【課題】タングステンを含む半導体ウエハを高速かつ非選択的に研磨するための化学機械研磨用水系分散体および化学機械研磨方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る化学機械研磨用水系分散体は、タングステンを含む配線層が設けられた被処理体を研磨するための化学機械研磨用水系分散体であって、（Ａ）カチオン性水溶性高分子と、（Ｂ）鉄（ＩＩＩ）化合物と、（Ｃ）コロイダルシリカ粒子と、を含有し、前記（Ａ）成分の含有量（Ｍ_Ａ）［質量％］および前記（Ｂ）成分の含有量（Ｍ_Ｂ）［質量％］は、Ｍ_Ａ／Ｍ_Ｂ＝０．００４〜０．１の関係を有し、ｐＨの値は、１〜３である。 （もっと読む）

【課題】電線、特に電話線ケーブル、電子機器間又は電子機器内の接続用電線等の被覆用樹脂組成物に関する。
【解決手段】次の成分（Ａ）及び（Ｂ）；
（Ａ）下記式（１）で表されるポリエステルポリオールと、ポリイソシアネートと水酸基含有（メタ）アクリレートの反応物であるウレタン（メタ）アクリレート、
【化１】


（式中、Ｒ¹およびＲ²は、二価アルコールに由来する任意の２価の炭化水素基であり、ｐは２〜８の数であり、ｎはポリエステルポリオールの数平均分子量が４００〜３０００の範囲になるように選択される）
（Ｂ）環状構造及び１個のエチレン性不飽和基を有する化合物
を含有する電線被覆用放射線硬化性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】樹脂基板に銅または銅合金を含む配線層が設けられた回路基板を形成するために好適に用いられる化学機械研磨用水系分散体であって、銅または銅合金を研磨する速度が十分に高く、かつ、得られる回路基板の平坦性が良好な化学機械研磨用水系分散体を提供すること。
【解決手段】化学機械研磨用水系分散体は、樹脂基板１０に銅または銅合金を含む配線層３０が設けられた回路基板を形成するために用いる銅または銅合金の化学機械研磨用水系分散体であって、（Ａ）有機酸と、（Ｂ）含窒素複素環化合物と、（Ｃ）酸化剤と、（Ｄ）砥粒と、（Ｅ）水溶性高分子と、を含み、前記化学機械研磨用水系分散体に対する前記（Ａ）成分の濃度Ｍ_Ａ(質量％）および前記（Ｅ）成分の濃度Ｍ_Ｅ（質量％）において、Ｍ_Ａ／Ｍ_Ｅ＝２０〜８０の関係を有し、ｐＨの値は、１〜４である。 （もっと読む）

【課題】焦点深度が広く、ＬＷＲ及びＭＥＥＦが小さく、パターン倒れ特性に優れ、かつ、現像欠陥性能にも優れる感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】樹脂（Ａ）と、感放射線性の酸発生剤（Ｂ）と、酸拡散抑制剤（Ｃ）と、溶剤（Ｄ）とを含有し、前記樹脂（Ａ）が、側鎖に環状炭酸エステル構造を有する繰り返し単位（ａ−１）を有する重合体であり、前記酸拡散抑制剤（Ｃ）が、特定構造の窒素含有化合物である感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】第一のレジストパターンを不溶化させ、その後の露光処理、並びに現像液及び第二のポジ型感放射線性樹脂組成物に対して十分に安定な不溶化レジストパターンとすることが可能なポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（１）第一のレジストパターンを形成する工程と、（２）第一のレジストパターン上にレジストパターン不溶化樹脂組成物を塗布し、第一のレジストパターンを不溶化レジストパターンとする工程と、（３）不溶化レジストパターン上に第二のレジスト層を形成し、選択的に露光する工程と、（４）第二のレジストパターンを形成する工程と、を含むレジストパターン形成方法の工程（１）で用いられる、特定の繰り返し単位を５〜６５モル％含む酸解離性基を有する樹脂を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物である。 （もっと読む）

【課題】 電気抵抗を測定すべき回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができる電気抵抗測定用電極シートおよびその製造方法、この電気抵抗測定用電極シートを具えた電気抵抗測定用コネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置を提供する。
【解決手段】 本発明の電気抵抗測定用電極シートは、絶縁性シートと、絶縁性シートの表面に、被検査回路基板における被検査電極に対応して形成された、電流供給用電極および電圧測定用電極が互いに離間して配置されてなる複数の検査電極対と、絶縁性シートの裏面に形成され、電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれか一方に電気的に接続された中継電極とを有し、絶縁性シートには、電流供給用電極および電圧測定用電極の間に位置する領域にスリットが形成されていることを特徴する。 （もっと読む）

【課題】化学増幅型ポジ型レジスト膜の成膜に好適に用いることができ、電子線又は極紫外線に有効に感応し、ナノエッジラフネスの発生を抑制することができる感放射線性組成物を提供する。
【解決手段】（ａ）下記一般式（１）で表される化合物と、（ｂ）下記一般式（２）で表される感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性組成物である。
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【課題】新規重合体の提供。
【解決手段】下記式（１）で表される末端修飾重合体。


（式中、Ｒ¹及びＲ²は１価の有機基を示すか、又はＲ¹とＲ²が結合して隣接する炭素原子と共に環構造を形成してもよい。Ｒ⁴は水素原子またはメチル基であり、Ｒ⁵は１価の有機基を示す。Ｒ⁶は１価の有機基を示す。Ｒは水素原子又は保護基を表す。ｌは１〜１０の数を示し、ｍは１０〜１０００の数を示し、ｎは１〜５の数を示す。） （もっと読む）

【課題】横電界方式の液晶表示素子において、広い視野角特性および高品位な表示と良好な残像特性および焼き付き特性との両立を可能とする液晶配向膜を与える液晶配向剤を提供すること。
【解決手段】上記液晶配向剤は、テトラカルボン酸二無水物と、下記式（Ａ）


（式（Ａ）中、「＊」は結合手であることを示す。）
で表される構造および二つのアミノ基を有する化合物を含むジアミンとの反応により得られるポリアミック酸ならびに該ポリアミック酸を脱水閉環してなるポリイミドよりなる群から選択される少なくとも一種の重合体を含有する。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブが本来有する電気的特性、光学的特性を損なうことなくカーボンナノチューブを含む膜を作成することのできる組成物、および該組成物より得られるカーボンナノチューブを含む膜を提供する。
【解決手段】カーボンナノチューブを含有する組成物は、（Ａ）カーボンナノチューブ、（Ｂ）ポリエーテル、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリアンハイドライド、ポリスチレン系重合体およびポリ（メタ）アクリレートよりなる群から選択される１種以上の有機ポリマー、（Ｃ）溶媒を含有する組成物。 （もっと読む）