【課題】 本発明は電子ビーム描画装置におけるフォーカス・非点収差補正調整方法に関し、Ｘ，Ｙ軸から４５゜回転した軸方向にある非点収差を確実に補正することができる電子ビーム描画装置におけるフォーカス・非点収差補正調整方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 ナイフエッジ法を用いたフォーカス調整機構と非点収差補正機構を具備する電子ビーム描画装置であって吸収電子信号検出器としてナイフエッジ法測定器２を用いるものにおいて、非点収差補正器を６用いた非点収差の補正を先に行ない、その後に対物レンズ４を用いたフォーカス調整を行なうようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 互いに非導通とされた複数の配線パターンが形成された試料における各配線パターンの断線の検査を効率良く行うこと。
【解決手段】 荷電粒子ビーム源１と、荷電粒子ビーム源１から放出された荷電粒子ビーム１４を試料１０上に照射するための照射系７と、荷電粒子ビーム１４の照射により生じる試料１０上の吸収電流を検出するための複数の探針８と、検出された吸収電流に基づいて画像信号を形成するための画像信号形成部１２と、画像信号形成部１２により形成された画像信号に基づいて画像を表示するための表示部２０とを備える荷電粒子ビーム装置において、画像信号形成部１２は、前記複数の探針８のうちの少なくとも２つの探針８ａ，８ｂにより検出された吸収電流信号を加算して得られる合成信号を基に画像信号を形成する。 （もっと読む）

【課題】交流位相検波を用いた磁気共鳴装置において、変調方式の異なる２種類の磁気共鳴信号を比較することによって、スピン磁化が飽和状態に至らない程度の小さな高周波磁場の強度Ｈ₁を評価する方法を提供する。
【解決手段】交流位相検波を用いた定常法磁気共鳴装置における高周波磁場強度測定法であって、異なる２つの変調方法で測定した磁気共鳴信号の信号強度比から、高周波磁場強度を評価する。 （もっと読む）

【課題】 試料の厚みに特定した所定の試料の補正を考慮した場合に、複雑な工程を不要としながらも精度の高い蛍光Ｘ線分析方法を可能とする。
【解決手段】 蛍光Ｘ線分析方法による分析対象試料の形状を補正するための試料形状補正方法であって、試料の蛍光Ｘ線スペクトルにおけるピークの出ない高エネルギー領域ＡＲ−Ｈのバックグラウンド強度ＢＧ１、ＢＧ２に基づいて試料の厚みを補正する。 （もっと読む）

【課題】 試料全領域の観察を行うような場合でも、特定試料部を光軸位置に正確に合わせることができる、複合観察装置を実現する。
【解決手段】 比較的倍率が低い像を観察する第１の観察装置で、被検査試料の広い範囲を観察して詳細に観察したい特定点を見いだし、その特定点の試料上の位置を示すデータと共に被検査試料を比較的高い倍率の像を観察する第２の観察装置のステージ上にセットし、試料の特定点を比較的高い倍率の像により詳細に観察するようにした複合観察装置において、第１の観察装置の試料移動ステージは、ステージのＸ、Ｙの直線状の移動により、試料表面のほぼ全領域を観察できる大型のステージを有しており、第２の観察装置は、Ｘ、Ｙ方向の２次元移動と回転動とが可能な試料ステージを有しており、回転動とＸ、Ｙ２方向の直線移動を組み合わせることにより、試料表面のほぼ全領域を観察できるように構成した。 （もっと読む）

【課題】 走査駆動信号におけるリンギングの発生を抑えることによって、試料像の形成に寄与しない無駄な時間を減らすとともに、試料に発生するダメージを軽減すること。
【解決手段】 荷電粒子ビーム源１から放出された荷電粒子ビーム２１を試料５上で走査させるための偏向器４と、偏向器４に供給される走査駆動信号に変換される走査用デジタル信号を形成する信号形成器とを備える荷電粒子ビーム装置において、走査用デジタル信号の立ち下がり時間を、当該走査用デジタル信号の振幅が大きくなるのに応じて長くする。走査駆動信号において発生するリンギングは、走査駆動信号の変化の急峻さが大きくなるのに応じて発生しやすくなるが、本発明では、上記制御により、走査駆動信号の立ち下がり時間が、その振幅が大きくなるのに応じて長く設定されることとなるので、走査駆動信号におけるリンギングの発生を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】 装置構成を複雑化することなく、イオンの捕獲時に矩形パルス電圧を印加するようにして、イオンの捕獲効率を向上させる。また、トラップ可能なイオンの運動エネルギーとこのイオンがある地点に到達したとき（または発生したとき）のトラップ用交流電圧位相との間に相関関係があることを考慮し、イオンの捕獲効率を向上させる。
【解決手段】 多重極イオントラップでのイオン捕獲時に、多重極イオントラップを構成する電極に、イオンの捕獲効率を向上させるための矩形パルス電圧を印加する。また、多重極イオントラップでのイオン捕獲時に、トラップ用交流電圧位相と捕獲するイオンの運動エネルギーとを同期させる。 （もっと読む）

【課題】 導電性膜で被われた試料に電子線を照射し、発生する特性Ｘ線を用いて組成分析を行う際に、予め導電性膜の厚さを知ること無しに、導電性膜の影響を補正した組成を求めることができるようにする。
【解決手段】 先ず未知試料表面に形成された導電性膜の厚さの近似値を求める。次に表面の導電性膜によるＸ線強度の減衰量を与える式により、該未知試料からのＸ線強度を補正し定量分析値の近似値を求める。次に該定量分析値の近似値を用いて、該導電性膜と該未知試料との組成の違いによる該厚さの近似値を真値に近づけるように補正する。該厚さの近似値を補正した値を用いて定量分析値の近似値を真値に近づけるように補正する。以下逐次近似的に、該厚さの補正と該定量分析値の補正を、予め設定してある収束条件を満たすまで交互に繰り返すことにより、導電性膜の影響を補正した未知試料の組成を求めることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、走査プローブ顕微鏡で狭域の走査をする場合における、広域走査でのスキャナ駆動回路の持つノイズやドリフトが観察像の質を悪くしていることである。
【解決手段】探針と試料との間に作用する物理量を検出する走査形プローブ顕微鏡において、探針と試料を相対的に走査するスキャナと、前記スキャナの走査領域に対応した少なくとも２個のスキャナ駆動回路と、前記少なくとも２個のスキャナ駆動回路を切り替える切替手段と、を備えた走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】 本発明はイオントラップ型質量分析方法に関し、多重周回型の質量範囲の狭さを解決し、イオントラップで捕獲したイオンを無駄にすることなく高質量分解能で質量測定をすることができるイオントラップ型質量分析方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 イオンを捕獲、排出するイオントラップ１２と、該イオントラップ１２から排出されるイオンをパルス的に加速させる機構と、複数のセクター電場により形成される閉じた軌道を複数回周回させることを特徴とする多重周回型飛行時間型質量分析計と、イオンを検出する検出器１４と、で構成される質量分析計を用い、イオントラップ１２から排出して多重周回型ＴＯＦＭＳに導入する質量範囲を、多重周回型ＴＯＦＭＳにおいて追い越しの起こらない質量範囲内にするように構成する。
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