波長領域が２００〜３５０ｎｍの短波長のレーザ光を用いても電気光学変調器等の劣化が生じにくく、所望の露光が確実に得られる信頼性が高い露光装置、露光方法、更にこれらを利用したスタンパの製造方法、光記録媒体の製造方法を提供する。レーザ光変調部１４を構成する電気光学変調器２０の周囲に窒素ガス（パージガス）を供給するためのパージガス供給手段２２を備えた。
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【課題】セラミックグリーンシートの表面にスジが発生することを防止し、セラミックグリーンシートの平面性を高めることができるセラミック塗料供給方法、積層セラミック電子部品の製造方法及びセラミック塗料供給装置を提供する。
【解決手段】第１フィルタ２４によってセラミック塗料１６を濾過する工程と、第１フィルタ２４で濾過されたセラミック塗料１６を、第１フィルタ２４の平均口径よりも大きな平均口径を有し、且つ、第１フィルタ２４よりもフィルタ構成物の脱落が少ない第２フィルタ２６で濾過する工程と、を含んで構成された塗料供給方法とした。 （もっと読む）

【課題】 複数のインダクタを有するフィルタ回路において、各インダクタの物理的な配置にかかわらず、所望の減衰特性となるように各インダクタ間の結合度の調整を行うことができるようにする。
【解決手段】 第１および第２のインダクタＬ１，Ｌ２をそれぞれ第１および第２の結合用巻線３１，３２に磁気的に結合すると共に、第１および第２の結合用巻線３１，３２を結合調整用回路３０に接続し、第１および第２のインダクタＬ１，Ｌ２を結合調整用回路３０を介して間接的に接続する。結合調整用回路３０での調整により、第１および第２のインダクタの結合度を電気的に調整、制御することが可能となる。これにより、各インダクタの物理的な配置にかかわらず、所望の減衰特性となるように各インダクタ間の結合度の調整を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】情報記録媒体の製造コストを低減する。
【解決手段】情報記録媒体製造用の凹凸パターンを形成するための露光パターンＰを描画可能に構成され、ビーム出力部は、その有効描画幅が各パターンＰＳＯ，ＰＳＯ・・の幅および長さよりも狭い電子ビームＥＢを出力可能に構成され、制御部は、基材を回転させる回転機構の内部で生成される内部信号および回転機構に対する回転駆動信号のいずれかに基づいて基材の回転に同期するようにして基準信号生成部によって生成された基準信号Ｓ１が出力されたときに予め規定された時間ｔ１ｗだけ待機した後にビーム出力部を制御して電子ビームＥＢを出力させると共にビーム偏向部を制御して描画すべきパターンＰＳＯの幅方向で電子ビームＥＢを往復動させてパターンＰＳＯを描画する描画処理を実行することによって露光パターンＰを描画する。 （もっと読む）

【課題】 磁歪アクチュエータや磁歪センサに用いる磁歪素子の錆を防止する。
【解決手段】 本発明による磁歪アクチュエータは、磁歪素子１１と、磁界の印加によって磁歪素子１１を変位させるコイル１２と、磁歪素子１１にバイアス電流を流すバイアス電流源２２とを備えている。また、本発明による磁歪センサは、磁歪素子１１と、磁歪素子１１の透磁率の変化を検出する検出器２７と、磁歪素子１１にバイアス電流を流すバイアス電流源２２とを備えている。本発明によれば、バイアス電流によって磁歪素子に錆が発生しにくくなることから、磁歪アクチュエータや磁歪センサの信頼性を高めることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 良好な電気的特性を確保しつつ、より一層の薄型化を実現することができる電気化学デバイスを提供すること。
【解決手段】 電気二重層キャパシタ１は、素体３と、当該素体３を収容するケース５０とを備えている。素体３は、アノード集電体１２、アノード１０、セパレータ３０、カソード２０及びカソード集電体１４を有している。アノード１０及びカソード２０は、電子伝導性の多孔体粒子を構成材料として含有する多孔体層からなる。アノード集電体１２は、アノード１０に電気的に接触した状態で配置されている。カソード集電体１４は、カソード２０に電気的に接触した状態で配置されている。素体３の厚みは、６００μｍ以下に設定されている。アノード１０の厚みとカソード２０の厚みとの合計は、素体３の厚みの８０％以下に設定されている。 （もっと読む）

