貼合装置及びディスプレイパネルの製造装置
【課題】接着剤の付着を抑制し、ディスプレイパネルの高い生産効率を達成することができる貼合装置を提供する。
【解決手段】第１基板と第２基板とを接着剤を用いて貼り合わせる貼合装置であって、前記第１基板と前記第２基板との間の前記接着剤を加圧する加圧機構と、前記第２基板と前記加圧機構との間に配置され、前記接着剤から前記加圧機構を保護する保護シートと、前記第２基板に対する前記保護シートの接触位置を変更する位置変更部と、を備えることを特徴とする貼合装置。
【解決手段】第１基板と第２基板とを接着剤を用いて貼り合わせる貼合装置であって、前記第１基板と前記第２基板との間の前記接着剤を加圧する加圧機構と、前記第２基板と前記加圧機構との間に配置され、前記接着剤から前記加圧機構を保護する保護シートと、前記第２基板に対する前記保護シートの接触位置を変更する位置変更部と、を備えることを特徴とする貼合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスプレイパネルの基板を貼り合わせるための貼合装置及びディスプレイパネルの製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶や有機ＥＬ（エレクトロルミネセンス）素子を用いたディスプレイパネルは、典型的には、一対の基板と、基板間に配設された接着剤と、を備える。基板間の接着剤は、基板同士を接着させるだけでなく、基板上に形成された光電デバイスを封止する役割を担う。
【０００３】
特許文献１は、ディスプレイパネルの製造方法を開示する。特許文献１の技術によれば、一対の基板と、基板間に配設された接着剤と、を備える積層体が用意される。積層体は、加圧装置を用いて、加圧され、一対の基板は、接着剤によって接着される。
【０００４】
加圧装置は、積層体が配設されるチャンバと、チャンバ内の積層体に向けて膨張するエアバッグと、を備える。エアバッグの膨張によって、一対の基板が圧縮並びに接着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２５５５４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
一対の基板同士の圧着の結果、基板間に配設された接着剤は、面内方向に流動する。最終的に、接着剤は、基板の縁部からはみ出すので、エアバッグは、接着剤によって汚染されることもある。
【０００７】
新たにディスプレイパネルを製造するために、エアバッグに付着した接着剤は除去される必要がある。エアバッグの清掃作業は、ディスプレイパネルの生産効率を悪化させる。
【０００８】
エアバッグに対して、接着剤の剥離を促すための表面処理が施与されることもある。しかしながら、エアバッグの表面は、接着剤に直接的に接触するので、表面処理に拘わらず、接着剤がエアバッグに付着することがある。
【０００９】
本発明は、接着剤の付着を抑制し、ディスプレイパネルの高い生産効率を達成することができる貼合装置及びディスプレイパネルの製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一の局面に係る第１基板と第２基板とを接着剤を用いて貼り合わせる貼合装置は、前記第１基板と前記第２基板との間の前記接着剤を加圧する加圧機構と、前記第２基板と前記加圧機構との間に配置され、前記接着剤から前記加圧機構を保護する保護シートと、前記第２基板に対する前記保護シートの接触位置を変更する位置変更部と、を備えることを特徴とする。
【００１１】
本発明の他の局面に係るディスプレイパネルを製造するための製造装置は、上述の貼合装置を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る貼合装置及びディスプレイパネルの製造装置は、接着剤から加圧機構を保護する保護シートが変位されるので、ディスプレイパネルを高い生産効率で製造することに貢献する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】ディスプレイパネルを製造するために一対の基板を貼り合わせる貼合装置の概略的な断面図である。
【図２】図１に示される貼合装置の保護シートの概略的な平面図である。
【図３】図１に示される貼合装置によって製造されるディスプレイパネルの概略的な平面図である。
【図４】図１に示される貼合装置の膨張性シートの概略的な平面図である。
【図５】図３に示されるディスプレイパネルをＮ個製造するための製造方法の概略的なフローチャートである。
【図６】図５に示される製造方法のステップＳ１３０において用意される支持基板と光電デバイス層との積層体の概略的な断面図である。
【図７】図３に示されるディスプレイパネルの接着剤層の形成に用いられる接着剤シートの概略的な斜視図である。
【図８】図５に示される製造方法のステップＳ１３０において用意される接着剤層と保護基板との積層体の概略的な断面図である。
【図９】図５に示される製造方法のステップＳ１４０における貼合装置の概略的な断面図である。
【図１０】図５に示される製造方法のステップＳ１５０における貼合装置の概略的な断面図である。
【図１１】図５に示される製造方法のステップＳ１５０における貼合装置の概略的な断面図である。
【図１２】図５に示される製造方法のステップＳ１６０における貼合装置の概略的な断面図である。
【図１３】図１に示される貼合装置から取り出されたディスプレイパネルの概略的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、ディスプレイパネルを製造するために一対の基板を貼り合わせる貼合装置及びディスプレイパネルの製造装置が添付の図面を参照して説明される。尚、以下に説明される実施形態において、同様の構成要素に対して同様の符号が付されている。また、説明の明瞭化のため、必要に応じて、重複する説明は省略される。図面に示される構成、配置或いは形状並びに図面に関連する記載は、貼合装置及びディスプレイパネルの製造装置の原理を容易に理解させることを目的とするものであり、貼合装置及びディスプレイパネルの製造装置の原理はこれらに何ら限定されるものではない。
【００１５】
（貼合装置）
図１は、ディスプレイパネル５００を製造するために一対の基板を貼り合わせる貼合装置１００の概略的な断面図である。図１を用いて、貼合装置１００が説明される。尚、以下の説明において用いられる「上」や「下」といった方向を表す用語は、本実施形態の原理を明瞭化させるためのものであり、本実施形態の原理を何ら限定するものではない。
【００１６】
貼合装置１００は、映像を表示するための光電デバイスが配設された光電デバイス層５１０を支持する支持基板５２０と、光電デバイス層５１０を被覆並びに保護する保護基板５３０と、を貼り合わせ、ディスプレイパネル５００を製造する。貼合装置１００は、支持基板５２０と保護基板５３０とを収容する収容空間２１０を規定する下側チャンバ２００と、下側チャンバ２００の上方に配設される上側チャンバ３００と、を備える。本実施形態において、支持基板５２０は、第１基板として例示される。また、保護基板５３０は、第２基板として例示される。
【００１７】
支持基板５２０は、光電デバイス層５１０を支持する支持面５２１を含む。支持面５２１が上側チャンバ３００に対向するように、支持基板５２０は、収容空間２１０内に設置される。
【００１８】
ディスプレイパネル５００は、接着剤を用いて形成された接着剤層５４０を更に備える。保護基板５３０は、支持基板５２０の支持面５２１に対向する接着面５３１を含む。接着剤層５４０は、接着面５３１に固定される。接着剤層５４０が光電デバイス層５１０に対向するように、保護基板５３０は、収容空間２１０内に設置される。
【００１９】
貼合装置１００は、支持基板５２０と保護基板５３０との間に配設された接着剤層５４０を加圧する加圧機構４００を備える。上述の下側チャンバ２００及び上側チャンバ３００は、加圧機構４００の一部として用いられる。本実施形態において、下側チャンバ２００は、第１チャンバとして例示される。
【００２０】
加圧機構４００は、収容空間２１０から空気を吸引し、収容空間２１０を減圧する第１真空装置４１０を更に備える。支持基板５２０と保護基板５３０との接着の間、収容空間２１０は、第１真空装置４１０を用いて減圧される。本実施形態において、第１真空装置４１０は、減圧部として例示される。
【００２１】
上側チャンバ３００は、下側チャンバ２００に向けて開口した連通口３１０と、収容空間２１０の内圧に対する圧力差を作り出すために内圧調整がなされる調整空間３２０と、を規定する。本実施形態において、上側チャンバ３００は、第２チャンバとして例示される。
【００２２】
加圧機構４００は、調整空間３２０から空気を吸引し、調整空間３２０を減圧する第２真空装置４２０と、調整空間３２０内に空気を送り込む送気装置４３０と、を更に備える。第２真空装置４２０が作動するならば、減圧された収容空間２１０と調整空間３２０との間の内圧差は低減する。送気装置４３０が作動するならば、減圧された収容空間２１０と調整空間３２０との間の内圧差は増大する。したがって、第２真空装置４２０及び送気装置４３０は、調整空間３２０内の内圧並びに減圧された収容空間２１０と調整空間３２０との間の内圧差を適切に調整することができる。本実施形態において、第１真空装置４１０に加えて、第２真空装置４２０及び送気装置４３０も、減圧部として例示される。尚、送気装置４３０は、省略されてもよい。例えば、調整空間３２０内に適時に空気を流入させることができる弁体が送気装置４３０の代わりに用いられてもよい。
【００２３】
加圧機構４００は、連通口３１０を閉塞するように上側チャンバ３００に取り付けられた膨張性シート４４０を更に備える。したがって、膨張性シート４４０は、上側チャンバ３００と協働して、収容空間２１０を規定する。収容空間２１０の内圧が、調整空間３２０の内圧を下回ると、膨張性シート４４０は、収容空間２１０に向けて膨張する。この結果、膨張性シート４４０と支持基板５２０との間に配設された保護基板５３０は支持基板５２０に押しつけられる。また、接着剤層５４０は、支持基板５２０と保護基板５３０との間で圧縮され、保護基板５３０の接着面５３１を覆うように拡がる。かくして、支持基板５２０及び保護基板５３０は、接着剤層５４０によって適切に貼り合わせられる。
【００２４】
貼合装置１００は、保護基板５３０と膨張性シート４４０との間を通過するように配設された帯状の保護シート１１０を更に備える。したがって、膨張性シート４４０が収容空間２１０に向けて膨張すると、帯状に形成された保護シート１１０は、膨張性シート４４０と保護基板５３０とに挟まれることとなる。
