【課題】イオン源側真空領域内のイオン軌道部周辺の部品を大気中に取り出して、洗浄等の操作を行なっても、短時間で装置の再使用が可能となり、また、アイソレーション・バルブを設けても、安定した測定が可能となるようなＯＡ−ＴＯＦＭＳを提供する。
【解決手段】イオン源と、イオン源で発生したイオンを輸送させる空間とを配置した、真空度の低い第１の領域と、該領域から輸送されてきたイオンをパルス的に加速して取り出すためのイオン溜と、該イオン溜から取り出されたイオンを質量分離する飛行時間型分光部とを配置した、真空度の高い第２の領域とを備えた垂直加速型飛行時間型質量分析装置において、前記２つの領域を連通する孔部に隔離弁を設け、両領域を遮断できるようにした。 （もっと読む）

【課題】ＮＭＲ測定時に前置増幅器内蔵送受信切換部の動作モードが切り換わっても、前置増幅器内蔵送受信切換部の特性がほとんど変化しないＮＭＲ装置を提供する。
【解決手段】ＮＭＲ検出部に高周波を送信するとともに、ＮＭＲ検出部で検出したＮＭＲ信号を受信して前置増幅器で増幅するように構成された前置増幅器内蔵送受信切換部の近傍にヒータを配置し、該前置増幅器内蔵送受信切換部を低温に冷却しながら該ヒータで加熱し、該前置増幅器内蔵送受信切換部の温度をほぼ一定の低温に保つことにより、該前置増幅器内蔵送受信切換部のＮＦを改善するようにしたＮＭＲ装置において、前置増幅器内蔵送受信切換部の動作モードが切り換わるタイミングで、前置増幅器内蔵送受信切換部を加熱するヒータの電力を制御するようにした。 （もっと読む）

【課題】微量な溶液試料に対しても、メアンダー型コイルのメリットを生かして、好適にＮＭＲ測定を行なえるようなＮＭＲ検出部およびＮＭＲ装置を提供する。
【解決手段】相互に連通した複数の平行な細長い試料空間を備えた扁平状の試料セルと、該試料空間の長軸方向に長軸を有し、該試料空間とほぼ平行になるように繰り返し折り曲げられる形でつながった細長い導体から成る扁平状の検出コイルとを近接して配置させた。 （もっと読む）

【課題】本発明は飛行時間型質量分析方法及び装置に関し、イオンの垂直方向の収束性を向上させ、感度向上のため直交加速イオン源との接続を可能にすることができる飛行時間型質量分析装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 複数のイオンをパルス的に出射できるイオン源１０と、らせん型軌道を実現する分析計と、イオンを検出する検出器１５とを備えた飛行時間型質量分析装置であって、らせん軌道を実現するために分析計を複数の積層トロイダル電場で構成させる。 （もっと読む）

【課題】 電子ビームの非点補正作業を効率良く行える電子ビーム装置を提供する。
【解決手段】 電子ビーム源１から試料１０に照射された電子ビーム３１の非点を補正するための非点補正手段２４と、非点補正手段２４による電子ビーム３１の非点補正方向とその補正量を調整するための操作部２５と、電子ビーム３１が照射された試料１０の像を作成するための像作成手段と、像作成手段により作成された像を表示するための表示手段１７とを備える電子ビーム装置において、操作部２５による調整方向と電子ビーム３１の非点補正方向との関係を表す図形を表示する指示ウインドウを作成するためのウインドウ作成部１５を備え、当該ウインドウ作成部１５により作成される指示ウインドウ内の前記図形が設定可能とされ、設定された前記図形を含む指示ウインドウが表示手段１７により表示される。 （もっと読む）

【課題】汎用性の高いプローブを用い、しかもＳＣＭの静磁場空間を有効に活用しながら、複数の試料を同時に測定できるＮＭＲ装置を提供する。
【解決手段】試料に高周波パルスを照射すると共に、試料から放出される高周波信号を検出することが可能なプローブをＳＣＭ内に設置し、ＳＣＭが作る磁場を利用してＮＭＲ測定を行なうＮＭＲ装置において、１台のＳＣＭに少なくとも２台のプローブを設置できるようにした。この２台のプローブは、ＳＣＭの軸に沿って穿設され、外界と連通された空孔部の両端から、それぞれＳＣＭの内部に向けて挿入される。 （もっと読む）

【課題】試料ホルダーをいったん鏡筒から取り外した後、再び鏡筒内に戻して観察画像に位置ずれが生じた場合でも、試料ホルダーを鏡筒から取り外す前に記憶させておいた試料の観察条件（座標、傾斜角、軌跡、観察画像など）をそのまま有効に活用することのできる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】試料ステージの移動距離を相対的にカウントするカウンターと、該カウンターのカウント値を試料の位置ずれに応じて補正する補正手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 ターゲットへ高電圧を印加する為の高電圧ケーブルの損傷及びターゲット移動精度の低下を防ぐ。
【解決手段】 長手方向に沿って凸部が形成されている一方のＸ軸レール２４Ａはステージベース２１上に固定され、長手方向に沿って凹溝が形成されている他方のレール２４ＢはＸ方向ステージ２２に固定され、レール２４Ａの凸部がレール２４Ｂの凹溝にはめ込まれ、Ｘ方向ステージ２２の移動によりレール２４Ａがレール２４Ｂに対して摺動可能に成してある。長手方向に沿って凸部が形成されている一方のＹレール２５ＡはＸ方向ステージ２２上に固定され、長手方向に沿って凹溝が形成されている他方のレール２５ＢはＹ方向ステージ２３に固定され、レール２５Ａの凸部がレール２５Ｂの凹溝にはめ込まれ、Ｙ方向ステージ２３の移動によりレール２５Ａがレール２５Ｂに対して摺動可能に成してある。 （もっと読む）

【課題】サーチ動作による自動焦点合わせを常に良好に行う。
【解決手段】測定制御装置１６は、自動焦点合わせを開始するに先立って、現在の試料ステージの高さ位置を中心としてサーチ動作を行うことができるか否かを判断し、このままではサーチ動作を行うことができないと判断した場合には、予め試料ステージの高さ位置を変更する退避動作を行い、その後にサーチ動作を行わせる。 （もっと読む）

【目的】ＳＴＭにオージェ機能を組み合わせるとともに、試料から放出されるオージェ電子を十分な検出感度で検出する。
【構成】探針３の探針ホルダ２０に、第１ないし第４グリッド21a〜21dががいしを介して取り付けられる。各グリッドはそれぞれ非常に微細な導電性ワイヤのメッシュから椀状に形成されており、それらの中心には探針３および探針ホルダ２０が貫通している。これらのグリッドがなす立体角が大きく設定されている。第２および第３グリッド21b,21cに印加される電圧を制御してオージェ電子のエネルギをスキャンすることにより、それらの電圧に対応したエネルギを持つオージェ電子が第１ないし第４グリッド21a〜21dをそれぞれ通過して、スクリーン２１ｅ上に到達する。その場合、グリッドが試料の極近傍に接近しかつ立体角が大きいので、試料２からのオージェ電子が効率よく捕獲される。 （もっと読む）