【課題】 合成されるパルスレーザビームの位相を制御することなく、複数のパルスレーザビームが同一光軸上を伝搬するように合成し、合成されたパルスレーザビームを、各パルスの偏光方向が揃った直線偏光にすることができるレーザ照射方法を提供する。
【解決手段】 レーザ照射方法は、（ａ）直線偏光である第１のパルスレーザビームと、偏波面が該第１のパルスレーザビームの偏波面と直交し、かつ該第１のパルスレーザビームの偏波面に沿って伝搬する直線偏光である第２のパルスレーザビームとを、該第１及び第２のパルスレーザビームが同一の光軸上を伝搬し、かつ該光軸上で互いに重ならないように合成する工程と、（ｂ）前記工程（ａ）において前記第１及び第２のパルスレーザビームが合成されたレーザビームの各パルスの偏光方向を、互いに平行になるように揃える工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 本発明はステージ装置の大型化に伴いガイドレールの全長を延長できることを課題とする。
【解決手段】 ステージ装置１０は、金属部材を組み合わせた架台１２と、架台１２上に支持された平板状の吸着板１４と、吸着板１４の両側に平行に配置された一対のガイドレール１６と、ガイドレール１６に沿って移動する移動体１８と、移動体１６の両端部をＹ方向に駆動する一対のリニアモータ２０とを有する。ガイドレール１６は、石材を加工した四角柱形状の第１ガイドレール部品１６ａと第２ガイドレール部品１６ｂとを結合させた構成であり、ガイドレール部品１６ａ，１６ｂは、夫々全長が石材加工機により加工可能な６ｍ程度に加工されている。よって、ガイドレール１６の全長は、複数のガイドレール部品１６ａ，１６ｂを結合することにより、延長することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 本発明は位置検出を高精度に行う基準格子を樹脂成型により量産化することを課題とする。
【解決手段】 樹脂成型用金型５０によりプラテン３４と一体化された状態の反射面角度格子３２を成型することができるので、シート状に薄型化された反射面角度格子３２を安価に量産することが可能になる。また、反射面角度格子３２をプラテン３４と一体化された状態のまま樹脂成型用金型５０から取り出してリニアモータ１８に容易に取り付けることができるので、シート状に成型された反射面角度格子３２を正確に取り付けることができ、且つ高精度に成型された反射面角度格子３２が歪んだ状態で取り付けることを防止できる。 （もっと読む）

【課題】 アモルファス状態の半導体層を、６００℃程度の高温熱処理を行うことなく、ほぼ全厚さに亘って多結晶化させることができる多結晶層の形成方法を提供する。
【解決手段】 支持基板の表面上に、アモルファス状態の半導体材料からなる半導体層が形成された加工対象物を準備する。半導体層に、支持基板側の面及びその反対側の面の一方からレーザビームを照射して、レーザビームの入射した面側の半導体層の表層部を多結晶化させる。前の工程でレーザビームを照射した方の面とは反対側の面から、半導体層にレーザビームを照射して、半導体層のアモルファス状態の領域を溶融させ、前の工程で多結晶化された領域の結晶粒を種結晶として、半導体層の厚さ方向に結晶を成長させる。 （もっと読む）

【課題】 ゾーン運転において安定した窒素除去を行うことが可能なオキシデーションディッチの運転制御方法、及びオキシデーションディッチを提供する。
【解決手段】 無終端の循環水路３内で排水と活性汚泥との混合液を曝気及び攪拌し、好気ゾーンＡと無酸素ゾーンＢとを循環させて処理するオキシデーションディッチ１の運転制御方法である。この方法では、循環水路３内の基準位置Ｐにおいて酸化還元電位検出器１７により混合液の酸化還元電位を検出し、検出値に基づいて、基準位置Ｐにおける酸化還元電位が所定電位になるように、曝気攪拌装置５からの曝気量を制御する。 （もっと読む）

