｆターム（参考）】
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