重量測定方法、液状体の吐出方法
【課題】複数の吐出ヘッドが搭載されたキャリッジを適正に重量測定領域に配置して、吐出ヘッドから吐出された液状体の重量を測定できる重量測定方法、液状体の吐出方法を提供すること。
【解決手段】本発明の重量測定方法は、描画領域に配列した複数のキャリッジのうち少なくとも2つのキャリッジを重量測定領域に配置する第1配置工程と、少なくとも2つのキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出し、各吐出ヘッドごとに吐出された液状体の重量を計測する第1計測工程と、少なくとも2つのキャリッジのうち計測が終了したキャリッジを排出して、残ったキャリッジと新たな少なくとも1つのキャリッジを重量測定領域に再配置する第2配置工程と、再配置された少なくとも2つのキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出し、各吐出ヘッドごとに吐出された液状体の重量を計測する第2計測工程と、を備えた。
【解決手段】本発明の重量測定方法は、描画領域に配列した複数のキャリッジのうち少なくとも2つのキャリッジを重量測定領域に配置する第1配置工程と、少なくとも2つのキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出し、各吐出ヘッドごとに吐出された液状体の重量を計測する第1計測工程と、少なくとも2つのキャリッジのうち計測が終了したキャリッジを排出して、残ったキャリッジと新たな少なくとも1つのキャリッジを重量測定領域に再配置する第2配置工程と、再配置された少なくとも2つのキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出し、各吐出ヘッドごとに吐出された液状体の重量を計測する第2計測工程と、を備えた。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、機能性材料を含む液状体の微小液滴の重量測定方法、液状体の吐出方法に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、インクジェット法(液滴吐出法)を用いて、機能性材料を含む液状体を基板上に液滴として吐出して、機能性材料からなる薄膜を形成する形成方法が提案されている。その薄膜としての代表的な例は、カラーフィルタや発光層、金属配線などが挙げられる。
【0003】
このような液滴吐出方法では、基板上に必要な量の液状体を安定的に塗布することが重要な課題の一つである。液状体の液滴の重量測定方法としては、ワーク(基板)に対して液滴を吐出する際に管理するのと同様の環境条件下で液滴吐出ヘッドから液滴を吐出し、このときに吐出された液滴の量を測定する方法が知られている(特許文献1)。
【0004】
上記環境条件としては、温度または湿度の少なくとも一方を含むものである。これを管理する方法として、液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置が収容されたチャンバ内の環境条件を空調装置により調整することを提案している。
【0005】
一方、基板の大型化に伴って、液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出ヘッドが複数搭載されたヘッドユニット(或いはキャリッジ)を複数備えた液滴吐出装置が知られている(特許文献2)。
【0006】
【特許文献1】特開2004−209429号公報
【特許文献2】特開2005−254797号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
上記ヘッドユニットを複数備えた従来の液滴吐出装置に上記従来の重量測定方法を適用しようとする場合、重量測定時やワークに液滴を吐出して描画するときの環境条件を管理する大型のチャンバが必要となる。このような条件下では、液滴の重量を測定する重量測定装置と各ヘッドユニットとをどのように配置するかによって、チャンバ内の気流の影響を受け、重量測定時と実際の描画時との環境条件を同様とすることが困難であるという課題があった。
【0008】
本発明は、上記課題を考慮してなされたものであり、複数の吐出ヘッドが搭載されたキャリッジを適正に重量測定領域に配置して、吐出ヘッドから吐出された液状体の重量を測定できる重量測定方法、液状体の吐出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
複数のキャリッジに搭載された複数の吐出ヘッドから吐出される液状体の重量を測定する重量測定方法であって、描画領域に配列した複数のキャリッジのうち少なくとも2つのキャリッジを重量測定領域に配置する第1配置工程と、少なくとも2つのキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出し、各吐出ヘッドごとに吐出された液状体の重量を計測する第1計測工程と、少なくとも2つのキャリッジのうち計測が終了したキャリッジを排出して、残ったキャリッジと新たな少なくとも1つのキャリッジを重量測定領域に再配置する第2配置工程と、再配置された少なくとも2つのキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出し、各吐出ヘッドごとに吐出された液状体の重量を計測する第2計測工程と、を備えたことを特徴とする。
【0010】
この方法によれば、第1配置工程では、重量測定領域に少なくとも2つのキャリッジが隣り合うように配置される。また、第2配置工程では、重量測定領域から測定が終了したキャリッジを排出して、残ったキャリッジと新たな少なくとも1つのキャリッジが再配置される。したがって、キャリッジの数が偶数か奇数かに寄らず、吐出ヘッドから計測用の液滴が吐出されるときには、常にキャリッジが隣り合うように配置される。よって、キャリッジを単独で重量測定領域に配置する場合に比べて、実際に液状体をワークに対して吐出する吐出描画時のように、複数のキャリッジが描画領域に配列した状態に近いキャリッジの配置で重量測定を行うことができる。すなわち、複数の吐出ヘッドが搭載されたキャリッジを実際の吐出描画時に近い適正な状態で重量測定領域に配置して、測定対象の吐出ヘッドから液滴を吐出させ、その重量を計測することができる。
【0011】
上記第1計測工程および上記第2計測工程では、少なくとも2つのキャリッジの配列方向と直交する方向から見て、少なくとも2つのキャリッジに搭載された複数の吐出ヘッドをキャリッジごとに2つのヘッド群に分け、隣り合うキャリッジの境界側に搭載された前記ヘッド群と、描画領域に配列した前記複数のキャリッジのうち両端側のいずれか一端のキャリッジが重量測定領域に配置された場合には、一端のキャリッジに搭載された各ヘッド群とを測定対象とすることを特徴とする。
【0012】
この方法によれば、第1計測工程および上記第2計測工程では、少なくとも2つのキャリッジの配列方向と直交する方向から見て、キャリッジに搭載された複数の吐出ヘッドをキャリッジごとに2つのヘッド群に分ける。そして、実際の吐出描画時に隣り合うキャリッジの境界側に位置するヘッド群と配列した複数のキャリッジの両端側に位置するヘッド群とを測定対象とする。すなわち、より実際の吐出描画時のヘッド群の配置を考慮して、測定対象のヘッド群を選択し、重量測定を行うことができる。
【0013】
上記重量測定領域には、少なくとも2つのキャリッジの各ヘッド群に対応した複数の重量測定装置が配列され、第1配置工程および第2配置工程では、測定対象のヘッド群と重量測定装置とが対向するように少なくとも2つのキャリッジを配置することを特徴とする。この方法によれば、重量測定領域に配置された少なくとも2つのキャリッジの各ヘッド群に対応して複数の重量測定装置が配列している。したがって、1つの重量測定装置を用いて測定する場合に比べて重量測定に要する時間を短縮して、効率よく重量測定を行うことができる。
【0014】
上記吐出ヘッドは、複数のノズルが配列したノズル列を複数有し、上記第1計測工程および上記第2計測工程では、ノズル列ごとに吐出された液状体の重量を計測することを特徴とする。この方法によれば、実際の吐出描画時に近い状態でノズル列ごとに吐出される液状体の重量を測定することができる。
【0015】
また、上記第1計測工程および上記第2計測工程では、計測可能となる吐出数を設定して液滴を吐出することを特徴とする。この方法によれば、計測可能となる吐出数を設定して吐出が行なわれる。したがって、吐出された液状体の重量を吐出数で除すれば、1回の吐出によって吐出される液滴が微量であっても、その重量を求めることができる。
【0016】
さらに、上記第1計測工程および上記第2計測工程では、測定対象以外の吐出ヘッドからも液滴を吐出することが好ましい。この方法によれば、測定対象以外の吐出ヘッドからも液滴を吐出するので、待機中の吐出ヘッドにおける飛行曲がりや目詰まりを防いで吐出特性を安定化させることができる。すなわち、吐出特性を維持して重量測定を行うことができる。
【0017】
本発明の液状体の吐出方法は、複数のキャリッジに搭載された複数の吐出ヘッドから液状体をワークに対して吐出描画する液状体の吐出方法であって、描画領域に配列した複数のキャリッジのうち少なくとも2つのキャリッジを重量測定領域に配置する第1配置工程と、少なくとも2つのキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出し、各吐出ヘッドごとに吐出された液状体の重量を計測する第1計測工程と、少なくとも2つのキャリッジのうち計測が終了したキャリッジを排出して、残ったキャリッジと新たな少なくとも1つのキャリッジを重量測定領域に再配置する第2配置工程と、再配置された少なくとも2つのキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出し、各吐出ヘッドごとに吐出された液状体の重量を計測する第2計測工程と、計測された吐出ヘッドごとの液状体の重量情報を基に、吐出ヘッドごとに吐出される液状体の吐出量を調整する調整工程と、ワークと複数のキャリッジとを対向配置して相対移動させる間に、複数の吐出ヘッドからワークの所望の領域に液状体を液滴として吐出描画する吐出工程と、を備えたことを特徴とする。
【0018】
この方法によれば、第1配置工程および第2配置工程では、複数の吐出ヘッドが搭載されたキャリッジを実際の吐出描画時に近い適正な状態で重量測定領域に配置する。そして、第1計測工程および第2計測工程では、測定対象の吐出ヘッドから液滴を吐出させ、その重量を計測する。調整工程において、計測された吐出ヘッドごとの液状体の重量情報を基に、吐出ヘッドごとに吐出される液状体の吐出量が調整される。したがって、吐出工程では、複数の吐出ヘッドからワークの所望の領域に適正な量の液状体を液滴として吐出描画することができる。
【0019】
上記第1計測工程および上記第2計測工程では、少なくとも2つのキャリッジの配列方向と直交する方向から見て、少なくとも2つのキャリッジに搭載された複数の吐出ヘッドを前記キャリッジごとに2つのヘッド群に分け、隣り合うキャリッジの境界側に搭載されたヘッド群と、描画領域に配列した複数のキャリッジのうち両端側のいずれか一端のキャリッジが重量測定領域に配置された場合には、一端のキャリッジに搭載された各ヘッド群とを測定対象とすることを特徴とする。この方法によれば、第1計測工程および第2計測工程では、より実際の吐出描画時のヘッド群の配置を考慮して、測定対象のヘッド群を選択し、重量測定が行なわれる。したがって、より実際の吐出描画に近い液滴の重量が測定でき、吐出工程では、複数の吐出ヘッドからワークの所望の領域により適正な量の液状体を液滴として吐出描画することができる。
【0020】
上記重量測定領域には、少なくとも2つのキャリッジの各ヘッド群に対応した複数の重量測定装置が配列され、第1配置工程および第2配置工程では、測定対象のヘッド群と重量測定装置とが対向するように少なくとも2つのキャリッジを配置することを特徴とする。この方法によれば、1つの重量測定装置を配する場合に比べて重量測定に要する時間を短縮して、効率よく重量測定を行うことができる。よって、高い生産性を確保しつつ、複数の吐出ヘッドからワークの所望の領域により適正な量の液状体を液滴として吐出描画することができる。
【0021】
上記吐出ヘッドは、複数のノズルが配列したノズル列を複数有し、第1計測工程および第2計測工程では、ノズル列ごとに吐出された液状体の重量を計測することを特徴とする。この方法によれば、調整工程では、ノズル列ごとに吐出される液状体の吐出量を調整することが可能となる。よって、吐出工程では、複数の吐出ヘッドの各ノズル列からワークの所望の領域により適正な量の液状体を液滴として吐出描画することができる。
【0022】
また、上記第1計測工程および上記第2計測工程では、計測可能となる吐出数を設定して液滴を吐出することを特徴とする。この方法によれば、吐出された液状体の重量を吐出数で除すれば、1回の吐出によって吐出される液滴が微量であっても、その重量を求めることができる。したがって、調整工程では、高い精度で液滴の吐出量を調整することができ、吐出工程では、複数の吐出ヘッドからワークの所望の領域により精度よく適正な量の液状体を液滴として吐出描画することができる。
【0023】
さらに、上記第1計測工程および上記第2計測工程では、測定対象以外の吐出ヘッドからも液滴を吐出することが好ましい。この方法によれば、測定対象以外の吐出ヘッドからも液滴を吐出するので、待機中の吐出ヘッドにおける飛行曲がりや目詰まりを防いで吐出特性を安定化させることができる。ゆえに、吐出特性を維持して重量測定を行うことができる。すなわち、吐出工程では、複数の吐出ヘッドからワークの所望の領域により適正な量の液状体を液滴として吐出描画することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0024】
本発明の実施形態は、液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出装置を用い、着色領域に着色層形成材料を含む液状体を付与して着色層を吐出描画するカラーフィルタの製造方法を例に説明する。
【0025】
まず、液滴吐出装置について図1〜図7に基づいて説明する。図1は、液滴吐出装置の構造を示す概略平面図である。
【0026】
図1に示すように、液滴吐出装置1は、ワークとしての基板Wが載置される吸着テーブル41をX軸方向に移動させるX軸テーブル22と、複数(7つ)のキャリッジとしてのキャリッジユニット21をX軸テーブル22の上方において、それぞれ独立してY軸方向に移動させるY軸テーブル23とを備えている。
【0027】