【課題】 本発明はステージ装置の大型化に伴いガイドレールの加工及び位置調整を容易に行えることを課題とする。
【解決手段】 ステージガイド機構２８のガイドレール３０は、断面がほぼ正方形であり、水平面に対して各４辺が４５度の傾斜角度を有するように取り付けられる。調整機構３６は、ガイドレール３０の下部傾斜面３０ａ，３０ｂを両側から押圧する一対の調整ブロック５０,５１と、調整ブロック５０をベース１４の上面（水平面）に固定する固定用ボルト５２と、調整ブロック５０を側方から押圧して取付位置を調整する調整ねじ５４と、調整ブロック５０,５１に螺入され調整ブロック５０,５１をガイドレール３０に締結する締結ボルト５６とを有する。調整機構３６により、ステージ装置１０を設置した後にガイドレール３０の歪みがなくなるように調整することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 パルスレーザ光のパルス時間波形を柔軟に制御できる技術を提供する。
【解決手段】 光源１から出射したパルスレーザ光Ｌ１が、音響光学素子３を介して遮光板６に入射する。遮光板６には貫通孔６１が形成されていて、貫通孔６１が形成された部分だけがパルスレーザ光Ｌ１の通過を許容する。貫通孔６１を通過したパルスレーザ光Ｌ１は、カライドスコープ７及び集束レンズ８に入射する。音響光学素子３による回折角θによって、パルスレーザ光Ｌ１のビームスポットと貫通孔６１の開口との重なりの面積を変化させることができる。カライドスコープ７及び集束レンズ８が、貫通孔６１の少なくとも一部の領域からパルスレーザ光Ｌ１が進入すると、その進入したパルスレーザ光Ｌ１を、そのビーム断面サイズを貫通孔６１の開口とビームスポットとの重なりの面積に依存しない一定の値に近づけて出射させる。 （もっと読む）

【課題】 本発明はステージ装置の大型化に伴いガイドレールに非接触でガイドされるスライダの静圧軸受けパッドを削減することを課題とする。
【解決手段】 ステージスライダ機構２９のガイドレール３０は、断面がほぼ正方形であり、水平面に対して各４辺が４５度の傾斜角度を有するように取り付けられる。ガイドレール３０の上部傾斜面３０ｃ，３０ｄは、スライダ１８をガイドする一対のガイド面として機能しており、上部傾斜面３０ｃ，３０ｄに対向するスライダ１８の傾斜面１８ａ，１８ｂには、３個の静圧軸受けパッド３２〜３４が設けられている。３個の静圧軸受けパッド３２〜３４によりスライダ１８を浮上させて低摩擦で移動可能に支持する構成であり、従来のように水平面と垂直面の夫々に対向する位置に設ける構成のものよりも静圧軸受けパッドの設置数を半分以下に減らすことが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 組み合わせて使用することにより、実射弾数のカウントが確実に行えることになる小火器及び実射弾数計測装置を、提供する。
【解決手段】
ガス利用式機関銃等の小火器１０に、銃身内の圧力変化を検出するための圧力センサ１２を取り付けておき、小火器１０の圧力センサ１２に、当該圧力センサ１２の出力に基づき実射弾数を計測する実射弾数計測装置２０を接続することにより、小火器１０の実射弾数をカウントする。 （もっと読む）

【課題】 レーザ光源から出射されたレーザビームの断面内の一方向に関する光強度分布が対称でない形状であっても、レーザビームの断面内のその方向に関する光強度分布を均一に近づけられる光学装置を提供する。
【解決手段】 分岐光学素子が、レーザビームを、ビーム断面内の第１の方向に関する光強度分布の増減傾向が、該レーザビームの増減傾向と等しい第１及び第２のレーザビームに分岐させる。ホモジナイザが、第１及び第２のレーザビームを第１の方向に関して複数のビームに分割し、第１及び第２のレーザビームが分割された複数のビームをホモジナイズ面上に重ね合わせる。反転光学素子が、第１及び第２のレーザビームの、ホモジナイザに入射する位置における第１の方向に関する光強度分布の増減傾向が相互に反転した傾向となるように、両レーザビームのうちの一方の第１の方向に関する光強度分布を反転させる。 （もっと読む）