ＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュール及びその駆動方法
【課題】本発明は、ＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュール及びその駆動方法を提供する。
【解決手段】本発明のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールは、焦点調整のために、レンズを静電気力で移動させるＭＥＭＳアクチュエータと、該ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量を測定する静電容量測定部と、該静電容量測定部で測定された静電容量の変化量でＭＥＭＳアクチュエータに異物が存在するか否かを判断し、異物が存在するとトリガー信号を出力する異物判断部と、該異物判断部から出力されたトリガー信号によってＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させるＭＥＭＳアクチュエータ駆動部と、を含むことを特徴とする。
【解決手段】本発明のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールは、焦点調整のために、レンズを静電気力で移動させるＭＥＭＳアクチュエータと、該ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量を測定する静電容量測定部と、該静電容量測定部で測定された静電容量の変化量でＭＥＭＳアクチュエータに異物が存在するか否かを判断し、異物が存在するとトリガー信号を出力する異物判断部と、該異物判断部から出力されたトリガー信号によってＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させるＭＥＭＳアクチュエータ駆動部と、を含むことを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュール及びその駆動方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
各種の携帯端末機が広く普及し、無線インターネットサービスが商用化するに伴って、携帯端末機と関連した消費者のニーズも多様化しつつあり、それに対応して種々の付加装置が携帯端末機に装着されている。
【０００３】
特に、被写体を写真や動映像として撮り、それらのイメージデータを保存した後、必要に応じて該データを編集及び転送できる代表的なものとしてカメラモジュールがある。
【０００４】
一方、カメラは、レンズと被写体との間の距離にしたがってレンズの焦点の位置が変化する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このため、カメラは、高品質な写真を撮影するために、被写体との間の距離の変化にしたがって焦点を自動で調節できる機能、すなわち、自動焦点調節（Ａｕｔｏ Ｆｏｃｕｓ：ＡＦ）機能が要求される。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、焦点調整のために、レンズを静電気力で移動させるＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）アクチュエータと、ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量を測定する静電容量測定部と、静電容量測定部で測定された静電容量の変化量により、ＭＥＭＳアクチュエータに異物が存在するか否かを判断し、異物が存在するとトリガー信号を出力する異物判断部と、異物判断部から出力されたトリガー信号によってＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させるＭＥＭＳアクチュエータ駆動部と、を含む、ＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールを提供する。
【０００７】
そして、ＭＥＭＳアクチュエータは、レンズが着座しているレンズマウンティングステージが、第１ヒンジで第１連結部に連結されており、第１連結部は、第２ヒンジで固定されている第２連結部に連結されており、第１連結部は、固定されたスプリングに連結されていることが好ましい。
【０００８】
また、ＭＥＭＳアクチュエータには、外部からの異物侵入の防止及び保護のためにハウジングが設けられていることが好ましい。
【０００９】
そして、ハウジングの内部における底面、上面及びこれら両面のうちのいずれかに、異物が付着するように接着剤が形成されていることが好ましい。
【００１０】
また、ＭＥＭＳアクチュエータは、レンズの焦点を調整するための静電気力を発生させるために、コーム（Ｃｏｍｂ）状に配列された電極を有するコーム駆動部を含むことが好ましい。
【００１１】
また、異物判断部は、ＭＥＭＳアクチュエータに印加された所定範囲の電圧に対応するヒステリシスのフォワード静電容量とバックワード静電容量との差を計算し、計算されたフォワード静電容量とバックワード静電容量との差のうちの最大値が臨界値以上である場合、ＭＥＭＳアクチュエータの内部に異物が存在すると判断することが好ましい。
【００１２】
なお、異物判断部は、ＭＥＭＳアクチュエータにＮ回印加された電圧に対応する静電容量の偏差を計算し、計算された偏差のうちの最大偏差が臨界値以上であれば、ＭＥＭＳアクチュエータの内部に異物が存在すると判断することが好ましい。
【００１３】
本発明は、ＭＥＭＳアクチュエータから静電気力でレンズの焦点を調整する時に発生した静電容量を測定する段階と、ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量にエラーが存在するか否かを判断する段階と、静電容量にエラーが存在する場合、ＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させて、ＭＥＭＳアクチュエータ内に存在する異物を除去する段階と、を含む、ＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールの駆動方法を提供する。
【００１４】
そして、ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量にエラーが存在するか否かを判断する段階は、ＭＥＭＳアクチュエータに印加された所定範囲の電圧に対応するヒステリシスのフォワード静電容量とバックワード静電容量との差を計算し、計算されたフォワード静電容量とバックワード静電容量との差のうちの最大値が臨界値以上であれば、ＭＥＭＳアクチュエータの内部に異物が存在すると判断することが好ましい。
【００１５】
また、ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量にエラーが存在するか否かを判断する段階は、ＭＥＭＳアクチュエータにＮ回印加された電圧に対応する静電容量の偏差を計算し、計算された偏差のうちの最大偏差が臨界値以上であれば、ＭＥＭＳアクチュエータの内部に異物が存在すると判断することが好ましい。
【００１６】