Y軸方向に配列した各キャリッジユニット21は、液状体を液滴として吐出する複数の吐出ヘッドとしての液滴吐出ヘッド62(図3参照)が搭載されたヘッドユニット61と、ヘッドユニット61を含むキャリッジ本体66を吊設するメインキャリッジ63とを備えている。
【0028】
各キャリッジユニット21が配列したY軸方向の延長線上に、液滴吐出ヘッド62から吐出された液状体の重量を測定する重量測定機構91と、液滴吐出ヘッド62のメンテナンスを行うメンテナンス機構12とが設けられている。Y軸テーブル23は、X軸テーブル22に直交して延設されており、描画領域31に配列した複数のキャリッジユニット21をメンテナンス機構12が設けられたメンテナンス領域32と、重量測定機構91が設けられた重量測定領域33とに移動させる。
【0029】
メンテナンス機構12は、液滴吐出ヘッド62内で増粘した液状体を吸引除去する吸引ユニット111と、吸引除去等によって液滴吐出ヘッド62の表面(ノズル面)に付着した液状体や異物をワイピングシート112aにより拭き取りを行うワイピングユニット112とを備えている。
【0030】
吸引ユニット111は、複数(7つ)のキャリッジユニット21に対応してY軸方向に複数配列して設けられている。各吸引ユニット111とワイピングユニット112とがアングル架台118上に配設されている。
【0031】
メンテナンス機構12は、上記各吸引ユニット111とワイピングユニット112とにより、複数のヘッドユニット61に搭載された複数の液滴吐出ヘッド62のノズル目詰まり等、吐出機能を回復させる装置である。
【0032】
図2は、液滴吐出装置の構造を示す概略側面図である。詳しくは、メンテナンス機構12側から見た側面図である。
【0033】
図1および図2に示すように、液滴吐出ヘッド62の吐出特性を安定化させるため、X軸テーブル22には、Y軸方向に配列した複数のキャリッジユニット21に対応して設けられた定期フラッシングボックス114と、吸着テーブル41のX軸方向の両端部に設けられた2つの描画前フラッシングボックス115と、を備えている。
【0034】
液滴吐出ヘッド62のすべてのノズル85(図3参照)から液状体を上記定期フラッシングボックス114や描画前フラッシングボックス115に向けて、定期的あるいは描画前に吐出するフラッシングを行うことによりノズル85の目詰まりやノズル85内の液状体のメニスカスを安定化させる。
【0035】
X軸テーブル22は、基台40と、基台40上に配設された一対のX軸ガイドレール45と、一対のX軸ガイドレール45に並設された一対のX軸リニアモータ(図示省略)とを備えている。一対のX軸ガイドレール45によりガイドされ、X軸リニアモータによってX軸方向にスライド自在に移動するX軸スライダ44と、X軸スライダ44により支持されたテーブル支持部43とを備えている。テーブル支持部43には、基板Wを吸着(エアー吸引)セットする吸着テーブル41と、吸着テーブル41を介して基板Wのθ位置を微調整するθ軸テーブル42とが配設されている。一対のX軸リニアモータを駆動すると、一対のX軸ガイドレール45によりガイドされたX軸スライダ44がX軸方向に移動して、吸着テーブル41にセットされた基板WをX軸方向に移動させることができる。
【0036】
また、吸着テーブル41には、図示しないが、X軸方向に一対のX軸幅寄せ機構が、Y軸方向に一対のY軸幅寄せ機構が設けられており、セットした基板Wを位置決め(プリアライメント)できるようになっている。セットされた基板Wは、Y軸テーブル23等に設けられたワーク認識カメラ(図示省略)により画像認識されて最終的に位置決めされる。
【0037】
図2に示すように、上記定期フラッシングボックス114は、その上面が吸着テーブル41の上面とほぼ同じ高さとなるようにテーブル支持部43に配設されている。同様に上記描画前フラッシングボックス115もその上面が吸着テーブル41の上面とほぼ同じ高さとなるように吸着テーブル41に配設されている。
【0038】
一方、Y軸テーブル23は、基台40から立設した一対の支持スタンド56と、一対の支持スタンド56上に架け渡された一対の柱状支持部材55と、一対の柱状支持部材55に併設された一対のY軸リニアモータ54とを備えている。一対の柱状支持部材55上には、一対のY軸ガイドレール53と、一対のY軸ガイドレール53にガイドされ、Y軸リニアモータ54によってY軸方向に自在に移動するY軸スライダ52とが設けられている。
【0039】
Y軸スライダ52は、各キャリッジユニット21に対応して複数設けられ、メインキャリッジ63が吊設されたブリッジプレート51を支持している。すなわち、7つのブリッジプレート51がそれぞれ独立したY軸スライダ52に支持されている。
【0040】
Y軸リニアモータ54を駆動すると、一対のY軸ガイドレール53によりガイドされたY軸スライダ52がY軸方向に移動して、ブリッジプレート51に吊設されたメインキャリッジ63をY軸方向に移動させることができる。
【0041】
メインキャリッジ63は、ヘッドユニット61を支持するキャリッジ本体66と、キャリッジ本体66を吊設すると共に、キャリッジ本体66の上部に連結され、キャリッジ本体66を介して、ヘッドユニット61のθ位置をモータ駆動で微調整可能なヘッドθ軸テーブル67と、ヘッドθ軸テーブル67の上部に連結され、ヘッドθ軸テーブル67およびキャリッジ本体66を介して、ヘッドユニット61のZ軸方向の位置をモータ駆動で微調整可能なヘッドZ軸テーブル68とを有している。
【0042】
このような液滴吐出装置1は、ヘッパユニット6を上部に備えたチャンバ5に収容され、その内部が所定のクリーン度、温度、湿度となるように空調された状態で用いられる。
【0043】
図3は、液滴吐出ヘッドを示す概略図である。同図(a)は斜視図、同図(b)はノズルプレートを示す平面図である。
【0044】
図3(a)に示すように、液滴吐出ヘッド62は、いわゆる2連のものであり、2連の接続針72を有する液導入部71と、液導入部71に連なるヘッド基板73と、液導入部71の上方に連なり、内部に液状体が満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体74とを備えている。接続針72は、圧力調整弁を介して液状体が貯留されたタンクに接続され、液滴吐出ヘッド62のヘッド内流路に液状体が供給される。また、ヘッド本体74は、圧電素子等で構成されたキャビティ81と、ノズル面82aに複数のノズル85からなる2本のノズル列84が形成されたノズルプレート82とを有している。また、ヘッド基板73には、2連のコネクタ75が設けられており、各コネクタ75は、フレキシブルフラットケーブルを介してヘッドドライバ131(図8参照)に接続されている。ヘッドドライバ131は、圧電素子に駆動電圧を与えてキャビティ81の体積を変化させる。これによりキャビティ81に充填された液状体を加圧し、ノズル85から液状体を液滴として吐出する。
【0045】
図3(b)に示すように、各ノズル列84の長さは、例えば1インチ(略25.4mm)であって、各ノズル列84は180個のノズル85が等しいピッチP1(略140μm)で並べられて構成されている。この場合、一方のノズル列84は、他方のノズル列84に対して、ノズル列方向に半ピッチ(70μm)分ずれて設けられている。したがって、各ノズル列方向と直交する方向から見ると複数のノズル85がノズルピッチP2で配列した状態となっている。よって、複数のノズル85から吐出された液滴のドット密度(解像度)は360dpiである。
【0046】
このような液滴吐出ヘッド62は、圧電素子を備えたものに限らず、液状体を加圧するエネルギー発生手段として、振動板を静電吸着することによって振動させる電気機械変換素子や、液状体を加熱する発熱素子を備えたものでもよい。
【0047】
図4は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、X軸テーブル22側から見た平面図である。
【0048】
図4に示すように、ヘッドユニット61には、合計12個の液滴吐出ヘッド62が搭載されている。X軸方向から見て6個の液滴吐出ヘッド62が階段状に配列した2つのヘッド群62L,62Rを構成している。各ヘッド群62L,62Rは、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の着色層形成材料を含む液状体が充填された3つの液滴吐出ヘッド62がRGBの順に並列している。そして、例えば、赤色(R)の液状体が充填された各ヘッドR1,R2,R3,R4のノズル列84が、X軸方向から見て1ノズルピッチP2を置いてY軸方向に並んでいる。他の緑色(G)、青色(B)においても同様である。また、異なる色の液状体が充填されたヘッドR2とヘッドG2、ヘッドG2とヘッドB2とにおいて、ノズル列84がノズル列の全長の1/3の距離でY軸方向に互いにずれた状態で配置されている。
【0049】
したがって、同色の液状体をY軸方向において、連続的に吐出可能ないわゆる描画幅は、この場合、(P2×359×4)+(P2×3)=100730μm、およそ100mmである。
【0050】
次に、図5および図6に基づいて重量測定機構91について説明する。図5はキャリッジユニットと重量測定機構との配置を示す概略図である。図6(a)は重量測定機構を示す概略側面図、同図(b)は概略平面図である。
【0051】
図5に示すように、重量測定機構91は、Y軸方向において、複数のキャリッジユニット21(CA1〜CA7)が配列した描画領域31とメンテナンス領域32との間に設けられた架台99上に配設されている。重量測定機構91が配設された重量測定領域33には、Y軸テーブル23によって2つのキャリッジユニット21を対向配置することができる。
【0052】
重量測定機構91は、架台99との間にモータ98を備えた移動機構を有し、重量測定機構91をX軸方向に移動させることができる。モータ98は、例えばサーボモータを用いる。
【0053】
図6(a)に示すように、重量測定機構91は、支持プレート97上に配設された4つの重量測定装置としての電子天秤95と、各電子天秤95ごとに設けられた第1液滴受け部94と、第2液滴受け部92とを備えている。電子天秤95は第1液滴受け部94に吐出された液状体の重量を計測可能となっている。
【0054】
第1液滴受け部94は、受け皿状となっており吐出された液状体を吸収する吸収体96が敷設されている。
【0055】
第2液滴受け部92は、支持プレート97の四隅から立設した支柱に支えられた受け皿状となっている。また、図6(b)に示すように、第1液滴受け部94を囲む開口部92aを有している。そして、各第1液滴受け部94を囲むように同じく吸収体93が敷設されている。吸収体93は、その上面が吸収体96の上面とほぼ同じ高さとなるように敷設されている。このような吸収体93,96としては、例えば、多孔質の発泡プラスチックが用いられる。
【0056】
このような第1液滴受け部94および第2液滴受け部92は、これらに対向する上記ヘッドユニット61に搭載された液滴吐出ヘッド62の配置に基づいて設計されている。すなわち、図6(b)に示す第1液滴受け部94の大きさ(平面積)は、液滴吐出ヘッド62のノズル面82a(図3参照)が十分に対向可能な大きさとなっている。また、第2液滴受け部92の大きさ(平面積)は、測定対象の液滴吐出ヘッド62と第1液滴受け部94とが対向するように2つのヘッドユニット61を配置させたときに、測定対象以外の液滴吐出ヘッド62と第2液滴受け部92とが必ず対向するように設計されている。
【0057】
次に、図7を参照して、液滴吐出装置1全体の制御系について説明する。図7は、液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。図7に示すように、液滴吐出装置1の制御系は、基本的に、上位コンピュータ2と、液滴吐出ヘッド62、X軸テーブル22、Y軸テーブル23、メンテナンス機構12、重量測定機構91等を駆動する各種ドライバを有する駆動部121と、駆動部121を含め液滴吐出装置1全体を統括制御する制御部122(コントローラ13)とを備えている。
【0058】
上位コンピュータ2は、コントローラ13に接続されたコンピュータ本体に、キーボードや、キーボードによる入力結果等を画像表示するディスプレイ等が接続されて構成されている。
【0059】
駆動部121は、液滴吐出ヘッド62を吐出駆動制御するヘッドドライバ131と、X軸テーブル22およびY軸テーブル23の各リニアモータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ132と、メンテナンス機構12の吸引ユニット111、ワイピングユニット112およびユニット昇降機構を駆動制御するメンテナンス用ドライバ133と、重量測定機構91の電子天秤95やモータ98を制御する重量測定用ドライバ134とを備えている。
【0060】
制御部122は、CPU141と、ROM142と、RAM143と、P−CON144とを備え、これらは互いにバス145を介して接続されている。ROM142は、CPU141で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作や重量測定を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域を有している。
【0061】
RAM143は、各種レジスタ群のほか、基板Wに液状体の吐出を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、基板Wおよびヘッドユニット61の設計位置データを記憶する位置データ記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。なお、ヘッドユニット61の設計位置データとは、描画処理の直前に記憶されている位置データのことであり、液滴吐出装置1の設計時(新設時)における位置データのほか、ヘッドユニット61の更新後の位置データをも含む概念である。
【0062】
P−CON144には、駆動部121の各種ドライバのほか、基板Wの位置を認識するカメラ等が接続されており、CPU141の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、P−CON144は、上位コンピュータ2からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス145に取り込むと共に、CPU141と連動して、CPU141等からバス145に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部121に出力する。
【0063】
