【課題】紫外光による基板のダメージを最小限に抑えながら基板の酸化膜の改質を行う。
【解決手段】オゾンと紫外光とを基板１１に供して基板１１上の酸化膜を改質する酸化膜改質装置１は、格納された基板１１に対してオゾンと紫外光が供される処理炉２と、前記改質が開始されてからの基板１１に供された後のオゾンガスのオゾン濃度の上昇を検出しこの検出したオゾン濃度の上昇速度の変化に基づき紫外光の照射を制御する制御部７とを備える。制御部７は前記オゾン濃度の上昇速度の低下を検出した時点で基板１１に対する紫外光の照射を停止させる。 （もっと読む）

【課題】リアクトルの個数を削減し、小型化を図った電力変換装置を提供する。
【解決手段】複数のインバータユニット４ａ，４ｂを相間リアクトルＬを介して並列接続した電力変換装置１ｄにおいて、相間リアクトルＬをバランサーとしてではなく、相間リアクトルＬの２つの巻線間の漏れインダクタンスをフィルタ２の直列インダクタンスとして利用する。相間リアクトルＬの漏れインダクタンスＬ_lは、相間リアクトルＬの構造パラメータ（第１巻線の幅ａ１，第２巻線の幅ａ２，第１巻線と第２巻線との隔離距離Δ，巻線厚ｈ，鉄心本体間の距離Ｗ等）で設定することができる。 （もっと読む）

【課題】三極式セルにおいて、安定な測定を可能とすることにある。
【解決手段】三極式セルにおいて、活性炭電極を参照極１１０に用いたので、正極２０、負極１０を切り分けて特性を評価することが可能となった。特に、参照極１１０の集電体に導電性カーボン塗料を塗布することで、集電体表面上の被膜形成が抑制され、活性炭電極を参照極１１０として使用しても正確な評価が可能となった。更に、電気二重層キャパシタの構成材料である活性炭電極の特性或いは劣化評価にも利用できるものである。 （もっと読む）

【課題】トロリ線の連続したエッジ検出を行うことができるトロリ線検査装置を提供する。
【解決手段】トロリ線検査装置において、トロリ線４を照らす照明３と、前記照明３の両脇に１台ずつ設置してトロリ線４を撮影する左カメラ１０及び右カメラ１１と、前記左カメラ１０及び右カメラ１１により撮影した画像中の前記トロリ線４の軌跡の下側のエッジを検出して前記トロリ線４の高さと偏位を測定する画像録画及び画像処理部２とを備えた。 （もっと読む）

【課題】系統条件の変化に簡単に追従できる高調波電流抑制装置を提供する。
【解決手段】電力変換装置１０のインバータに流れる電流のｄ、ｑ軸の各成分と電流指令値との偏差をとり、該偏差出力に基づいて前記インバータを制御する電流制御部２０と、ＬＣＬフィルタ１１の出力電流をｄ、ｑ軸に変換して所定次数の高調波を直流値として検出するｄｑ変換部４１およびＬＰＦ４２ｄ、４２ｑと、該検出電流と、高調波抑制電流指令値からフィルタ出力電流検出値までの伝達関数の逆関数として定義された係数とに基づいて高調波の外乱を推定する外乱オブザーバ４３と、前記推定された高調波の外乱と、外乱を抑制する外乱指令値との偏差をとってｄ、ｑ軸の高調波抑制電流指令値Ｉｈｄｒｅｆ、Ｉｈｑｒｅｆを算出する高調波抑制制御部４０とを備え、前記電流制御部２０のｄ、ｑ軸電流指令値に、前記高調波抑制電流指令値を重畳して高調波電流を抑制する。 （もっと読む）