【００２５】
上述の如く、膨張性シート４４０によって加圧された接着剤層５４０は、保護基板５３０の接着面５３１を覆うように拡がる。支持基板５２０の支持面５２１は、保護基板５３０の接着面５３１より広く形成されるので、接着剤層５４０の接着剤は、最終的に、保護基板５３０の側縁からはみ出すこととなる。
【００２６】
保護基板５３０及び接着剤層５４０を加圧する膨張性シート４４０は、保護基板５３０よりも広い面積を有する。したがって、保護基板５３０及び接着剤層５４０を加圧する膨張性シート４４０は、保護基板５３０の周囲で支持基板５２０の支持面５２１をも押圧する。保護シート１１０は、膨張性シート４４０の表面を覆うので、保護基板５３０の側縁からはみ出した接着剤は、保護シート１１０に付着する。したがって、保護シート１１０は、膨張性シート４４０を接着剤から適切に保護することができる。
【００２７】
貼合装置１００は、保護基板５３０に対する保護シート１１０の接触位置を変更する位置変更部１２０を更に備える。位置変更部１２０は、帯状の保護シート１１０の下流端が接続される巻取機構１２１と、ロール状に巻回された保護シート１１０が搭載される搭載部１２２と、を含む。巻取機構１２１及び搭載部１２２は、上側チャンバ３００の調整空間３２０外に設置される。
【００２８】
支持基板５２０と保護基板５３０との接着によって、保護シート１１０に接着剤が付着することもある。支持基板５２０と保護基板５３０との接着の後、巻取機構１２１は、保護シート１１０を巻き取る。この結果、搭載部１２２から新たな保護シート１１０が巻出される。収容空間２１０に新たに保護基板５３０及び支持基板５２０が配設されると、保護シート１１０の新たな表面が保護基板５３０に接触することとなる。したがって、保護シート１１０に付着した接着剤は、新たなディスプレイパネル５００の製造をほとんど妨げない。かくして、貼合装置１００は、ディスプレイパネル５００の高い生産効率の達成に貢献する。
【００２９】
貼合装置１００は、下側チャンバ２００内に配設された支持台１３０と、支持台１３０を上下動させるシリンダ装置１４０と、を備える。支持台１３０は、支持基板５２０が載置される支持部１３１と、支持部１３１を支持するシャフト１３２と、を備える。シャフト１３２は、ベローズ１３３を含む。シリンダ装置１４０が支持部１３１を上下動させると、ベローズ１３３は伸縮する。
【００３０】
貼合装置１００は、下側チャンバ２００と上側チャンバ３００との間に配設されたシール部材１８０を更に備える。シール部材１８０は、下側チャンバ２００と上側チャンバ３００との間の境界を気密にするので、下側チャンバ２００及び上側チャンバ３００内で作り出された減圧環境は適切に維持される。
【００３１】
貼合装置１００は、下側チャンバ２００の収容空間２１０を加熱する加熱装置１９０を更に備える。加熱装置１９０は、接着剤層５４０を硬化するために用いられる。
【００３２】
（保護シート）
図２は、保護シート１１０の概略的な平面図である。図１及び図２を用いて、保護シート１１０が説明される。
【００３３】
保護シート１１０は、上述の如く、帯状に形成される。ロール状に巻回された保護シート１１０は、搭載部１２２に搭載される。保護シート１１０の下流端は、保護シート１１０のロールから引き出され、巻取機構１２１に巻き付けられる。巻取機構１２１が保護シート１１０を巻き取ると、保護シート１１０は搭載部１２２から巻取機構１２１に向けて搬送される。
【００３４】
保護シート１１０には、保護シート１１０の搬送方向に沿って整列された矩形状の開口部１１１が複数形成される。支持基板５２０に対する保護基板５３０の接着の度に、開口部１１１が保護基板５３０の上方に位置するように、巻取機構１２１は保護シート１１０を巻き取る。
【００３５】
図１に示される如く、膨張性シート４４０は、多数の貫通穴４４１が形成された開口領域を含む。図２において点線で描かれた矩形枠は、膨張性シート４４０の開口領域を表す。開口部１１１は、好ましくは、膨張性シート４４０の開口領域よりも広く形成される。
【００３６】
図１に示される如く、膨張性シート４４０の貫通穴４４１は、収容空間２１０と調整空間３２０とを連通させる。保護基板５３０は、支持基板５２０に接着される接着面５３１とは反対側の吸着面５３２を含む。第２真空装置４２０によって調整空間３２０が減圧された後、吸着面５３２が開口領域の貫通穴４４１を閉塞するように、保護基板５３０は、収容空間２１０内に設置される。この結果、保護基板５３０の吸着面５３２は、膨張性シート４４０に吸着されることとなる。かくして、保護基板５３０は、膨張性シート４４０によって、収容空間２１０内で保持されることとなる。
【００３７】
図３は、ディスプレイパネル５００の概略的な平面図である。図１及び図３を用いて、支持基板５２０に対する保護基板５３０の貼り合わせが説明される。
【００３８】
保護基板５３０は、支持基板５２０より狭く形成される。保護基板５３０は、接着面５３１及び吸着面５３２を取り囲む側面５３３を更に含む。膨張性シート４４０が保護基板５３０を支持基板５２０に押しつけると、保護基板５３０と支持基板５２０との間の接着剤層５４０は、保護基板５３０の接着面５３１に沿って拡がり、最終的に、接着剤層５４０の接着剤は、保護基板５３０の四辺からはみ出す。
【００３９】
図４は、膨張性シート４４０の概略的な平面図である。図１及び図４を用いて、支持基板５２０に対する保護基板５３０の貼り合わせが説明される。
【００４０】
図４に示される如く、膨張性シート４４０には、多数の貫通穴４４１が形成される。保護シート１１０の開口部１１１が、多数の貫通穴４４１が形成された開口領域に重なり合うように、巻取機構１２１は、保護シート１１０の位置を調整する。この結果、保護基板５３０は、貫通穴４４１並びに開口部１１１を介した真空圧によって、膨張性シート４４０に吸着される。
【００４１】
保護シート１１０の開口部１１１は、膨張性シート４４０の開口領域よりも広く形成される一方で、保護基板５３０よりも狭く形成される。したがって、保護シート１１０は、保護基板５３０からはみ出した接着剤層５４０を適切に覆う。かくして、保護基板５３０からはみ出した接着剤層５４０の接着剤は、膨張性シート４４０にほとんど付着しない。
【００４２】
保護シート１１０は、保護基板５３０からはみ出した接着剤層５４０に接触するので、保護シート１１０は、好ましくは、接着剤層５４０の接着剤が乗り移りにくい材料から形成される。このような材料として、フッ素樹脂含浸硝子クロス、シリコンゴムやテフロン（登録商標）含浸硝子クロスが例示される。保護シート１１０がこれらの材料を用いて形成されるならば、保護シート１１０は、接着剤層５４０を損傷しにくくなる。
【００４３】
（ディスプレイパネルの製造方法）
図５は、「Ｎ個」のディスプレイパネル５００を製造するための例示的な製造方法の概略的なフローチャートである。図１、図２及び図５を用いて、ディスプレイパネル５００の製造方法が説明される。
【００４４】
（ステップＳ１１０）
ディスプレイパネル５００の製造方法において、ステップＳ１１０が最初に実行される。ステップＳ１１０に示される変数「ｎ」は、ディスプレイパネル５００の製造数量を表す。ステップＳ１１０において、変数「ｎ」のデフォルト値として、「０」の値が設定される。その後、ステップＳ１２０が実行される。
【００４５】
（ステップＳ１２０）
ステップＳ１２０において、変数「ｎ」に「１」の値が加算される。その後、ステップＳ１３０が実行される。
【００４６】
（ステップＳ１３０）
ステップＳ１３０において、支持基板５２０と光電デバイス層５１０との積層体は、支持台１３０の支持部１３１上に設置される。このとき、光電デバイス層５１０が膨張性シート４４０の開口領域の下方に位置するように、支持基板５２０は支持部１３１に対して位置決めされる。
【００４７】
ステップＳ１３０において、第２真空装置４２０が作動される。この結果、調整空間３２０は減圧される。このとき、保護基板５３０の吸着面５３２が膨張性シート４４０の開口領域に形成された貫通穴４４１を閉塞するように、保護基板５３０及び接着剤層５４０との積層体が膨張性シート４４０に取り付けられる。調整空間３２０内に作り出された減圧環境によって、保護基板５３０及び接着剤層５４０との積層体は、膨張性シート４４０に適切に吸着される。尚、ステップＳ１３０において、好ましくは、第１真空装置４１０も作動される。第１真空装置４１０によって収容空間２１０も減圧されるので、貼り合せ時の気泡が入りにくくなる。
【００４８】
支持基板５２０と光電デバイス層５１０との積層体が支持部１３１上に設置され、且つ、保護基板５３０及び接着剤層５４０との積層体が膨張性シート４４０に吸着されると、ステップＳ１４０が実行される。
【００４９】
（ステップＳ１４０）
ステップＳ１４０において、シリンダ装置１４０が作動される。シリンダ装置１４０は、支持部１３１を膨張性シート４４０に向けて変位させる。この結果、支持基板５２０の支持面５２１上に形成された光電デバイス層５１０は、保護基板５３０に取り付けられた接着剤層５４０に接触する。支持基板５２０と保護基板５３０との積層の後、ステップＳ１５０が実行される。
【００５０】
（ステップＳ１５０）
ステップＳ１５０において、第２真空装置４２０が停止される一方で、送気装置４３０が作動される。この結果、調整空間３２０の内圧は、収容空間２１０の内圧よりも大きくなる。したがって、膨張性シート４４０は、収容空間２１０に向けて膨張する。接着剤層５４０が保護基板５３０と支持基板５２０との間の境界からはみ出すまで、膨張性シート４４０は、保護基板５３０並びに接着剤層５４０を支持基板５２０に押しつける。この結果、保護基板５３０及び接着剤層５４０は、支持基板５２０に圧着される。
【００５１】
支持基板５２０と保護基板５３０との圧着の間、加熱装置１９０が作動される。この結果、収容空間２１０は加熱される。本実施形態において、接着剤層５４０は、熱硬化性樹脂を用いて形成される。したがって、収容空間２１０の温度上昇に伴って、接着剤層５４０は硬化する。接着剤層５４０の硬化の後、ステップＳ１６０が実行される。
【００５２】
（ステップＳ１６０）
ステップＳ１６０において、第１真空装置４１０は停止される。収容空間２１０に空気が供給され、第１真空装置４１０によって収容空間２１０に作り出された減圧環境は解消される。この結果、膨張性シート４４０は収縮する。
【００５３】