なお、ＭＥＭＳアクチュエータのハウジング内部における底面、上面及びこれら両面のいずれかに接着剤が形成されており、ＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させて、ＭＥＭＳアクチュエータ内に存在する異物を除去する段階は、ＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させて、ＭＥＭＳアクチュエータ内に存在する異物を接着剤に付着させて除去することが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールは、レンズを静電気力で移動させて焦点調整を行うＭＥＭＳアクチュエータの駆動時に発生する静電容量により、ＭＥＭＳアクチュエータ内に異物が存在するか否かを検出し、ＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させることで異物を効率的に除去することができる。
【００１８】
また、本発明によれば、ＭＥＭＳアクチュエータのハウジングに接着剤を形成し、ＭＥＭＳアクチュエータの反復振動駆動によって、元の位置から離脱する異物を容易に捕獲することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明によるＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールの概略的な構成ブロック図である。
【図２Ａ】本発明によって適用されたＭＥＭＳアクチュエータの一例における一部構成を説明するための概念的な構成断面図である。
【図２Ｂ】本発明によって適用されたＭＥＭＳアクチュエータの一例における一部構成を説明するための概念的な構成断面図である。
【図３】本発明によって適用されたＭＥＭＳアクチュエータの他の例における概略的な構成を説明するための上面図である。
【図４】本発明によって適用されたＭＥＭＳコームアクチュエータの動作を説明するための概念図である。
【図５】本発明によってＭＥＭＳアクチュエータ内に存在する異物を説明するための写真である。
【図６】本発明によるＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールの駆動方法を概略的に示すフローチャートである。
【図７】本発明によってＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量においてヒステリシスエラーが検出されることを説明するためのグラフである。
【図８】本発明によってＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量において反復性エラーが検出されることを説明するためのグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、添付の図面を参照しつつ、本発明の実施例について説明する。
【００２１】
図１は、本発明によるＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールの概略的な構成を示すブロック図である。
【００２２】
本発明に係るカメラモジュールは、ＭＥＭＳアクチュエータを備えており、このＭＥＭＳアクチュエータは、レンズの焦点調整のために駆動されて、レンズを上下移動させる。
【００２３】
このようなＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールは、焦点調整のために、レンズを静電気力で移動させるＭＥＭＳアクチュエータ１００と、ＭＥＭＳアクチュエータ１００から発生した静電容量を測定する静電容量測定部１１０と、静電容量測定部１１０で測定された静電容量の変化量により、ＭＥＭＳアクチュエータ１００に異物が存在するか否かを判断し、異物が存在するとトリガー信号を出力する異物判断部１２０と、異物判断部１２０から出力されたトリガー信号によってＭＥＭＳアクチュエータ１００を反復振動駆動させるＭＥＭＳアクチュエータ駆動部１３０と、を含んで構成される。
【００２４】
ここで、ＭＥＭＳアクチュエータ駆動部１３０は、ＭＥＭＳアクチュエータ１００を駆動させるための電圧を調節する駆動部と定義できるもので、電圧を調節してレンズの移動を制御する。
【００２５】
したがって、ＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールは、レンズを静電気力で移動させて焦点調整を行うＭＥＭＳアクチュエータ１００を備えており、ＭＥＭＳアクチュエータ１００の駆動によって発生した異物の存在を検知した後、ＭＥＭＳアクチュエータ１００を反復振動駆動させることで異物を除去することができる。
【００２６】
さらにいうと、ＭＥＭＳアクチュエータ１００は、静電気力でレンズを上下させながら焦点を調整する時に静電容量が発生し、このＭＥＭＳアクチュエータ１００から発生した静電容量は、静電容量測定部１１０で測定する。
【００２７】
ここで、静電容量測定部１１０には、ＭＥＭＳアクチュエータ１００がレンズを移動させる時にその静電容量が実時間でフィードバックさせることもできる。
【００２８】
その後、異物判断部１２０は、静電容量測定部１１０で測定された静電容量の変化量によって、ＭＥＭＳアクチュエータ１００に異物が存在するか否かを判断し、異物が存在するとＭＥＭＳアクチュエータ駆動部１３０にトリガー信号を出力することでＭＥＭＳアクチュエータ１００を反復振動駆動させる。
【００２９】
一方、異物は、ＭＥＭＳアクチュエータ１００内に存在して静電気力を減少させ、再現性が高い焦点調整を妨害し、結果としてカメラモジュールの特性を低下させる。
【００３０】
したがって、ＭＥＭＳアクチュエータ１００が反復振動することによって、ＭＥＭＳアクチュエータ１００の内部に存在する異物を除去することができる。
【００３１】
ここで、ＭＥＭＳアクチュエータ１００は、静電気力で直線運動できるように設計することができ、ここで、反復振動駆動は、直線往復運動と定義することができる。
【００３２】
すなわち、ＭＥＭＳアクチュエータ１００の直線運動によりレンズを移動させて焦点調整を行うことができる。
【００３３】
図２Ａ及び図２Ｂは、本発明によって適用されたＭＥＭＳアクチュエータの一例における一部構成を説明するための概念的な構成断面図である。
【００３４】
本発明によって適用されたＭＥＭＳアクチュエータは、一例として、レンズ２１０が着座しているレンズマウンティングステージ２２１が、第１ヒンジ２３１で第１連結部２２２に連結されており、第１連結部２２２は、第２ヒンジ２３２で固定されている第２連結部２２３に連結されており、第１連結部２２２は、固定されたスプリング２３５に連結されている構成を含んでなることができる。
【００３５】
ここで、第１連結部２２２が静電気力により図２Ａの左側へ移動すると、第１及び第２ヒンジ２３１，２３２及びスプリング２３５により、図２Ｂに示すように、レンズマウンティングステージ２２１を上昇させ、このレンズマウンティングステージ２２１が上昇する変位に応じてレンズ２１０も上昇して焦点調節を行うこととなる。
【００３６】