そして、CPU141は、ROM142内の制御プログラムに従って、P−CON144を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、RAM143内の各種データ等を処理した後、P−CON144を介して駆動部121等に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置1全体を制御している。例えば、CPU141は、液滴吐出ヘッド62、X軸テーブル22およびY軸テーブル23を制御して、所定の液滴吐出条件および所定の移動条件で、液滴吐出ヘッド62から基板Wに液状体を液滴として吐出する描画を行う。
【0064】
また、CPU141は、Y軸テーブル23を制御してキャリッジユニット21を重量測定領域33に配置し、ヘッドユニット61に搭載された液滴吐出ヘッド62から第1液滴受け部94に液状体を液滴として吐出させる。そして、電子天秤95によって計測された液状体の重量に基づいて液滴の吐出量を演算する。この演算結果に基づいて各液滴吐出ヘッド62の圧電素子を駆動する駆動電圧を制御して、適正な量の液滴を吐出させる。
【0065】
このような液滴吐出装置1は、複数のキャリッジユニット21を有するため、これに対応してメンテナンス機構12が設けられている。重量測定機構91も同様な対応が考えられるが、装置がより大型化してしまう。本実施形態では、装置の大きさを考慮して重量測定領域33に2つのキャリッジユニット21を配置できるように構成した。複数のキャリッジユニット21が描画領域31に配列して液状体の吐出描画を行うときの環境条件や液滴吐出ヘッド62の駆動状態と、2つのキャリッジユニット21を重量測定領域33に配置して測定対象の液滴吐出ヘッド62から液状体を吐出するときの環境条件や駆動状態とは、必ずしも同一ではない。本発明の重量測定方法および液状体の吐出方法は、このような技術的背景を考慮してなされた。
【0066】
(重量測定方法および液状体の吐出方法)
次に、本実施形態の重量測定方法を用いた液状体の吐出方法について、図8および図9に基づいて説明する。図8は液状体の吐出方法を示すフローチャート、図9(a)〜(d)は重量測定方法を示す概略図である。
【0067】
図8に示すように、本実施形態の液状体の吐出方法は、キャリッジユニット21を重量測定領域33に配置する第1配置工程(ステップS1)と、測定対象の液滴吐出ヘッド62と重量測定機構91の第1液滴受け部94とを位置決めする位置決め工程(ステップS2)とを備えている。また、位置決めされた液滴吐出ヘッド62から吐出された液状体の重量を計測する計測用吐出工程(ステップS3)と、計測された液状体の重量を基に1吐出あたりの液滴の吐出量を演算する演算工程(ステップS4)とを備えている。また、選択したヘッド群62L,62Rの計測が終了したか否か判断する工程(ステップS5)と、すべてのキャリッジユニット21に対して計測が終了したか否か判断する工程(ステップS6)と、終了していない場合、再びキャリッジユニット21を再配置する第2配置工程(ステップS7)とを備えている。そして、再びステップS2からステップS6を繰り返すことにより、再配置されたキャリッジユニット21に搭載された各液滴吐出ヘッド62から液状体を液滴として吐出し、液滴吐出ヘッド62ごとに吐出された液状体の重量を計測する第2計測工程とを備えている。
【0068】
ステップS1からステップS7が本実施形態の重量測定方法を示すものであり、ステップS2からステップS3が第1計測工程に対応する工程である。
【0069】
そして、計測された液滴吐出ヘッド62ごとの液状体の重量情報を基に、液滴吐出ヘッド62ごとに吐出される液状体の吐出量を調整する調整工程(ステップS8)と、基板Wの所望の領域に液状体を液滴として吐出描画する吐出工程(ステップS9)とを備えている。
【0070】
図8のステップS1は、第1配置工程である。ステップS1では、図9(a)に示すように、制御部122は、Y軸テーブル23を駆動して、まず、7つのキャリッジユニット21(CA1〜CA7)のうち、キャリッジユニットCA1とキャリッジユニットCA2とを重量測定領域33に移動させ、重量測定機構91に対向するように配置する。そして、ステップS2へ進む。
【0071】
図8のステップS2の位置決め工程では、制御部122は、重量測定プログラムに基づいて、各キャリッジユニットCA1,CA2の各ヘッド群62L,62Rのうち測定対象の液滴吐出ヘッド62を選択して、第1液滴受け部94に対向するように位置決めする。図4に示したように、ヘッドユニット61には、Y軸方向に同色の液状体が充填された液滴吐出ヘッド62が並んでいる。したがって、Y軸テーブル23のY軸リニアモータ54と重量測定機構91のモータ98とを駆動すれば、図9(b)に示すように、同色の液状体を吐出する4つの液滴吐出ヘッド62と4つの第1液滴受け部94とを対向配置することができる。また、このとき、吐出された液滴が第1液滴受け部94以外に飛散しないように、各キャリッジユニットCA1,CA2のヘッドZ軸テーブル68を駆動してノズル面82aと吸収体96の上面との間隔がおよそ0.5mm〜1.0mmとなるように調整する。そして、ステップS3へ進む。
【0072】
図8のステップS3は、計測用吐出工程である。ステップS3では、まず、液状体を受ける前の第1液滴受け部94の重量を計測する。この時点で、重量を「ゼロ」としてリセットしてもよい。次に、測定対象の液滴吐出ヘッド62から予め設定された吐出数の液滴を第1液滴受け部94に吐出する。吐出数の設定は、電子天秤95の最小計量単位を考慮して重量測定プログラムに含める。この場合、電子天秤95の最小計量単位は1mgである。一方、吐出される液滴はngレベルであるため、測定可能な液状体の量となるように吐出数を2000〜3000に設定して液滴吐出ヘッド62を駆動し、各ノズル85から液状体を液滴として吐出する。
【0073】
本実施形態の計測用吐出工程では、ノズル列84ごとに吐出された液状体の重量を計測する。その理由としては、図3に示したように、液滴吐出ヘッド62は、2連のノズル列84とこれに対応する2連の接続針72を備え、ヘッド本体74の内部にノズル列84ごとに異なる液状体共通流路を有している。よって、液状体共通流路の違いによるノズル列84ごとの液滴の吐出量の変動を考慮した。したがって、一方のノズル列84からの計量用吐出を行なって、第1液滴受け部94の重量を計測し、測定結果を制御部122のRAM143に記憶させる。その後に、同様に他方のノズル列84から計量用吐出を行なって重量を計測し、測定結果をRAM143に記憶させる。よって、吐出数は、ノズル列84のノズル数180と吐出回数とを掛け合わせたものである。
【0074】
また、重量測定の条件を実際に基板Wに液滴を吐出描画する条件に近づけるため、描画領域31における複数のキャリッジユニット21の配列を考慮した。すなわち、配列の一端側に位置するキャリッジユニットCA1では、2つのヘッド群62L,62Rの各液滴吐出ヘッド62の測定結果を有効とし、隣り合うキャリッジユニットCA2では、境界側に位置するヘッド群62Lの各液滴吐出ヘッド62の測定結果を有効として取り扱った。これにより、重量測定領域33に1つずつキャリッジユニット21を配置して重量測定を行う場合に比べて、常に2つのキャリッジユニット21が隣接し、周囲の気流や温度などによる吐出量の変動への影響、並びに隣接するキャリッジユニット21からの放熱による吐出量の変動への影響を考慮した重量測定が行なわれる。
【0075】
さらに、計量用吐出工程では、測定対象以外の液滴吐出ヘッド62からも第2液滴受け部92に向けて同時に液滴を吐出した。これにより、待機中の測定対象以外の液滴吐出ヘッド62が飛行曲がりや目詰まりを起こすこと防いで吐出特性を安定化させる。すなわち、常に吐出特性を維持して重量測定を行うことができる。そして、ステップS4へ進む。
【0076】
図8のステップS4は、演算工程である。ステップS4では、計測して得られた液滴吐出ヘッド62ごと、且つノズル列84ごとに有効とした液状体の重量をノズル列ごとの吐出数で除する。これにより、1吐出あたりの液滴の吐出量を算出する。なお、このような演算は、CPU141がRAM143に記憶された測定結果を基に実行する。そして、ステップS5へ進む。
【0077】
図8のステップS5は、選択したヘッド群62L,62Rの計測が終了したか否か判断する工程である。この場合、各ヘッド群62L,62Rには、それぞれ6つの液滴吐出ヘッド62が配置されているので、この後ステップS2からステップS4が5回繰り返される。そして、ステップS6へ進む。
【0078】
図8のステップS6は、すべてのキャリッジユニット21に対して計測が終了したか否か判断する工程である。この段階では、まだ終了していないので、ステップS7へ進む。
【0079】
図8のステップS7は、第2配置工程である。ステップS7では、図9(c)に示すように、制御部122は、Y軸テーブル23を駆動し、重量測定領域33から計測が終了したキャリッジユニットCA1をメンテナンス領域32に移動させる。また、残ったキャリッジユニットCA2にキャリッジユニットCA3が隣接するように重量測定領域33に再配置する。そして、7つのキャリッジユニット21の重量測定が終了するまで、ステップS2からステップS7が繰り返される。最後の第2配置工程では、図9(d)に示すように、キャリッジユニットCA6とキャリッジユニットCA7とが隣接して配置される。そして、ステップS4の演算工程では、キャリッジユニットCA6のヘッド群62Rと、一端側に位置するキャリッジユニットCA7の各ヘッド群62L,62Rとを測定対象とした液状体の重量測定結果から1吐出あたりの液滴の吐出量が求められる。そして、ステップS8へ進む。なお、この場合、メンテナンス領域32に排出されたキャリッジユニット21は、それぞれ吸引ユニット111と対向配置される。そして、重量測定が行なわれる期間中は、各液滴吐出ヘッド62から液状体を吐出するフラッシングを実施することが望ましい。また、図2に示すように、重量測定前に描画領域31で待機しているキャリッジユニット21と定期フラッシングボックス114とが対向配置されており、同様にフラッシングを実施することが望ましい。これにより、ノズル85の目詰まりを防止する。
【0080】
図8のステップS8は、調整工程である。ステップS8では、計測された液滴吐出ヘッド62ごとの液状体の重量情報(1吐出あたりの液滴の吐出量)を基に、液滴吐出ヘッド62ごとに吐出される液状体の吐出量を調整する。調整方法としては、液滴吐出ヘッド62の圧電素子に印加される駆動波形において、実効的な駆動電圧を変える方法が挙げられる。また、駆動波形における急峻性を変える方法でも液滴の吐出量を変えることが可能である。この場合、3色の異なる液状体ごとに液滴の吐出量が所望の値となるように液滴吐出ヘッド62ごと且つノズル列84ごとに駆動電圧の調整を実施した。そして、ステップS9へ進む。
【0081】
図8のステップS9は、基板Wの所望の領域に液状体を液滴として吐出描画する吐出工程である。ステップS9では、基板Wと複数のキャリッジユニット21とを対向配置して相対移動させる間に、複数の液滴吐出ヘッド62から液状体を液滴として吐出する。調整工程において、液滴の吐出量が液状体ごとに調整されているので、適正な量の液状体を上記所望の領域に付与することが可能である。
【0082】
(カラーフィルタの製造方法)
次に本実施形態の液状体の吐出方法を適用したカラーフィルタの製造方法について説明する。
【0083】
まず、カラーフィルタが用いられた電気光学装置の一つである液晶表示装置について説明する。図10は、液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図である。
【0084】
図10に示すように、液晶表示装置500は、TFT(Thin Film Transistor)透過型の液晶表示パネル520と、液晶表示パネル520を照明する照明装置516とを備えている。液晶表示パネル520は、着色層としてのカラーフィルタ505を有する対向基板501と、画素電極510に3端子のうちの1つが接続されたTFT素子511を有する素子基板508と、両基板501,508によって挟持された液晶(図示省略)とを備えている。また、液晶表示パネル520の外面側となる両基板501,508の表面には、透過する光を偏向させる上偏光板514と下偏光板515とが配設される。
【0085】
対向基板501は、透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に隔壁部504によってマトリクス状に区画された複数の着色領域に複数種の着色層としてRGB3色のカラーフィルタ505R,505G,505Bがストライプ状に形成されている。隔壁部504は、Crなどの遮光性を有する金属あるいはその酸化膜からなるブラックマトリクスと呼ばれる下層バンク502と、下層バンク502の上(図面では下向き)に形成された有機化合物からなる上層バンク503とにより構成されている。また対向基板501は、隔壁部504と隔壁部504によって区画されたカラーフィルタ505R,505G,505Bとを覆う平坦化層としてのオーバーコート層(OC層)506と、OC層506を覆うように形成されたITO(Indium Tin Oxide)などの透明導電膜からなる対向電極507とを備えている。カラーフィルタ505R,505G,505Bは後述するカラーフィルタの製造方法を用いて製造されている。
【0086】
素子基板508は、同じく透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に絶縁膜509を介してマトリクス状に形成された画素電極510と、画素電極510に対応して形成された複数のTFT素子511とを有している。TFT素子511の3端子のうち、画素電極510に接続されない他の2端子は、互いに絶縁された状態で画素電極510を囲むように格子状に配設された走査線512とデータ線513とに接続されている。
【0087】
照明装置516は、光源として白色のLED、EL、冷陰極管等を用い、これらの光源からの光を液晶表示パネル520に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等の構成を備えたものであれば、どのようなものでもよい。
【0088】
なお、液晶を挟む対向基板501と素子基板508の表面には、液晶の分子を所定の方向に配列させるための配向膜がそれぞれ形成されているが、図示省略した。また、上下偏光板514,515は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。液晶表示パネル520は、アクティブ素子としてTFT素子に限らずTFD(Thin Film Diode)素子を有したものでもよく、さらには、少なくとも一方の基板にカラーフィルタを備えるものであれば、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。
【0089】