膨張性シート４４０の収縮によって、保護基板５３０と膨張性シート４４０との間に空間が作り出される。上述の如く、保護シート１１０は、接着剤層５４０に対して、優れた剥離性を有するので、保護シート１１０は、保護基板５３０と膨張性シート４４０との間の空隙を利用して、ディスプレイパネル５００から容易に剥離される。その後、ディスプレイパネル５００は、収容空間２１０から取り出される。
【００５４】
図２に示される如く、保護シート１１０には、複数の開口部１１１が連設されている。使用された開口部１１１の上流の開口部１１１が、膨張性シート４４０の開口領域に重なり合うように、巻取機構１２１は、保護シート１１０を巻き取る。この結果、次のディスプレイパネル５００を作成するための準備が完了する。その後、ステップＳ１７０が実行される。
【００５５】
（ステップＳ１７０）
ステップＳ１７０において、ディスプレイパネル５００の生産目標数「Ｎ」と、実際の生産数「ｎ」と、が比較される。実際の生産数「ｎ」が、生産目標数「Ｎ」に到達していないならば、ステップＳ１２０が実行される。他の場合には、ディスプレイパネル５００の生産は終了する。
【００５６】
図６は、ステップＳ１３０において用意される支持基板５２０と光電デバイス層５１０との積層体の概略的な断面図である。図１、図５及び図６を用いて、ディスプレイパネル５００の製造方法が更に説明される。
【００５７】
ステップＳ１３０の実行の為に、支持基板５２０の支持面５２１に、ＥＬ膜やバリア膜といった光電デバイスを用いて、光電デバイス層５１０が形成される。光電デバイス層５１０の形成手法は、有機ＥＬ（エレクトロルミネセンス）材料を用いた既知のディスプレイパネルの光電デバイスの形成と同様の手法に従ってもよい。
【００５８】
支持基板５２０と光電デバイス層５１０との積層体は、予め複数（Ｎ個）用意される。ステップＳ１３０の実行の度に、支持基板５２０と光電デバイス層５１０との積層体は、支持部１３１に設置される。
【００５９】
図７は、接着剤層５４０の形成に用いられる接着剤シートＡＳの概略的な斜視図である。図８は、ステップＳ１３０において用意される接着剤層５４０と保護基板５３０との積層体の概略的な断面図である。図５、図７及び図８を用いて、ディスプレイパネル５００の製造方法が更に説明される。
【００６０】
ステップＳ１３０の実行の為に、熱硬化性樹脂を用いて形成された接着剤シートＡＳが用意される。接着剤シートＡＳは、保護基板５３０の接着面５３１よりも狭いシート片ＡＳＰに切り取られる。シート片ＡＳＰは、保護基板５３０の接着面５３１に接着され、接着剤層５４０として用いられる。
【００６１】
接着剤層５４０と保護基板５３０との積層体は、予め複数（Ｎ個）用意される。ステップＳ１３０の実行の度に、接着剤層５４０と保護基板５３０との積層体は、膨張性シート４４０に取り付けられる。
【００６２】
図９は、ステップＳ１４０における貼合装置１００の概略的な断面図である。図５及び図９を用いて、ステップＳ１４０における貼合装置１００の動作が説明される。
【００６３】
支持基板５２０と光電デバイス層５１０との積層体並びに保護基板５３０と接着剤層５４０との積層体が下側チャンバ２００内に適切に設置されると、シリンダ装置１４０が作動される。この結果、支持台１３０の支持部１３１は、上方に変位し、光電デバイス層５１０と接着剤層５４０とが軽く接触する。
【００６４】
図１０及び図１１は、ステップＳ１５０における貼合装置１００の概略的な断面図である。図５、図１０及び図１１を用いて、ステップＳ１５０における貼合装置１００の動作が説明される。
【００６５】
上述の如く、ステップＳ１５０が開始されると、第２真空装置４２０が停止される。その一方で、送気装置４３０が作動される。尚、ステップＳ１５０の間、第１真空装置４１０によって作り出された下側チャンバ２００の減圧環境は維持される。したがって、上側チャンバ３００の内圧は、下側チャンバ２００の内圧よりも大きくなり、膨張性シート４４０は、支持基板５２０に向けて膨張する。膨張性シート４４０の下方への膨張の結果、支持基板５２０と保護基板５３０との間の接着剤層５４０は加圧される。
【００６６】
図１０は、ステップＳ１５０の開始直後の貼合装置１００の概略的な断面図である。図１０に示される如く、膨張性シート４４０は、保護基板５３０の外側において、下方に膨張し、保護シート１１０を介して、支持基板５２０の支持面５２１に圧着される。この結果、膨張性シート４４０は、支持基板５２０の支持面５２１との間で接着剤層５４０の接着剤の流動を許容する流動空間５９０を形成する。
【００６７】
膨張性シート４４０の下方への膨張によって、接着剤層５４０は支持基板５２０と保護基板５３０の境界において面内方向に押し広げられる。この結果、接着剤層５４０の接着剤は、保護基板５３０の側面５３３からはみ出し、流動空間５９０を満たす。かくして、保護基板５３０の接着面５３１より広い接着剤層５４０が形成される（図１０参照）。
【００６８】
下側チャンバ２００と上側チャンバ３００との圧力差は、膨張性シート４４０及び保護シート１１０が保護基板５３０の吸着面５３２に密着又は側面５３３の一部を被覆するように設定される。この結果、膨張性シート４４０及び保護シート１１０は、保護基板５３０の吸着面５３２への接着剤の流入を防ぐ障壁として機能する。膨張性シート４４０によって、保護基板５３０の吸着面５３２への接着剤の流入が防止されるので、保護基板５３０の吸着面５３２に取り付けられる他の部品（例えば、偏光板やタッチパネル）と接着剤層５４０との干渉はほとんど生じない。
【００６９】
ステップＳ１５０において、加熱装置１９０が作動される。この結果、流動空間５９０を満たすように拡張された接着剤層５４０は硬化する。本実施形態において、接着剤層５４０は、熱硬化性樹脂を用いて形成される。代替的に、接着剤層は、所望のタイミングで硬化させることができる他の材料を用いて形成されてもよい。例えば、接着剤層は、紫外線硬化樹脂を用いて形成されてもよい。紫外線硬化樹脂が用いられるならば、加熱装置１９０に代えて、接着剤層に紫外線を照射する照射装置が用いられてもよい。
【００７０】
図１２は、ステップＳ１６０における貼合装置１００の概略的な断面図である。図５、図１１及び図１２を用いて、ステップＳ１６０における貼合装置１００の動作が説明される。
【００７１】
接着剤層５４０の硬化の後、下側チャンバ２００内に空気が導入され、第１真空装置４１０によって作り出された減圧環境は解消される。上側チャンバ３００と下側チャンバ２００との間の内圧差も解消されるので、膨張性シート４４０は収縮する。また、シリンダ装置１４０が作動され、支持台１３０の支持部１３１は下方に変位される。この結果、ディスプレイパネル５００は、膨張性シート４４０から離間する。最終的に、ディスプレイパネル５００は、下側チャンバ２００から取り出される。その後、必要に応じて、偏光板やタッチパネルが保護基板５３０の吸着面５３２に取り付けられもよい。上述の如く、接着剤層５４０の接着剤は、保護基板５３０の側面５３３の一部を覆う範囲に留められているので、これらの追加的な部品と接着剤層５４０との干渉はほとんど生じない。
【００７２】
図１２に示される如く、ディスプレイパネル５００が収容空間２１０から取り出された後、巻取機構１２１は保護シート１１０を巻き取る。図１１に示されるように、ステップＳ１５０の実行の間、保護シート１１０は、接着剤層５４０に接触する。したがって、図１２に示される如く、接着剤層５４０の接着剤の一部が保護シート１１０に付着することもある。巻取機構１２１は、保護シート１１０を巻き取り、保護基板５３０に対する保護シート１１０の接触位置を変更するので、保護シート１１０に付着した接着剤は、次のディスプレイパネル５００の製造に対して、ほとんど影響しない。
【００７３】
（ディスプレイパネル）
図１３は、貼合装置１００から取り出されたディスプレイパネル５００の概略的な断面図である。図１１及び図１３を用いて、ディスプレイパネル５００が説明される。
【００７４】
ディスプレイパネル５００は、上述の如く、略矩形状の支持基板５２０を備える。支持基板５２０の支持面５２１には、ＥＬ膜やバリア膜といった光電デバイスを用いて形成された光電デバイス層５１０が配設される。ディスプレイパネル５００に入力された映像信号に基づき、光電デバイス層５１０に電流が供給され、光電デバイス層５１０が発光する。この結果、光電デバイス層５１０は、映像信号に応じた映像を表示することとなる。光電デバイス層５１０は、有機ＥＬ（エレクトロルミネセンス）材料を用いた既知のディスプレイパネルに採用される構造であってもよい。
【００７５】
上述の如く、ディスプレイパネル５００は、光電デバイス層５１０を覆うように、接着剤を用いて形成された接着剤層５４０と、接着剤層５４０を介して支持基板５２０に接着される保護基板５３０と、を備える。保護基板５３０は、支持基板５２０に対向する接着面５３１と、接着面５３１とは反対側の吸着面５３２と、接着面５３１及び吸着面５３２を取り囲む側面５３３と、を含む。保護基板５３０の接着面５３１は、接着剤層５４０の接着剤によって、支持基板５２０の支持面５２１に接着される。
【００７６】
接着剤層５４０は、光電デバイス層５１０を封止する役割を担う。保護基板５３０は、光電デバイス層５１０を保護する役割を担う。以下の説明において、保護基板５３０と支持基板５２０との積層構造は、「積層基板５５０」と称される。必要に応じて、ディスプレイパネル５００は、積層基板５５０に加えて、保護基板５３０の吸着面５３２に取り付けられる偏光板（図示せず）やタッチパネル（図示せず）を更に備えてもよい。
【００７７】
本実施形態において、支持基板５２０及び保護基板５３０は、可撓性を有する。したがって、ディスプレイパネル５００は、フレキシブルディスプレイ装置として機能する。代替的に、支持基板５２０及び保護基板５３０のうち一方が可撓性を有してもよい。更に代替的に、支持基板５２０及び保護基板５３０は、比較的高い剛性を有してもよい。
【００７８】
保護基板５３０の接着面５３１は、支持基板５２０の支持面５２１よりも狭く、且つ、光電デバイス層５１０よりも広く形成される。以下の説明において、保護基板５３０の接着面５３１と支持基板５２０の支持面５２１との間の境界は、「境界領域」と称される。
【００７９】
保護基板５３０と支持基板５２０との境界領域に介在する接着剤層５４０は、光電デバイス層５１０並びに保護基板５３０の接着面５３１より広く、且つ、支持基板５２０の支持面５２１よりも狭く形成される。境界領域からはみ出した接着剤層５４０の接着剤は、保護基板５３０の側面５３３の一部を覆う。接着剤層５４０の接着剤は、保護基板５３０の側面５３３の一部を覆う領域に留められるので、保護基板５３０の吸着面５３２に取り付けられた追加的な部品（例えば、偏光板やタッチパネル）と接着剤層５４０との干渉はほとんど生じない。
【００８０】