参考として、このような静電気力でレンズマウンティングステージ２２１を上昇させる構成要素である第１及び第２連結部２２２，２２３、第１及び第２ヒンジ２３１，２３２、及びスプリング２３５は、レンズマウンティングステージ２２１を中心に対称に形成されて、レンズマウンティングステージ２２１を押し上げてレンズ２１０を上昇させる。
【００３７】
このような駆動に関する動作及び構成要素の配置は、自由に設計することができるもので、本発明の図面及び説明に限定されることはない。
【００３８】
そして、ＭＥＭＳアクチュエータは、外部からの異物侵入の防止及び内部構成要素の保護のためにハウジング２５０が設けられ、このハウジングの内部には、図２Ａ及び図２Ｂに示すように、第１及び第２ヒンジ２３１，２３２、第１及び第２連結部２２２，２２３及びスプリング２３５が配置される。
【００３９】
ここで、ＭＥＭＳアクチュエータの内部に異物２８１が存在すると、ＭＥＭＳアクチュエータの誤動作につながることがある。
【００４０】
すなわち、図２Ａに示すように、第１及び第２ヒンジ２３１，２３２に異物２８１が付着している場合、第１連結部２２２が左側に移動する力及びレンズマウンティングステージ２２１を上昇させる力が静電気力と比例せず、誤動作が生じることになる。
【００４１】
したがって、本発明によって適用されたＭＥＭＳアクチュエータは、外部からの異物の侵入を防止し且つ内部構成要素を保護するために、ハウジングの内部における底面、上面、及びこれら両面のいずれかに、異物２８１が付着する接着剤２６１，２６２を形成することが好ましい。
【００４２】
ここで、接着剤２６１，２６２は、フィルムの形態とすることが好ましい。
【００４３】
このようにすると、上述の通り、ＭＥＭＳアクチュエータの反復振動駆動によって、異物２８１（図２Ａを参照）が元の位置から離脱して、図２Ｂに示すように接着剤２６１，２６２に付着して捕捉することができる。
【００４４】
したがって、本発明によると、ＭＥＭＳアクチュエータのハウジングに接着剤を形成し、ＭＥＭＳアクチュエータの反復振動駆動によって、元の位置から離脱する異物を容易に捕捉することが可能になる。
【００４５】
図３は、本発明によって適用されたＭＥＭＳアクチュエータの他の例における概略的な構成を説明するための上面図であり、図４は、本発明によって適用されたＭＥＭＳコームアクチュエータの動作を説明するための概念図である。
【００４６】
ＭＥＭＳアクチュエータは、レンズの焦点を調整するための静電気力を発生させる駆動部としてコーム（Ｃｏｍｂ）状に配列された電極を含むコーム駆動部１５０を含むことができる。
【００４７】
ここで、図３に示すように、コーム駆動部１５０は、レンズマウンティングステージ２２０の周辺に設置され、静電気力でレンズマウンティングステージ２２０を押し上げて、レンズマウンティングステージ２２０に載せられたレンズ（図示せず）を上昇させることができる。
【００４８】
ここで、コーム駆動部１５０は、図４に示すように、コーム状に配列された固定コーム電極１３１と可動コーム電極１３２とで構成され、固定コーム電極１３１と可動コーム電極１３２との間に電圧を印加すると、可動コーム電極１３２が固定コーム電極１３１の方に移動することとなる。
【００４９】
可動コーム電極１３２が移動する力でレンズを上昇させて、焦点を調整することができる。
【００５０】
例えば、固定コーム電極１３１は固定平板構造物に連結されており、可動コーム電極１３２は移動平板構造物に連結されていると、可動コーム電極１３２が移動平板構造物を移動させ、この移動平板構造物がレンズマウンティングステージを上昇または下降させることでレンズの焦点を調整することが可能になる。
【００５１】
ここで、レンズマウンティングステージの運動距離（Ｔｒａｖｅｌ）は、固定コーム電極１３１と可動コーム電極１３２との静電容量差によって駆動変位量が決定される。
【００５２】
この場合、図４に示すように、固定コーム電極１３１及び可動コーム電極１３２に異物２８１が存在すると、静電容量のばらつきによってレンズの焦点調整において信頼性が低下する。
【００５３】
したがって、可動コーム電極１３２の固定コーム電極１３１の方への移動及び最初の状態への復帰という運動を反復することで振動を発生させ、異物２８１を脱離させることができる。
【００５４】
図５は、本発明によってＭＥＭＳアクチュエータ内に存在する異物について説明するための写真である。
【００５５】
ＭＥＭＳアクチュエータは、レンズの焦点を調整するために運動をするものであるから、ＭＥＭＳアクチュエータを構成する構成要素にはクラックが生じることにより構造が破壊され、ミクロン単位の微細な異物が構成要素から落ちてしまう。
【００５６】
すなわち、図５の写真に示すように、ＭＥＭＳアクチュエータの構成要素２５０に異物２８１が多数存在するようになる。
【００５７】
特に、ＭＥＭＳアクチュエータのハウジングは、複合物質がコーティングされてなり、シリコン材質からなっているため、ＭＥＭＳアクチュエータの駆動によって微細な破壊領域が発生することがあり、この破壊領域から脱離した異物は、ＭＥＭＳアクチュエータの重要部分に落ちて、誤動作を招いてしまう。
【００５８】
図６は、本発明によるＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールの駆動方法を示す概略的なフローチャートである。
【００５９】
ＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールの駆動方法は、まず、ＭＥＭＳアクチュエータで静電気力によりレンズの焦点を調整する時に発生した静電容量を測定する（ステップＳ１００）。
【００６０】
その後、ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量にエラーが存在するか否かを判断する（ステップＳ１１０）
【００６１】
この判断の結果、静電容量にエラーがあると、ＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させて、ＭＥＭＳアクチュエータ内に存在する異物を除去する（ステップＳ１２０）。
【００６２】
図７は、本発明によってＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量においてヒステリシスエラーが検出されることを説明するためのグラフであり、図８は、本発明によってＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量において反復性エラーが検出されることを説明するためのグラフである。
【００６３】
図７及び図８は、ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量の電圧に対するグラフで、図７は、ＭＥＭＳアクチュエータに印加された所定範囲の電圧（Ｖｏｆｆｓｅｔ〜Ｖｍａｘ）に対応するヒステリシスのフォワード静電容量とバックワード静電容量との差を計算し、該計算されたフォワード静電容量とバックワード静電容量との差のうちの最大値が臨界値以上（ヒステリシスエラーの発生）の場合、ＭＥＭＳアクチュエータ内に異物が存在するものと判断する。
【００６４】
すなわち、図７を参照すると、「Ａ」領域においてフォワード静電容量ａとバックワード静電容量ｂとの差が最大となる。
【００６５】