図11は、カラーフィルタの製造方法を示す概略図である。本実施形態のカラーフィルタの製造方法は、上記液滴吐出装置1を用いた液状体の吐出方法を適用した。なお、図11において、破線で示した各液滴吐出ヘッドのY軸方向の幅は、2つのノズル列84から液状体を吐出可能な領域の幅を示すものである。
【0090】
図11に示すように、上記液滴吐出装置1において、描画領域31に配列した複数のヘッドユニット61(キャリッジユニット21)に対して、RGB3色の着色領域Aのストライプ方向が平行となるように、基板Wを吸着テーブル41にセットして位置決めする。
【0091】
例えば、ヘッドユニット61のヘッドR1のY軸方向の端が、基板Wの赤色(R)の着色領域Aの端と一致するように位置決めする。
【0092】
そして、X軸テーブル22を駆動し、複数のヘッドユニット61に対して基板WをX軸方向に相対移動させる間に、各ヘッドユニット61に搭載された各液滴吐出ヘッド62から着色領域Aに向けて着色層形成材料を含む液状体を液滴として吐出する。
【0093】
前述したように、各ヘッドユニット61には、X軸方向から見て同色の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド62が、ノズルピッチP2を置いてY軸方向に4つ並んでいる。よって、同色の液状体をY軸方向に吐出可能な描画幅Eが連続するように、描画領域31にヘッドユニット61を配列すれば、基板Wの幅に対応して同色の液状体を隙間を空けることなく付与することができる。当然のことながら着色領域Aの端付近では、赤色(R)以外の緑色(G)や青色(B)に対応する着色領域Aに液状体が付与されない領域が発生する。よって、複数のヘッドユニット61をY軸方向に移動させる副走査を行ってから、再び液滴を吐出する主走査を行うようにすれば、すべての着色領域Aに所望の色の液状体を付与することができる。
【0094】
本実施形態のカラーフィルタの製造方法は、上記液状体の吐出方法を用いているので、各液滴吐出ヘッド62から吐出される液状体の重量が実際の吐出描画条件に近い状態で測定される。そして、吐出される液滴の吐出量が3色の液状体ごとに適正な量となるように予め液滴吐出ヘッド62のノズル列84ごとに調整されている。したがって、着色領域Aに必要な量の液滴が安定して付与される。付与された液状体を乾燥して固化すれば、着色領域Aに所望の膜厚を有するRGB3色の着色層を形成することができる。このようにして製造されたカラーフィルタを備える液晶表示装置500は、所望の光学特性が実現された高い表示品質を有している。
【0095】
上記実施形態の効果は、以下の通りである。
(1)上記実施形態の重量測定方法は、第1配置工程では、重量測定領域33に2つのキャリッジユニット21が隣り合うように配置される。また、第2配置工程では、重量測定領域33から測定が終了したキャリッジユニット21を排出して、残ったキャリッジユニット21と新たなキャリッジユニット21とが再配置される。したがって、液滴吐出ヘッド62から計測用の液滴が吐出されるときには、常にキャリッジユニット21が隣り合うように配置される。よって、キャリッジユニット21を単独で重量測定領域33に配置する場合に比べて、実際に液状体を基板Wに対して吐出する吐出描画時のように、複数のキャリッジユニット21が描画領域31に配列した状態に近いキャリッジユニット21の配置で重量測定を行うことができる。すなわち、複数の液滴吐出ヘッド62が搭載されたヘッドユニット61を実際の吐出描画時に近い適正な状態で重量測定領域33に配置して、測定対象の液滴吐出ヘッド62から液滴を吐出させ、その重量を計測することができる。
【0096】
(2)上記実施形態の重量測定方法は、隣り合うキャリッジユニット21の境界側に位置するヘッド群62Rおよびヘッド群62Lと、描画領域31に配列した複数(7つ)のキャリッジユニット21の両端側に位置するキャリッジユニットCA1,CA7が配置された場合には、当該キャリッジユニットの各ヘッド群62L,62Rとを測定対象とする。したがって、実際の吐出描画時のヘッド群62L,62Rの配置を考慮して、測定対象のヘッド群62L,62Rを選択し、重量測定を行うことができる。すなわち、実際の液状体の吐出状態を反映した重量測定ができる。
【0097】
(3)上記実施形態の重量測定方法は、計量用吐出工程では、液滴吐出ヘッド62の2連のノズル列84ごとに吐出数を設定して液滴を吐出し、その重量を計測する。よって、実際の吐出描画に近い状態でノズル列84ごとに吐出される液状体の重量を測定することができる。ゆえに、演算工程では、ノズル列84ごとに吐出される液滴の吐出量を演算することができる。
【0098】
(4)上記実施形態の重量測定方法は、測定対象以外の液滴吐出ヘッド62からも第2液滴受け部92に向けて液状体を吐出する。よって、常に液滴吐出ヘッド62の吐出特性を維持して重量測定することができる。
【0099】
(5)上記実施形態の液状体の吐出方法おいて、調整工程では、上記重量測定方法を用い測定された結果に基づいて、異なる3色の液状体に対応した所望の液滴の吐出量となるように、各液滴吐出ヘッド62のノズル列84ごとに圧電素子に印加される駆動電圧を調整する。したがって、吐出工程では、異なる3色の液状体に応じて適正な吐出量の液滴を液滴吐出ヘッド62から吐出することができる。
【0100】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば上記実施形態以外の変形例は、以下の通りである。
【0101】
(変形例1)上記実施形態の重量測定方法において、重量測定領域33に配置されるキャリッジユニット21の数は、2つに限定されない。例えば、キャリッジユニット21が互いに隣り合うように3つ配置してもよい。その場合には、電子天秤95を6つ備えるように重量測定機構91を構成する。また、計測が終了した2つのキャリッジユニット21を排出し、新たに2つのキャリッジユニット21を玉突きするように再配置すればよい。よって、新たに加えるキャリッジユニット21は、1つに限定されず、描画領域31に配列した複数のキャリッジユニット21の数によって変えてもよい。このようにすれば、キャリッジユニット21の数が奇数か偶数かに寄らず、重量測定領域33に適正な配置が可能である。
【0102】
(変形例2)上記実施形態の重量測定方法において、重量測定領域33に配置するキャリッジユニット21の順番は、これに限定されない。例えば、Y軸テーブル23により、7つのキャリッジユニット21をメンテナンス領域32に配置して、各液滴吐出ヘッド62のメンテナンスを実施した後に、キャリッジユニットCA7側から重量測定領域33に配置してもよい。
【0103】
(変形例3)上記実施形態の重量測定方法において、重量測定機構91における電子天秤95の数は、4つに限定されない。例えば、電子天秤95を1つのキャリッジユニット21に対応するように2つ設け、重量測定領域33に配置された複数のキャリッジユニット21をY軸方向に移動させて重量測定するようにしてもよい。
【0104】
(変形例4)上記実施形態の液状体の吐出方法において、液滴吐出装置1のヘッドユニット61における各液滴吐出ヘッド62の配置は、これに限定されない。ヘッドユニット61に配置された複数の液滴吐出ヘッド62をX軸方向から見て2つのヘッド群に分けるようにすればよい。
【0105】
(変形例5)上記実施形態の液状体の吐出方法が適用可能なデバイスの製造方法は、カラーフィルタの製造方法に限定されない。例えば、液晶表示装置500において、液晶を配向させる配向膜や液晶そのものの塗布にも適用することができる。さらには、隔壁部により区画形成された領域に発光材料を含む液状体を塗布して有機EL発光層を形成する方法にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【0106】
【図1】液滴吐出装置の構造を示す概略平面図。
【図2】液滴吐出装置の構造を示す概略側面図。
【図3】(a)は液滴吐出ヘッドを示す斜視図、(b)はノズルプレートを示す平面図。
【図4】ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。
【図5】キャリッジユニットと重量測定機構との配置を示す概略図。
【図6】(a)は重量測定機構を示す概略側面図、(b)は概略平面図。
【図7】液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図8】液状体の吐出方法を示すフローチャート。
【図9】(a)〜(d)は重量測定方法を示す概略図。
【図10】液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図。
【図11】カラーフィルタの製造方法を示す概略図。
【符号の説明】
【0107】
1…液滴吐出装置、21…キャリッジとしてのキャリッジユニット、31…描画領域、33…重量測定領域、62…吐出ヘッドとしての液滴吐出ヘッド、62L,62R…ヘッド群、84…ノズル列、85…ノズル、95…重量測定装置としての電子天秤、CA1,CA7…一端のキャリッジとしてのキャリッジユニット、W…ワークとしての基板。
【技術分野】
【0001】
本発明は、機能性材料を含む液状体の微小液滴の重量測定方法、液状体の吐出方法に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、インクジェット法(液滴吐出法)を用いて、機能性材料を含む液状体を基板上に液滴として吐出して、機能性材料からなる薄膜を形成する形成方法が提案されている。その薄膜としての代表的な例は、カラーフィルタや発光層、金属配線などが挙げられる。
【0003】
このような液滴吐出方法では、基板上に必要な量の液状体を安定的に塗布することが重要な課題の一つである。液状体の液滴の重量測定方法としては、ワーク(基板)に対して液滴を吐出する際に管理するのと同様の環境条件下で液滴吐出ヘッドから液滴を吐出し、このときに吐出された液滴の量を測定する方法が知られている(特許文献1)。
【0004】
上記環境条件としては、温度または湿度の少なくとも一方を含むものである。これを管理する方法として、液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置が収容されたチャンバ内の環境条件を空調装置により調整することを提案している。
【0005】
一方、基板の大型化に伴って、液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出ヘッドが複数搭載されたヘッドユニット(或いはキャリッジ)を複数備えた液滴吐出装置が知られている(特許文献2)。
【0006】
【特許文献1】特開2004−209429号公報
【特許文献2】特開2005−254797号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
上記ヘッドユニットを複数備えた従来の液滴吐出装置に上記従来の重量測定方法を適用しようとする場合、重量測定時やワークに液滴を吐出して描画するときの環境条件を管理する大型のチャンバが必要となる。このような条件下では、液滴の重量を測定する重量測定装置と各ヘッドユニットとをどのように配置するかによって、チャンバ内の気流の影響を受け、重量測定時と実際の描画時との環境条件を同様とすることが困難であるという課題があった。
【0008】
本発明は、上記課題を考慮してなされたものであり、複数の吐出ヘッドが搭載されたキャリッジを適正に重量測定領域に配置して、吐出ヘッドから吐出された液状体の重量を測定できる重量測定方法、液状体の吐出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
複数のキャリッジに搭載された複数の吐出ヘッドから吐出される液状体の重量を測定する重量測定方法であって、描画領域に配列した複数のキャリッジのうち少なくとも2つのキャリッジを重量測定領域に配置する第1配置工程と、少なくとも2つのキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出し、各吐出ヘッドごとに吐出された液状体の重量を計測する第1計測工程と、少なくとも2つのキャリッジのうち計測が終了したキャリッジを排出して、残ったキャリッジと新たな少なくとも1つのキャリッジを重量測定領域に再配置する第2配置工程と、再配置された少なくとも2つのキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出し、各吐出ヘッドごとに吐出された液状体の重量を計測する第2計測工程と、を備えたことを特徴とする。
【0010】
この方法によれば、第1配置工程では、重量測定領域に少なくとも2つのキャリッジが隣り合うように配置される。また、第2配置工程では、重量測定領域から測定が終了したキャリッジを排出して、残ったキャリッジと新たな少なくとも1つのキャリッジが再配置される。したがって、キャリッジの数が偶数か奇数かに寄らず、吐出ヘッドから計測用の液滴が吐出されるときには、常にキャリッジが隣り合うように配置される。よって、キャリッジを単独で重量測定領域に配置する場合に比べて、実際に液状体をワークに対して吐出する吐出描画時のように、複数のキャリッジが描画領域に配列した状態に近いキャリッジの配置で重量測定を行うことができる。すなわち、複数の吐出ヘッドが搭載されたキャリッジを実際の吐出描画時に近い適正な状態で重量測定領域に配置して、測定対象の吐出ヘッドから液滴を吐出させ、その重量を計測することができる。
【0011】
上記第1計測工程および上記第2計測工程では、少なくとも2つのキャリッジの配列方向と直交する方向から見て、少なくとも2つのキャリッジに搭載された複数の吐出ヘッドをキャリッジごとに2つのヘッド群に分け、隣り合うキャリッジの境界側に搭載された前記ヘッド群と、描画領域に配列した前記複数のキャリッジのうち両端側のいずれか一端のキャリッジが重量測定領域に配置された場合には、一端のキャリッジに搭載された各ヘッド群とを測定対象とすることを特徴とする。
【0012】
この方法によれば、第1計測工程および上記第2計測工程では、少なくとも2つのキャリッジの配列方向と直交する方向から見て、キャリッジに搭載された複数の吐出ヘッドをキャリッジごとに2つのヘッド群に分ける。そして、実際の吐出描画時に隣り合うキャリッジの境界側に位置するヘッド群と配列した複数のキャリッジの両端側に位置するヘッド群とを測定対象とする。すなわち、より実際の吐出描画時のヘッド群の配置を考慮して、測定対象のヘッド群を選択し、重量測定を行うことができる。
【0013】
上記重量測定領域には、少なくとも2つのキャリッジの各ヘッド群に対応した複数の重量測定装置が配列され、第1配置工程および第2配置工程では、測定対象のヘッド群と重量測定装置とが対向するように少なくとも2つのキャリッジを配置することを特徴とする。この方法によれば、重量測定領域に配置された少なくとも2つのキャリッジの各ヘッド群に対応して複数の重量測定装置が配列している。したがって、1つの重量測定装置を用いて測定する場合に比べて重量測定に要する時間を短縮して、効率よく重量測定を行うことができる。
