【課題】コイルの数が多くなっても、アンプへ過度の負荷をかけることなく、十分な推力を得ることのできるリニアモータを提供する。
【解決手段】ケース１０にまとめて収容されその移動方向に並設された複数のコイル６を、ケース１０内でユニットごとに分割し、コイルユニット７ａ，７ｂを励磁するためのアンプ１１ａ，１１ｂを、それぞれのユニットに対応して各々設ける。これによって、各アンプ１１ａ，１１ｂに対する負荷を低減し、コイル６の数が増えた場合であっても、アンプへ過度の負荷をかけることなく、十分な推力を得る。また、アンプを複数用いているため、リニアモータ全体として流すことのできる電流を大きくし、更に大きな推力を得る。 （もっと読む）

【課題】冷却媒体の圧力による変形を抑制しつつ、外壁の薄型化が可能となり磁場効率を向上させ、高推力を得ることができるリニアモータの冷却構造を提供する。
【解決手段】コイル１１の側面に対応する位置において、固定部材１４を内壁１３に固定すると共に、外壁７に固定する。このように、外壁７を、固定部材１４によって内壁１３に固定することによって、外壁７と内壁１３との間の隙間８を流れる冷却媒体の圧力に対する外壁７の変形が大きい位置の強度を向上させる。これによって、外壁７の薄型化を図った場合に、冷却媒体の圧力による外壁７の変形を抑制する。 （もっと読む）

【課題】電子部品の動作に伴い電子部品に発生する熱を効率よく放散させることが可能な電子部品の放熱構造を提供する。
【解決手段】電子部品１０の放熱構造は、回路基板１２、フレーム１４、シールド２０、ボルト２２及び接着剤２４によって構成されている。フレーム１４、シールド２０、ボルト２２及び接着剤２４は、回路基板１２よりも熱伝導率が高くなっている。フレーム１４は回路基板１２を支持している。シールド２０の第１部分２０ａは、電子部品１０の面Ｓを覆っており、放射線遮蔽効果を有している。接着剤２４は、電子部品１０の面Ｓとシールド２０の第１部分２０ａとを接続している。ボルト２２は、フレーム１４とシールド２０とを熱的に接続している。 （もっと読む）

【課題】冷媒ガスの熱損失が生じにくく、良好な冷凍能力を有するパルスチューブ冷凍機を提供することを目的とする。
【解決手段】冷媒ガスを高圧にして送出し、低圧の冷媒ガスを吸引する圧縮機と、内部に蓄冷材を充填した蓄冷管と、内部が中空であるパルス管と、前記圧縮機と前記蓄冷管との間に設けられた吸気バルブおよび排気バルブと、を有するパルスチューブ冷凍機であって、前記パルス管の一部を形成する壁、および前記パルス管の一部と当接する壁の一方あるいは双方を有し、いずれかの壁の少なくとも一部には、熱遮蔽部材が設置されていることを特徴とするパルスチューブ冷凍機が提供される。 （もっと読む）

【課題】反射防止膜を成膜する際の安全性を高めると共に、基板に対する水素パッシベーションを効果的に行って生産性も向上する。
【解決手段】太陽電池用の反射防止膜を成膜する成膜装置１において、成膜室９内にプラズマビームＰｂ２を供給し、酸化珪素からなるタブレットＭを昇華させて反射防止膜を成膜する。更に、水素イオン発生ガスを成膜室９内に導入し、アークプラズマ環境で水素イオンを生成し、その水素イオンでダングリングボンドを終端する。この成膜装置１では、酸化珪素からなるタブレットＭを用いているため、モノシランガスに比べて安全性は極めて高い。さらに、加熱ヒータ２６による加熱によって水素パッシベーションが促進される。その結果として、基板Ｗに対する水素パッシベーションを効果的に行いながら生産性も向上できる。 （もっと読む）