そして、図８は、ＭＥＭＳアクチュエータに所定範囲の電圧（Ｖｏｆｆｓｅｔ〜Ｖｍａｘ）をＮ回印加し、Ｎ回印加された電圧に対応する静電容量の偏差を計算し、該計算された偏差のうちの最大偏差が臨界値以上（反復性エラーの発生）であれば、ＭＥＭＳアクチュエータ内に異物が存在するものと判断する。
【００６６】
すなわち、図８で、ピークの存在する「Ｋ」領域が、静電容量の偏差が発生した領域となる。
【００６７】
ここで、ＭＥＭＳアクチュエータに電圧を印加する回数は、少なくとも２回以上（Ｎ≧２）とすればよい。
【００６８】
したがって、図１の異物判断部で静電容量の変化量によりＭＥＭＳアクチュエータ内に異物が存在するか否かを判断すること、及び、図６の「ステップＳ１１０」でＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量にエラーが存在するか否かを判断することは、前述したように、ヒステリシスエラーの発生を判断したり、または、反復性エラーの発生を判断したりすることで、ＭＥＭＳアクチュエータの内部に異物が存在するか否かを判断することが好ましい。
【００６９】
以上、具体的な実施例を示して本発明について説明してきたが、本発明の技術思想の範囲内で様々な変形及び修正が可能であるということは、当業者にとっては明らかであり、よって、これらの変形及び修正も、添付の特許請求の範囲に含まれることは当然である。
【符号の説明】
【００７０】
１００ ＭＥＭＳアクチュエータ
１１０ 静電容量測定部
１２０ 異物判断部
１３０ ＭＥＭＳアクチュエータ駆動部
１３１ 固定コーム電極
１３２ 可動コーム電極
１５０ コーム駆動部
２１０ レンズ
２２１ レンズマウンティングステージ
２２２ 第１連結部
２３１ 第１ヒンジ
２３２ 第２ヒンジ
２３５ スプリング
２５０ ハウジング
２６１、２６２ 接着剤
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュール及びその駆動方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
各種の携帯端末機が広く普及し、無線インターネットサービスが商用化するに伴って、携帯端末機と関連した消費者のニーズも多様化しつつあり、それに対応して種々の付加装置が携帯端末機に装着されている。
【０００３】
特に、被写体を写真や動映像として撮り、それらのイメージデータを保存した後、必要に応じて該データを編集及び転送できる代表的なものとしてカメラモジュールがある。
【０００４】
一方、カメラは、レンズと被写体との間の距離にしたがってレンズの焦点の位置が変化する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このため、カメラは、高品質な写真を撮影するために、被写体との間の距離の変化にしたがって焦点を自動で調節できる機能、すなわち、自動焦点調節（Ａｕｔｏ Ｆｏｃｕｓ：ＡＦ）機能が要求される。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、焦点調整のために、レンズを静電気力で移動させるＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）アクチュエータと、ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量を測定する静電容量測定部と、静電容量測定部で測定された静電容量の変化量により、ＭＥＭＳアクチュエータに異物が存在するか否かを判断し、異物が存在するとトリガー信号を出力する異物判断部と、異物判断部から出力されたトリガー信号によってＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させるＭＥＭＳアクチュエータ駆動部と、を含む、ＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールを提供する。
【０００７】
そして、ＭＥＭＳアクチュエータは、レンズが着座しているレンズマウンティングステージが、第１ヒンジで第１連結部に連結されており、第１連結部は、第２ヒンジで固定されている第２連結部に連結されており、第１連結部は、固定されたスプリングに連結されていることが好ましい。
【０００８】
また、ＭＥＭＳアクチュエータには、外部からの異物侵入の防止及び保護のためにハウジングが設けられていることが好ましい。
【０００９】
そして、ハウジングの内部における底面、上面及びこれら両面のうちのいずれかに、異物が付着するように接着剤が形成されていることが好ましい。
【００１０】
また、ＭＥＭＳアクチュエータは、レンズの焦点を調整するための静電気力を発生させるために、コーム（Ｃｏｍｂ）状に配列された電極を有するコーム駆動部を含むことが好ましい。
【００１１】
また、異物判断部は、ＭＥＭＳアクチュエータに印加された所定範囲の電圧に対応するヒステリシスのフォワード静電容量とバックワード静電容量との差を計算し、計算されたフォワード静電容量とバックワード静電容量との差のうちの最大値が臨界値以上である場合、ＭＥＭＳアクチュエータの内部に異物が存在すると判断することが好ましい。
【００１２】
なお、異物判断部は、ＭＥＭＳアクチュエータにＮ回印加された電圧に対応する静電容量の偏差を計算し、計算された偏差のうちの最大偏差が臨界値以上であれば、ＭＥＭＳアクチュエータの内部に異物が存在すると判断することが好ましい。
【００１３】
本発明は、ＭＥＭＳアクチュエータから静電気力でレンズの焦点を調整する時に発生した静電容量を測定する段階と、ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量にエラーが存在するか否かを判断する段階と、静電容量にエラーが存在する場合、ＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させて、ＭＥＭＳアクチュエータ内に存在する異物を除去する段階と、を含む、ＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールの駆動方法を提供する。
【００１４】
そして、ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量にエラーが存在するか否かを判断する段階は、ＭＥＭＳアクチュエータに印加された所定範囲の電圧に対応するヒステリシスのフォワード静電容量とバックワード静電容量との差を計算し、計算されたフォワード静電容量とバックワード静電容量との差のうちの最大値が臨界値以上であれば、ＭＥＭＳアクチュエータの内部に異物が存在すると判断することが好ましい。
【００１５】
また、ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量にエラーが存在するか否かを判断する段階は、ＭＥＭＳアクチュエータにＮ回印加された電圧に対応する静電容量の偏差を計算し、計算された偏差のうちの最大偏差が臨界値以上であれば、ＭＥＭＳアクチュエータの内部に異物が存在すると判断することが好ましい。
【００１６】
