【課題】ウエハをステージに確実に安定して固定できるようにしたウエハ固定装置を提供する。
【解決手段】ウエハ固定ねじ２０の頭部２０ＢをウエハＷに当接させる。そして、ウエハ固定ねじ２０のねじ部２０Ａにウエハ固定ナット３０を締結する。これにより、ウエハ固定ねじ２０とウエハ固定ナット３０とによる締結力を頭部２０ＢとウエハＷとの間に直接伝え、ウエハＷをウエハ固定ねじ２０の頭部２０Ｂとステージ１０のウエハ収容凹部１２の溝底との間で挟持した状態でウエハＷを確実に固定する。 （もっと読む）

【解決手段】ケイ素化合物及び塩基性物質含有水溶液と、アルミニウム化合物及び塩基性物質含有水溶液とを繊維構造物に含浸させた後、湿熱加熱してセルロース系繊維内部でケイ素化合物とアルミニウム化合物とを反応させてシリカ・アルミナ多孔体を生成させるセルロース系繊維構造物の製造方法であって、上記各水溶液の塩基性物質濃度が１５〜２０質量％であることを特徴とするセルロース系繊維構造物の製造方法。
【効果】本発明のセルロース系繊維構造物は、高い消臭性を有し、有害な重金属イオンの除去にも効果的である。また、外観にも優れ、洗濯耐久性等にも優れており、繊維構造物全体としての性能にもむらがない。本発明の製造方法によれば、繊維内部に効率的かつ均一に無機原料を浸透させることができ、加工時間及び工程の短縮、原料使用量の削減を達成でき、均一なシリカ・アルミナ多孔体の生成が可能である。 （もっと読む）

【課題】平板状部材とこれを支持する支持部材とからなるプラズマエッチング用電極において、平板状部材と支持部材とが強固に固定され、かつ、消耗部である平板状部材の交換が容易なプラズマエッチング用電極を提供すること。
【解決手段】 平板状部材１と、これを支持するリング状支持部材２とからなるプラズマエッチング電極において、平板状部材の外周面に雄ネジが形成され、リング状支持部材の端部の内周面に雌ネジが形成され、平板状部材の雄ネジとリング状部材の雌ネジとを螺合することによって平板状部材とリング状支持部材とを接合してなるプラズマエッチング電極。 （もっと読む）

【課題】粒径の大きな粉体や繊維集合体がシート表面から脱落することを抑制し、かつ、表面抵抗率のばらつきをなくし、安定した品質を確保できる積層シートを提供する。
【解決手段】積層シートは、複数の繊維集合体３ａ、３ｂの繊維端がシート外部へ飛び出さないように弾性樹脂を繊維集合体３a、３ｂの全体に浸透させ、繊維集合体３ａ、３ｂの一部はシート表面に露出し、繊維集合体３ａ、３ｂどうしの間に大きさ５０μｍ〜１ｍｍの充填材を有する。２枚の離型シート４a、４ｂで複数の繊維集合体３ａ、３ｂを最外層から挟み込み、離型シート４ａ、４ｂと複数の繊維集合体３ａ、３ｂからなる層状物２０を形成する工程、繊維集合体３ａと繊維集合体３ｂとの間に弾性樹脂１０を流し込んで含浸させる工程、繊維集合体３ａ、３ｂに弾性樹脂１０を含浸させる際に、層状物２０を加圧する工程、により製造される。 （もっと読む）

【課題】セパレータの厚さムラや反りが小さいため、燃料電池の組み立て時におけるセパレータの割れが発生しにくく、かつ、接触抵抗の低い燃料電池セパレータを提供すること。
【解決手段】黒鉛材料、バインダー成分樹脂および内部離型剤を含む燃料電池セパレータ組成物を成形してなり、バインダー成分樹脂が、オルトクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノール樹脂、およびイミダゾール化合物からなる燃料電池セパレータ。イミダゾール化合物としては、例えば、２−ウンデシルイミダゾール，２−ヘプタデシルイミダゾールなどの２−アルキルイミダゾールが挙げられる。 （もっと読む）

【課題】 Ｎ、Ｎ-ジアルキルピロリジニウムをカチオンとするイオン液体群の中から、電気二重層キャパシタが実用的な寿命性能を発現できる電解液として適切なイオン液体を見出し、そのイオン液体からなる電解液を用いた電気二重層キャパシタを提供すること。
【解決手段】 非水電解液がＮ−メチル-Ｎ-プロピルピロリジニウムをカチオンとし、ビス（トリフルオロメタンスルホニル）イミドをアニオンとするイオン液体のみからなる電気二重層キャパシタ。 （もっと読む）

【課題】電気透析処理を用いる微粒子状の水不溶性又は水難溶性の塩又は塩基の製造方法を提供すること。
【解決手段】陰イオン交換膜と陽イオン交換膜とを用いた電気透析処理により水不溶性又は水難溶性の塩又は塩基を製造するに際し、アルカリ金属塩及び／又はアンモニウム塩の水溶液を濃縮室液として使用する微粒子状の水不溶性又は水難溶性の塩又は塩基の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】発泡成形体中の発泡セル（気泡）の微細化と、プラスチックフォーム原料中の二酸化炭素成分の増量を図り、熱伝導率が小さく低密度の発泡成形体を製造することができる新たなマイクロセルフォームを製造する方法と製造装置を提供する。
【解決手段】少なくとも２つの原料供給手段１，２と、二酸化炭素を超臨界及び／又は亜臨界状態で供給する供給手段Ａと、前記薬液に前記二酸化炭素を混入する混入手段10と、二酸化炭素を混入したプラスチックフォーム薬液と他の原料供給手段からの前記二酸化炭素を混入していないプラスチックフォーム薬液、又は、前記２つの原料供給手段からそれぞれ供給される前記薬液に前記供給手段Ａから供給される二酸化炭素を混入した２種の薬液を、それぞれの薬液の温度，圧力を制御して混合吐出する混合吐出手段13と、混合吐出される反応硬化前の薬液混合物の減圧度の調整手段25を備える。 （もっと読む）

【課題】焼結時における炭素材による被焼結体への浸炭現象や、被焼結体と炭素材との溶着を抑制すると共に、繰返し使用における耐久性に優れ、かつ低コストの炭素系セッター材を提供すること。
【解決手段】織布又は不織布状の炭素繊維の表面に気相成長法によってＳｉＣ、Ｓｉ_３Ｎ_４、Ａｌ_２Ｏ_３、ＡｌＮ、ＢＮ等のセラミックスの被膜を０．１〜５μｍ厚に形成したものを焼結用セッター材とする。このセッター材はグラファイト又はＣ／Ｃコンポジットからなる焼結用治具の表面に載置するか、機械的に固定するか、又は、接着剤によって接着固定して使用することができる。 （もっと読む）

【課題】３成分の相乗効果により、生分解速度を制御するとともに、加水分解速度を調節し、耐候性が著しく向上した生分解性プラスチック組成物、その成形品及び生分解性プラスチックの分解速度制御方法を提供する。
【解決手段】生分解性プラスチックにカルボジイミド化合物、紫外線吸収剤、及び酸化防止剤を必須成分として配合してなる生分解性プラスチック組成物およびその成形品。 （もっと読む）