【0014】
上記吐出ヘッドは、複数のノズルが配列したノズル列を複数有し、上記第1計測工程および上記第2計測工程では、ノズル列ごとに吐出された液状体の重量を計測することを特徴とする。この方法によれば、実際の吐出描画時に近い状態でノズル列ごとに吐出される液状体の重量を測定することができる。
【0015】
また、上記第1計測工程および上記第2計測工程では、計測可能となる吐出数を設定して液滴を吐出することを特徴とする。この方法によれば、計測可能となる吐出数を設定して吐出が行なわれる。したがって、吐出された液状体の重量を吐出数で除すれば、1回の吐出によって吐出される液滴が微量であっても、その重量を求めることができる。
【0016】
さらに、上記第1計測工程および上記第2計測工程では、測定対象以外の吐出ヘッドからも液滴を吐出することが好ましい。この方法によれば、測定対象以外の吐出ヘッドからも液滴を吐出するので、待機中の吐出ヘッドにおける飛行曲がりや目詰まりを防いで吐出特性を安定化させることができる。すなわち、吐出特性を維持して重量測定を行うことができる。
【0017】
本発明の液状体の吐出方法は、複数のキャリッジに搭載された複数の吐出ヘッドから液状体をワークに対して吐出描画する液状体の吐出方法であって、描画領域に配列した複数のキャリッジのうち少なくとも2つのキャリッジを重量測定領域に配置する第1配置工程と、少なくとも2つのキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出し、各吐出ヘッドごとに吐出された液状体の重量を計測する第1計測工程と、少なくとも2つのキャリッジのうち計測が終了したキャリッジを排出して、残ったキャリッジと新たな少なくとも1つのキャリッジを重量測定領域に再配置する第2配置工程と、再配置された少なくとも2つのキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出し、各吐出ヘッドごとに吐出された液状体の重量を計測する第2計測工程と、計測された吐出ヘッドごとの液状体の重量情報を基に、吐出ヘッドごとに吐出される液状体の吐出量を調整する調整工程と、ワークと複数のキャリッジとを対向配置して相対移動させる間に、複数の吐出ヘッドからワークの所望の領域に液状体を液滴として吐出描画する吐出工程と、を備えたことを特徴とする。
【0018】
この方法によれば、第1配置工程および第2配置工程では、複数の吐出ヘッドが搭載されたキャリッジを実際の吐出描画時に近い適正な状態で重量測定領域に配置する。そして、第1計測工程および第2計測工程では、測定対象の吐出ヘッドから液滴を吐出させ、その重量を計測する。調整工程において、計測された吐出ヘッドごとの液状体の重量情報を基に、吐出ヘッドごとに吐出される液状体の吐出量が調整される。したがって、吐出工程では、複数の吐出ヘッドからワークの所望の領域に適正な量の液状体を液滴として吐出描画することができる。
【0019】
上記第1計測工程および上記第2計測工程では、少なくとも2つのキャリッジの配列方向と直交する方向から見て、少なくとも2つのキャリッジに搭載された複数の吐出ヘッドを前記キャリッジごとに2つのヘッド群に分け、隣り合うキャリッジの境界側に搭載されたヘッド群と、描画領域に配列した複数のキャリッジのうち両端側のいずれか一端のキャリッジが重量測定領域に配置された場合には、一端のキャリッジに搭載された各ヘッド群とを測定対象とすることを特徴とする。この方法によれば、第1計測工程および第2計測工程では、より実際の吐出描画時のヘッド群の配置を考慮して、測定対象のヘッド群を選択し、重量測定が行なわれる。したがって、より実際の吐出描画に近い液滴の重量が測定でき、吐出工程では、複数の吐出ヘッドからワークの所望の領域により適正な量の液状体を液滴として吐出描画することができる。
【0020】
上記重量測定領域には、少なくとも2つのキャリッジの各ヘッド群に対応した複数の重量測定装置が配列され、第1配置工程および第2配置工程では、測定対象のヘッド群と重量測定装置とが対向するように少なくとも2つのキャリッジを配置することを特徴とする。この方法によれば、1つの重量測定装置を配する場合に比べて重量測定に要する時間を短縮して、効率よく重量測定を行うことができる。よって、高い生産性を確保しつつ、複数の吐出ヘッドからワークの所望の領域により適正な量の液状体を液滴として吐出描画することができる。
【0021】
上記吐出ヘッドは、複数のノズルが配列したノズル列を複数有し、第1計測工程および第2計測工程では、ノズル列ごとに吐出された液状体の重量を計測することを特徴とする。この方法によれば、調整工程では、ノズル列ごとに吐出される液状体の吐出量を調整することが可能となる。よって、吐出工程では、複数の吐出ヘッドの各ノズル列からワークの所望の領域により適正な量の液状体を液滴として吐出描画することができる。
【0022】
また、上記第1計測工程および上記第2計測工程では、計測可能となる吐出数を設定して液滴を吐出することを特徴とする。この方法によれば、吐出された液状体の重量を吐出数で除すれば、1回の吐出によって吐出される液滴が微量であっても、その重量を求めることができる。したがって、調整工程では、高い精度で液滴の吐出量を調整することができ、吐出工程では、複数の吐出ヘッドからワークの所望の領域により精度よく適正な量の液状体を液滴として吐出描画することができる。
【0023】
さらに、上記第1計測工程および上記第2計測工程では、測定対象以外の吐出ヘッドからも液滴を吐出することが好ましい。この方法によれば、測定対象以外の吐出ヘッドからも液滴を吐出するので、待機中の吐出ヘッドにおける飛行曲がりや目詰まりを防いで吐出特性を安定化させることができる。ゆえに、吐出特性を維持して重量測定を行うことができる。すなわち、吐出工程では、複数の吐出ヘッドからワークの所望の領域により適正な量の液状体を液滴として吐出描画することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0024】
本発明の実施形態は、液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出装置を用い、着色領域に着色層形成材料を含む液状体を付与して着色層を吐出描画するカラーフィルタの製造方法を例に説明する。
【0025】
まず、液滴吐出装置について図1〜図7に基づいて説明する。図1は、液滴吐出装置の構造を示す概略平面図である。
【0026】
図1に示すように、液滴吐出装置1は、ワークとしての基板Wが載置される吸着テーブル41をX軸方向に移動させるX軸テーブル22と、複数(7つ)のキャリッジとしてのキャリッジユニット21をX軸テーブル22の上方において、それぞれ独立してY軸方向に移動させるY軸テーブル23とを備えている。
【0027】
Y軸方向に配列した各キャリッジユニット21は、液状体を液滴として吐出する複数の吐出ヘッドとしての液滴吐出ヘッド62(図3参照)が搭載されたヘッドユニット61と、ヘッドユニット61を含むキャリッジ本体66を吊設するメインキャリッジ63とを備えている。
【0028】
各キャリッジユニット21が配列したY軸方向の延長線上に、液滴吐出ヘッド62から吐出された液状体の重量を測定する重量測定機構91と、液滴吐出ヘッド62のメンテナンスを行うメンテナンス機構12とが設けられている。Y軸テーブル23は、X軸テーブル22に直交して延設されており、描画領域31に配列した複数のキャリッジユニット21をメンテナンス機構12が設けられたメンテナンス領域32と、重量測定機構91が設けられた重量測定領域33とに移動させる。
【0029】
メンテナンス機構12は、液滴吐出ヘッド62内で増粘した液状体を吸引除去する吸引ユニット111と、吸引除去等によって液滴吐出ヘッド62の表面(ノズル面)に付着した液状体や異物をワイピングシート112aにより拭き取りを行うワイピングユニット112とを備えている。
【0030】
吸引ユニット111は、複数(7つ)のキャリッジユニット21に対応してY軸方向に複数配列して設けられている。各吸引ユニット111とワイピングユニット112とがアングル架台118上に配設されている。
【0031】
メンテナンス機構12は、上記各吸引ユニット111とワイピングユニット112とにより、複数のヘッドユニット61に搭載された複数の液滴吐出ヘッド62のノズル目詰まり等、吐出機能を回復させる装置である。
【0032】
図2は、液滴吐出装置の構造を示す概略側面図である。詳しくは、メンテナンス機構12側から見た側面図である。
【0033】
図1および図2に示すように、液滴吐出ヘッド62の吐出特性を安定化させるため、X軸テーブル22には、Y軸方向に配列した複数のキャリッジユニット21に対応して設けられた定期フラッシングボックス114と、吸着テーブル41のX軸方向の両端部に設けられた2つの描画前フラッシングボックス115と、を備えている。
【0034】
液滴吐出ヘッド62のすべてのノズル85(図3参照)から液状体を上記定期フラッシングボックス114や描画前フラッシングボックス115に向けて、定期的あるいは描画前に吐出するフラッシングを行うことによりノズル85の目詰まりやノズル85内の液状体のメニスカスを安定化させる。
【0035】
X軸テーブル22は、基台40と、基台40上に配設された一対のX軸ガイドレール45と、一対のX軸ガイドレール45に並設された一対のX軸リニアモータ(図示省略)とを備えている。一対のX軸ガイドレール45によりガイドされ、X軸リニアモータによってX軸方向にスライド自在に移動するX軸スライダ44と、X軸スライダ44により支持されたテーブル支持部43とを備えている。テーブル支持部43には、基板Wを吸着(エアー吸引)セットする吸着テーブル41と、吸着テーブル41を介して基板Wのθ位置を微調整するθ軸テーブル42とが配設されている。一対のX軸リニアモータを駆動すると、一対のX軸ガイドレール45によりガイドされたX軸スライダ44がX軸方向に移動して、吸着テーブル41にセットされた基板WをX軸方向に移動させることができる。
【0036】
また、吸着テーブル41には、図示しないが、X軸方向に一対のX軸幅寄せ機構が、Y軸方向に一対のY軸幅寄せ機構が設けられており、セットした基板Wを位置決め(プリアライメント)できるようになっている。セットされた基板Wは、Y軸テーブル23等に設けられたワーク認識カメラ(図示省略)により画像認識されて最終的に位置決めされる。
【0037】
図2に示すように、上記定期フラッシングボックス114は、その上面が吸着テーブル41の上面とほぼ同じ高さとなるようにテーブル支持部43に配設されている。同様に上記描画前フラッシングボックス115もその上面が吸着テーブル41の上面とほぼ同じ高さとなるように吸着テーブル41に配設されている。
【0038】
一方、Y軸テーブル23は、基台40から立設した一対の支持スタンド56と、一対の支持スタンド56上に架け渡された一対の柱状支持部材55と、一対の柱状支持部材55に併設された一対のY軸リニアモータ54とを備えている。一対の柱状支持部材55上には、一対のY軸ガイドレール53と、一対のY軸ガイドレール53にガイドされ、Y軸リニアモータ54によってY軸方向に自在に移動するY軸スライダ52とが設けられている。
【0039】
Y軸スライダ52は、各キャリッジユニット21に対応して複数設けられ、メインキャリッジ63が吊設されたブリッジプレート51を支持している。すなわち、7つのブリッジプレート51がそれぞれ独立したY軸スライダ52に支持されている。
【0040】
Y軸リニアモータ54を駆動すると、一対のY軸ガイドレール53によりガイドされたY軸スライダ52がY軸方向に移動して、ブリッジプレート51に吊設されたメインキャリッジ63をY軸方向に移動させることができる。
【0041】
メインキャリッジ63は、ヘッドユニット61を支持するキャリッジ本体66と、キャリッジ本体66を吊設すると共に、キャリッジ本体66の上部に連結され、キャリッジ本体66を介して、ヘッドユニット61のθ位置をモータ駆動で微調整可能なヘッドθ軸テーブル67と、ヘッドθ軸テーブル67の上部に連結され、ヘッドθ軸テーブル67およびキャリッジ本体66を介して、ヘッドユニット61のZ軸方向の位置をモータ駆動で微調整可能なヘッドZ軸テーブル68とを有している。
【0042】
このような液滴吐出装置1は、ヘッパユニット6を上部に備えたチャンバ5に収容され、その内部が所定のクリーン度、温度、湿度となるように空調された状態で用いられる。
【0043】
図3は、液滴吐出ヘッドを示す概略図である。同図(a)は斜視図、同図(b)はノズルプレートを示す平面図である。
【0044】
図3(a)に示すように、液滴吐出ヘッド62は、いわゆる2連のものであり、2連の接続針72を有する液導入部71と、液導入部71に連なるヘッド基板73と、液導入部71の上方に連なり、内部に液状体が満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体74とを備えている。接続針72は、圧力調整弁を介して液状体が貯留されたタンクに接続され、液滴吐出ヘッド62のヘッド内流路に液状体が供給される。また、ヘッド本体74は、圧電素子等で構成されたキャビティ81と、ノズル面82aに複数のノズル85からなる2本のノズル列84が形成されたノズルプレート82とを有している。また、ヘッド基板73には、2連のコネクタ75が設けられており、各コネクタ75は、フレキシブルフラットケーブルを介してヘッドドライバ131(図8参照)に接続されている。ヘッドドライバ131は、圧電素子に駆動電圧を与えてキャビティ81の体積を変化させる。これによりキャビティ81に充填された液状体を加圧し、ノズル85から液状体を液滴として吐出する。
【0045】
図3(b)に示すように、各ノズル列84の長さは、例えば1インチ(略25.4mm)であって、各ノズル列84は180個のノズル85が等しいピッチP1(略140μm)で並べられて構成されている。この場合、一方のノズル列84は、他方のノズル列84に対して、ノズル列方向に半ピッチ(70μm)分ずれて設けられている。したがって、各ノズル列方向と直交する方向から見ると複数のノズル85がノズルピッチP2で配列した状態となっている。よって、複数のノズル85から吐出された液滴のドット密度(解像度)は360dpiである。
【0046】
このような液滴吐出ヘッド62は、圧電素子を備えたものに限らず、液状体を加圧するエネルギー発生手段として、振動板を静電吸着することによって振動させる電気機械変換素子や、液状体を加熱する発熱素子を備えたものでもよい。
【0047】