なお、ＭＥＭＳアクチュエータのハウジング内部における底面、上面及びこれら両面のいずれかに接着剤が形成されており、ＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させて、ＭＥＭＳアクチュエータ内に存在する異物を除去する段階は、ＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させて、ＭＥＭＳアクチュエータ内に存在する異物を接着剤に付着させて除去することが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールは、レンズを静電気力で移動させて焦点調整を行うＭＥＭＳアクチュエータの駆動時に発生する静電容量により、ＭＥＭＳアクチュエータ内に異物が存在するか否かを検出し、ＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させることで異物を効率的に除去することができる。
【００１８】
また、本発明によれば、ＭＥＭＳアクチュエータのハウジングに接着剤を形成し、ＭＥＭＳアクチュエータの反復振動駆動によって、元の位置から離脱する異物を容易に捕獲することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明によるＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールの概略的な構成ブロック図である。
【図２Ａ】本発明によって適用されたＭＥＭＳアクチュエータの一例における一部構成を説明するための概念的な構成断面図である。
【図２Ｂ】本発明によって適用されたＭＥＭＳアクチュエータの一例における一部構成を説明するための概念的な構成断面図である。
【図３】本発明によって適用されたＭＥＭＳアクチュエータの他の例における概略的な構成を説明するための上面図である。
【図４】本発明によって適用されたＭＥＭＳコームアクチュエータの動作を説明するための概念図である。
【図５】本発明によってＭＥＭＳアクチュエータ内に存在する異物を説明するための写真である。
【図６】本発明によるＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールの駆動方法を概略的に示すフローチャートである。
【図７】本発明によってＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量においてヒステリシスエラーが検出されることを説明するためのグラフである。
【図８】本発明によってＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量において反復性エラーが検出されることを説明するためのグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、添付の図面を参照しつつ、本発明の実施例について説明する。
【００２１】
図１は、本発明によるＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールの概略的な構成を示すブロック図である。
【００２２】
本発明に係るカメラモジュールは、ＭＥＭＳアクチュエータを備えており、このＭＥＭＳアクチュエータは、レンズの焦点調整のために駆動されて、レンズを上下移動させる。
【００２３】
このようなＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールは、焦点調整のために、レンズを静電気力で移動させるＭＥＭＳアクチュエータ１００と、ＭＥＭＳアクチュエータ１００から発生した静電容量を測定する静電容量測定部１１０と、静電容量測定部１１０で測定された静電容量の変化量により、ＭＥＭＳアクチュエータ１００に異物が存在するか否かを判断し、異物が存在するとトリガー信号を出力する異物判断部１２０と、異物判断部１２０から出力されたトリガー信号によってＭＥＭＳアクチュエータ１００を反復振動駆動させるＭＥＭＳアクチュエータ駆動部１３０と、を含んで構成される。
【００２４】
ここで、ＭＥＭＳアクチュエータ駆動部１３０は、ＭＥＭＳアクチュエータ１００を駆動させるための電圧を調節する駆動部と定義できるもので、電圧を調節してレンズの移動を制御する。
【００２５】
したがって、ＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールは、レンズを静電気力で移動させて焦点調整を行うＭＥＭＳアクチュエータ１００を備えており、ＭＥＭＳアクチュエータ１００の駆動によって発生した異物の存在を検知した後、ＭＥＭＳアクチュエータ１００を反復振動駆動させることで異物を除去することができる。
【００２６】
さらにいうと、ＭＥＭＳアクチュエータ１００は、静電気力でレンズを上下させながら焦点を調整する時に静電容量が発生し、このＭＥＭＳアクチュエータ１００から発生した静電容量は、静電容量測定部１１０で測定する。
【００２７】
ここで、静電容量測定部１１０には、ＭＥＭＳアクチュエータ１００がレンズを移動させる時にその静電容量が実時間でフィードバックさせることもできる。
【００２８】
その後、異物判断部１２０は、静電容量測定部１１０で測定された静電容量の変化量によって、ＭＥＭＳアクチュエータ１００に異物が存在するか否かを判断し、異物が存在するとＭＥＭＳアクチュエータ駆動部１３０にトリガー信号を出力することでＭＥＭＳアクチュエータ１００を反復振動駆動させる。
【００２９】
一方、異物は、ＭＥＭＳアクチュエータ１００内に存在して静電気力を減少させ、再現性が高い焦点調整を妨害し、結果としてカメラモジュールの特性を低下させる。
【００３０】
したがって、ＭＥＭＳアクチュエータ１００が反復振動することによって、ＭＥＭＳアクチュエータ１００の内部に存在する異物を除去することができる。
【００３１】
ここで、ＭＥＭＳアクチュエータ１００は、静電気力で直線運動できるように設計することができ、ここで、反復振動駆動は、直線往復運動と定義することができる。
【００３２】
すなわち、ＭＥＭＳアクチュエータ１００の直線運動によりレンズを移動させて焦点調整を行うことができる。
【００３３】
図２Ａ及び図２Ｂは、本発明によって適用されたＭＥＭＳアクチュエータの一例における一部構成を説明するための概念的な構成断面図である。
【００３４】
本発明によって適用されたＭＥＭＳアクチュエータは、一例として、レンズ２１０が着座しているレンズマウンティングステージ２２１が、第１ヒンジ２３１で第１連結部２２２に連結されており、第１連結部２２２は、第２ヒンジ２３２で固定されている第２連結部２２３に連結されており、第１連結部２２２は、固定されたスプリング２３５に連結されている構成を含んでなることができる。
【００３５】
ここで、第１連結部２２２が静電気力により図２Ａの左側へ移動すると、第１及び第２ヒンジ２３１，２３２及びスプリング２３５により、図２Ｂに示すように、レンズマウンティングステージ２２１を上昇させ、このレンズマウンティングステージ２２１が上昇する変位に応じてレンズ２１０も上昇して焦点調節を行うこととなる。
【００３６】
参考として、このような静電気力でレンズマウンティングステージ２２１を上昇させる構成要素である第１及び第２連結部２２２，２２３、第１及び第２ヒンジ２３１，２３２、及びスプリング２３５は、レンズマウンティングステージ２２１を中心に対称に形成されて、レンズマウンティングステージ２２１を押し上げてレンズ２１０を上昇させる。