上述の実施形態において、保護シート１１０は、巻取機構１２１と搭載部１２２とを備える位置変更部１２０によって、搬送される。代替的に、保護シート１１０を適切に移動及び／又は搬送し、保護シート１１０と保護基板５３０との接触位置を変更することができる他の機構が、位置変更部として用いられてもよい。
【００８１】
上述のディスプレイパネル５００は、有機ＥＬを用いて、映像を表示する。本実施形態の原理は、有機ＥＬを用いるディスプレイパネル５００の製造だけでなく、他の表示方式にしたがって映像を表示するディスプレイパネルの製造にも同様に適用可能である。
【００８２】
上述の貼合装置１００は、ディスプレイパネル５００を製造するための製造装置に好適に組み込まれる。ディスプレイパネル５００の製造工程中の一対の基板を貼り合わせる貼合工程において、上述の貼合装置１００が用いられるならば、ディスプレイパネル５００は、高い生産効率で製造されることとなる。
【００８３】
上述された実施形態に係る貼合装置は、以下の構成を有する。したがって、貼合装置は、ディスプレイパネルを高い生産効率で製造することができる。
【００８４】
上述された実施形態の一の局面に係る第１基板と第２基板とを接着剤を用いて貼り合わせる貼合装置は、前記第１基板と前記第２基板との間の前記接着剤を加圧する加圧機構と、前記第２基板と前記加圧機構との間に配置され、前記接着剤から前記加圧機構を保護する保護シートと、前記第２基板に対する前記保護シートの接触位置を変更する位置変更部と、を備えることを特徴とする。
【００８５】
上記構成によれば、貼合装置は、第１基板と第２基板とを、接着剤を用いて、貼り合わせる。加圧機構は、第１基板と第２基板との間の接着剤を加圧するので、接着剤は、面内方向に流動する。保護シートは、第２基板と加圧機構との間に配設されるので、加圧機構は、保護シートによって、接着剤から適切に保護される。位置変更部は、第２基板に対する保護シートの接触位置を変更するので、保護シートに付着した接着剤は、次の貼合工程にほとんど影響を与えない。したがって、ディスプレイパネルの生産効率は、高い水準で維持される。
【００８６】
上記構成において、前記保護シートは、帯状に形成され、前記位置変更部は、前記保護シートを巻き取る巻取機構を含むことが好ましい。
【００８７】
上記構成によれば、巻取機構は、帯状の保護シートを巻き取るので、使用後の保護シートは、小さな空間内で保持されることとなる。
【００８８】
上記構成において、前記保護シートは、ロール状に巻回され、前記位置変更部は、前記ロール状の保護シートが搭載される搭載部を含むことが好ましい。
【００８９】
上記構成によれば、ロール状に巻回された保護シートが搭載部に搭載され、巻取機構の巻取動作によって、第２基板に対する保護シートの位置は変更される。したがって、使用前の保護シートは、小さな空間内で保持されることとなる。
【００９０】
上記構成において、前記保護シートは、フッ素樹脂含浸硝子クロス、シリコンゴム及びテフロン（登録商標）含浸硝子クロスからなる群から選択される材料から形成されることが好ましい。
【００９１】
上記構成によれば、保護シートは、フッ素樹脂含浸硝子クロス、シリコンゴム及びテフロン（登録商標）含浸硝子クロスからなる群から選択される材料から形成されるので、接着剤は、保護シートに不必要に付着しない。したがって、保護シートは、第１基板と第２基板との間の接着剤の層をほとんど損傷させない。
【００９２】
上記構成において、前記加圧機構は、前記第１基板と前記第２基板との間の接着剤が前記第２基板の縁部からはみ出すように前記第２基板を加圧することが好ましい。
【００９３】
上記構成によれば、加圧機構は、第１基板と第２基板との間の接着剤が第２基板の縁部からはみ出すように、第２基板を加圧するので、第１基板と第２基板との間の境界は接着剤によって満たされる。したがって、第１基板と第２基板との間の剥離は生じにくくなる。
【００９４】
上記構成において、貼合装置は、前記第１基板を支持する支持部を更に備え、前記第１基板は、前記第２基板よりも広いことが好ましい。
【００９５】
上記構成によれば、第１基板は、第２基板より広いので、接着剤は、第１基板を支持する支持部にほとんど付着しない。
【００９６】
上記構成において、前記加圧機構は、前記第２基板と協働して前記保護シートを挟持する膨張性シートと、該膨張性シートと協働して前記第１基板と前記第２基板とを収容するための収容空間を規定する第１チャンバと、前記収容空間を減圧する減圧部と、を含み、前記膨張性シートは、前記収容空間内の圧力低下に伴い膨張し、前記第２基板を前記第１基板に押しつけることが好ましい。
【００９７】
上記構成によれば、膨張性シートは、第２基板と協働して保護シートを挟持する。第１チャンバは、膨張性シートと協働して第１基板と第２基板とを収容するための収容空間を規定する。減圧部が収容空間を減圧すると、膨張性シートは、収容空間内の圧力低下に伴い膨張し、第２基板を第１基板に押しつける。この結果、接着剤は、面内方向に流動する。膨張性シートと第２基板とによって挟持された保護シートは、膨張性シートを接着剤から保護する。位置変更部は、第２基板に対する保護シートの接触位置を変更するので、保護シートに付着した接着剤は、次の貼合工程にほとんど影響を与えない。したがって、ディスプレイパネルの生産効率は、高い水準で維持される。
【００９８】
上記構成において、前記加圧機構は、前記第１チャンバに向けて開口した連通口と、前記減圧部によって内圧調整がなされる調整空間と、を規定する第２チャンバを備え、前記連通口を閉塞するように前記第２チャンバに取り付けられた前記膨張性シートは、前記収容空間と前記調整空間とを連通させる貫通穴が形成された開口領域を含み、前記調整空間が減圧されている間、前記第２基板は、前記開口領域の前記貫通穴を閉塞することが好ましい。
【００９９】
上記構成によれば、第２チャンバは、第１チャンバに向けて開口した連通口と、減圧部によって内圧調整がなされる調整空間と、を規定する。膨張性シートは、連通口を閉塞するように第２チャンバに取り付けられる。膨張性シートは、収容空間と調整空間とを連通させる貫通穴が形成された開口領域を含む。調整空間が減圧されている間、第２基板は、開口領域の前記貫通穴を閉塞する。したがって、第２基板は、膨張性シートに適切に吸着並びに保持される。
【０１００】
上記構成において、前記保護シートには、前記第２基板の面積よりも小さい開口部が形成され、前記第２基板は、前記開口部を介して、前記開口領域の前記貫通穴に吸着されることが好ましい。
【０１０１】
上記構成によれば、保護シートには、開口部が形成される。第２基板は、開口部を介して、開口領域の前記貫通穴に吸着される。開口部は、第２基板の面積よりも小さいので、保護シートは、膨張性シートを接着剤から適切に保護することができる。
【０１０２】
上述された実施形態の他の局面に係るディスプレイパネルの製造装置は、上述の貼合装置を含むことを特徴とする。
【０１０３】
上記構成によれば、ディスプレイパネルの製造装置は、上述の貼合装置を含むので、ディスプレイパネルの生産効率は、高い水準で維持される。
【産業上の利用可能性】
【０１０４】
上述の実施形態に係る原理は、映像を表示するためのディスプレイパネルの製造に好適に適用される。
【符号の説明】
【０１０５】
１００・・・・・・・・・・貼合装置
１１０・・・・・・・・・・保護シート
１１１・・・・・・・・・・開口部
１２０・・・・・・・・・・位置変更部
１２１・・・・・・・・・・巻取機構
１２２・・・・・・・・・・搭載部
１３１・・・・・・・・・・支持部
２００・・・・・・・・・・下側チャンバ
３００・・・・・・・・・・上側チャンバ
３１０・・・・・・・・・・連通口
３２０・・・・・・・・・・調整空間
４００・・・・・・・・・・加圧機構
４１０・・・・・・・・・・第１真空装置
４２０・・・・・・・・・・第２真空装置
４３０・・・・・・・・・・送気装置
４４０・・・・・・・・・・膨張性シート
４４１・・・・・・・・・・貫通穴
５２０・・・・・・・・・・支持基板
５３０・・・・・・・・・・保護基板
５４０・・・・・・・・・・接着剤層
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスプレイパネルの基板を貼り合わせるための貼合装置及びディスプレイパネルの製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶や有機ＥＬ（エレクトロルミネセンス）素子を用いたディスプレイパネルは、典型的には、一対の基板と、基板間に配設された接着剤と、を備える。基板間の接着剤は、基板同士を接着させるだけでなく、基板上に形成された光電デバイスを封止する役割を担う。
【０００３】
特許文献１は、ディスプレイパネルの製造方法を開示する。特許文献１の技術によれば、一対の基板と、基板間に配設された接着剤と、を備える積層体が用意される。積層体は、加圧装置を用いて、加圧され、一対の基板は、接着剤によって接着される。
【０００４】
加圧装置は、積層体が配設されるチャンバと、チャンバ内の積層体に向けて膨張するエアバッグと、を備える。エアバッグの膨張によって、一対の基板が圧縮並びに接着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２５５５４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
一対の基板同士の圧着の結果、基板間に配設された接着剤は、面内方向に流動する。最終的に、接着剤は、基板の縁部からはみ出すので、エアバッグは、接着剤によって汚染されることもある。
【０００７】
新たにディスプレイパネルを製造するために、エアバッグに付着した接着剤は除去される必要がある。エアバッグの清掃作業は、ディスプレイパネルの生産効率を悪化させる。
【０００８】
エアバッグに対して、接着剤の剥離を促すための表面処理が施与されることもある。しかしながら、エアバッグの表面は、接着剤に直接的に接触するので、表面処理に拘わらず、接着剤がエアバッグに付着することがある。
【０００９】
本発明は、接着剤の付着を抑制し、ディスプレイパネルの高い生産効率を達成することができる貼合装置及びディスプレイパネルの製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一の局面に係る第１基板と第２基板とを接着剤を用いて貼り合わせる貼合装置は、前記第１基板と前記第２基板との間の前記接着剤を加圧する加圧機構と、前記第２基板と前記加圧機構との間に配置され、前記接着剤から前記加圧機構を保護する保護シートと、前記第２基板に対する前記保護シートの接触位置を変更する位置変更部と、を備えることを特徴とする。
