【課題】酸不安定性基を有しポジ型レジストとして機能する樹脂、酸発生剤および溶剤などからなるレジスト組成物において、解像度に優れ、焦点深度余裕（ＤＯＦ）が広く、ラインエッジラフネス（ＬＥＲ）が小さく、さらには感度が高いことから優れたパターン形状を形成できるたレジスト組成物を調製するための光酸発生剤およびそれを調製するための重合性単量体を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で表わされる含フッ素不飽和カルボン酸オニウム塩。
【化】


（式中、Ｒ^１は、重合性二重結合含有基、Ｒ^２は、フッ素原子または含フッ素アルキル基、Ｗ^１は、二価の有機基、Ｑ^＋は、スルホニウムカチオン、またはヨードニウムカチオンを示す。） （もっと読む）

【課題】
低放射膜の可視光透過性を損ねることなくＡｇ層の酸化を抑制し、なおかつ現行のスパッタ生産設備でも低コストで容易に生産が可能な、新たなバリア層と、該バリア層を含む低放射膜を得ること。
【解決手段】
基材上に蒸着プロセスによって形成される低放射膜において、基材上に下地層と、薄膜積層部とを有し、該薄膜積層部は金属層と、該金属層上にバリア層とを含有するものであり、該バリア層は該金属層上に接し窒化物または酸窒化物からなることを特徴とする低放射膜。 （もっと読む）

【課題】経済性を備え、地球環境に対する影響が小さく、かつ必要とされる性能を有するドライエッチング剤を提供する。
【解決手段】化学式ＣＦ_３Ｃ≡ＣＸ（但し、ＸはＦ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ、ＣＨ_３、ＣＦＨ_２、又はＣＦ_２Ｈを表す。）で表される化合物を含むドライエッチング剤を用いることにより、酸化物、窒化物、炭化物、フッ化物、オキシフッ化物、シリサイド及びこれらの合金等を好適にエッチングできる。ドライエッチング剤は、大気中での分解性があり、地球温暖化への寄与もＣＦ_４やＣＦ_３Ｈ等のＰＦＣ類やＨＦＣ類より格段に低く、環境への負荷が低い。さらに、第二のガスとして、含酸素ガス、含ハロゲンガス、あるいは第三のガスとして不活性ガスと混合することで、飛躍的にプロセスウインドウを広げることができ、特殊な基板の励起操作等なしに高アスペクト比が要求される加工にも対応できる。 （もっと読む）

【課題】波長３８０ｎｍ以上、２０００ｎｍ以下で高い平均透過率を有し、基材との接着強度が強い親水性低反射膜を有し、耐候性に優れ、親水性で防汚性がよく、帯電防止機能を備えた親水性低反射部材を提供する。
【解決手段】透明基材およびその表面に形成される親水性低反射膜を有する親水性低反射部材であって、該親水性低反射膜が、水酸化フッ化マグネシウム微粒子と、屈折率調整材としての酸化タングステン、酸化モリブデン、酸化クロム、酸化バナジウム、酸化ニオブおよび酸化タンタルからなる群から選ばれた少なくとも１種以上の金属酸化物を含有してなり、屈折率が１．２３以上、１．４１以下であることを特徴とする親水性低反射部材。 （もっと読む）

【課題】本発明は、被覆層の厚みが薄くでき、被覆層表面の欠陥が抑制され、かつ、煩雑な操作を必要とせず、製造時間を短縮せしめ、大量生産を実現した被覆水溶性粒状体の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】水溶性粒状体の表面に２層以上の被覆層が形成された被覆水溶性粒状体の製造方法であって、ポリオール成分及びイソシアネート成分を含む第１の被覆材を供給した後、当該第１の被覆材の熱硬化が不十分な被覆層を有する第１の被覆体の表面に新たに第２の被覆材を供給して、第２の被覆材の被覆層が形成された第２の被覆体を得る工程Ａ、を含むことを特徴とする被覆水溶性粒状体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、冷媒、発泡剤、洗浄剤、溶剤、エッチング剤、エアゾール等の機能材料又は生理活性物質、機能性材料の中間体、高分子化合物のモノマーとなりうる、３，３，３−トリフルオロプロペンの製造方法を提供する。
【解決手段】１−クロロ−３，３，３−トリフルオロプロペンに、気相中、「ルテニウム、ニッケル、ロジウム、イリジウム、鉄、オスミウム、コバルトから選ばれる少なくとも１種の遷移金属を担体に担持した触媒、又は当該遷移金属の酸化物」、「銅及びマンガンの酸化物」、又は「パラジウムと、ビスマス、亜鉛、銅、銀、ランタン、鉛、ジルコニウム、ニオブ、ハフニウム、マグネシウム、錫、砒素から選ばれる少なくとも１種の元素を担体に担持した触媒」の存在下、水素を用いて水素化させることで、高選択率で３，３，３−トリフルオロプロペンを得ることが可能である。廃棄物処理も容易であり、工業的に有利な製造方法である。 （もっと読む）

【課題】
ジフルオロ酢酸フルオライドを用いるエステル化の反応機構上副生するフッ化水素に起因して生成物の収率の低下を招くことのないジフルオロ酢酸エステルの製造方法を提供する。
【解決手段】
ＲＯＨで表されるアルコールとジフルオロ酢酸フルオライド（ＣＨＦ_２ＣＯＦ）を下式（１）で表されるアミド化合物または式（２）で表されるスルホン化合物からなるフッ化水素捕捉剤の存在下に接触させて反応液を得る反応工程と、反応工程で得られた反応液からＣＨＦ_２ＣＯＯＲで表されるジフルオロ酢酸エステルを留出物として得る蒸留工程（Ａ）とを少なくとも有するジフルオロ酢酸エステルの製造方法。
【化】
（もっと読む）

【課題】本発明は日射エネルギーの遮蔽と電磁波透過性を有する車両用窓ガラスを製造する方法を得ることを目的とした。
【解決手段】真空成膜法を用いて赤外線反射膜を形成する車両用窓ガラスの製造方法であって、マスキング材を用いて形成した電磁波を透過する電磁波透過窓を有する赤外線反射膜の膜端部をエッチングにより除去する工程を有することを特徴とし、特に上記エッチング手段として砥石又はレーザーを使用することを特徴とする車両用窓ガラスの製造方法。 （もっと読む）

【課題】自動車の窓ガラス面に配設した導電線条のアンテナ形成用部品であって、テレビジョンのＵＨＦ放送波やＶＨＦ放送波の電波の受信や、自動車電話、携帯電話、パーソナル無線、業務用無線、ＰＨＳなどの広帯域な電波の送受信を好適に行なうアンテナの形成に好適な部品を提供する。
【解決手段】
導電線条を用いてメッシュ形状で形成したシートからなり、自動車用窓の合わせガラス板の中間膜を挟んだ合わせガラスの接着面に封入してメッシュアンテナとして用いる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、自動車用窓ガラスに設けるＦＭラジオ放送波用、またはＶＩＣＳ（道路交通情報システム）用ＦＭ多重放送波を好適に受信する。
【解決手段】自動車の後部窓ガラスに設けた複数本の導電加熱水平線条の上部余白部に設けるアンテナにおいて、ボディフランジの開口部上辺近傍のガラス面に設けた給電点からフランジの上辺に沿って略水平方向に延ばした第１エレメントと、該第１エレメントの途中部から下方に分岐する、または前記給電点から下方に延ばした垂直線条の下端に接続した水平線条からなる第２エレメントとからなり、該第２エレメントの水平線条を最上部側の導電加熱水平線条に近接し容量結合させた。 （もっと読む）