【００３７】
このような駆動に関する動作及び構成要素の配置は、自由に設計することができるもので、本発明の図面及び説明に限定されることはない。
【００３８】
そして、ＭＥＭＳアクチュエータは、外部からの異物侵入の防止及び内部構成要素の保護のためにハウジング２５０が設けられ、このハウジングの内部には、図２Ａ及び図２Ｂに示すように、第１及び第２ヒンジ２３１，２３２、第１及び第２連結部２２２，２２３及びスプリング２３５が配置される。
【００３９】
ここで、ＭＥＭＳアクチュエータの内部に異物２８１が存在すると、ＭＥＭＳアクチュエータの誤動作につながることがある。
【００４０】
すなわち、図２Ａに示すように、第１及び第２ヒンジ２３１，２３２に異物２８１が付着している場合、第１連結部２２２が左側に移動する力及びレンズマウンティングステージ２２１を上昇させる力が静電気力と比例せず、誤動作が生じることになる。
【００４１】
したがって、本発明によって適用されたＭＥＭＳアクチュエータは、外部からの異物の侵入を防止し且つ内部構成要素を保護するために、ハウジングの内部における底面、上面、及びこれら両面のいずれかに、異物２８１が付着する接着剤２６１，２６２を形成することが好ましい。
【００４２】
ここで、接着剤２６１，２６２は、フィルムの形態とすることが好ましい。
【００４３】
このようにすると、上述の通り、ＭＥＭＳアクチュエータの反復振動駆動によって、異物２８１（図２Ａを参照）が元の位置から離脱して、図２Ｂに示すように接着剤２６１，２６２に付着して捕捉することができる。
【００４４】
したがって、本発明によると、ＭＥＭＳアクチュエータのハウジングに接着剤を形成し、ＭＥＭＳアクチュエータの反復振動駆動によって、元の位置から離脱する異物を容易に捕捉することが可能になる。
【００４５】
図３は、本発明によって適用されたＭＥＭＳアクチュエータの他の例における概略的な構成を説明するための上面図であり、図４は、本発明によって適用されたＭＥＭＳコームアクチュエータの動作を説明するための概念図である。
【００４６】
ＭＥＭＳアクチュエータは、レンズの焦点を調整するための静電気力を発生させる駆動部としてコーム（Ｃｏｍｂ）状に配列された電極を含むコーム駆動部１５０を含むことができる。
【００４７】
ここで、図３に示すように、コーム駆動部１５０は、レンズマウンティングステージ２２０の周辺に設置され、静電気力でレンズマウンティングステージ２２０を押し上げて、レンズマウンティングステージ２２０に載せられたレンズ（図示せず）を上昇させることができる。
【００４８】
ここで、コーム駆動部１５０は、図４に示すように、コーム状に配列された固定コーム電極１３１と可動コーム電極１３２とで構成され、固定コーム電極１３１と可動コーム電極１３２との間に電圧を印加すると、可動コーム電極１３２が固定コーム電極１３１の方に移動することとなる。
【００４９】
可動コーム電極１３２が移動する力でレンズを上昇させて、焦点を調整することができる。
【００５０】
例えば、固定コーム電極１３１は固定平板構造物に連結されており、可動コーム電極１３２は移動平板構造物に連結されていると、可動コーム電極１３２が移動平板構造物を移動させ、この移動平板構造物がレンズマウンティングステージを上昇または下降させることでレンズの焦点を調整することが可能になる。
【００５１】
ここで、レンズマウンティングステージの運動距離（Ｔｒａｖｅｌ）は、固定コーム電極１３１と可動コーム電極１３２との静電容量差によって駆動変位量が決定される。
【００５２】
この場合、図４に示すように、固定コーム電極１３１及び可動コーム電極１３２に異物２８１が存在すると、静電容量のばらつきによってレンズの焦点調整において信頼性が低下する。
【００５３】
したがって、可動コーム電極１３２の固定コーム電極１３１の方への移動及び最初の状態への復帰という運動を反復することで振動を発生させ、異物２８１を脱離させることができる。
【００５４】
図５は、本発明によってＭＥＭＳアクチュエータ内に存在する異物について説明するための写真である。
【００５５】
ＭＥＭＳアクチュエータは、レンズの焦点を調整するために運動をするものであるから、ＭＥＭＳアクチュエータを構成する構成要素にはクラックが生じることにより構造が破壊され、ミクロン単位の微細な異物が構成要素から落ちてしまう。
【００５６】
すなわち、図５の写真に示すように、ＭＥＭＳアクチュエータの構成要素２５０に異物２８１が多数存在するようになる。
【００５７】
特に、ＭＥＭＳアクチュエータのハウジングは、複合物質がコーティングされてなり、シリコン材質からなっているため、ＭＥＭＳアクチュエータの駆動によって微細な破壊領域が発生することがあり、この破壊領域から脱離した異物は、ＭＥＭＳアクチュエータの重要部分に落ちて、誤動作を招いてしまう。
【００５８】
図６は、本発明によるＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールの駆動方法を示す概略的なフローチャートである。
【００５９】
ＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールの駆動方法は、まず、ＭＥＭＳアクチュエータで静電気力によりレンズの焦点を調整する時に発生した静電容量を測定する（ステップＳ１００）。
【００６０】
その後、ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量にエラーが存在するか否かを判断する（ステップＳ１１０）
【００６１】
この判断の結果、静電容量にエラーがあると、ＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させて、ＭＥＭＳアクチュエータ内に存在する異物を除去する（ステップＳ１２０）。
【００６２】
図７は、本発明によってＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量においてヒステリシスエラーが検出されることを説明するためのグラフであり、図８は、本発明によってＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量において反復性エラーが検出されることを説明するためのグラフである。
【００６３】
図７及び図８は、ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量の電圧に対するグラフで、図７は、ＭＥＭＳアクチュエータに印加された所定範囲の電圧（Ｖｏｆｆｓｅｔ〜Ｖｍａｘ）に対応するヒステリシスのフォワード静電容量とバックワード静電容量との差を計算し、該計算されたフォワード静電容量とバックワード静電容量との差のうちの最大値が臨界値以上（ヒステリシスエラーの発生）の場合、ＭＥＭＳアクチュエータ内に異物が存在するものと判断する。
【００６４】
すなわち、図７を参照すると、「Ａ」領域においてフォワード静電容量ａとバックワード静電容量ｂとの差が最大となる。
【００６５】