図4は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、X軸テーブル22側から見た平面図である。
【0048】
図4に示すように、ヘッドユニット61には、合計12個の液滴吐出ヘッド62が搭載されている。X軸方向から見て6個の液滴吐出ヘッド62が階段状に配列した2つのヘッド群62L,62Rを構成している。各ヘッド群62L,62Rは、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の着色層形成材料を含む液状体が充填された3つの液滴吐出ヘッド62がRGBの順に並列している。そして、例えば、赤色(R)の液状体が充填された各ヘッドR1,R2,R3,R4のノズル列84が、X軸方向から見て1ノズルピッチP2を置いてY軸方向に並んでいる。他の緑色(G)、青色(B)においても同様である。また、異なる色の液状体が充填されたヘッドR2とヘッドG2、ヘッドG2とヘッドB2とにおいて、ノズル列84がノズル列の全長の1/3の距離でY軸方向に互いにずれた状態で配置されている。
【0049】
したがって、同色の液状体をY軸方向において、連続的に吐出可能ないわゆる描画幅は、この場合、(P2×359×4)+(P2×3)=100730μm、およそ100mmである。
【0050】
次に、図5および図6に基づいて重量測定機構91について説明する。図5はキャリッジユニットと重量測定機構との配置を示す概略図である。図6(a)は重量測定機構を示す概略側面図、同図(b)は概略平面図である。
【0051】
図5に示すように、重量測定機構91は、Y軸方向において、複数のキャリッジユニット21(CA1〜CA7)が配列した描画領域31とメンテナンス領域32との間に設けられた架台99上に配設されている。重量測定機構91が配設された重量測定領域33には、Y軸テーブル23によって2つのキャリッジユニット21を対向配置することができる。
【0052】
重量測定機構91は、架台99との間にモータ98を備えた移動機構を有し、重量測定機構91をX軸方向に移動させることができる。モータ98は、例えばサーボモータを用いる。
【0053】
図6(a)に示すように、重量測定機構91は、支持プレート97上に配設された4つの重量測定装置としての電子天秤95と、各電子天秤95ごとに設けられた第1液滴受け部94と、第2液滴受け部92とを備えている。電子天秤95は第1液滴受け部94に吐出された液状体の重量を計測可能となっている。
【0054】
第1液滴受け部94は、受け皿状となっており吐出された液状体を吸収する吸収体96が敷設されている。
【0055】
第2液滴受け部92は、支持プレート97の四隅から立設した支柱に支えられた受け皿状となっている。また、図6(b)に示すように、第1液滴受け部94を囲む開口部92aを有している。そして、各第1液滴受け部94を囲むように同じく吸収体93が敷設されている。吸収体93は、その上面が吸収体96の上面とほぼ同じ高さとなるように敷設されている。このような吸収体93,96としては、例えば、多孔質の発泡プラスチックが用いられる。
【0056】
このような第1液滴受け部94および第2液滴受け部92は、これらに対向する上記ヘッドユニット61に搭載された液滴吐出ヘッド62の配置に基づいて設計されている。すなわち、図6(b)に示す第1液滴受け部94の大きさ(平面積)は、液滴吐出ヘッド62のノズル面82a(図3参照)が十分に対向可能な大きさとなっている。また、第2液滴受け部92の大きさ(平面積)は、測定対象の液滴吐出ヘッド62と第1液滴受け部94とが対向するように2つのヘッドユニット61を配置させたときに、測定対象以外の液滴吐出ヘッド62と第2液滴受け部92とが必ず対向するように設計されている。
【0057】
次に、図7を参照して、液滴吐出装置1全体の制御系について説明する。図7は、液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。図7に示すように、液滴吐出装置1の制御系は、基本的に、上位コンピュータ2と、液滴吐出ヘッド62、X軸テーブル22、Y軸テーブル23、メンテナンス機構12、重量測定機構91等を駆動する各種ドライバを有する駆動部121と、駆動部121を含め液滴吐出装置1全体を統括制御する制御部122(コントローラ13)とを備えている。
【0058】
上位コンピュータ2は、コントローラ13に接続されたコンピュータ本体に、キーボードや、キーボードによる入力結果等を画像表示するディスプレイ等が接続されて構成されている。
【0059】
駆動部121は、液滴吐出ヘッド62を吐出駆動制御するヘッドドライバ131と、X軸テーブル22およびY軸テーブル23の各リニアモータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ132と、メンテナンス機構12の吸引ユニット111、ワイピングユニット112およびユニット昇降機構を駆動制御するメンテナンス用ドライバ133と、重量測定機構91の電子天秤95やモータ98を制御する重量測定用ドライバ134とを備えている。
【0060】
制御部122は、CPU141と、ROM142と、RAM143と、P−CON144とを備え、これらは互いにバス145を介して接続されている。ROM142は、CPU141で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作や重量測定を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域を有している。
【0061】
RAM143は、各種レジスタ群のほか、基板Wに液状体の吐出を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、基板Wおよびヘッドユニット61の設計位置データを記憶する位置データ記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。なお、ヘッドユニット61の設計位置データとは、描画処理の直前に記憶されている位置データのことであり、液滴吐出装置1の設計時(新設時)における位置データのほか、ヘッドユニット61の更新後の位置データをも含む概念である。
【0062】
P−CON144には、駆動部121の各種ドライバのほか、基板Wの位置を認識するカメラ等が接続されており、CPU141の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、P−CON144は、上位コンピュータ2からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス145に取り込むと共に、CPU141と連動して、CPU141等からバス145に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部121に出力する。
【0063】
そして、CPU141は、ROM142内の制御プログラムに従って、P−CON144を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、RAM143内の各種データ等を処理した後、P−CON144を介して駆動部121等に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置1全体を制御している。例えば、CPU141は、液滴吐出ヘッド62、X軸テーブル22およびY軸テーブル23を制御して、所定の液滴吐出条件および所定の移動条件で、液滴吐出ヘッド62から基板Wに液状体を液滴として吐出する描画を行う。
【0064】
また、CPU141は、Y軸テーブル23を制御してキャリッジユニット21を重量測定領域33に配置し、ヘッドユニット61に搭載された液滴吐出ヘッド62から第1液滴受け部94に液状体を液滴として吐出させる。そして、電子天秤95によって計測された液状体の重量に基づいて液滴の吐出量を演算する。この演算結果に基づいて各液滴吐出ヘッド62の圧電素子を駆動する駆動電圧を制御して、適正な量の液滴を吐出させる。
【0065】
このような液滴吐出装置1は、複数のキャリッジユニット21を有するため、これに対応してメンテナンス機構12が設けられている。重量測定機構91も同様な対応が考えられるが、装置がより大型化してしまう。本実施形態では、装置の大きさを考慮して重量測定領域33に2つのキャリッジユニット21を配置できるように構成した。複数のキャリッジユニット21が描画領域31に配列して液状体の吐出描画を行うときの環境条件や液滴吐出ヘッド62の駆動状態と、2つのキャリッジユニット21を重量測定領域33に配置して測定対象の液滴吐出ヘッド62から液状体を吐出するときの環境条件や駆動状態とは、必ずしも同一ではない。本発明の重量測定方法および液状体の吐出方法は、このような技術的背景を考慮してなされた。
【0066】
(重量測定方法および液状体の吐出方法)
次に、本実施形態の重量測定方法を用いた液状体の吐出方法について、図8および図9に基づいて説明する。図8は液状体の吐出方法を示すフローチャート、図9(a)〜(d)は重量測定方法を示す概略図である。
【0067】
図8に示すように、本実施形態の液状体の吐出方法は、キャリッジユニット21を重量測定領域33に配置する第1配置工程(ステップS1)と、測定対象の液滴吐出ヘッド62と重量測定機構91の第1液滴受け部94とを位置決めする位置決め工程(ステップS2)とを備えている。また、位置決めされた液滴吐出ヘッド62から吐出された液状体の重量を計測する計測用吐出工程(ステップS3)と、計測された液状体の重量を基に1吐出あたりの液滴の吐出量を演算する演算工程(ステップS4)とを備えている。また、選択したヘッド群62L,62Rの計測が終了したか否か判断する工程(ステップS5)と、すべてのキャリッジユニット21に対して計測が終了したか否か判断する工程(ステップS6)と、終了していない場合、再びキャリッジユニット21を再配置する第2配置工程(ステップS7)とを備えている。そして、再びステップS2からステップS6を繰り返すことにより、再配置されたキャリッジユニット21に搭載された各液滴吐出ヘッド62から液状体を液滴として吐出し、液滴吐出ヘッド62ごとに吐出された液状体の重量を計測する第2計測工程とを備えている。
【0068】
ステップS1からステップS7が本実施形態の重量測定方法を示すものであり、ステップS2からステップS3が第1計測工程に対応する工程である。
【0069】
そして、計測された液滴吐出ヘッド62ごとの液状体の重量情報を基に、液滴吐出ヘッド62ごとに吐出される液状体の吐出量を調整する調整工程(ステップS8)と、基板Wの所望の領域に液状体を液滴として吐出描画する吐出工程(ステップS9)とを備えている。
【0070】
図8のステップS1は、第1配置工程である。ステップS1では、図9(a)に示すように、制御部122は、Y軸テーブル23を駆動して、まず、7つのキャリッジユニット21(CA1〜CA7)のうち、キャリッジユニットCA1とキャリッジユニットCA2とを重量測定領域33に移動させ、重量測定機構91に対向するように配置する。そして、ステップS2へ進む。
【0071】
図8のステップS2の位置決め工程では、制御部122は、重量測定プログラムに基づいて、各キャリッジユニットCA1,CA2の各ヘッド群62L,62Rのうち測定対象の液滴吐出ヘッド62を選択して、第1液滴受け部94に対向するように位置決めする。図4に示したように、ヘッドユニット61には、Y軸方向に同色の液状体が充填された液滴吐出ヘッド62が並んでいる。したがって、Y軸テーブル23のY軸リニアモータ54と重量測定機構91のモータ98とを駆動すれば、図9(b)に示すように、同色の液状体を吐出する4つの液滴吐出ヘッド62と4つの第1液滴受け部94とを対向配置することができる。また、このとき、吐出された液滴が第1液滴受け部94以外に飛散しないように、各キャリッジユニットCA1,CA2のヘッドZ軸テーブル68を駆動してノズル面82aと吸収体96の上面との間隔がおよそ0.5mm〜1.0mmとなるように調整する。そして、ステップS3へ進む。
【0072】
図8のステップS3は、計測用吐出工程である。ステップS3では、まず、液状体を受ける前の第1液滴受け部94の重量を計測する。この時点で、重量を「ゼロ」としてリセットしてもよい。次に、測定対象の液滴吐出ヘッド62から予め設定された吐出数の液滴を第1液滴受け部94に吐出する。吐出数の設定は、電子天秤95の最小計量単位を考慮して重量測定プログラムに含める。この場合、電子天秤95の最小計量単位は1mgである。一方、吐出される液滴はngレベルであるため、測定可能な液状体の量となるように吐出数を2000〜3000に設定して液滴吐出ヘッド62を駆動し、各ノズル85から液状体を液滴として吐出する。
【0073】
本実施形態の計測用吐出工程では、ノズル列84ごとに吐出された液状体の重量を計測する。その理由としては、図3に示したように、液滴吐出ヘッド62は、2連のノズル列84とこれに対応する2連の接続針72を備え、ヘッド本体74の内部にノズル列84ごとに異なる液状体共通流路を有している。よって、液状体共通流路の違いによるノズル列84ごとの液滴の吐出量の変動を考慮した。したがって、一方のノズル列84からの計量用吐出を行なって、第1液滴受け部94の重量を計測し、測定結果を制御部122のRAM143に記憶させる。その後に、同様に他方のノズル列84から計量用吐出を行なって重量を計測し、測定結果をRAM143に記憶させる。よって、吐出数は、ノズル列84のノズル数180と吐出回数とを掛け合わせたものである。
【0074】
また、重量測定の条件を実際に基板Wに液滴を吐出描画する条件に近づけるため、描画領域31における複数のキャリッジユニット21の配列を考慮した。すなわち、配列の一端側に位置するキャリッジユニットCA1では、2つのヘッド群62L,62Rの各液滴吐出ヘッド62の測定結果を有効とし、隣り合うキャリッジユニットCA2では、境界側に位置するヘッド群62Lの各液滴吐出ヘッド62の測定結果を有効として取り扱った。これにより、重量測定領域33に1つずつキャリッジユニット21を配置して重量測定を行う場合に比べて、常に2つのキャリッジユニット21が隣接し、周囲の気流や温度などによる吐出量の変動への影響、並びに隣接するキャリッジユニット21からの放熱による吐出量の変動への影響を考慮した重量測定が行なわれる。
【0075】
さらに、計量用吐出工程では、測定対象以外の液滴吐出ヘッド62からも第2液滴受け部92に向けて同時に液滴を吐出した。これにより、待機中の測定対象以外の液滴吐出ヘッド62が飛行曲がりや目詰まりを起こすこと防いで吐出特性を安定化させる。すなわち、常に吐出特性を維持して重量測定を行うことができる。そして、ステップS4へ進む。
【0076】
