【課題】 本発明は蓄冷器カートリッジを用いたパルス管冷凍機に関し、蓄冷器筒内に蓄冷器カートリッジを設けた構成であっても蓄冷器筒及びステージ部材に振動が発生するのを抑制することを課題とする。
【解決手段】 蓄冷器カートリッジ４０と、パルス管２６と、作動ガスとなるヘリウムガスの位相調節を行う位相調節機構２５と、真空フランジ２７とコールドステージ２８との間に設けられると共に内部に蓄冷器カートリッジ４０が収納される蓄冷器筒３０とを有するパルス管冷凍機において、蓄冷器カートリッジ４０の低温端に接続孔４３を有する突出部４２を形成し、コールドステージ２８に突出部４２を移動可能に装着する装着凹部５０を形成し、この装着凹部５０の断面積が蓄冷器カートリッジ４０の断面積よりも小さくなるよう設定する。 （もっと読む）

【課題】 車輪の異常を高精度に検出する。
【解決手段】 二輪車の車輪の異常を検出する車輪異常検出装置において、前記二輪車の通過に伴う車輪との接触により回転可能とした複数の回転部材と、前記回転部材の回転角度を検出する回転検出手段と、前記回転検出手段により検出された回転角度と、予め設定された閾値とを比較することにより、前記車輪の異常を検出する異常検出手段とを有することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】成形機の状態を容易に、かつ、正確に監視することができるようにする。
【解決手段】成形機を運転するために駆動される駆動部と、該駆動部の駆動に伴い、第１の変量ｍ１を検出する第１の検出部Ｐ１と、前記駆動部の駆動に伴い、第２の変量ｍ２を検出する第２の検出部Ｐ２と、前記第１、第２の変量ｍ１、ｍ２に基づいて、第１、第２の検出部Ｐ１、Ｐ２間の伝達経路Ｒｔにおける伝達特性を判定する伝達特性判定処理手段とを有する。第１、第２の変量ｍ１、ｍ２に基づいて、第１、第２の検出部Ｐ１、Ｐ２間の伝達経路Ｒｔにおける伝達特性が判定されるので、成形機ごとの機差があっても、各成形機ごとに使用状況が異なっても、成形機の状態を容易に、かつ、正確に監視することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は交番的に作動ガスの圧力変動が内部で発生する蓄冷器をフランジに固定した構造を有するパルス管冷凍機に関し、フランジの変形に起因した振動の発生を抑制することを課題とする。
【解決手段】 蓄冷器２２と、パルス管２６と、位相調整機構２５と、蓄冷器２２に対応して設けられた第１の装着孔３７とパルス管２６に対応して設けられた第２の装着孔３８が形成されると共に位相調整機構２５が配設される真空フランジ２７とを有するパルス管冷凍機において、第１の蓋体４０を第１の装着孔３７内に固定すると共に、第１の蓋体４０に形成された第１の接続孔４５の外周位置に、第１の蓋体４０と位相調整機構２５との間をシールする第１のシール部材５０を配設する。 （もっと読む）

【課題】搬送物を浮上させたときの保持剛性を高める。
【解決手段】上面５２側に設けられた吹出口５４からエアを吹出すための吹出流路６６と、上面５２側に設けられた吸引口５６からエアを吸引するための吸引流路６４と、を備えた搬送物浮上ユニット５０である。吹出流路６６は、流路断面積の異なる大流路７０と小流路６８を有し、流路断面積が不連続に変化する部分を有する。このように、流路断面積が不連続に変化する部分で圧力損失を生じさせることで、搬送物としてのガラス基板の保持剛性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】軽量コンパクト性を損ねることなく、次段部材（アタッチメント含む）の取付穴の設計自由度の高いロボット手首駆動用の動力伝達装置を提供する。
【解決手段】外歯歯車１３８の自転成分を取り出す内ピン１３６と第１出力フランジ体１００を１の部材で一体形成することにより、第１出力フランジ体１００の内部に別部材としての内ピンやキャリヤボルトが嵌合する必要をなくす。その結果、第１出力フランジ体１００への次段部材１３１の取付穴１７０の設計自由度を高める。 （もっと読む）

【課題】 規模のより小さい生物処理設備に適用可能なエネルギー回収システム及びエネルギー回収方法を提供する。
【解決手段】 エネルギー回収システム１は、有機性廃水を生物処理する生物処理設備３と、生物処理設備３において発生した汚泥を濃縮する汚泥濃縮手段１５と、汚泥濃縮手段１５で濃縮された汚泥を熱処理する熱処理手段２１と、生物処理設備３から排出された生物処理水と熱処理手段２１において発生する排気ガスとの間の温度差によって発電させる熱電発電手段２３とを備える。この構成では、汚泥の熱処理で生じた排気ガスと生物処理水との温度差によって電気を得ることができるので、熱処理する汚泥量をより少なくすることが可能である。そのため、規模のより小さい生物処理設備に適用可能である。 （もっと読む）

【課題】運転時における低騒音と低駆動ロスを同時に実現した減速機などの歯車装置を提供する。
【解決手段】入力軸１２２に設けたオイルシール１５０の内部１５０Ｎに封入する潤滑剤Ａと、減速機（歯車装置）内部１２６に封入し主として減速部１３５を潤滑する潤滑剤Ｂとの特性を、基油粘度については潤滑剤Ａを潤滑剤Ｂよりも低くし、ちょう度については潤滑剤Ａを潤滑剤Ｂよりも大とする。 （もっと読む）

【課題】 加工対象基板の熱膨張に伴いレーザビームを入射すべき被入射位置がずれても、所望の被入射位置と実際に入射する位置とのずれを小さくすることができ、新規な構成を有するレーザ加工方法を提供する。
【解決手段】 （ａ）レーザ入射により加工すべき複数の被入射位置が画定されており、少なくとも一部の被入射位置について、該被入射位置ごとに当該被入射位置との相対位置関係が決められたアライメントマークが形成されている加工対象基板を準備する。（ｂ）１つのアライメントマークを検出し、その検出された位置に基づき、当該アライメントマークに対応する被入射位置とレーザ光軸との位置合わせ情報を得る。（ｃ）この位置合わせ情報に基づき、検出されたアライメントマークに対応する被入射位置にレーザ入射を行う。（ｄ）レーザ未入射の被入射位置に対し工程（ｂ）及び（ｃ）を少なくとも１回繰り返す。 （もっと読む）

【課題】 計測値が補正されるレーザ干渉計の他に、計測値を補正するためのレーザ干渉計を設置する必要がなく、従来の構成と異なるレーザ干渉計の計測値の補正方法を提供する。
【解決手段】 レーザ干渉計の計測値の補正方法は、（ａ）可動テーブルを、第１の方向に関して第１の距離だけ移動させるとともに、該可動テーブルの移動開始位置及び移動終了位置をレーザ干渉計で計測して移動距離を求める工程と、（ｂ）前記レーザ干渉計を用いて求められた移動距離と、前記第１の距離とに基づいて、該レーザ干渉計を補正するための補正情報を得る工程とを有する。 （もっと読む）