【課題】 試料室等の内壁への微粒子の付着を抑えることができるレーザアブレーション用試料室、レーザアブレーション装置及び試料分析装置を提供すること。
【解決手段】 レーザアブレーション用試料室５は、試料４を収容するための試料室本体５ａと、この試料室本体５ａの上部に設けられ、試料４に照射されるレーザ光を透過させる窓部５ｂとを有している。試料室本体５ａは導電性材料で形成されている。試料室本体５ａは接地電極３４と電気的に接続されている。このため、試料室５内に発生した静電気は、試料室５の外部に逃されることになる。これにより、試料室５の内壁への微粒子の静電的な付着が抑えられる。 （もっと読む）

【課題】 ヘッドスライダの変位量の増大が図られたアクチュエータ、スライダユニット、サスペンション及びハードディスク装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係るアクチュエータ３０においては、圧電素子３４Ａ，３４Ｂが駆動することで、スライダ搭載部４０に取り付けられるヘッドスライダＳＬが変位する。なお、このアクチュエータ３０においては、アーム部３６Ａ，３６Ｂの他端部３６ｃ側、すなわち連結部３８から離れた側が固定される。そのため、圧電素子３４Ａ，３４Ｂが駆動すると、連結部３８によって互いに連結されたアーム部３６Ａ，３６Ｂの一端部３６ｂ側が変位する。そして、アーム部３６Ａ，３６Ｂの一端部３６ｂ側の変位に伴って、連結部３８から延びるスライダ搭載部４０が変位することにより、ヘッドスライダＳＬの変位が実現される。このようなアクチュエータ３０は、従来のアクチュエータ５０よりヘッドスライダＳＬの変位量が大きい。 （もっと読む）

【課題】 ナノ狭窄スペーサを有する磁気抵抗（ＭＲ）センサのスピンバルブ内に使用する薄膜の生成方法を提供する。
【解決手段】 スピンバルブのボトムをピン層まで蒸着し、蒸着室を用意し、スペーサ層をその上にスパッタリングする。主イオンビームが磁性チップと絶縁材を含む合成面上にイオンを生成する。同時に、支援イオンビームが基板に直接イオンを供給し、かくしてスペーサ層の柔軟度と平滑度を改善する。中和器もまた配設し、イオン反発を防止し、イオンビーム合焦を改善する。その結果、薄膜スペーサを形成することができ、低保磁力とフリー層とピン層の間の低層間結合とを有するナノ狭窄ＭＲスピンバルブが形成される。 （もっと読む）

【課題】 TE偏波とTM偏波の双方に対する条件を容易に満たすことができる２次元フォトニック結晶を提供する。
【解決手段】 本体２０に、第１領域２１には円形の空孔２３を三角格子状に、第２領域２２には正三角形の空孔２４を三角格子状に、それぞれ配置する。これにより、第１領域２１にはTE偏波に対するフォトニックバンドギャップ（PBG）であるTE-PBGが、第２領域２２にはTM偏波に対するPBGであるTM-PBGが、それぞれ形成される。第１領域２１と第２領域２２では空孔の周期や大きさ等のパラメータを独立に設定することができるため、TE-PBGとTM-PBGに共通するエネルギー領域（完全PBG）を大きく、且つ容易に形成することができる。この完全PBG内のエネルギーに対応する導波路２５や共振器２６、２７等を形成することにより、偏波分合波器や、偏波に依存しない周波数（波長）分合波器などを形成することができる。 （もっと読む）