Ｘ，Ｙ高速駆動ミラーユニット。
【課題】
従来のレーザー光線反射鏡はポリゴンミラー、ガルバノメータ、静電駆動ミラー等があり、近年ではディスクリート、コイル、磁石、ジンバルを用いた駆動ミラーと、発展して来たが、駆動力、生産性（歩留り）、耐久性、振動特性に問題があった。
これは、ピポット／スクリューを一括してゴム系ポッテングをしてしまった為の影響であり同時に駆動力が弱いのもヨークを採用しない為であった。
【解決手段】その方策としてヨークを確実に４個取り付ける構造と、ピボット、ゴム板、ピボットスクリュウを別々に設けスクリュウネジを回す構造にした事により、駆動力の向上と、振動特性の向上が計られた。と共に回転角を制御する事により耐久性、生産性が向上した。
従来のレーザー光線反射鏡はポリゴンミラー、ガルバノメータ、静電駆動ミラー等があり、近年ではディスクリート、コイル、磁石、ジンバルを用いた駆動ミラーと、発展して来たが、駆動力、生産性（歩留り）、耐久性、振動特性に問題があった。
これは、ピポット／スクリューを一括してゴム系ポッテングをしてしまった為の影響であり同時に駆動力が弱いのもヨークを採用しない為であった。
【解決手段】その方策としてヨークを確実に４個取り付ける構造と、ピボット、ゴム板、ピボットスクリュウを別々に設けスクリュウネジを回す構造にした事により、駆動力の向上と、振動特性の向上が計られた。と共に回転角を制御する事により耐久性、生産性が向上した。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は入射レーザ光線を高速で反射しＸ，Ｙ面内の任意の方向に送光する事が出来る小型軽量なアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のレーザ光線反射鏡はポリゴンミラー、ガルバノメータ等で行われ、近年はＭＥＭＳ技術が発達しシリコン基板のエッチングによりＸ，Ｙジンバルを用いた静電駆動型駆動ミラーも出現している。
さらには、デスクリートなコイル、磁石、ジンバルを用いた駆動ミラー（特許文献参照）等も実用化されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】▲１▼特願２００４−０５６７６９「光検出装置及びこれを用いた光検出システム」独立行政法人 情報通信研究機構
【特許文献２】▲２▼特願２００４−２７７０２７「空間光通信装置」独立行政法人 情報通信研究機構
【参考文献１】
独立行政法人 情報通信研究機構 整理番号０６−０４
「空間光通信送受信用モジュール追尾制御に関するノウハウ」
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、既存の駆動ミラーには、周波数特性は良いが、駆動電力が大きい割には駆動制動力が弱い。過大電力を入れると機構的に損傷する。
製造段階で性能が決定してしまう為、完成してから性能を検証しても修理が出来ない構造である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
そこで、この発明は、これらの欠点を解決しようとする物で、駆動制動力を強く、性能の修正や、損傷が無い構造を実現する事を目的としている。
【０００６】
上記目的を達成する為に、磁気回路の強化、支持部のアジャスト化、回転モーメントのバランス化、回転範囲の制限化を行なった物である。
【発明を実施する為の形態】
【０００７】
磁気回路の強化には、磁石とヨークを組み合わせた磁気回路を４個作成し、Ｘ方向、Ｙ方向駆動別に２個づつ設け、コイル電流による起動力を高める構造とした。
【０００８】
従来の支持部はピポットと支持部をシリコンゴムでポッテングした状態で駆動している。この状態ではシリコンゴムの量、硬さ、形状により振動特性が異なってくる。これを解決する為にシリコンゴムとピボット、スクリュウネジにより挟み込み、そのネジを回す事により振動特性を変更できる構造を取る。
【０００９】
反射面と非反射面とを完全点対称とする事により、地球重力の影響を除き設置方向に無関係な構造とした。
【００１０】
従来の構造は、反射板が回転しようとした時、反射板にストッパーが無い為コイルがぶつかるまで回転しコイル損傷、ポッテング損傷し正常な動作が得られなくなっているが、本提案の回転体制限をつける事で良好な動作状態を維持できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、Ｘ，Ｙ高速駆動ミラーユニットのＸ断面図である。
【図２】図２は、Ｘ，Ｙ高速駆動ミラーユニットのＸ通電図である。
【図３】図３は、Ｘ，Ｙ高速駆動ミラーユニットのＹ断面図である。
【図４】図４は、Ｘ，Ｙ高速駆動ミラーユニットのＹ通電図である。
【図５】図５は、Ｘ，Ｙ高速駆動ミラーユニットのＸ、Ｙ断面図である。
【図６】図６は、Ｘ，Ｙ高速駆動ミラーユニットのゴム板の取付時の参考寸法図である。
【符号の説明】
１・・・・・反射板（５×５ｍ／ｍ）□
２・・・・・ゴム板ストッパー
３・・・・・ゴム押板
４・・・・・Ｘコイル
５・・・・・Ｘコイルヨーク（２個）
６・・・・・Ｘコイル用磁石（２個）
７・・・・・コイル受け基板併用ピボット板
８・・・・・ピボットスクリュウネジ
９・・・・・Ｘ、Ｙジンバル併用通電電極
【技術分野】
【０００１】
本発明は入射レーザ光線を高速で反射しＸ，Ｙ面内の任意の方向に送光する事が出来る小型軽量なアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のレーザ光線反射鏡はポリゴンミラー、ガルバノメータ等で行われ、近年はＭＥＭＳ技術が発達しシリコン基板のエッチングによりＸ，Ｙジンバルを用いた静電駆動型駆動ミラーも出現している。