【００１１】
本発明の他の局面に係るディスプレイパネルを製造するための製造装置は、上述の貼合装置を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る貼合装置及びディスプレイパネルの製造装置は、接着剤から加圧機構を保護する保護シートが変位されるので、ディスプレイパネルを高い生産効率で製造することに貢献する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】ディスプレイパネルを製造するために一対の基板を貼り合わせる貼合装置の概略的な断面図である。
【図２】図１に示される貼合装置の保護シートの概略的な平面図である。
【図３】図１に示される貼合装置によって製造されるディスプレイパネルの概略的な平面図である。
【図４】図１に示される貼合装置の膨張性シートの概略的な平面図である。
【図５】図３に示されるディスプレイパネルをＮ個製造するための製造方法の概略的なフローチャートである。
【図６】図５に示される製造方法のステップＳ１３０において用意される支持基板と光電デバイス層との積層体の概略的な断面図である。
【図７】図３に示されるディスプレイパネルの接着剤層の形成に用いられる接着剤シートの概略的な斜視図である。
【図８】図５に示される製造方法のステップＳ１３０において用意される接着剤層と保護基板との積層体の概略的な断面図である。
【図９】図５に示される製造方法のステップＳ１４０における貼合装置の概略的な断面図である。
【図１０】図５に示される製造方法のステップＳ１５０における貼合装置の概略的な断面図である。
【図１１】図５に示される製造方法のステップＳ１５０における貼合装置の概略的な断面図である。
【図１２】図５に示される製造方法のステップＳ１６０における貼合装置の概略的な断面図である。
【図１３】図１に示される貼合装置から取り出されたディスプレイパネルの概略的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、ディスプレイパネルを製造するために一対の基板を貼り合わせる貼合装置及びディスプレイパネルの製造装置が添付の図面を参照して説明される。尚、以下に説明される実施形態において、同様の構成要素に対して同様の符号が付されている。また、説明の明瞭化のため、必要に応じて、重複する説明は省略される。図面に示される構成、配置或いは形状並びに図面に関連する記載は、貼合装置及びディスプレイパネルの製造装置の原理を容易に理解させることを目的とするものであり、貼合装置及びディスプレイパネルの製造装置の原理はこれらに何ら限定されるものではない。
【００１５】
（貼合装置）
図１は、ディスプレイパネル５００を製造するために一対の基板を貼り合わせる貼合装置１００の概略的な断面図である。図１を用いて、貼合装置１００が説明される。尚、以下の説明において用いられる「上」や「下」といった方向を表す用語は、本実施形態の原理を明瞭化させるためのものであり、本実施形態の原理を何ら限定するものではない。
【００１６】
貼合装置１００は、映像を表示するための光電デバイスが配設された光電デバイス層５１０を支持する支持基板５２０と、光電デバイス層５１０を被覆並びに保護する保護基板５３０と、を貼り合わせ、ディスプレイパネル５００を製造する。貼合装置１００は、支持基板５２０と保護基板５３０とを収容する収容空間２１０を規定する下側チャンバ２００と、下側チャンバ２００の上方に配設される上側チャンバ３００と、を備える。本実施形態において、支持基板５２０は、第１基板として例示される。また、保護基板５３０は、第２基板として例示される。
【００１７】
支持基板５２０は、光電デバイス層５１０を支持する支持面５２１を含む。支持面５２１が上側チャンバ３００に対向するように、支持基板５２０は、収容空間２１０内に設置される。
【００１８】
ディスプレイパネル５００は、接着剤を用いて形成された接着剤層５４０を更に備える。保護基板５３０は、支持基板５２０の支持面５２１に対向する接着面５３１を含む。接着剤層５４０は、接着面５３１に固定される。接着剤層５４０が光電デバイス層５１０に対向するように、保護基板５３０は、収容空間２１０内に設置される。
【００１９】
貼合装置１００は、支持基板５２０と保護基板５３０との間に配設された接着剤層５４０を加圧する加圧機構４００を備える。上述の下側チャンバ２００及び上側チャンバ３００は、加圧機構４００の一部として用いられる。本実施形態において、下側チャンバ２００は、第１チャンバとして例示される。
【００２０】
加圧機構４００は、収容空間２１０から空気を吸引し、収容空間２１０を減圧する第１真空装置４１０を更に備える。支持基板５２０と保護基板５３０との接着の間、収容空間２１０は、第１真空装置４１０を用いて減圧される。本実施形態において、第１真空装置４１０は、減圧部として例示される。
【００２１】
上側チャンバ３００は、下側チャンバ２００に向けて開口した連通口３１０と、収容空間２１０の内圧に対する圧力差を作り出すために内圧調整がなされる調整空間３２０と、を規定する。本実施形態において、上側チャンバ３００は、第２チャンバとして例示される。
【００２２】
加圧機構４００は、調整空間３２０から空気を吸引し、調整空間３２０を減圧する第２真空装置４２０と、調整空間３２０内に空気を送り込む送気装置４３０と、を更に備える。第２真空装置４２０が作動するならば、減圧された収容空間２１０と調整空間３２０との間の内圧差は低減する。送気装置４３０が作動するならば、減圧された収容空間２１０と調整空間３２０との間の内圧差は増大する。したがって、第２真空装置４２０及び送気装置４３０は、調整空間３２０内の内圧並びに減圧された収容空間２１０と調整空間３２０との間の内圧差を適切に調整することができる。本実施形態において、第１真空装置４１０に加えて、第２真空装置４２０及び送気装置４３０も、減圧部として例示される。尚、送気装置４３０は、省略されてもよい。例えば、調整空間３２０内に適時に空気を流入させることができる弁体が送気装置４３０の代わりに用いられてもよい。
【００２３】
加圧機構４００は、連通口３１０を閉塞するように上側チャンバ３００に取り付けられた膨張性シート４４０を更に備える。したがって、膨張性シート４４０は、上側チャンバ３００と協働して、収容空間２１０を規定する。収容空間２１０の内圧が、調整空間３２０の内圧を下回ると、膨張性シート４４０は、収容空間２１０に向けて膨張する。この結果、膨張性シート４４０と支持基板５２０との間に配設された保護基板５３０は支持基板５２０に押しつけられる。また、接着剤層５４０は、支持基板５２０と保護基板５３０との間で圧縮され、保護基板５３０の接着面５３１を覆うように拡がる。かくして、支持基板５２０及び保護基板５３０は、接着剤層５４０によって適切に貼り合わせられる。
【００２４】
貼合装置１００は、保護基板５３０と膨張性シート４４０との間を通過するように配設された帯状の保護シート１１０を更に備える。したがって、膨張性シート４４０が収容空間２１０に向けて膨張すると、帯状に形成された保護シート１１０は、膨張性シート４４０と保護基板５３０とに挟まれることとなる。
【００２５】
上述の如く、膨張性シート４４０によって加圧された接着剤層５４０は、保護基板５３０の接着面５３１を覆うように拡がる。支持基板５２０の支持面５２１は、保護基板５３０の接着面５３１より広く形成されるので、接着剤層５４０の接着剤は、最終的に、保護基板５３０の側縁からはみ出すこととなる。
【００２６】
保護基板５３０及び接着剤層５４０を加圧する膨張性シート４４０は、保護基板５３０よりも広い面積を有する。したがって、保護基板５３０及び接着剤層５４０を加圧する膨張性シート４４０は、保護基板５３０の周囲で支持基板５２０の支持面５２１をも押圧する。保護シート１１０は、膨張性シート４４０の表面を覆うので、保護基板５３０の側縁からはみ出した接着剤は、保護シート１１０に付着する。したがって、保護シート１１０は、膨張性シート４４０を接着剤から適切に保護することができる。
【００２７】
貼合装置１００は、保護基板５３０に対する保護シート１１０の接触位置を変更する位置変更部１２０を更に備える。位置変更部１２０は、帯状の保護シート１１０の下流端が接続される巻取機構１２１と、ロール状に巻回された保護シート１１０が搭載される搭載部１２２と、を含む。巻取機構１２１及び搭載部１２２は、上側チャンバ３００の調整空間３２０外に設置される。
【００２８】
支持基板５２０と保護基板５３０との接着によって、保護シート１１０に接着剤が付着することもある。支持基板５２０と保護基板５３０との接着の後、巻取機構１２１は、保護シート１１０を巻き取る。この結果、搭載部１２２から新たな保護シート１１０が巻出される。収容空間２１０に新たに保護基板５３０及び支持基板５２０が配設されると、保護シート１１０の新たな表面が保護基板５３０に接触することとなる。したがって、保護シート１１０に付着した接着剤は、新たなディスプレイパネル５００の製造をほとんど妨げない。かくして、貼合装置１００は、ディスプレイパネル５００の高い生産効率の達成に貢献する。
【００２９】
貼合装置１００は、下側チャンバ２００内に配設された支持台１３０と、支持台１３０を上下動させるシリンダ装置１４０と、を備える。支持台１３０は、支持基板５２０が載置される支持部１３１と、支持部１３１を支持するシャフト１３２と、を備える。シャフト１３２は、ベローズ１３３を含む。シリンダ装置１４０が支持部１３１を上下動させると、ベローズ１３３は伸縮する。
【００３０】
貼合装置１００は、下側チャンバ２００と上側チャンバ３００との間に配設されたシール部材１８０を更に備える。シール部材１８０は、下側チャンバ２００と上側チャンバ３００との間の境界を気密にするので、下側チャンバ２００及び上側チャンバ３００内で作り出された減圧環境は適切に維持される。
【００３１】
貼合装置１００は、下側チャンバ２００の収容空間２１０を加熱する加熱装置１９０を更に備える。加熱装置１９０は、接着剤層５４０を硬化するために用いられる。
【００３２】
（保護シート）
図２は、保護シート１１０の概略的な平面図である。図１及び図２を用いて、保護シート１１０が説明される。
【００３３】
保護シート１１０は、上述の如く、帯状に形成される。ロール状に巻回された保護シート１１０は、搭載部１２２に搭載される。保護シート１１０の下流端は、保護シート１１０のロールから引き出され、巻取機構１２１に巻き付けられる。巻取機構１２１が保護シート１１０を巻き取ると、保護シート１１０は搭載部１２２から巻取機構１２１に向けて搬送される。