【課題】電力変換器の出力側にＬＣフィルタを接続し、ＰＷＭなどを用いてパルス電圧を発生させるとき、スイッチング周波数がＬＣフィルタの共振周波数に近い場合には共振抑制制御が困難となる。
【解決手段】電力変換器の制御部に、設定された電圧指令値と前記ＬＣフィルタのコンデンサ電圧Ｖcとの偏差信号をＫp1・Ｃ倍する第１の比例要素と、この比例要素の出力とコンデンサ電流Iｃとの偏差信号をＫp2・Ｌ倍する第２の比例要素、及びＬＣフィルタの伝達関数を打ち消すための擬似微分要素を有する帯域通過フィルタを設ける。この帯域通過フィルタから得られる制御量と電圧指令値Ｖ^*を加算して電圧指令値Ｖ２^*を生成し、この生成された電圧指令値Ｖ２^*をＬＣフィルタ部に印加するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】収納容器との接続部の歪みを低減させるとともにゼオライト膜エレメントの歩留まりを向上させること。
【解決手段】膜エレメント１は、外周面にゼオライト膜が備えられたゼオライト膜管２と、この膜管２の一方の端部を封止する熱収縮性樹脂からなる封止部３と、ゼオライト膜管２とこれを収納するケーシング１１とを接続しかつ当該膜管２の他方の端部を支持する熱収縮性樹脂からなる接続部４とを備える。接続部４は、ゼオライト膜管２の他方の端部が挿入される外管部と、この外管部と同軸に当該外管部内に具備されかつゼオライト膜管２内の膜透過物質を流通させると共に当該外管部とでゼオライト膜管２の他方の端部を支持する内管部とから成る。 （もっと読む）

【課題】発電出力スケジュール設定を簡易にして、風車発電機の脱落またはその運転再開にも所期の発電出力を確保できる。
【解決手段】風車発電機＃１〜＃１０をグループ化し、サーバ装置１００は風車発電機グループ単位での発電出力スケジュールを設定する。各風車発電機別にそれぞれ設けた各情報通信制御端末は、同じグループ内の情報通信制御端末の１つをマスタ、他をスレーブとするマスタ／スレーブの設定とマスタ／スレーブの切替えができ、サーバ装置で設定した自端末が所属する風車発電機の発電出力スケジュール制御情報および他の端末が所属する各風車発電機の発電出力スケジュール制御情報をそれぞれ取得し、現在のマスタによるグループ内各風車発電機の発電出力の分担制御およびグループ内の風車発電機の脱落とその運転再開に対する分担制御を行う。 （もっと読む）

【課題】配電盤に収納される引出形器具の操作装置は、インタロック機能を持たせるために大型で複雑な構成となっている。
【解決手段】引出形器具の前面板に左右動可能な可動体、挿抜金具、及び操作ベース板を設け、且つ挿抜金具の下部に配設されて常時は可動体をロック状態に維持し、挿抜金具の溝孔に挿抜ハンドルを挿入したときにロック状態を解除するインタロック部を設ける。操作ベース板は挿抜金具の上部位置に固着され、また、挿抜ハンドルには挿抜金具の溝孔をスライドする第２ローラと操作ベース板上を可動する第１ローラが設けられ、挿抜ハンドルの把持部を回すことで引出形器具の挿入、又は引抜きを可能とする。 （もっと読む）

【課題】デッドタイム補償前のＰＷＭゲート指令とデッドタイム補償後の相電圧出力との誤差（位相差）を低減することで遅延誤差ＴＤＬＹを短縮する。
【解決手段】デッドタイム補償部３０は、ＰＷＭゲート指令Ｇａｔｅ＿ＵとＰＷＭ出力Ｖｃｅ＿Ｕとの位相差に応じて求めるデッドタイム補償分Ｖｃｍｐ＿ＵでＰＷＭ電圧指令Ｖｃｍｄ＿Ｕの電圧値を増減し、この補償後のＰＷＭ電圧指令Ｖｃｍｄ＿Ｕ’をＰＷＭ波形発生部２０でＰＷＭゲート指令に変換することで、デッドタイム補償前のＰＷＭゲート指令とデッドタイム補償後の相電圧出力との誤差（位相差）を低減する。 （もっと読む）