【課題】 本発明は多極子に関し、製造コストを抑え、高加工精度及び高位置精度を確保した多極子電場、多極子磁場、多極子電磁場をそれぞれ独立に発生させることができる多極子を提供することを目的としている。
【解決手段】 複数の電極子２又は磁極子４で構成され、荷電粒子の運動を制御する多極子において、同軸上に非磁性体の多電極子と多磁極子を絶縁体１で支持されるように配置し、前記多磁極子が多電極子の外側に位置するように構成される。非磁性体の多電極子と多磁極子を絶縁体で支持し、前記磁極子４が電極子２の外側に位置するようにしたので、製造コストを抑え、高加工精度及び高位置精度を確保した多極子電場、多極子磁場、多極子電磁場をそれぞれ独立に発生させることができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明はカソードルミネッセンス分析方法及び装置に関し、本来の信号成分（ネット成分）を安価で得ることができるカソードルミネッセンス分析方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 試料５に電子線を照射し、該電子線照射により試料５から発生した光を光検出器１１で検出し、該検出した光の波長スペクトルを得るようにしたカソードルミネッセンス分析装置において、前記電子線が試料５に照射されないようにする遮断手段と、前記遮断手段を開放した状態で前記光検出器１１で検出した計数値と、前記遮断手段を動作させて電子線が試料５に照射されない状態で前記光検出器１１で検出した計数値とを比較して試料のカソードルミネッセンス特性を求めるようにした演算制御手段１３とを具備して構成する。 （もっと読む）

【課題】多波長光度計の光源用ランプのばらつきに対する検出器の増幅率の補正を容易かつ定量的に行なうことができる生化学自動分析装置を提供する。
【解決手段】ブランク時の透過光による出力電圧値が所定の範囲内の入るような増幅率の補正値をＣＰＵ部で検出器波長毎に算出させ、検体の測定時には、その補正値が、各々の検出器波長毎の増幅率として設定されるようにした。 （もっと読む）

【課題】 先端アームに繋がる信号線を不要にして、常時、先端アーム上の基板の有無が検出が出来る基板搬送機構を提供する。
【解決手段】 回転軸２３に繋がった初段アーム２４の先端に第２アーム３２を、第２アームの先端に基板を載置する先端アーム３３繋いだ多段アーム２２を交換室２０に備え、各アームの回転位置を制御することにより、先端アーム３３を任意の方向に直線移動させるように成した。チャンバー外に光電センサー３０を設け、回転軸２３の延長線上に初段アーム２３と同期して回転する中間反射ミラー２７を設け、先端アーム３３に基板が載っていない時には中間反射ミラー２７からの光が到達し、基板が載っている時に到達しない位置に基板検出用反射ミラー４４を設けた。 （もっと読む）

【課題】 装置寿命を犠牲にせず、加速型対物レンズのレンズ光学系の利点を活かす。
【解決手段】 イオン源１０からの荷電粒子をイオンビームとして引き出すための引き出し電極２０と、引き出されたイオンビームの開き角を制御する集束レンズ３０と、開き角が制御された前記イオンビームから特定の放射角を持つイオンビームを取り出す電流制限絞り５０と、前記電流制限絞りを通過した前記イオンビームの電流量を変えずに開き角の制御が可能に構成された静電型開き角制御レンズ６０と、静電型開き角制御レンズで開き角が制御されたイオンビームを試料上に集束させる静電型対物レンズ８０と、静電型開き角制御レンズでは前記荷電粒子を減速する極性で制御すると共に、静電型対物レンズでは前記荷電粒子を加速する極性で制御する制御手段１０１とを有する。 （もっと読む）

【課題】斜出射ＥＰＭＡ分析において、複数の波長分散形Ｘ線分光器に対するＸ線取出し角度を簡単に設定できるようにする。
【解決手段】回転機構の上に傾斜角調整機構が載っている構造を有する試料ステージに分析試料を載置する。波長分散形Ｘ線分光器と同一のＸ線取出し各度に設定されたエネルギー分散形Ｘ線分光器を用いて、分析に用いる特性Ｘ線の全反射角またはその近傍の取出し角度になるように分析試料の傾斜角度を設定する。分析試料の傾斜角度を保ったまま、各々の波長分散形Ｘ線分光器のＸ線取出し方向に試料を回転させて測定を行う （もっと読む）

【課題】 絞り部材の交換を効率良く行えるとともに、絞り部材の孔の中心軸がモノクロメータの作用軸に対して独立して位置調整可能となる電子銃及び当該電子銃を備える電子ビーム装置を提供する。
【解決手段】 電子源１と、電子源１からの電子５２ａが通過する開口部３ｂを有する第１の電極３と、第１の電極３の開口部３ｂを通過した電子５２ａが入射する入射用開口５ｂを有するフィルタリング手段５と、フィルタリング手段５を通過した電子５２ａを加速するための第２の電極６，７とを備える電子銃５１において、フィルタリング手段５の入射用開口５ｂよりも狭く形成された孔４ａを有する絞り部材４を第１の電極３に配置した。 （もっと読む）

【課題】 試料に電子線を照射してＸ線分析を行う電子プローブＸ線分析装置において、試料表面形状や状態の変化による影響を低減した元素分布像を得る。
【解決手段】 試料または電子線を走査して複数元素の特性Ｘ線強度データを二次元的に収集し、二次元データの全ての座標位置について、標準試料を用いて各元素の特性Ｘ線強度データを相対強度に変換する。これら相対強度に定量補正計算を施し、各々の元素の質量濃度を得る。座標位置毎の全元素の相対強度または質量濃度の合計値を用いて、各元素の相対強度または質量濃度を規格化し、その値をレベル分けして元素分布像として表示するようにした。さらに必要に応じて、質量濃度を用いて、座標位置毎の原子濃度、化合物濃度、原子個数などを求め、規格化して表示するようにしたので、試料表面形状や状態の変化による影響を低減した元素分布像を得ることができるようになった。 （もっと読む）

【課題】 本発明は色収差自動補正方法及び装置に関し、通常の操作員が収差補正を意識せずに色収差補正を行なうことができる色収差自動補正方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 試料表面像から荷電粒子ビームの形状を抽出する形状抽出手段１３ｂと、抽出された荷電粒子ビームの形状から装置の色収差を算出する色収差算出手段１３ｃと、前記色収差量が所定の値以下になるまで収差補正器６又は対物レンズ４に対してフィードバックを自動でかけるフィードバック手段１３とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】 フィラメントの表面に微量な付着物が残存した状態でエージングを行っても、フィラメントを構成するタングステンの劣化を防止することができ、これによりフィラメントの寿命を長くすることのできるフィラメントアセンブリを提供すること。
【解決手段】 本発明におけるフィラメントアセンブリ１１は、真空下において加熱され、電子を放出するフィラメント１５を備えたフィラメントアセンブリ１１において、当該フィラメント１５には少なくともタングステンが含まれており、前記真空下における加熱により溶融されて蒸発する金属からなる金属保護膜が当該フィラメント１５の表面に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）