【００３４】
保護シート１１０には、保護シート１１０の搬送方向に沿って整列された矩形状の開口部１１１が複数形成される。支持基板５２０に対する保護基板５３０の接着の度に、開口部１１１が保護基板５３０の上方に位置するように、巻取機構１２１は保護シート１１０を巻き取る。
【００３５】
図１に示される如く、膨張性シート４４０は、多数の貫通穴４４１が形成された開口領域を含む。図２において点線で描かれた矩形枠は、膨張性シート４４０の開口領域を表す。開口部１１１は、好ましくは、膨張性シート４４０の開口領域よりも広く形成される。
【００３６】
図１に示される如く、膨張性シート４４０の貫通穴４４１は、収容空間２１０と調整空間３２０とを連通させる。保護基板５３０は、支持基板５２０に接着される接着面５３１とは反対側の吸着面５３２を含む。第２真空装置４２０によって調整空間３２０が減圧された後、吸着面５３２が開口領域の貫通穴４４１を閉塞するように、保護基板５３０は、収容空間２１０内に設置される。この結果、保護基板５３０の吸着面５３２は、膨張性シート４４０に吸着されることとなる。かくして、保護基板５３０は、膨張性シート４４０によって、収容空間２１０内で保持されることとなる。
【００３７】
図３は、ディスプレイパネル５００の概略的な平面図である。図１及び図３を用いて、支持基板５２０に対する保護基板５３０の貼り合わせが説明される。
【００３８】
保護基板５３０は、支持基板５２０より狭く形成される。保護基板５３０は、接着面５３１及び吸着面５３２を取り囲む側面５３３を更に含む。膨張性シート４４０が保護基板５３０を支持基板５２０に押しつけると、保護基板５３０と支持基板５２０との間の接着剤層５４０は、保護基板５３０の接着面５３１に沿って拡がり、最終的に、接着剤層５４０の接着剤は、保護基板５３０の四辺からはみ出す。
【００３９】
図４は、膨張性シート４４０の概略的な平面図である。図１及び図４を用いて、支持基板５２０に対する保護基板５３０の貼り合わせが説明される。
【００４０】
図４に示される如く、膨張性シート４４０には、多数の貫通穴４４１が形成される。保護シート１１０の開口部１１１が、多数の貫通穴４４１が形成された開口領域に重なり合うように、巻取機構１２１は、保護シート１１０の位置を調整する。この結果、保護基板５３０は、貫通穴４４１並びに開口部１１１を介した真空圧によって、膨張性シート４４０に吸着される。
【００４１】
保護シート１１０の開口部１１１は、膨張性シート４４０の開口領域よりも広く形成される一方で、保護基板５３０よりも狭く形成される。したがって、保護シート１１０は、保護基板５３０からはみ出した接着剤層５４０を適切に覆う。かくして、保護基板５３０からはみ出した接着剤層５４０の接着剤は、膨張性シート４４０にほとんど付着しない。
【００４２】
保護シート１１０は、保護基板５３０からはみ出した接着剤層５４０に接触するので、保護シート１１０は、好ましくは、接着剤層５４０の接着剤が乗り移りにくい材料から形成される。このような材料として、フッ素樹脂含浸硝子クロス、シリコンゴムやテフロン（登録商標）含浸硝子クロスが例示される。保護シート１１０がこれらの材料を用いて形成されるならば、保護シート１１０は、接着剤層５４０を損傷しにくくなる。
【００４３】
（ディスプレイパネルの製造方法）
図５は、「Ｎ個」のディスプレイパネル５００を製造するための例示的な製造方法の概略的なフローチャートである。図１、図２及び図５を用いて、ディスプレイパネル５００の製造方法が説明される。
【００４４】
（ステップＳ１１０）
ディスプレイパネル５００の製造方法において、ステップＳ１１０が最初に実行される。ステップＳ１１０に示される変数「ｎ」は、ディスプレイパネル５００の製造数量を表す。ステップＳ１１０において、変数「ｎ」のデフォルト値として、「０」の値が設定される。その後、ステップＳ１２０が実行される。
【００４５】
（ステップＳ１２０）
ステップＳ１２０において、変数「ｎ」に「１」の値が加算される。その後、ステップＳ１３０が実行される。
【００４６】
（ステップＳ１３０）
ステップＳ１３０において、支持基板５２０と光電デバイス層５１０との積層体は、支持台１３０の支持部１３１上に設置される。このとき、光電デバイス層５１０が膨張性シート４４０の開口領域の下方に位置するように、支持基板５２０は支持部１３１に対して位置決めされる。
【００４７】
ステップＳ１３０において、第２真空装置４２０が作動される。この結果、調整空間３２０は減圧される。このとき、保護基板５３０の吸着面５３２が膨張性シート４４０の開口領域に形成された貫通穴４４１を閉塞するように、保護基板５３０及び接着剤層５４０との積層体が膨張性シート４４０に取り付けられる。調整空間３２０内に作り出された減圧環境によって、保護基板５３０及び接着剤層５４０との積層体は、膨張性シート４４０に適切に吸着される。尚、ステップＳ１３０において、好ましくは、第１真空装置４１０も作動される。第１真空装置４１０によって収容空間２１０も減圧されるので、貼り合せ時の気泡が入りにくくなる。
【００４８】
支持基板５２０と光電デバイス層５１０との積層体が支持部１３１上に設置され、且つ、保護基板５３０及び接着剤層５４０との積層体が膨張性シート４４０に吸着されると、ステップＳ１４０が実行される。
【００４９】
（ステップＳ１４０）
ステップＳ１４０において、シリンダ装置１４０が作動される。シリンダ装置１４０は、支持部１３１を膨張性シート４４０に向けて変位させる。この結果、支持基板５２０の支持面５２１上に形成された光電デバイス層５１０は、保護基板５３０に取り付けられた接着剤層５４０に接触する。支持基板５２０と保護基板５３０との積層の後、ステップＳ１５０が実行される。
【００５０】
（ステップＳ１５０）
ステップＳ１５０において、第２真空装置４２０が停止される一方で、送気装置４３０が作動される。この結果、調整空間３２０の内圧は、収容空間２１０の内圧よりも大きくなる。したがって、膨張性シート４４０は、収容空間２１０に向けて膨張する。接着剤層５４０が保護基板５３０と支持基板５２０との間の境界からはみ出すまで、膨張性シート４４０は、保護基板５３０並びに接着剤層５４０を支持基板５２０に押しつける。この結果、保護基板５３０及び接着剤層５４０は、支持基板５２０に圧着される。
【００５１】
支持基板５２０と保護基板５３０との圧着の間、加熱装置１９０が作動される。この結果、収容空間２１０は加熱される。本実施形態において、接着剤層５４０は、熱硬化性樹脂を用いて形成される。したがって、収容空間２１０の温度上昇に伴って、接着剤層５４０は硬化する。接着剤層５４０の硬化の後、ステップＳ１６０が実行される。
【００５２】
（ステップＳ１６０）
ステップＳ１６０において、第１真空装置４１０は停止される。収容空間２１０に空気が供給され、第１真空装置４１０によって収容空間２１０に作り出された減圧環境は解消される。この結果、膨張性シート４４０は収縮する。
【００５３】
膨張性シート４４０の収縮によって、保護基板５３０と膨張性シート４４０との間に空間が作り出される。上述の如く、保護シート１１０は、接着剤層５４０に対して、優れた剥離性を有するので、保護シート１１０は、保護基板５３０と膨張性シート４４０との間の空隙を利用して、ディスプレイパネル５００から容易に剥離される。その後、ディスプレイパネル５００は、収容空間２１０から取り出される。
【００５４】
図２に示される如く、保護シート１１０には、複数の開口部１１１が連設されている。使用された開口部１１１の上流の開口部１１１が、膨張性シート４４０の開口領域に重なり合うように、巻取機構１２１は、保護シート１１０を巻き取る。この結果、次のディスプレイパネル５００を作成するための準備が完了する。その後、ステップＳ１７０が実行される。
【００５５】
（ステップＳ１７０）
ステップＳ１７０において、ディスプレイパネル５００の生産目標数「Ｎ」と、実際の生産数「ｎ」と、が比較される。実際の生産数「ｎ」が、生産目標数「Ｎ」に到達していないならば、ステップＳ１２０が実行される。他の場合には、ディスプレイパネル５００の生産は終了する。
【００５６】
図６は、ステップＳ１３０において用意される支持基板５２０と光電デバイス層５１０との積層体の概略的な断面図である。図１、図５及び図６を用いて、ディスプレイパネル５００の製造方法が更に説明される。
【００５７】
ステップＳ１３０の実行の為に、支持基板５２０の支持面５２１に、ＥＬ膜やバリア膜といった光電デバイスを用いて、光電デバイス層５１０が形成される。光電デバイス層５１０の形成手法は、有機ＥＬ（エレクトロルミネセンス）材料を用いた既知のディスプレイパネルの光電デバイスの形成と同様の手法に従ってもよい。
【００５８】
支持基板５２０と光電デバイス層５１０との積層体は、予め複数（Ｎ個）用意される。ステップＳ１３０の実行の度に、支持基板５２０と光電デバイス層５１０との積層体は、支持部１３１に設置される。
【００５９】
図７は、接着剤層５４０の形成に用いられる接着剤シートＡＳの概略的な斜視図である。図８は、ステップＳ１３０において用意される接着剤層５４０と保護基板５３０との積層体の概略的な断面図である。図５、図７及び図８を用いて、ディスプレイパネル５００の製造方法が更に説明される。
【００６０】
ステップＳ１３０の実行の為に、熱硬化性樹脂を用いて形成された接着剤シートＡＳが用意される。接着剤シートＡＳは、保護基板５３０の接着面５３１よりも狭いシート片ＡＳＰに切り取られる。シート片ＡＳＰは、保護基板５３０の接着面５３１に接着され、接着剤層５４０として用いられる。
【００６１】
接着剤層５４０と保護基板５３０との積層体は、予め複数（Ｎ個）用意される。ステップＳ１３０の実行の度に、接着剤層５４０と保護基板５３０との積層体は、膨張性シート４４０に取り付けられる。
【００６２】
図９は、ステップＳ１４０における貼合装置１００の概略的な断面図である。図５及び図９を用いて、ステップＳ１４０における貼合装置１００の動作が説明される。
【００６３】
支持基板５２０と光電デバイス層５１０との積層体並びに保護基板５３０と接着剤層５４０との積層体が下側チャンバ２００内に適切に設置されると、シリンダ装置１４０が作動される。この結果、支持台１３０の支持部１３１は、上方に変位し、光電デバイス層５１０と接着剤層５４０とが軽く接触する。
【００６４】
図１０及び図１１は、ステップＳ１５０における貼合装置１００の概略的な断面図である。図５、図１０及び図１１を用いて、ステップＳ１５０における貼合装置１００の動作が説明される。
【００６５】
