【課題】吸着面となる静電チャックの表面に水分や有機物などの汚染物質が付着しても、所望の吸着力を発現することが可能な双極型静電チャックを提供する。
【解決手段】 基台４と、この基台４の上面に形成された一対の正負の電極２ａ、２ｂと、この電極２ａ、２ｂを被覆するように該基台４の上に形成された絶縁層３と、を具備してなる双極型静電チャック１において、該絶縁層表面からの深さが、該一対の正負の電極２ａ、２ｂが位置する深さよりも大きい溝部６を、該一対の正負の電極２ａ、２ｂの間が分断されるように形成する。 （もっと読む）

【課題】溶融した溶湯の流動性を向上させることの出来る鋳造用金属マトリックス複合体の製造方法を提供する。
【解決手段】ＳｉＣ粉末と該ＳｉＣ粉末に隣接したＡｌ合金を、完全浸透するより過剰量を用意し、プロセスの少なくともある時点で雰囲気をＮ_２とし、浸透増進剤を用意し、該Ａｌ合金の融点より高い温度でＳｉＣ粉末に該Ａｌ合金を自発的に浸透させて、浸透物を生成し、該浸透物及びＡｌ合金の液化温度より高い温度を保持して溶融懸濁物を形成し、該浸透物及びＡｌ合金に対して、追加のAl合金を添加することなく、該溶融懸濁物を混合して分散させ、型であってその内部に有形のキャビティを有するものを用意し、該溶融懸濁物を該の型内の有形キャビティ中に注入しそして該懸濁物を冷却して有形の金属マトリックス複合体を形成することを含んでなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 簡便かつ静電チャック用部材を汚染することのない方法で、表面抵抗を調整した静電チャック用部材およびその表面抵抗の調整方法を提供する。
【解決手段】 基台と、この基台の上面に形成された電極層と、この電極層を被覆するように前記基台の上に形成された上部絶縁層とを具備してなる静電チャック用部材であって、前記基台と上部絶縁層とがＡｌＮ、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｓｉ₃Ｎ₄から選ばれる一種の材料を主成分とする同種のセラミック材料によりなり、かつ、前記上部絶縁層の被吸着物との接触面の常温での表面抵抗が、予め１．０×１０¹⁴〜１．５×１０¹⁶Ω/□となるように出荷前に調整されていることを特徴とする静電チャック用部材。 （もっと読む）

【課題】 簡便かつ部材を汚染することのない方法で、表面の濡れ性を制御したセラミックス部材およびその製造方法を提供することにある。
【解決手段】 ＡｌＮ、Ａｌ₂Ｏ₃、ＳｉＣ、Ｓｉ₃Ｎ₄から選ばれる一種の材料を主成分として９５重量％以上含むセラミック部材の表面粗さＲａを０．５μｍ以下に研磨する工程と、該セラミック部材を４００〜９００℃で加熱処理する工程と、該セラミック部材をアルコール中に浸漬する工程と、該セラミック部材を１００℃以上で乾燥する工程と、を含む製造方法により、該セラミック部材表面の水滴との接触角が６０°〜１２０°であるセラミック部材を得る。 （もっと読む）

【課題】１×１０^-2Ｔｏｒｒ以下の圧力下、１００℃以上の温度で、シリコンウエハを静電力によって吸着する静電チャックにおいて、被吸着物であるＳｉウエハの均一加熱性を高めることができる静電チャックを提供する。
【解決手段】１×１０^-2Ｔｏｒｒ以下の圧力下、１００℃以上の温度で、シリコンウエハを静電力によって吸着する静電チャックであって、前記静電チャックが、セラミックスからなる盤状の基板と、この基板上に設けられた前記基板と同種のセラミックスからなる絶縁性誘電層１と、前記基板と前記絶縁性誘電層１との間に埋設されている電極とを備えており、かつ、前記絶縁性誘電層１の表面には複数の凹凸部が形成されており、前記凹部３の底部平面の表面粗さＲａが０．５μｍ以上であることを特徴とする静電チャック。 （もっと読む）

【課題】鋼材と重量コンクリートとを用いた耐火性に優れた複合耐火構造体を提供する。
【解決手段】密度３.０以上、好ましくは３.５以上の重量コンクリートを鋼材に密接させて一体化したことを特徴とする鋼重量コンクリート複合耐火構造体であり、例えば構造用鋼材あるいは鋳鉄等の構造用鉄材等の閉空間または一部が開口した空間、あるいは鋼材裏面に密度３.０以上、好ましくは３.５以上の重量コンクリートを密接一体化した鋼重量コンクリート複合耐火構造体。 （もっと読む）

【課題】厚さを大きくしてもひび割れが生じず、平滑な表面を有する定盤、床材等として使用しうるセメント質硬化体の製造方法を提供する。
【解決手段】セメント質硬化体の製造方法は、（Ａ）セメント、水及び他の材料を混練して、セメント組成物を調製する工程と、（Ｂ）型枠１内の底面上に、表面が平滑なシート２を敷設した後、型枠１内にセメント組成物４を供給して、厚さ２０ｃｍ以上の未硬化の成形体５を形成する工程と、（Ｃ）成形体５の内部の最大温度と最小温度の差、または成形体５の内部の最大温度と成形体５の表面の温度の差が、１５℃以下に保たれるように、成形体５の周囲の温度を調整しつつ、成形体５を養生し硬化させて、定盤等として使用しうるセメント質硬化体６を得る工程を含む。 （もっと読む）

【課題】発電効率が高く、操作性が良好な発電装置を提供する。
【解決手段】複数の略同一寸法の矩形状又は扇形状の圧電素子を、前記矩形状圧電素子の長尺方向又は前記扇形状圧電素子の半径方向が、想定したひとつの円の半径方向となるように配置した圧電装置であって、前記圧電素子の円中心部に近い端部を統合して支持する支持部と、隣接する前記圧電素子の円周部の他端の間隔を窄めて、前記円の同一側に屈曲させるように、前記圧電素子の前記他端を屈曲自在に固定する他の支持部と、を含み、前記ひとつの支持部を前記円に垂直な方向に往復運動をさせることにより、前記圧電素子を屈曲および反転を繰り返して発電することを特徴とする発電装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】風力を用いて振動体を振動させ、これにより屈曲型の圧電素子をその破壊を抑制しながら振動させて発電させることができる風力発電装置を提供する。
【解決手段】風力発電装置１０は、平坦なテープ状をなし、その長手方向に所定の張力が掛かるように長手方向端が保持される振動体１１と、振動体１１の長手方向端の少なくとも一方に設けられた、矩形板状の圧電素子１２を有する。振動体１１がその主面と平行な方向に吹く風によって弧状振動し、その振動により圧電素子１２を屈曲させて電気エネルギーを取り出す。 （もっと読む）

【課題】複雑形状の内部電極構造であっても作製が容易にでき、かつ基台の変形の少ない、優れた耐電圧特性を発揮する静電チャック提供する。
【解決手段】基台１と、この基台１の上面に形成された電極層２と、この電極層２を被覆するように前記基台１の上に、溶射により形成された上部絶縁層３とを具備してなる静電チャックであって、前記基台１のヤング率が６０ＧＰa以上のセラミックスから構成されてなり、かつ、前記電極層２がメッキ処理により形成されてなる。また、前記基台１と前記上部絶縁層３を構成する材料の２０〜３０℃における各々の平均の熱膨張係数の値の差が２×１０^-6／℃以下であり、かつ、前記基台１の厚みが２〜１０ｍｍ、前記上部絶縁層３の厚みが０．１５〜１．００ｍｍである。 （もっと読む）