【課題】処理液の滞留時間を変更することなく、フロック化槽内に一定量の微小生物を含む活性汚泥を安定的に保持し、かつ、余剰汚泥の発生量を充分に減量させることができる有機性廃水の生物処理方法および装置を提供する。
【解決手段】高負荷で運転される高負荷処理槽２０と、高負荷処理槽２０の後段に設けられ低負荷で運転されるフロック化槽２２とを備え、多段式活性汚泥法による有機性廃水の生物処理方法であって、フロック化槽２２に保持される活性汚泥の現存量を維持できる有機物量を考慮して、高負荷処理槽２０で分解すべき有機物量を求める。高負荷処理槽２０に流入する液体は、高負荷処理槽２０で分解すべきＣＯＤｃｒ成分量の４〜６質量％とする。 （もっと読む）

【課題】 硫酸を用いた洗浄システムにおいて、高度に清浄な表面が要求されるシリコンウエハ、液晶用ガラス基板、フォトマスク基板などの電子材料基板を効率的かつ確実に洗浄する。
【解決手段】 被洗浄材（半導体基板３０）を収容して、加熱された硫酸溶液４を前記被洗浄材に接触させて洗浄を行う加圧容器１を備える。好適には前記加圧容器１で被洗浄材から剥離して硫酸溶液４に移行した汚染物を分解する汚染物分解手段（ＳＰＭ分解槽１５）を備える。加熱された硫酸溶液を加圧雰囲気下で被洗浄材に接触させることで被洗浄材に付着した主には有機物を確実に剥離除去でき、被洗浄材から剥離して硫酸溶液に移行した汚染物を別工程で確実に分解できる。 （もっと読む）

【課題】全固形物濃度が高く、Ｃ／Ｎ比が低い有機性廃棄物を乾式メタン発酵する際のアンモニア阻害を防止する。
【解決手段】有機性廃棄物を通気ファン２２等の酸素含有ガス供給手段を備える好気発酵槽２１に導入し、有機性廃棄物の一部を好気発酵させた後、メタン発酵槽２５で嫌気的にメタン発酵させる。好気発酵槽２１では、分解可能な有機性廃棄物の全部を好気分解させることなく、例えば有機性廃棄物の１０〜３０質量％（乾重）程度の有機物が好気分解された時点で好気発酵中間物を槽外に取り出し、メタン発酵槽２５に送る。 （もっと読む）

【課題】硫酸を用いた洗浄システムにおいて、高度に清浄な表面が要求されるシリコンウエハ、液晶用ガラス基板、フォトマスク基板などの電子材料基板を効率的かつ確実に洗浄する。
【解決手段】被洗浄材（半導体基板３０）を収容して、加熱された硫酸溶液４で前記被洗浄材の洗浄を行う洗浄装置（洗浄槽１０）を備える。好適には前記洗浄槽１で被洗浄材から剥離した汚染物を含む硫酸溶液４をそのまま又は分解槽２０に送液して過酸化水素水供給装置（過酸化水素水供給管３または２２）によって過酸化水素水を添加する。加熱硫酸溶液で被洗浄材を洗浄することで被洗浄材に付着した主には有機物を確実に剥離除去でき、被洗浄材から剥離して硫酸溶液に移行した汚染物は過酸化水素水の添加によって確実に分解できる。 （もっと読む）

【課題】容器内にイオン交換樹脂が充填された水処理装置において、容器流入水の偏流や壁流の発生を防止して、容器内のイオン交換樹脂のイオン交換容量を無駄なく有効に利用して容器充填量に見合うイオン交換容量を得、水処理装置のイオン交換樹脂の交換頻度を低減する。
【解決手段】容器１１内部に水の短絡流防止用の流路板１２を設ける。一端側に流入口１１ａが設けられ、他端側に流出口１１ｂが設けられた筒状の容器１に、容器１内部の流路断面積が該容器の流れ方向断面積の１／２〜１／１００となるように前記流路板１２を設ける。 （もっと読む）