さらには、デスクリートなコイル、磁石、ジンバルを用いた駆動ミラー（特許文献参照）等も実用化されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】▲１▼特願２００４−０５６７６９「光検出装置及びこれを用いた光検出システム」独立行政法人 情報通信研究機構
【特許文献２】▲２▼特願２００４−２７７０２７「空間光通信装置」独立行政法人 情報通信研究機構
【参考文献１】
独立行政法人 情報通信研究機構 整理番号０６−０４
「空間光通信送受信用モジュール追尾制御に関するノウハウ」
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、既存の駆動ミラーには、周波数特性は良いが、駆動電力が大きい割には駆動制動力が弱い。過大電力を入れると機構的に損傷する。
製造段階で性能が決定してしまう為、完成してから性能を検証しても修理が出来ない構造である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
そこで、この発明は、これらの欠点を解決しようとする物で、駆動制動力を強く、性能の修正や、損傷が無い構造を実現する事を目的としている。
【０００６】
上記目的を達成する為に、磁気回路の強化、支持部のアジャスト化、回転モーメントのバランス化、回転範囲の制限化を行なった物である。
【発明を実施する為の形態】
【０００７】
磁気回路の強化には、磁石とヨークを組み合わせた磁気回路を４個作成し、Ｘ方向、Ｙ方向駆動別に２個づつ設け、コイル電流による起動力を高める構造とした。
【０００８】
従来の支持部はピポットと支持部をシリコンゴムでポッテングした状態で駆動している。この状態ではシリコンゴムの量、硬さ、形状により振動特性が異なってくる。これを解決する為にシリコンゴムとピボット、スクリュウネジにより挟み込み、そのネジを回す事により振動特性を変更できる構造を取る。
【０００９】
反射面と非反射面とを完全点対称とする事により、地球重力の影響を除き設置方向に無関係な構造とした。
【００１０】
従来の構造は、反射板が回転しようとした時、反射板にストッパーが無い為コイルがぶつかるまで回転しコイル損傷、ポッテング損傷し正常な動作が得られなくなっているが、本提案の回転体制限をつける事で良好な動作状態を維持できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、Ｘ，Ｙ高速駆動ミラーユニットのＸ断面図である。
【図２】図２は、Ｘ，Ｙ高速駆動ミラーユニットのＸ通電図である。
【図３】図３は、Ｘ，Ｙ高速駆動ミラーユニットのＹ断面図である。
【図４】図４は、Ｘ，Ｙ高速駆動ミラーユニットのＹ通電図である。
【図５】図５は、Ｘ，Ｙ高速駆動ミラーユニットのＸ、Ｙ断面図である。
【図６】図６は、Ｘ，Ｙ高速駆動ミラーユニットのゴム板の取付時の参考寸法図である。
【符号の説明】
１・・・・・反射板（５×５ｍ／ｍ）□
２・・・・・ゴム板ストッパー
３・・・・・ゴム押板
４・・・・・Ｘコイル
５・・・・・Ｘコイルヨーク（２個）
６・・・・・Ｘコイル用磁石（２個）
７・・・・・コイル受け基板併用ピボット板
８・・・・・ピボットスクリュウネジ
９・・・・・Ｘ、Ｙジンバル併用通電電極
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ゴム板ストッパーをゴム押板により押し付ける構造をとる事により簡単に位置調整が行え、微調整にも耐えうる構造。
【請求項２】
ヨークを４個取り付ける事により駆動力の向上が計られる構造。
【請求項３】
ピボット、ゴム板、ピボットスクリュウを別々に設け、スクリュウネジを回す事により振動特性の向上が計られる構造。
【請求項４】
回転角を制御する事により、耐久性、生産性が計れる構造。
【請求項１】
ゴム板ストッパーをゴム押板により押し付ける構造をとる事により簡単に位置調整が行え、微調整にも耐えうる構造。
【請求項２】
ヨークを４個取り付ける事により駆動力の向上が計られる構造。
【請求項３】
ピボット、ゴム板、ピボットスクリュウを別々に設け、スクリュウネジを回す事により振動特性の向上が計られる構造。
【請求項４】
回転角を制御する事により、耐久性、生産性が計れる構造。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２０１１−１７０３０４（Ｐ２０１１−１７０３０４Ａ）
【公開日】平成２３年９月１日（２０１１．９．１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−５２３３３（Ｐ２０１０−５２３３３）
【出願日】平成２２年２月１９日（２０１０．２．１９）
【出願人】（５９１０５１９００）システム技研株式会社 (13)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年９月１日（２０１１．９．１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年２月１９日（２０１０．２．１９）
【出願人】（５９１０５１９００）システム技研株式会社 (13)
【Ｆターム（参考）】
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