そして、図８は、ＭＥＭＳアクチュエータに所定範囲の電圧（Ｖｏｆｆｓｅｔ〜Ｖｍａｘ）をＮ回印加し、Ｎ回印加された電圧に対応する静電容量の偏差を計算し、該計算された偏差のうちの最大偏差が臨界値以上（反復性エラーの発生）であれば、ＭＥＭＳアクチュエータ内に異物が存在するものと判断する。
【００６６】
すなわち、図８で、ピークの存在する「Ｋ」領域が、静電容量の偏差が発生した領域となる。
【００６７】
ここで、ＭＥＭＳアクチュエータに電圧を印加する回数は、少なくとも２回以上（Ｎ≧２）とすればよい。
【００６８】
したがって、図１の異物判断部で静電容量の変化量によりＭＥＭＳアクチュエータ内に異物が存在するか否かを判断すること、及び、図６の「ステップＳ１１０」でＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量にエラーが存在するか否かを判断することは、前述したように、ヒステリシスエラーの発生を判断したり、または、反復性エラーの発生を判断したりすることで、ＭＥＭＳアクチュエータの内部に異物が存在するか否かを判断することが好ましい。
【００６９】
以上、具体的な実施例を示して本発明について説明してきたが、本発明の技術思想の範囲内で様々な変形及び修正が可能であるということは、当業者にとっては明らかであり、よって、これらの変形及び修正も、添付の特許請求の範囲に含まれることは当然である。
【符号の説明】
【００７０】
１００ ＭＥＭＳアクチュエータ
１１０ 静電容量測定部
１２０ 異物判断部
１３０ ＭＥＭＳアクチュエータ駆動部
１３１ 固定コーム電極
１３２ 可動コーム電極
１５０ コーム駆動部
２１０ レンズ
２２１ レンズマウンティングステージ
２２２ 第１連結部
２３１ 第１ヒンジ
２３２ 第２ヒンジ
２３５ スプリング
２５０ ハウジング
２６１、２６２ 接着剤
【特許請求の範囲】
【請求項１】
焦点調整のために、レンズを静電気力で移動させるＭＥＭＳアクチュエータと、
前記ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量を測定する静電容量測定部と、
前記静電容量測定部で測定された静電容量の変化量により、前記ＭＥＭＳアクチュエータに異物が存在するか否かを判断し、異物が存在するとトリガー信号を出力する異物判断部と、
前記異物判断部から出力された前記トリガー信号によって前記ＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させるＭＥＭＳアクチュエータ駆動部と、
を含むことを特徴とするＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュール。
【請求項２】
前記ＭＥＭＳアクチュエータは、レンズが着座しているレンズマウンティングステージが、第１ヒンジで第１連結部に連結されており、前記第１連結部は、第２ヒンジで固定されている第２連結部に連結されており、前記第１連結部は、固定されたスプリングに連結されている、請求項１に記載のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュール。
【請求項３】
前記ＭＥＭＳアクチュエータは、外部からの異物侵入の防止及び保護のためのハウジングを含む、請求項１に記載のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュール。
【請求項４】
前記ハウジングの内部における底面、上面及びこれら両面のうちのいずれかに、前記異物が付着するように接着剤が形成されている、請求項３に記載のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュール。
【請求項５】
前記ＭＥＭＳアクチュエータは、前記レンズの焦点を調整するための静電気力を発生させるために、コーム状に配列された電極を有するコーム駆動部を含む、請求項１に記載のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュール。
【請求項６】
前記異物判断部は、前記ＭＥＭＳアクチュエータに印加された所定範囲の電圧に対応するヒステリシスのフォワード静電容量とバックワード静電容量との差を計算し、前記計算されたフォワード静電容量とバックワード静電容量との差のうちの最大値が臨界値以上である場合、前記ＭＥＭＳアクチュエータの内部に異物が存在すると判断する、請求項１に記載のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュール。
【請求項７】
前記異物判断部は、前記ＭＥＭＳアクチュエータにＮ回印加された電圧に対応する静電容量の偏差を計算し、前記計算された偏差のうちの最大偏差が臨界値以上であれば、前記ＭＥＭＳアクチュエータの内部に異物が存在すると判断する、請求項１に記載のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュール。
【請求項８】
ＭＥＭＳアクチュエータで静電気力によりレンズの焦点を調整する時に発生した静電容量を測定する段階と、
前記ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量にエラーが存在するか否かを判断する段階と、
前記静電容量にエラーが存在する場合、前記ＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させて、前記ＭＥＭＳアクチュエータ内に存在する異物を除去する段階と、
を含むことを特徴とするＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールの駆動方法。
【請求項９】
前記ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量にエラーが存在するか否かを判断する段階は、前記ＭＥＭＳアクチュエータに印加された所定範囲の電圧に対応するヒステリシスのフォワード静電容量とバックワード静電容量との差を計算し、前記計算されたフォワード静電容量とバックワード静電容量との差のうちの最大値が臨界値以上であれば、前記ＭＥＭＳアクチュエータの内部に異物が存在すると判断する、請求項８に記載のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールの駆動方法。
【請求項１０】
前記ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量にエラーが存在するか否かを判断する段階は、前記ＭＥＭＳアクチュエータにＮ回印加された電圧に対応する静電容量の偏差を計算し、前記計算された偏差のうちの最大偏差が臨界値以上であれば、前記ＭＥＭＳアクチュエータの内部に異物が存在すると判断する、請求項８に記載のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールの駆動方法。
【請求項１１】
前記ＭＥＭＳアクチュエータのハウジング内部における底面、上面及びこれら両面のいずれかに接着剤が形成されており、
前記ＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させて、前記ＭＥＭＳアクチュエータ内に存在する異物を除去する段階は、前記ＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させて、前記ＭＥＭＳアクチュエータ内に存在する異物を前記接着剤に付着させて除去する、請求項８に記載のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールの駆動方法。