図8のステップS4は、演算工程である。ステップS4では、計測して得られた液滴吐出ヘッド62ごと、且つノズル列84ごとに有効とした液状体の重量をノズル列ごとの吐出数で除する。これにより、1吐出あたりの液滴の吐出量を算出する。なお、このような演算は、CPU141がRAM143に記憶された測定結果を基に実行する。そして、ステップS5へ進む。
【0077】
図8のステップS5は、選択したヘッド群62L,62Rの計測が終了したか否か判断する工程である。この場合、各ヘッド群62L,62Rには、それぞれ6つの液滴吐出ヘッド62が配置されているので、この後ステップS2からステップS4が5回繰り返される。そして、ステップS6へ進む。
【0078】
図8のステップS6は、すべてのキャリッジユニット21に対して計測が終了したか否か判断する工程である。この段階では、まだ終了していないので、ステップS7へ進む。
【0079】
図8のステップS7は、第2配置工程である。ステップS7では、図9(c)に示すように、制御部122は、Y軸テーブル23を駆動し、重量測定領域33から計測が終了したキャリッジユニットCA1をメンテナンス領域32に移動させる。また、残ったキャリッジユニットCA2にキャリッジユニットCA3が隣接するように重量測定領域33に再配置する。そして、7つのキャリッジユニット21の重量測定が終了するまで、ステップS2からステップS7が繰り返される。最後の第2配置工程では、図9(d)に示すように、キャリッジユニットCA6とキャリッジユニットCA7とが隣接して配置される。そして、ステップS4の演算工程では、キャリッジユニットCA6のヘッド群62Rと、一端側に位置するキャリッジユニットCA7の各ヘッド群62L,62Rとを測定対象とした液状体の重量測定結果から1吐出あたりの液滴の吐出量が求められる。そして、ステップS8へ進む。なお、この場合、メンテナンス領域32に排出されたキャリッジユニット21は、それぞれ吸引ユニット111と対向配置される。そして、重量測定が行なわれる期間中は、各液滴吐出ヘッド62から液状体を吐出するフラッシングを実施することが望ましい。また、図2に示すように、重量測定前に描画領域31で待機しているキャリッジユニット21と定期フラッシングボックス114とが対向配置されており、同様にフラッシングを実施することが望ましい。これにより、ノズル85の目詰まりを防止する。
【0080】
図8のステップS8は、調整工程である。ステップS8では、計測された液滴吐出ヘッド62ごとの液状体の重量情報(1吐出あたりの液滴の吐出量)を基に、液滴吐出ヘッド62ごとに吐出される液状体の吐出量を調整する。調整方法としては、液滴吐出ヘッド62の圧電素子に印加される駆動波形において、実効的な駆動電圧を変える方法が挙げられる。また、駆動波形における急峻性を変える方法でも液滴の吐出量を変えることが可能である。この場合、3色の異なる液状体ごとに液滴の吐出量が所望の値となるように液滴吐出ヘッド62ごと且つノズル列84ごとに駆動電圧の調整を実施した。そして、ステップS9へ進む。
【0081】
図8のステップS9は、基板Wの所望の領域に液状体を液滴として吐出描画する吐出工程である。ステップS9では、基板Wと複数のキャリッジユニット21とを対向配置して相対移動させる間に、複数の液滴吐出ヘッド62から液状体を液滴として吐出する。調整工程において、液滴の吐出量が液状体ごとに調整されているので、適正な量の液状体を上記所望の領域に付与することが可能である。
【0082】
(カラーフィルタの製造方法)
次に本実施形態の液状体の吐出方法を適用したカラーフィルタの製造方法について説明する。
【0083】
まず、カラーフィルタが用いられた電気光学装置の一つである液晶表示装置について説明する。図10は、液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図である。
【0084】
図10に示すように、液晶表示装置500は、TFT(Thin Film Transistor)透過型の液晶表示パネル520と、液晶表示パネル520を照明する照明装置516とを備えている。液晶表示パネル520は、着色層としてのカラーフィルタ505を有する対向基板501と、画素電極510に3端子のうちの1つが接続されたTFT素子511を有する素子基板508と、両基板501,508によって挟持された液晶(図示省略)とを備えている。また、液晶表示パネル520の外面側となる両基板501,508の表面には、透過する光を偏向させる上偏光板514と下偏光板515とが配設される。
【0085】
対向基板501は、透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に隔壁部504によってマトリクス状に区画された複数の着色領域に複数種の着色層としてRGB3色のカラーフィルタ505R,505G,505Bがストライプ状に形成されている。隔壁部504は、Crなどの遮光性を有する金属あるいはその酸化膜からなるブラックマトリクスと呼ばれる下層バンク502と、下層バンク502の上(図面では下向き)に形成された有機化合物からなる上層バンク503とにより構成されている。また対向基板501は、隔壁部504と隔壁部504によって区画されたカラーフィルタ505R,505G,505Bとを覆う平坦化層としてのオーバーコート層(OC層)506と、OC層506を覆うように形成されたITO(Indium Tin Oxide)などの透明導電膜からなる対向電極507とを備えている。カラーフィルタ505R,505G,505Bは後述するカラーフィルタの製造方法を用いて製造されている。
【0086】
素子基板508は、同じく透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に絶縁膜509を介してマトリクス状に形成された画素電極510と、画素電極510に対応して形成された複数のTFT素子511とを有している。TFT素子511の3端子のうち、画素電極510に接続されない他の2端子は、互いに絶縁された状態で画素電極510を囲むように格子状に配設された走査線512とデータ線513とに接続されている。
【0087】
照明装置516は、光源として白色のLED、EL、冷陰極管等を用い、これらの光源からの光を液晶表示パネル520に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等の構成を備えたものであれば、どのようなものでもよい。
【0088】
なお、液晶を挟む対向基板501と素子基板508の表面には、液晶の分子を所定の方向に配列させるための配向膜がそれぞれ形成されているが、図示省略した。また、上下偏光板514,515は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。液晶表示パネル520は、アクティブ素子としてTFT素子に限らずTFD(Thin Film Diode)素子を有したものでもよく、さらには、少なくとも一方の基板にカラーフィルタを備えるものであれば、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。
【0089】
図11は、カラーフィルタの製造方法を示す概略図である。本実施形態のカラーフィルタの製造方法は、上記液滴吐出装置1を用いた液状体の吐出方法を適用した。なお、図11において、破線で示した各液滴吐出ヘッドのY軸方向の幅は、2つのノズル列84から液状体を吐出可能な領域の幅を示すものである。
【0090】
図11に示すように、上記液滴吐出装置1において、描画領域31に配列した複数のヘッドユニット61(キャリッジユニット21)に対して、RGB3色の着色領域Aのストライプ方向が平行となるように、基板Wを吸着テーブル41にセットして位置決めする。
【0091】
例えば、ヘッドユニット61のヘッドR1のY軸方向の端が、基板Wの赤色(R)の着色領域Aの端と一致するように位置決めする。
【0092】
そして、X軸テーブル22を駆動し、複数のヘッドユニット61に対して基板WをX軸方向に相対移動させる間に、各ヘッドユニット61に搭載された各液滴吐出ヘッド62から着色領域Aに向けて着色層形成材料を含む液状体を液滴として吐出する。
【0093】
前述したように、各ヘッドユニット61には、X軸方向から見て同色の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド62が、ノズルピッチP2を置いてY軸方向に4つ並んでいる。よって、同色の液状体をY軸方向に吐出可能な描画幅Eが連続するように、描画領域31にヘッドユニット61を配列すれば、基板Wの幅に対応して同色の液状体を隙間を空けることなく付与することができる。当然のことながら着色領域Aの端付近では、赤色(R)以外の緑色(G)や青色(B)に対応する着色領域Aに液状体が付与されない領域が発生する。よって、複数のヘッドユニット61をY軸方向に移動させる副走査を行ってから、再び液滴を吐出する主走査を行うようにすれば、すべての着色領域Aに所望の色の液状体を付与することができる。
【0094】
本実施形態のカラーフィルタの製造方法は、上記液状体の吐出方法を用いているので、各液滴吐出ヘッド62から吐出される液状体の重量が実際の吐出描画条件に近い状態で測定される。そして、吐出される液滴の吐出量が3色の液状体ごとに適正な量となるように予め液滴吐出ヘッド62のノズル列84ごとに調整されている。したがって、着色領域Aに必要な量の液滴が安定して付与される。付与された液状体を乾燥して固化すれば、着色領域Aに所望の膜厚を有するRGB3色の着色層を形成することができる。このようにして製造されたカラーフィルタを備える液晶表示装置500は、所望の光学特性が実現された高い表示品質を有している。
【0095】
上記実施形態の効果は、以下の通りである。
(1)上記実施形態の重量測定方法は、第1配置工程では、重量測定領域33に2つのキャリッジユニット21が隣り合うように配置される。また、第2配置工程では、重量測定領域33から測定が終了したキャリッジユニット21を排出して、残ったキャリッジユニット21と新たなキャリッジユニット21とが再配置される。したがって、液滴吐出ヘッド62から計測用の液滴が吐出されるときには、常にキャリッジユニット21が隣り合うように配置される。よって、キャリッジユニット21を単独で重量測定領域33に配置する場合に比べて、実際に液状体を基板Wに対して吐出する吐出描画時のように、複数のキャリッジユニット21が描画領域31に配列した状態に近いキャリッジユニット21の配置で重量測定を行うことができる。すなわち、複数の液滴吐出ヘッド62が搭載されたヘッドユニット61を実際の吐出描画時に近い適正な状態で重量測定領域33に配置して、測定対象の液滴吐出ヘッド62から液滴を吐出させ、その重量を計測することができる。
【0096】
(2)上記実施形態の重量測定方法は、隣り合うキャリッジユニット21の境界側に位置するヘッド群62Rおよびヘッド群62Lと、描画領域31に配列した複数(7つ)のキャリッジユニット21の両端側に位置するキャリッジユニットCA1,CA7が配置された場合には、当該キャリッジユニットの各ヘッド群62L,62Rとを測定対象とする。したがって、実際の吐出描画時のヘッド群62L,62Rの配置を考慮して、測定対象のヘッド群62L,62Rを選択し、重量測定を行うことができる。すなわち、実際の液状体の吐出状態を反映した重量測定ができる。
【0097】
(3)上記実施形態の重量測定方法は、計量用吐出工程では、液滴吐出ヘッド62の2連のノズル列84ごとに吐出数を設定して液滴を吐出し、その重量を計測する。よって、実際の吐出描画に近い状態でノズル列84ごとに吐出される液状体の重量を測定することができる。ゆえに、演算工程では、ノズル列84ごとに吐出される液滴の吐出量を演算することができる。
【0098】
(4)上記実施形態の重量測定方法は、測定対象以外の液滴吐出ヘッド62からも第2液滴受け部92に向けて液状体を吐出する。よって、常に液滴吐出ヘッド62の吐出特性を維持して重量測定することができる。
【0099】
(5)上記実施形態の液状体の吐出方法おいて、調整工程では、上記重量測定方法を用い測定された結果に基づいて、異なる3色の液状体に対応した所望の液滴の吐出量となるように、各液滴吐出ヘッド62のノズル列84ごとに圧電素子に印加される駆動電圧を調整する。したがって、吐出工程では、異なる3色の液状体に応じて適正な吐出量の液滴を液滴吐出ヘッド62から吐出することができる。
【0100】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば上記実施形態以外の変形例は、以下の通りである。
【0101】
(変形例1)上記実施形態の重量測定方法において、重量測定領域33に配置されるキャリッジユニット21の数は、2つに限定されない。例えば、キャリッジユニット21が互いに隣り合うように3つ配置してもよい。その場合には、電子天秤95を6つ備えるように重量測定機構91を構成する。また、計測が終了した2つのキャリッジユニット21を排出し、新たに2つのキャリッジユニット21を玉突きするように再配置すればよい。よって、新たに加えるキャリッジユニット21は、1つに限定されず、描画領域31に配列した複数のキャリッジユニット21の数によって変えてもよい。このようにすれば、キャリッジユニット21の数が奇数か偶数かに寄らず、重量測定領域33に適正な配置が可能である。
【0102】
(変形例2)上記実施形態の重量測定方法において、重量測定領域33に配置するキャリッジユニット21の順番は、これに限定されない。例えば、Y軸テーブル23により、7つのキャリッジユニット21をメンテナンス領域32に配置して、各液滴吐出ヘッド62のメンテナンスを実施した後に、キャリッジユニットCA7側から重量測定領域33に配置してもよい。
【0103】
(変形例3)上記実施形態の重量測定方法において、重量測定機構91における電子天秤95の数は、4つに限定されない。例えば、電子天秤95を1つのキャリッジユニット21に対応するように2つ設け、重量測定領域33に配置された複数のキャリッジユニット21をY軸方向に移動させて重量測定するようにしてもよい。
【0104】
(変形例4)上記実施形態の液状体の吐出方法において、液滴吐出装置1のヘッドユニット61における各液滴吐出ヘッド62の配置は、これに限定されない。ヘッドユニット61に配置された複数の液滴吐出ヘッド62をX軸方向から見て2つのヘッド群に分けるようにすればよい。
【0105】
(変形例5)上記実施形態の液状体の吐出方法が適用可能なデバイスの製造方法は、カラーフィルタの製造方法に限定されない。例えば、液晶表示装置500において、液晶を配向させる配向膜や液晶そのものの塗布にも適用することができる。さらには、隔壁部により区画形成された領域に発光材料を含む液状体を塗布して有機EL発光層を形成する方法にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【0106】