上述の如く、ステップＳ１５０が開始されると、第２真空装置４２０が停止される。その一方で、送気装置４３０が作動される。尚、ステップＳ１５０の間、第１真空装置４１０によって作り出された下側チャンバ２００の減圧環境は維持される。したがって、上側チャンバ３００の内圧は、下側チャンバ２００の内圧よりも大きくなり、膨張性シート４４０は、支持基板５２０に向けて膨張する。膨張性シート４４０の下方への膨張の結果、支持基板５２０と保護基板５３０との間の接着剤層５４０は加圧される。
【００６６】
図１０は、ステップＳ１５０の開始直後の貼合装置１００の概略的な断面図である。図１０に示される如く、膨張性シート４４０は、保護基板５３０の外側において、下方に膨張し、保護シート１１０を介して、支持基板５２０の支持面５２１に圧着される。この結果、膨張性シート４４０は、支持基板５２０の支持面５２１との間で接着剤層５４０の接着剤の流動を許容する流動空間５９０を形成する。
【００６７】
膨張性シート４４０の下方への膨張によって、接着剤層５４０は支持基板５２０と保護基板５３０の境界において面内方向に押し広げられる。この結果、接着剤層５４０の接着剤は、保護基板５３０の側面５３３からはみ出し、流動空間５９０を満たす。かくして、保護基板５３０の接着面５３１より広い接着剤層５４０が形成される（図１０参照）。
【００６８】
下側チャンバ２００と上側チャンバ３００との圧力差は、膨張性シート４４０及び保護シート１１０が保護基板５３０の吸着面５３２に密着又は側面５３３の一部を被覆するように設定される。この結果、膨張性シート４４０及び保護シート１１０は、保護基板５３０の吸着面５３２への接着剤の流入を防ぐ障壁として機能する。膨張性シート４４０によって、保護基板５３０の吸着面５３２への接着剤の流入が防止されるので、保護基板５３０の吸着面５３２に取り付けられる他の部品（例えば、偏光板やタッチパネル）と接着剤層５４０との干渉はほとんど生じない。
【００６９】
ステップＳ１５０において、加熱装置１９０が作動される。この結果、流動空間５９０を満たすように拡張された接着剤層５４０は硬化する。本実施形態において、接着剤層５４０は、熱硬化性樹脂を用いて形成される。代替的に、接着剤層は、所望のタイミングで硬化させることができる他の材料を用いて形成されてもよい。例えば、接着剤層は、紫外線硬化樹脂を用いて形成されてもよい。紫外線硬化樹脂が用いられるならば、加熱装置１９０に代えて、接着剤層に紫外線を照射する照射装置が用いられてもよい。
【００７０】
図１２は、ステップＳ１６０における貼合装置１００の概略的な断面図である。図５、図１１及び図１２を用いて、ステップＳ１６０における貼合装置１００の動作が説明される。
【００７１】
接着剤層５４０の硬化の後、下側チャンバ２００内に空気が導入され、第１真空装置４１０によって作り出された減圧環境は解消される。上側チャンバ３００と下側チャンバ２００との間の内圧差も解消されるので、膨張性シート４４０は収縮する。また、シリンダ装置１４０が作動され、支持台１３０の支持部１３１は下方に変位される。この結果、ディスプレイパネル５００は、膨張性シート４４０から離間する。最終的に、ディスプレイパネル５００は、下側チャンバ２００から取り出される。その後、必要に応じて、偏光板やタッチパネルが保護基板５３０の吸着面５３２に取り付けられもよい。上述の如く、接着剤層５４０の接着剤は、保護基板５３０の側面５３３の一部を覆う範囲に留められているので、これらの追加的な部品と接着剤層５４０との干渉はほとんど生じない。
【００７２】
図１２に示される如く、ディスプレイパネル５００が収容空間２１０から取り出された後、巻取機構１２１は保護シート１１０を巻き取る。図１１に示されるように、ステップＳ１５０の実行の間、保護シート１１０は、接着剤層５４０に接触する。したがって、図１２に示される如く、接着剤層５４０の接着剤の一部が保護シート１１０に付着することもある。巻取機構１２１は、保護シート１１０を巻き取り、保護基板５３０に対する保護シート１１０の接触位置を変更するので、保護シート１１０に付着した接着剤は、次のディスプレイパネル５００の製造に対して、ほとんど影響しない。
【００７３】
（ディスプレイパネル）
図１３は、貼合装置１００から取り出されたディスプレイパネル５００の概略的な断面図である。図１１及び図１３を用いて、ディスプレイパネル５００が説明される。
【００７４】
ディスプレイパネル５００は、上述の如く、略矩形状の支持基板５２０を備える。支持基板５２０の支持面５２１には、ＥＬ膜やバリア膜といった光電デバイスを用いて形成された光電デバイス層５１０が配設される。ディスプレイパネル５００に入力された映像信号に基づき、光電デバイス層５１０に電流が供給され、光電デバイス層５１０が発光する。この結果、光電デバイス層５１０は、映像信号に応じた映像を表示することとなる。光電デバイス層５１０は、有機ＥＬ（エレクトロルミネセンス）材料を用いた既知のディスプレイパネルに採用される構造であってもよい。
【００７５】
上述の如く、ディスプレイパネル５００は、光電デバイス層５１０を覆うように、接着剤を用いて形成された接着剤層５４０と、接着剤層５４０を介して支持基板５２０に接着される保護基板５３０と、を備える。保護基板５３０は、支持基板５２０に対向する接着面５３１と、接着面５３１とは反対側の吸着面５３２と、接着面５３１及び吸着面５３２を取り囲む側面５３３と、を含む。保護基板５３０の接着面５３１は、接着剤層５４０の接着剤によって、支持基板５２０の支持面５２１に接着される。
【００７６】
接着剤層５４０は、光電デバイス層５１０を封止する役割を担う。保護基板５３０は、光電デバイス層５１０を保護する役割を担う。以下の説明において、保護基板５３０と支持基板５２０との積層構造は、「積層基板５５０」と称される。必要に応じて、ディスプレイパネル５００は、積層基板５５０に加えて、保護基板５３０の吸着面５３２に取り付けられる偏光板（図示せず）やタッチパネル（図示せず）を更に備えてもよい。
【００７７】
本実施形態において、支持基板５２０及び保護基板５３０は、可撓性を有する。したがって、ディスプレイパネル５００は、フレキシブルディスプレイ装置として機能する。代替的に、支持基板５２０及び保護基板５３０のうち一方が可撓性を有してもよい。更に代替的に、支持基板５２０及び保護基板５３０は、比較的高い剛性を有してもよい。
【００７８】
保護基板５３０の接着面５３１は、支持基板５２０の支持面５２１よりも狭く、且つ、光電デバイス層５１０よりも広く形成される。以下の説明において、保護基板５３０の接着面５３１と支持基板５２０の支持面５２１との間の境界は、「境界領域」と称される。
【００７９】
保護基板５３０と支持基板５２０との境界領域に介在する接着剤層５４０は、光電デバイス層５１０並びに保護基板５３０の接着面５３１より広く、且つ、支持基板５２０の支持面５２１よりも狭く形成される。境界領域からはみ出した接着剤層５４０の接着剤は、保護基板５３０の側面５３３の一部を覆う。接着剤層５４０の接着剤は、保護基板５３０の側面５３３の一部を覆う領域に留められるので、保護基板５３０の吸着面５３２に取り付けられた追加的な部品（例えば、偏光板やタッチパネル）と接着剤層５４０との干渉はほとんど生じない。
【００８０】
上述の実施形態において、保護シート１１０は、巻取機構１２１と搭載部１２２とを備える位置変更部１２０によって、搬送される。代替的に、保護シート１１０を適切に移動及び／又は搬送し、保護シート１１０と保護基板５３０との接触位置を変更することができる他の機構が、位置変更部として用いられてもよい。
【００８１】
上述のディスプレイパネル５００は、有機ＥＬを用いて、映像を表示する。本実施形態の原理は、有機ＥＬを用いるディスプレイパネル５００の製造だけでなく、他の表示方式にしたがって映像を表示するディスプレイパネルの製造にも同様に適用可能である。
【００８２】
上述の貼合装置１００は、ディスプレイパネル５００を製造するための製造装置に好適に組み込まれる。ディスプレイパネル５００の製造工程中の一対の基板を貼り合わせる貼合工程において、上述の貼合装置１００が用いられるならば、ディスプレイパネル５００は、高い生産効率で製造されることとなる。
【００８３】
上述された実施形態に係る貼合装置は、以下の構成を有する。したがって、貼合装置は、ディスプレイパネルを高い生産効率で製造することができる。
【００８４】
上述された実施形態の一の局面に係る第１基板と第２基板とを接着剤を用いて貼り合わせる貼合装置は、前記第１基板と前記第２基板との間の前記接着剤を加圧する加圧機構と、前記第２基板と前記加圧機構との間に配置され、前記接着剤から前記加圧機構を保護する保護シートと、前記第２基板に対する前記保護シートの接触位置を変更する位置変更部と、を備えることを特徴とする。
【００８５】
上記構成によれば、貼合装置は、第１基板と第２基板とを、接着剤を用いて、貼り合わせる。加圧機構は、第１基板と第２基板との間の接着剤を加圧するので、接着剤は、面内方向に流動する。保護シートは、第２基板と加圧機構との間に配設されるので、加圧機構は、保護シートによって、接着剤から適切に保護される。位置変更部は、第２基板に対する保護シートの接触位置を変更するので、保護シートに付着した接着剤は、次の貼合工程にほとんど影響を与えない。したがって、ディスプレイパネルの生産効率は、高い水準で維持される。
【００８６】
上記構成において、前記保護シートは、帯状に形成され、前記位置変更部は、前記保護シートを巻き取る巻取機構を含むことが好ましい。
【００８７】
上記構成によれば、巻取機構は、帯状の保護シートを巻き取るので、使用後の保護シートは、小さな空間内で保持されることとなる。
【００８８】
上記構成において、前記保護シートは、ロール状に巻回され、前記位置変更部は、前記ロール状の保護シートが搭載される搭載部を含むことが好ましい。
【００８９】
上記構成によれば、ロール状に巻回された保護シートが搭載部に搭載され、巻取機構の巻取動作によって、第２基板に対する保護シートの位置は変更される。したがって、使用前の保護シートは、小さな空間内で保持されることとなる。
【００９０】
上記構成において、前記保護シートは、フッ素樹脂含浸硝子クロス、シリコンゴム及びテフロン（登録商標）含浸硝子クロスからなる群から選択される材料から形成されることが好ましい。
【００９１】
上記構成によれば、保護シートは、フッ素樹脂含浸硝子クロス、シリコンゴム及びテフロン（登録商標）含浸硝子クロスからなる群から選択される材料から形成されるので、接着剤は、保護シートに不必要に付着しない。したがって、保護シートは、第１基板と第２基板との間の接着剤の層をほとんど損傷させない。
【００９２】