【課題】処理工程の簡素化を図り、かつ、汚泥の発生量を低減して高い水質の処理水が得られるリンを含むフッ素含有水の処理方法および装置を提供すること。
【解決手段】鉄化合物等のように、フッ素と実質的に反応せず、リンと反応する選択的リン不溶化剤を用いてリンを不溶化させ、得られた汚泥を返送して改質する。具体的には、リン酸を含むフッ素含有水をリン不溶化槽２１に導入し、鉄等と反応させてリン酸鉄を生成させて不溶化し、フッ素不溶化槽２２でカルシウム化合物によりフッ素をフッ化カルシウムとして不溶化させる。固液分離槽２４でリン酸鉄およびフッ化カルシウムを含む汚泥を液分と分離し、得られた生成汚泥の一部を化学反応槽２５に返送する。化学反応槽２５ではｐＨ６．５以下で選択的リン不溶化剤を添加して、返送された汚泥を改質してリン不溶化槽２１に送る。 （もっと読む）

【課題】非イオン性界面活性剤含有水中の相当部分の非イオン性界面活性剤を吸着により除去し、残余の非イオン性界面活性剤を酸化処理により除去することができる効率的かつ経済的な非イオン性界面活性剤含有水の処理方法及び処理装置を提供する。
【解決手段】非イオン性界面活性剤含有水を、イオン交換体に空間速度（ＳＶ）２０ｈ^-1以下で接触させることを特徴とする非イオン性界面活性剤含有水の処理方法、及び、イオン交換体が充填された吸着手段と、酸化手段と、活性炭吸着手段と、イオン交換手段とを順次備えてなることを特徴とする非イオン性界面活性剤含有水の処理装置。 （もっと読む）

【課題】被処理液の滞留時間を変更することなく、難分解性有機物の分解率を高めることができる有機性廃水の生物処理方法および装置を提供する。
【解決手段】高い有機物負荷で分散性の細菌を主として増殖させる高負荷処理槽２０と、高負荷処理槽２０後段に設けられ低負荷で汚泥をフロック化させるフロック化槽２２とを備え、多段式活性汚泥法による有機性廃水の生物処理方法であって、高負荷処理槽２０に流入する液体のＣＯＤｃｒ成分に対する窒素濃度の比率を４質量％とする。 （もっと読む）

【課題】 硫酸を用いた洗浄システムにおいて、高度に清浄な表面が要求されるシリコンウエハ、液晶用ガラス基板、フォトマスク基板などの電子材料基板を効率的かつ確実に洗浄する。
【解決手段】 硫酸溶液３を洗浄液として被洗浄材（半導体基板３０）を洗浄する洗浄部（洗浄槽１）と、該洗浄部で洗浄に供した洗浄液を貯留する貯留部（貯留槽１０）と、電解反応により溶液に含まれる硫酸イオンから過硫酸イオンを生成して過硫酸溶液を製造する電解反応装置（電解反応槽２０、直流電源２２）と、貯留部と電解反応装置との間で溶液を循環させる循環ライン（送り管１４ａ、戻り管１４ｂ）を備える。好適には洗浄部において硫酸濃度８Ｍ〜１８Ｍ、温度１３０〜２００℃の濃硫酸溶液とし、貯留部において温度８０〜１３０℃未満の溶液とする。 （もっと読む）

【課題】全固形物濃度が高く、Ｃ／Ｎ比が低い有機性廃棄物を乾式メタン発酵する際のアンモニア阻害を防止する。
【解決手段】乾式メタン発酵を行う発酵槽２５への有機性廃棄物の供給速度を低くする。具体的には、有機性廃棄物中の有機物が最大分解速度の９０％以下の分解速度で分解されるように該有機性廃棄物を発酵槽２５に供給する。特に、有機性廃棄物の供給速度は、発酵槽２５から取り出される発酵残渣のｐＨが８〜９となるように調整することが好ましい。また、有機性廃棄物と乾式メタン汚泥との混合物のアンモニア態窒素１質量部に対して、リンが１質量部１以上、マグネシウムが０．８質量部以上となるよう、必要に応じてマグネシウム塩等を添加する。 （もっと読む）