【課題】 高品質の加工を行う。
【解決手段】 第１経路に沿い第１ビームを出射し、第２経路に沿い第２ビームを出射するレーザ光源と、被加工面を備える加工対象物を保持するステージと、第１経路に沿い伝播する第１ビームと、第２経路に沿い伝播する第２ビームとが、共通の第３経路に沿い伝播するように第１及び第２ビームを重畳させるビーム重畳器と、第１経路上に配置され、第３経路上の第１仮想面で第１ビームの断面内の光強度分布を均一に近づける第１光学系と、第２経路上に配置され、第１仮想面で第２ビームの断面が、第１ビームの断面よりも大きく、かつ第１ビームの断面を内部に含むように断面を整形するとともに、第１仮想面での断面内の光強度分布を均一に近づける第２光学系と、第１仮想面の第１及び第２ビームの断面を、被加工面上に結像させる第１結像光学系とを有し、第１仮想面上での第２ビームのパワー密度が、第１ビームのパワー密度よりも低いビーム照射装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】固体ターゲットの回収時に被曝の虞を大幅に低減することが可能であると共に核反応が行われた固体ターゲットを直ちに回収することが可能な固体ターゲット回収装置を提供する。
【解決手段】固体ターゲット回収装置１は、核反応が行われた固体ターゲット２を回収するため、受容部材１０と、案内部材１２と、振動モータ１４とを備える。受容部材１０は、固体ターゲット２を受容する。受容部材１０においては、入口側開口１０ａの開口面積が出口側開口１０ｂの開口面積よりも大きくなっている。案内部材１２は、受容部材１０と接続されると共に受容部材１０から離れる方向に向かって下方に傾斜しており、固体ターゲット２を放射線遮蔽容器４００まで案内する。振動モータ１４は、受容部材１０及び案内部材１２を振動させる。 （もっと読む）

【課題】立ち上がり時間が短く、かつ、安定に冷却対象を冷却することが可能な冷却装置と、当該冷却装置を用いた半導体検査装置を提供する。
【解決手段】冷媒を循環させるポンプと、前記冷媒を、冷凍機を介して冷却対象に循環させるメインラインと、前記メインラインから分岐するとともに、前記冷凍機をバイパスして前記メインラインに合流するバイパスラインと、前記冷媒の温度を検知する温度検知手段と、前記メインラインと前記バイパスラインの流量を調整する流量調整手段と、前記流量調整手段を制御する制御手段と、を有し、前記制御手段は、前記温度検知手段で検知される温度に対応して分岐後の前記メインラインと前記バイパスラインの流量を制御するとともに、分岐後の前記メインラインの流量と前記バイパスライン流量を合わせた流量が実質的に一定となるように当該メインラインと当該バイパスラインの流量を制御することを特徴とする冷却装置。 （もっと読む）

【課題】初段での減速比を大きく確保しながら、軸方向に短い設定を行なうことが可能な偏心揺動減速装置を得る。
【解決手段】太陽歯車（太陽回転体）１１６と、該太陽歯車１１６によって回転される伝動歯車（偏心体軸駆動体）１１８と、該伝動歯車１１８と一体的に回転する偏心体１２０と、該偏心体軸１２０により揺動回転される外歯歯車（揺動体）１２４Ａ、１２４Ｂと、該外歯歯車１２４Ａ、１２４Ｂの自転成分と同期する第１、第２キャリヤ（キャリヤ体）１３２、１３４と、伝動歯車１１８と同一の軸方向位置に配置され、外歯歯車１２４Ａ、１２４Ｂの軸方向の動きを規制するディスタンスピース１２５、とを備える。ディスタンスピース１２５は、その装置半径方向最内部Ｐ１０１〜Ｐ１０４が伝動歯車１１８の装置半径方向の最外部Ｓ１０１、Ｓ１０２を含む円周Ｒ１０２の内側となるように形成し、第１、第２キャリヤ１３２、１３４に対して回り止めされた構造とする。 （もっと読む）