上記構成において、前記加圧機構は、前記第１基板と前記第２基板との間の接着剤が前記第２基板の縁部からはみ出すように前記第２基板を加圧することが好ましい。
【００９３】
上記構成によれば、加圧機構は、第１基板と第２基板との間の接着剤が第２基板の縁部からはみ出すように、第２基板を加圧するので、第１基板と第２基板との間の境界は接着剤によって満たされる。したがって、第１基板と第２基板との間の剥離は生じにくくなる。
【００９４】
上記構成において、貼合装置は、前記第１基板を支持する支持部を更に備え、前記第１基板は、前記第２基板よりも広いことが好ましい。
【００９５】
上記構成によれば、第１基板は、第２基板より広いので、接着剤は、第１基板を支持する支持部にほとんど付着しない。
【００９６】
上記構成において、前記加圧機構は、前記第２基板と協働して前記保護シートを挟持する膨張性シートと、該膨張性シートと協働して前記第１基板と前記第２基板とを収容するための収容空間を規定する第１チャンバと、前記収容空間を減圧する減圧部と、を含み、前記膨張性シートは、前記収容空間内の圧力低下に伴い膨張し、前記第２基板を前記第１基板に押しつけることが好ましい。
【００９７】
上記構成によれば、膨張性シートは、第２基板と協働して保護シートを挟持する。第１チャンバは、膨張性シートと協働して第１基板と第２基板とを収容するための収容空間を規定する。減圧部が収容空間を減圧すると、膨張性シートは、収容空間内の圧力低下に伴い膨張し、第２基板を第１基板に押しつける。この結果、接着剤は、面内方向に流動する。膨張性シートと第２基板とによって挟持された保護シートは、膨張性シートを接着剤から保護する。位置変更部は、第２基板に対する保護シートの接触位置を変更するので、保護シートに付着した接着剤は、次の貼合工程にほとんど影響を与えない。したがって、ディスプレイパネルの生産効率は、高い水準で維持される。
【００９８】
上記構成において、前記加圧機構は、前記第１チャンバに向けて開口した連通口と、前記減圧部によって内圧調整がなされる調整空間と、を規定する第２チャンバを備え、前記連通口を閉塞するように前記第２チャンバに取り付けられた前記膨張性シートは、前記収容空間と前記調整空間とを連通させる貫通穴が形成された開口領域を含み、前記調整空間が減圧されている間、前記第２基板は、前記開口領域の前記貫通穴を閉塞することが好ましい。
【００９９】
上記構成によれば、第２チャンバは、第１チャンバに向けて開口した連通口と、減圧部によって内圧調整がなされる調整空間と、を規定する。膨張性シートは、連通口を閉塞するように第２チャンバに取り付けられる。膨張性シートは、収容空間と調整空間とを連通させる貫通穴が形成された開口領域を含む。調整空間が減圧されている間、第２基板は、開口領域の前記貫通穴を閉塞する。したがって、第２基板は、膨張性シートに適切に吸着並びに保持される。
【０１００】
上記構成において、前記保護シートには、前記第２基板の面積よりも小さい開口部が形成され、前記第２基板は、前記開口部を介して、前記開口領域の前記貫通穴に吸着されることが好ましい。
【０１０１】
上記構成によれば、保護シートには、開口部が形成される。第２基板は、開口部を介して、開口領域の前記貫通穴に吸着される。開口部は、第２基板の面積よりも小さいので、保護シートは、膨張性シートを接着剤から適切に保護することができる。
【０１０２】
上述された実施形態の他の局面に係るディスプレイパネルの製造装置は、上述の貼合装置を含むことを特徴とする。
【０１０３】
上記構成によれば、ディスプレイパネルの製造装置は、上述の貼合装置を含むので、ディスプレイパネルの生産効率は、高い水準で維持される。
【産業上の利用可能性】
【０１０４】
上述の実施形態に係る原理は、映像を表示するためのディスプレイパネルの製造に好適に適用される。
【符号の説明】
【０１０５】
１００・・・・・・・・・・貼合装置
１１０・・・・・・・・・・保護シート
１１１・・・・・・・・・・開口部
１２０・・・・・・・・・・位置変更部
１２１・・・・・・・・・・巻取機構
１２２・・・・・・・・・・搭載部
１３１・・・・・・・・・・支持部
２００・・・・・・・・・・下側チャンバ
３００・・・・・・・・・・上側チャンバ
３１０・・・・・・・・・・連通口
３２０・・・・・・・・・・調整空間
４００・・・・・・・・・・加圧機構
４１０・・・・・・・・・・第１真空装置
４２０・・・・・・・・・・第２真空装置
４３０・・・・・・・・・・送気装置
４４０・・・・・・・・・・膨張性シート
４４１・・・・・・・・・・貫通穴
５２０・・・・・・・・・・支持基板
５３０・・・・・・・・・・保護基板
５４０・・・・・・・・・・接着剤層
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と第２基板とを接着剤を用いて貼り合わせる貼合装置であって、
前記第１基板と前記第２基板との間の前記接着剤を加圧する加圧機構と、
前記第２基板と前記加圧機構との間に配置され、前記接着剤から前記加圧機構を保護する保護シートと、
前記第２基板に対する前記保護シートの接触位置を変更する位置変更部と、を備えることを特徴とする貼合装置。
【請求項２】
前記保護シートは、帯状に形成され、
前記位置変更部は、前記保護シートを巻き取る巻取機構を含むことを特徴とする請求項１に記載の貼合装置。
【請求項３】
前記保護シートは、ロール状に巻回され、
前記位置変更部は、前記ロール状の保護シートが搭載される搭載部を含むことを特徴とする請求項２に記載の貼合装置。
【請求項４】
前記保護シートは、フッ素樹脂含浸硝子クロス、シリコンゴム及びテフロン（登録商標）含浸硝子クロスからなる群から選択される材料から形成されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の貼合装置。
【請求項５】
前記加圧機構は、前記第１基板と前記第２基板との間の接着剤が前記第２基板の縁部からはみ出すように前記第２基板を加圧することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の貼合装置。
【請求項６】
前記第１基板を支持する支持部を更に備え、
前記第１基板は、前記第２基板よりも広いことを特徴とする請求項５に記載の貼合装置。
【請求項７】
前記加圧機構は、
前記第２基板と協働して前記保護シートを挟持する膨張性シートと、
該膨張性シートと協働して前記第１基板と前記第２基板とを収容するための収容空間を規定する第１チャンバと、
前記収容空間を減圧する減圧部と、を含み、
前記膨張性シートは、前記収容空間内の圧力低下に伴い膨張し、前記第２基板を前記第１基板に押しつけることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の貼合装置。
【請求項８】
前記保護シートには、前記第２基板の面積よりも小さい開口部が形成され、前記第２基板は、前記開口部を介して、前記膨張性シートに保持されることを特徴とする請求項７に記載の貼合装置。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の貼合装置を含むディスプレイパネルの製造装置。
【請求項１】
第１基板と第２基板とを接着剤を用いて貼り合わせる貼合装置であって、
前記第１基板と前記第２基板との間の前記接着剤を加圧する加圧機構と、
前記第２基板と前記加圧機構との間に配置され、前記接着剤から前記加圧機構を保護する保護シートと、
前記第２基板に対する前記保護シートの接触位置を変更する位置変更部と、を備えることを特徴とする貼合装置。
【請求項２】
前記保護シートは、帯状に形成され、
前記位置変更部は、前記保護シートを巻き取る巻取機構を含むことを特徴とする請求項１に記載の貼合装置。
【請求項３】
前記保護シートは、ロール状に巻回され、
前記位置変更部は、前記ロール状の保護シートが搭載される搭載部を含むことを特徴とする請求項２に記載の貼合装置。
【請求項４】
前記保護シートは、フッ素樹脂含浸硝子クロス、シリコンゴム及びテフロン（登録商標）含浸硝子クロスからなる群から選択される材料から形成されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の貼合装置。
【請求項５】
前記加圧機構は、前記第１基板と前記第２基板との間の接着剤が前記第２基板の縁部からはみ出すように前記第２基板を加圧することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の貼合装置。
【請求項６】
前記第１基板を支持する支持部を更に備え、
前記第１基板は、前記第２基板よりも広いことを特徴とする請求項５に記載の貼合装置。
【請求項７】
前記加圧機構は、
前記第２基板と協働して前記保護シートを挟持する膨張性シートと、
該膨張性シートと協働して前記第１基板と前記第２基板とを収容するための収容空間を規定する第１チャンバと、
前記収容空間を減圧する減圧部と、を含み、
前記膨張性シートは、前記収容空間内の圧力低下に伴い膨張し、前記第２基板を前記第１基板に押しつけることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の貼合装置。
【請求項８】
前記保護シートには、前記第２基板の面積よりも小さい開口部が形成され、前記第２基板は、前記開口部を介して、前記膨張性シートに保持されることを特徴とする請求項７に記載の貼合装置。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の貼合装置を含むディスプレイパネルの製造装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２０１３−１１４１８６（Ｐ２０１３−１１４１８６Ａ）
【公開日】平成２５年６月１０日（２０１３．６．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２６２２２１（Ｐ２０１１−２６２２２１）
【出願日】平成２３年１１月３０日（２０１１．１１．３０）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年６月１０日（２０１３．６．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１１月３０日（２０１１．１１．３０）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
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