【課題】コンパクトで、高容量、高速駆動の可能なハイポイドギヤモータを得る。
【解決手段】ハイポイドピニオン９０をモータ軸６０と別体で設ける。ハイポイドピニオン９０は、モータ軸６０に嵌合する貫通孔９２を備え、モータ軸６０に圧入等の手段にて固定される。ハイポイドピニオン９０と噛合するハイポイドギヤ１００の組み込まれたハイポイドギヤ軸１０４は、玉軸受１０６及び自動調心ころ軸受１０８を介して支持されている。それぞれの軸受１０６、１０８に隣接してハイポイドピニオン９０、あるいは減速機ケーシング１１０に対するハイポイドギヤ軸１０４の軸方向位置を調整する第１、第２シム部材１１２、１１４が配置される。 （もっと読む）

【課題】本発明はクライオポンプの運転データをメンテナンス用コンピュータに供給してメンテナンス処理を行うクライオポンプシステム及びクライオポンプのメンテナンス方法に関し、メンテナンス効率の向上を図ることを課題とする。
【解決手段】複数のクライオポンプ２０と、この複数のクライオポンプ２０の制御を行うメインコントローラ３と、メインコントローラ３に設けられクライオポンプ２０の個々の運転データを一括的に格納する記憶装置１７と、クライオポンプ２０のメンテナンス時に前記運転データに基づきデータ処理を行うメンテナンスコンピュータ４と、前記記憶装置１７からメンテナンスコンピュータ４に対しコンパクトフラッシュカード５を用いて運転データを送出する。 （もっと読む）

【課題】固体ターゲットの回収時に被曝の虞を大幅に低減することが可能であると共に核反応が行われた固体ターゲットを直ちに回収することが可能な固体ターゲット回収装置を提供する。
【解決手段】固体ターゲット回収装置１は、核反応が行われた固体ターゲット２を回収するため、受容部材１０と、案内部材１２と、振動モータ１４とを備える。受容部材１０は、固体ターゲット２を受容する。受容部材１０においては、入口側開口１０ａの開口面積が出口側開口１０ｂの開口面積よりも大きくなっている。案内部材１２は、受容部材１０と接続されると共に受容部材１０から離れる方向に向かって下方に傾斜しており、固体ターゲット２を放射線遮蔽容器４００まで案内する。振動モータ１４は、受容部材１０及び案内部材１２を振動させる。 （もっと読む）

【課題】立ち上がり時間が短く、かつ、安定に冷却対象を冷却することが可能な冷却装置と、当該冷却装置を用いた半導体検査装置を提供する。
【解決手段】冷媒を循環させるポンプと、前記冷媒を、冷凍機を介して冷却対象に循環させるメインラインと、前記メインラインから分岐するとともに、前記冷凍機をバイパスして前記メインラインに合流するバイパスラインと、前記冷媒の温度を検知する温度検知手段と、前記メインラインと前記バイパスラインの流量を調整する流量調整手段と、前記流量調整手段を制御する制御手段と、を有し、前記制御手段は、前記温度検知手段で検知される温度に対応して分岐後の前記メインラインと前記バイパスラインの流量を制御するとともに、分岐後の前記メインラインの流量と前記バイパスライン流量を合わせた流量が実質的に一定となるように当該メインラインと当該バイパスラインの流量を制御することを特徴とする冷却装置。 （もっと読む）

【課題】初段での減速比を大きく確保しながら、軸方向に短い設定を行なうことが可能な偏心揺動減速装置を得る。
【解決手段】太陽歯車（太陽回転体）１１６と、該太陽歯車１１６によって回転される伝動歯車（偏心体軸駆動体）１１８と、該伝動歯車１１８と一体的に回転する偏心体１２０と、該偏心体軸１２０により揺動回転される外歯歯車（揺動体）１２４Ａ、１２４Ｂと、該外歯歯車１２４Ａ、１２４Ｂの自転成分と同期する第１、第２キャリヤ（キャリヤ体）１３２、１３４と、伝動歯車１１８と同一の軸方向位置に配置され、外歯歯車１２４Ａ、１２４Ｂの軸方向の動きを規制するディスタンスピース１２５、とを備える。ディスタンスピース１２５は、その装置半径方向最内部Ｐ１０１〜Ｐ１０４が伝動歯車１１８の装置半径方向の最外部Ｓ１０１、Ｓ１０２を含む円周Ｒ１０２の内側となるように形成し、第１、第２キャリヤ１３２、１３４に対して回り止めされた構造とする。 （もっと読む）