【課題】金型から離型された成形品又は粉塵・塵埃等がリニアモータ等、所望の箇所以外の箇所に進入することを防止する型締装置を提供する。
【解決手段】型締装置１００は、フレームＦｒと、前記フレームＦｒの上部に、固定プラテン１１１に対して進退自在に設けられた可動プラテン１１２と、を備え、前記可動プラテン１１２の金型取付面１１２−ａよりも前記固定プラテン１１１側に水平方向に突出した形状を有する可動プラテン下部配設部２００が、前記可動プラテン１１２の下部に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
レーザ加工装置のキャリブレーションテーブル作成、更新手順をできるだけ自動化する。
【解決手段】
レーザ光源、ガルバノスキャナ、キャリブレーションテーブルを備えたレーザ加工装置の調整方法は、（ａ）複数のスケールマークを備えたスケール板を対象面に配置する工程と、（ｂ）ガルバノスキャナを駆動し、スケール板のスケールマークの各々をカメラで観察して補正値を求め、ガルバノスキャナに対するカメラのキャリブレーションテーブルを得る工程と、（ｃ）対象面に加工対象物を配置する工程と、（ｄ）ガルバノスキャナを駆動し、レーザ光を照射して複数の加工箇所を形成する工程と、（ｅ）ガルバノスキャナを駆動し、加工対象物の加工箇所の各々をカメラで観察して補正値を求め、ガルバノスキャナに対するレーザ光のキャリブレーションテーブルを得る工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 排ガスによる構成部品の腐食の抑制を適切に図ることができるボイラ、及びボイラの運転方法を提供する。
【解決手段】ボイラ１は、投入された燃料を燃焼させる燃焼炉３と、燃焼炉３から発生する排ガスを採取するプローブ３１と、排ガス中で粒子状の塩を形成しているＣｌの濃度を取得するガス分析部４０と、ガス分析部４０で取得された上記のＣｌの濃度に基づいて、燃焼炉３に投入する燃料を調整する燃料制御部４７及び燃料投入装置４９と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】樹脂が金型内に投入される際に当該樹脂と金型との間に生じ得る「空気の抱え込み」を防止または低減することのできる樹脂投入装置及び樹脂投入方法を提供する。
【解決手段】半導体チップが搭載された基板を樹脂１０２にて圧縮封止する樹脂封止金型内に、樹脂１０２を投入可能な樹脂投入装置１０１であって、樹脂封止金型上に樹脂１０２を載置するまでの間該樹脂１０２を保持可能な保持部１０４と、保持部１０４及び保持部１０４に保持される樹脂１０２を包囲し、且つ、金型に当接することによって樹脂１０２の周囲に密閉空間Ｍを形成可能な隔壁部１０７と、樹脂１０２が保持部１０４により保持された状態で密閉空間Ｍ内の空気を吸引可能な吸引ポンプＰと、を備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】長寿命化により長期間のモニタリングを可能にするボイラのモニタ装置を提供する。
【解決手段】モニタリングプローブ３１は、ボイラの排ガスの流路上に設けられて排ガスに接触する外筒３３と、外筒３３の内側に設けられ、高温側感熱部と低温側感熱部との温度差を電位差に変換する熱電変換部４１と、を備え、熱電変換部４１は、高温側感熱部と低温側感熱部との間に設けられた半導体熱電素子を有しており、熱電変換部の高温側感熱部は、外筒３３の内壁面に接するように設けられている。 （もっと読む）

【課題】パレット方式の機械式駐車場に関し、低コスト化を図りつつ、車両への乗降時に歩行する歩道に干渉することなくパレットを旋回可能とする。
【解決手段】パレット１９と、リフトフレーム２０を昇降駆動する昇降装置と、リフトフレーム２０上でパレット１９を旋回させる旋回装置２３と、設置面１３に対して昇降方向に移動可能とされた可動歩道２７，２８と、設置面１３に固定された固定歩道とを有する。リフトフレーム２０が着床位置にある際、パレット１９、可動歩道２７，２８、及び固定歩道が略同一高さとなり、また、可動歩道２７，２８とリフトフレーム２０との間に間隙が形成される。リフトフレーム２０が着床位置とパレット旋回可能位置との間で昇降する際、リフトフレーム２０が前記間隙内で移動する。パレット旋回可能位置よりもリフトフレーム２０が上昇することにより、可動歩道２７，２８がリフトフレーム２０と共に上昇する。 （もっと読む）