【図1】液滴吐出装置の構造を示す概略平面図。
【図2】液滴吐出装置の構造を示す概略側面図。
【図3】(a)は液滴吐出ヘッドを示す斜視図、(b)はノズルプレートを示す平面図。
【図4】ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。
【図5】キャリッジユニットと重量測定機構との配置を示す概略図。
【図6】(a)は重量測定機構を示す概略側面図、(b)は概略平面図。
【図7】液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図8】液状体の吐出方法を示すフローチャート。
【図9】(a)〜(d)は重量測定方法を示す概略図。
【図10】液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図。
【図11】カラーフィルタの製造方法を示す概略図。
【符号の説明】
【0107】
1…液滴吐出装置、21…キャリッジとしてのキャリッジユニット、31…描画領域、33…重量測定領域、62…吐出ヘッドとしての液滴吐出ヘッド、62L,62R…ヘッド群、84…ノズル列、85…ノズル、95…重量測定装置としての電子天秤、CA1,CA7…一端のキャリッジとしてのキャリッジユニット、W…ワークとしての基板。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数のキャリッジに搭載された複数の吐出ヘッドから吐出される液状体の重量を測定する重量測定方法であって、
描画領域に配列した前記複数のキャリッジのうち少なくとも2つのキャリッジを重量測定領域に配置する第1配置工程と、
前記少なくとも2つのキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから前記液状体を液滴として吐出し、前記各吐出ヘッドごとに吐出された前記液状体の重量を計測する第1計測工程と、
前記少なくとも2つのキャリッジのうち計測が終了したキャリッジを排出して、残ったキャリッジと新たな少なくとも1つのキャリッジを前記重量測定領域に再配置する第2配置工程と、
再配置された少なくとも2つのキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから前記液状体を液滴として吐出し、前記各吐出ヘッドごとに吐出された前記液状体の重量を計測する第2計測工程と、を備えたことを特徴とする重量測定方法。
【請求項2】
前記第1計測工程および前記第2計測工程では、前記少なくとも2つのキャリッジの配列方向と直交する方向から見て、前記少なくとも2つのキャリッジに搭載された前記複数の吐出ヘッドを前記キャリッジごとに2つのヘッド群に分け、隣り合うキャリッジの境界側に搭載された前記ヘッド群と、前記描画領域に配列した前記複数のキャリッジのうち両端側のいずれか一端のキャリッジが前記重量測定領域に配置された場合には、前記一端のキャリッジに搭載された各ヘッド群とを測定対象とすることを特徴とする請求項1に記載の重量測定方法。
【請求項3】
前記重量測定領域には、前記少なくとも2つのキャリッジの前記各ヘッド群に対応した複数の重量測定装置が配列され、
前記第1配置工程および前記第2配置工程では、測定対象の前記ヘッド群と前記重量測定装置とが対向するように前記少なくとも2つのキャリッジを配置することを特徴とする請求項2に記載の重量測定方法。
【請求項4】
前記吐出ヘッドは、複数のノズルが配列したノズル列を複数有し、
前記第1計測工程および前記第2計測工程では、前記ノズル列ごとに吐出された前記液状体の重量を計測することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の重量測定方法。
【請求項5】
前記第1計測工程および前記第2計測工程では、計測可能となる吐出数を設定して前記液滴を吐出することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の重量測定方法。
【請求項6】
前記第1計測工程および前記第2計測工程では、測定対象以外の前記吐出ヘッドからも前記液滴を吐出することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一項に記載の重量測定方法。
【請求項7】
複数のキャリッジに搭載された複数の吐出ヘッドから液状体をワークに対して吐出描画する液状体の吐出方法であって、
描画領域に配列した前記複数のキャリッジのうち少なくとも2つのキャリッジを重量測定領域に配置する第1配置工程と、
前記少なくとも2つのキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから前記液状体を液滴として吐出し、前記各吐出ヘッドごとに吐出された前記液状体の重量を計測する第1計測工程と、
前記少なくとも2つのキャリッジのうち計測が終了したキャリッジを排出して、残ったキャリッジと新たな少なくとも1つの前記キャリッジを前記重量測定領域に再配置する第2配置工程と、
再配置された少なくとも2つのキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから前記液状体を液滴として吐出し、前記各吐出ヘッドごとに吐出された前記液状体の重量を計測する第2計測工程と、
計測された前記吐出ヘッドごとの前記液状体の重量情報を基に、前記吐出ヘッドごとに吐出される前記液状体の吐出量を調整する調整工程と、
前記ワークと前記複数のキャリッジとを対向配置して相対移動させる間に、前記複数の吐出ヘッドから前記ワークの所望の領域に前記液状体を液滴として吐出描画する吐出工程と、を備えたことを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項8】
前記第1計測工程および前記第2計測工程では、前記少なくとも2つのキャリッジの配列方向と直交する方向から見て、前記少なくとも2つのキャリッジに搭載された前記複数の吐出ヘッドを前記キャリッジごとに2つのヘッド群に分け、隣り合うキャリッジの境界側に搭載された前記ヘッド群と、前記描画領域に配列した前記複数のキャリッジのうち両端側のいずれか一端のキャリッジが前記重量測定領域に配置された場合には、前記一端のキャリッジに搭載された各ヘッド群とを測定対象とすることを特徴とする請求項7に記載の液状体の吐出方法。
【請求項9】
前記重量測定領域には、前記少なくとも2つのキャリッジの前記各ヘッド群に対応した複数の重量測定装置が配列され、
前記第1配置工程および前記第2配置工程では、測定対象の前記ヘッド群と前記重量測定装置とが対向するように前記少なくとも2つの前記キャリッジを配置することを特徴とする請求項8に記載の液状体の吐出方法。
【請求項10】
前記吐出ヘッドは、複数のノズルが配列したノズル列を複数有し、
前記第1計測工程および前記第2計測工程では、前記ノズル列ごとに吐出された前記液状体の重量を計測することを特徴とする請求項7ないし9のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項11】
前記第1計測工程および前記第2計測工程では、計測可能となる吐出数を設定して前記液滴を吐出することを特徴とする請求項7ないし10のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項12】
前記第1計測工程および前記第2計測工程では、測定対象以外の前記吐出ヘッドからも前記液滴を吐出することを特徴とする請求項7ないし11のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項1】
複数のキャリッジに搭載された複数の吐出ヘッドから吐出される液状体の重量を測定する重量測定方法であって、
描画領域に配列した前記複数のキャリッジのうち少なくとも2つのキャリッジを重量測定領域に配置する第1配置工程と、
前記少なくとも2つのキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから前記液状体を液滴として吐出し、前記各吐出ヘッドごとに吐出された前記液状体の重量を計測する第1計測工程と、
前記少なくとも2つのキャリッジのうち計測が終了したキャリッジを排出して、残ったキャリッジと新たな少なくとも1つのキャリッジを前記重量測定領域に再配置する第2配置工程と、
再配置された少なくとも2つのキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから前記液状体を液滴として吐出し、前記各吐出ヘッドごとに吐出された前記液状体の重量を計測する第2計測工程と、を備えたことを特徴とする重量測定方法。
【請求項2】
前記第1計測工程および前記第2計測工程では、前記少なくとも2つのキャリッジの配列方向と直交する方向から見て、前記少なくとも2つのキャリッジに搭載された前記複数の吐出ヘッドを前記キャリッジごとに2つのヘッド群に分け、隣り合うキャリッジの境界側に搭載された前記ヘッド群と、前記描画領域に配列した前記複数のキャリッジのうち両端側のいずれか一端のキャリッジが前記重量測定領域に配置された場合には、前記一端のキャリッジに搭載された各ヘッド群とを測定対象とすることを特徴とする請求項1に記載の重量測定方法。
【請求項3】
前記重量測定領域には、前記少なくとも2つのキャリッジの前記各ヘッド群に対応した複数の重量測定装置が配列され、
前記第1配置工程および前記第2配置工程では、測定対象の前記ヘッド群と前記重量測定装置とが対向するように前記少なくとも2つのキャリッジを配置することを特徴とする請求項2に記載の重量測定方法。
【請求項4】
前記吐出ヘッドは、複数のノズルが配列したノズル列を複数有し、
前記第1計測工程および前記第2計測工程では、前記ノズル列ごとに吐出された前記液状体の重量を計測することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の重量測定方法。
【請求項5】
前記第1計測工程および前記第2計測工程では、計測可能となる吐出数を設定して前記液滴を吐出することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の重量測定方法。
【請求項6】
前記第1計測工程および前記第2計測工程では、測定対象以外の前記吐出ヘッドからも前記液滴を吐出することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一項に記載の重量測定方法。
【請求項7】
複数のキャリッジに搭載された複数の吐出ヘッドから液状体をワークに対して吐出描画する液状体の吐出方法であって、
描画領域に配列した前記複数のキャリッジのうち少なくとも2つのキャリッジを重量測定領域に配置する第1配置工程と、
前記少なくとも2つのキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから前記液状体を液滴として吐出し、前記各吐出ヘッドごとに吐出された前記液状体の重量を計測する第1計測工程と、
前記少なくとも2つのキャリッジのうち計測が終了したキャリッジを排出して、残ったキャリッジと新たな少なくとも1つの前記キャリッジを前記重量測定領域に再配置する第2配置工程と、
再配置された少なくとも2つのキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから前記液状体を液滴として吐出し、前記各吐出ヘッドごとに吐出された前記液状体の重量を計測する第2計測工程と、
計測された前記吐出ヘッドごとの前記液状体の重量情報を基に、前記吐出ヘッドごとに吐出される前記液状体の吐出量を調整する調整工程と、
前記ワークと前記複数のキャリッジとを対向配置して相対移動させる間に、前記複数の吐出ヘッドから前記ワークの所望の領域に前記液状体を液滴として吐出描画する吐出工程と、を備えたことを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項8】
前記第1計測工程および前記第2計測工程では、前記少なくとも2つのキャリッジの配列方向と直交する方向から見て、前記少なくとも2つのキャリッジに搭載された前記複数の吐出ヘッドを前記キャリッジごとに2つのヘッド群に分け、隣り合うキャリッジの境界側に搭載された前記ヘッド群と、前記描画領域に配列した前記複数のキャリッジのうち両端側のいずれか一端のキャリッジが前記重量測定領域に配置された場合には、前記一端のキャリッジに搭載された各ヘッド群とを測定対象とすることを特徴とする請求項7に記載の液状体の吐出方法。
【請求項9】
前記重量測定領域には、前記少なくとも2つのキャリッジの前記各ヘッド群に対応した複数の重量測定装置が配列され、
前記第1配置工程および前記第2配置工程では、測定対象の前記ヘッド群と前記重量測定装置とが対向するように前記少なくとも2つの前記キャリッジを配置することを特徴とする請求項8に記載の液状体の吐出方法。
【請求項10】
前記吐出ヘッドは、複数のノズルが配列したノズル列を複数有し、
前記第1計測工程および前記第2計測工程では、前記ノズル列ごとに吐出された前記液状体の重量を計測することを特徴とする請求項7ないし9のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項11】
前記第1計測工程および前記第2計測工程では、計測可能となる吐出数を設定して前記液滴を吐出することを特徴とする請求項7ないし10のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項12】
前記第1計測工程および前記第2計測工程では、測定対象以外の前記吐出ヘッドからも前記液滴を吐出することを特徴とする請求項7ないし11のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【公開番号】特開2008−93570(P2008−93570A)
【公開日】平成20年4月24日(2008.4.24)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2006−278408(P2006−278408)
【出願日】平成18年10月12日(2006.10.12)
【出願人】(000002369)セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成20年4月24日(2008.4.24)
【国際特許分類】
【出願日】平成18年10月12日(2006.10.12)
【出願人】(000002369)セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Fターム(参考)】
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