【請求項１】
焦点調整のために、レンズを静電気力で移動させるＭＥＭＳアクチュエータと、
前記ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量を測定する静電容量測定部と、
前記静電容量測定部で測定された静電容量の変化量により、前記ＭＥＭＳアクチュエータに異物が存在するか否かを判断し、異物が存在するとトリガー信号を出力する異物判断部と、
前記異物判断部から出力された前記トリガー信号によって前記ＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させるＭＥＭＳアクチュエータ駆動部と、
を含むことを特徴とするＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュール。
【請求項２】
前記ＭＥＭＳアクチュエータは、レンズが着座しているレンズマウンティングステージが、第１ヒンジで第１連結部に連結されており、前記第１連結部は、第２ヒンジで固定されている第２連結部に連結されており、前記第１連結部は、固定されたスプリングに連結されている、請求項１に記載のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュール。
【請求項３】
前記ＭＥＭＳアクチュエータは、外部からの異物侵入の防止及び保護のためのハウジングを含む、請求項１に記載のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュール。
【請求項４】
前記ハウジングの内部における底面、上面及びこれら両面のうちのいずれかに、前記異物が付着するように接着剤が形成されている、請求項３に記載のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュール。
【請求項５】
前記ＭＥＭＳアクチュエータは、前記レンズの焦点を調整するための静電気力を発生させるために、コーム状に配列された電極を有するコーム駆動部を含む、請求項１に記載のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュール。
【請求項６】
前記異物判断部は、前記ＭＥＭＳアクチュエータに印加された所定範囲の電圧に対応するヒステリシスのフォワード静電容量とバックワード静電容量との差を計算し、前記計算されたフォワード静電容量とバックワード静電容量との差のうちの最大値が臨界値以上である場合、前記ＭＥＭＳアクチュエータの内部に異物が存在すると判断する、請求項１に記載のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュール。
【請求項７】
前記異物判断部は、前記ＭＥＭＳアクチュエータにＮ回印加された電圧に対応する静電容量の偏差を計算し、前記計算された偏差のうちの最大偏差が臨界値以上であれば、前記ＭＥＭＳアクチュエータの内部に異物が存在すると判断する、請求項１に記載のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュール。
【請求項８】
ＭＥＭＳアクチュエータで静電気力によりレンズの焦点を調整する時に発生した静電容量を測定する段階と、
前記ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量にエラーが存在するか否かを判断する段階と、
前記静電容量にエラーが存在する場合、前記ＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させて、前記ＭＥＭＳアクチュエータ内に存在する異物を除去する段階と、
を含むことを特徴とするＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールの駆動方法。
【請求項９】
前記ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量にエラーが存在するか否かを判断する段階は、前記ＭＥＭＳアクチュエータに印加された所定範囲の電圧に対応するヒステリシスのフォワード静電容量とバックワード静電容量との差を計算し、前記計算されたフォワード静電容量とバックワード静電容量との差のうちの最大値が臨界値以上であれば、前記ＭＥＭＳアクチュエータの内部に異物が存在すると判断する、請求項８に記載のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールの駆動方法。
【請求項１０】
前記ＭＥＭＳアクチュエータから発生した静電容量にエラーが存在するか否かを判断する段階は、前記ＭＥＭＳアクチュエータにＮ回印加された電圧に対応する静電容量の偏差を計算し、前記計算された偏差のうちの最大偏差が臨界値以上であれば、前記ＭＥＭＳアクチュエータの内部に異物が存在すると判断する、請求項８に記載のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールの駆動方法。
【請求項１１】
前記ＭＥＭＳアクチュエータのハウジング内部における底面、上面及びこれら両面のいずれかに接着剤が形成されており、
前記ＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させて、前記ＭＥＭＳアクチュエータ内に存在する異物を除去する段階は、前記ＭＥＭＳアクチュエータを反復振動駆動させて、前記ＭＥＭＳアクチュエータ内に存在する異物を前記接着剤に付着させて除去する、請求項８に記載のＭＥＭＳアクチュエータ付きカメラモジュールの駆動方法。
【図１】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図３】
【図４】
【図６】
【図７】
【図８】
【図５】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図３】
【図４】
【図６】
【図７】
【図８】
【図５】
【公開番号】特開２０１２−８５６９（Ｐ２０１２−８５６９Ａ）
【公開日】平成２４年１月１２日（２０１２．１．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１３９７６０（Ｐ２０１１−１３９７６０）
【出願日】平成２３年６月２３日（２０１１．６．２３）
【出願人】（５０８３７５９９６）エルジー イノテック カンパニー，リミティド (38)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１月１２日（２０１２．１．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年６月２３日（２０１１．６．２３）
【出願人】（５０８３７５９９６）エルジー イノテック カンパニー，リミティド (38)
【Ｆターム（参考）】
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