【課題】 窒化チタンをバリアメタルとして使用し、その上にＡｌ合金層を形成する場合、バリアメタルのバリア性を向上させ、しかもＡｌ合金層の埋め込み性を良好にしてステップカバレッジを向上させる。
【解決手段】 シリコン基板１０上に、層間絶縁膜１１を形成し、コンタクトホール１２を形成する（図１（ａ））。この後、チタン層１３、第１窒化チタン層１９、第２窒化チタン層１４、Ａｌ合金層１５を真空中で連続的にスパッタ成膜する（図１（ｂ））。続いて、Ａｌ合金層１５のリフロー処理を行う（図１（ｃ））。このリフロー熱処理中に、窒化チタン層１４とＡｌ合金層１５の間にチタンとアルミニウムの金属間化合物である歪み緩和層１７が形成される。この後、反射防止膜としてのチタン層２０、窒化チタン層２１を形成し、パターニングを行った後、保護膜１６を形成する（図１（ｄ）、（ｅ））。 （もっと読む）

【課題】 放熱性を向上させると共に、小形化を実現し、また、応力に弱い構成の半導体チップであっても、この半導体チップの２つの主面から速やかに放熱させるようにする。
【解決手段】 本発明の半導体装置は、一方の主面にコレクタ電極を有すると共に他方の主面にエミッタ電極及びゲート電極を有する６個のＩＧＢＴチップ４を備え、これらＩＧＢＴチップ４を挟むように設けられ各挟む側の面にＩＧＢＴチップ４の電極に接合するための電極パターン１３、１４、１９が配設された２枚の高熱伝導性絶縁基板２、３を備え、そして、ＩＧＢＴチップ４の電極と高熱伝導性絶縁基板２、３の電極パターン１３、１４、１９とをろう付けにより接合して構成したものである。 （もっと読む）

【課題】 金具をアンプケースに取り付ける際に必要な挿入力の低減。
【解決手段】 金具２はガイド部３にスライドするように挿入されることによりアンプケース１に取り付けられる。金具２は、傾斜面７が突出部４の斜面４ａを乗り越え、ブラケット穴６が突出部４と嵌合する位置までガイド部３に挿入される。金具２には傾斜面７が形成されているので、金具２は突出部４の斜面４ａに沿って移動しやすい形状となっている。そのため、大きな挿入力を必要とすることなく、ブラケット穴６が突出部４と嵌合する位置まで金具２を挿入することができる。 （もっと読む）

【課題】 簡単な方法で燃料吐出量を調整可能な燃料ポンプおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 ハウジング１１の厚さは、補助ハウジング５０を取付けていない状態においてモータ部３０の磁気回路がハウジング１１において磁気飽和するように設定されている。補助ハウジング５０を取付けていない状態で燃料ポンプ１０の燃料吐出量を測定し、この測定値とエンジンの要求吐出量とを比較し、要求吐出量に近づくように板厚を選択した補助ハウジング５０をハウジング１１の外周に取付けてハウジング全体の板厚を増加させることにより、有効磁束Φが増加し回転数Ｎが低下する。その結果、要求吐出量に比して過剰であった燃料ポンプ１０の燃料吐出量が減少する。したがって、燃料ポンプ１０の消費電力を低減できるとともに、燃料タンクに戻される燃料量が減少するので燃料のベーパ発生を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 送信信号及び受信信号の周波数の大小関係によらず、物標との距離や相対速度を常に正しく検出できるＦＭＣＷレーダ装置を提供する。
【解決手段】 送信信号と受信信号とを混合してなるビート信号を、各受信チャネルＣＨ１，ＣＨ２毎、及び送信信号の周波数が増大する上昇部、周波数が減少する下降部毎にフーリエ変換し、ピーク周波数成分の周波数と位相を検出する。同一障害物に基づくピーク周波数成分について、上昇部及び下降部毎に、受信チャネルＣＨ１，ＣＨ２間で位相差△φu(i)，△φd(j)を算出(210〜230)し、その符号が互いに等しいか否かにより送信信号と受信信号の周波数の大小関係を判定し、その判定結果に応じて、送信信号と受信信号の周波数差の絶対値として検出される各ピーク周波数ｆu(i)，ｆd(j)に符号を付与して、障害物との距離Ｄ及び相対速度Ｖを算出(240〜260)する。 （もっと読む）

【課題】 ケースにおいてセンサの嵌合部分からの空気漏れをコスト安に防止する。
【解決手段】 ブラケット５の嵌合部分５１の外周面には、この外周面から半径方向外方にわずかに突出し、かつ、円周方向に連続してのびる第１リブ５７が一体に成形されている。この第１リブ５７は、嵌合部分５１の外周面において、上記第２の溝５６ｂ側からこの溝５６ｂの反対側部分５１ｃ側に向かって高さが高くなるような三日月形状である。また、この第１リブ５７は軸方向厚さが小さい薄肉状で、かつ、この第１リブ５７の外周形状は、ケース４の貫通孔４１の内周形状とほぼ同じである。 （もっと読む）

【課題】 ４輪駆動において、駆動力伝達機構の機械的損失が少なく、モータの負担が軽減されるとともに、常に安定した走行性能を得る。
【解決手段】 ロータ１３１０の内周部の磁極１２２０とロータ１２１０とで回転電機１２００を構成するとともに、外周部の磁極１４２０と固定子１４１０とで回転電機１４００を構成する。ロータ１２１０を前輪駆動軸９１３に連結するとともに、ロータ１３１０を後輪駆動軸９５３に連結する。 （もっと読む）

【目的】 カラーフィルタ層を外部から遮断して両電極基板の一方の外側に設けるようにした液晶セル、液晶表示装置及び液晶セルの製造方法を提供する。
【解決手段】 両電極基板１０、２０は、帯状シール３０及び多数のスペーサ４０を介して互いに重ね合わされている。両電極基板１０、２０の間には、スメクチック液晶Ｌが、シール３０により封入されている。電極基板２０の外表面には、偏光板５０が貼り付けられている。一方、電極基板１０の外表面には、複数条のカラーフィルタ層６１が帯状シール７０により外部から遮断されて電極基板１０に対向するように、カラーフィルタ基板６０がシール７０を介し装着されており、このカラーフィルタ基板の外表面には、偏光板８０が貼り付けられている。 （もっと読む）