説明

三菱マテリアル株式会社により出願された特許

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【課題】試料分解時の不純物の混入を確実に避けることにより、精度の高い多結晶シリコンの分析を可能にする。
【解決手段】上方が開放され、前記試料を収容可能な試料容器と、上方が開放され、前記試料を分解する分解用溶液を保持する溶液容器と、前記試料容器および前記溶液容器を収容して密閉空間を形成するチャンバと、前記試料容器を所定の試料温度に加熱する試料加熱器と、前記分解用溶液を所定の溶液温度に加熱する溶液加熱器とを備え、多結晶シリコンに含まれる不純物濃度を分析するために多結晶シリコンの試料を分解昇華させる装置。 (もっと読む)


【課題】磁束透過率が低く漏れ磁束が小さいターゲットの漏れ磁束を増加させて肉厚のターゲットの使用を可能にし、生産性の向上を図ることができるスパッタリングターゲット及びマグネトロンスパッタリング装置を提供する。
【解決手段】スパッタされてエロージョンが発生するスパッタ面5aと、スパッタ面5aの反対側に設けられた裏面部5bとを備え、裏面部5bは、マグネトロンスパッタリング装置1にスパッタリングターゲット5を配置した際に、マグネトロンスパッタリング装置1が備えるマグネット7a,7bの磁極と対向する磁極対向面51a,51bと、この磁極対向面51a,51bの周囲に設けられスパッタ面5a側にくぼんだ凹部53a〜53cとを有し、磁極対向面51a,51bと凹部53a〜53cとにより、磁極対向面51a,51bを先端とする磁極集中部52a,52bが形成されている。 (もっと読む)


【課題】Beを含有することなく、原料コスト及び製造コストが低く、引張強度及び導電性に優れ、かつ、加工性にも優れた高強度高導電性銅合金を提供する。
【解決手段】Mg;1.0質量%を超えて4質量%未満、Sn;0.1質量%を超えて5質量%未満を含み、残部が実質的にCu及び不可避不純物とされており、Mgの含有量とSnの含有量の質量比Mg/Snが0.4以上とされていることを特徴とする。引張強度が750MPa以上、導電率が10%IACS以上とされていることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】反応流体から金属シリコン粉末やその酸化物、不純物成分を効率的に除去して、不純物の少ないトリクロロシランを得る。
【解決手段】反応炉2内に供給された金属シリコン粉末を塩化水素ガスによって流動させながら反応させ、この反応により生成されたトリクロロシランを浄化しながら取り出すトリクロロシラン製造装置1において、反応炉2に接続されたトリクロロシラン浄化系5に、反応炉2から排出されるトリクロロシランを含む反応流体中の粗粒子を分離して捕集する粗粒子分離手段21と、該粗粒子分離手段21で捕集された粗粒子を反応炉2内に戻す粗粒子回収系25と、粗粒子分離手段21を通過した反応流体中の微小粒子を除去するフィルター27とが設けられている。 (もっと読む)


【課題】切削インサートの部品点数を増加させることなく、被削材の周面に沿って端面溝入れ加工する場合であっても加工精度を十分に確保できる刃先交換式溝入れ工具及び端面溝入れ加工方法を提供する。
【解決手段】切削インサート30は、インサート本体31の延在方向の中央及び該延在方向に直交する幅方向の中央を通りこれら延在方向及び幅方向に直交するインサート高さ軸線C3に関して回転対称、かつ、インサート高さ軸線C3を含み前記延在方向に垂直なインサート仮想平面VS1に関して面対称に形成され、前記幅方向のうち工具本体1の一側面3C側に位置する一方のコーナー部43Aから他方のコーナー部43Bに向かう方向を他方の幅方向C2Aとして、他方の切れ刃32Bにおける他方の幅方向C2Aとは反対側に位置する一方のコーナー部43Cが、一方の切れ刃32Aにおける一方のコーナー部43Aよりも他方の幅方向C2A側に配置されている。 (もっと読む)


【課題】鋼や鋳鉄の高速重切削加工において、すぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製インサートを提供する。
【解決手段】 原料として少なくともWC粉末、Co粉末を含むとともに、さらに、ZrC粉末およびZrCN粉末のうちの1種または2種を含む配合原料を成型、焼結して得られるWC基超硬合金を基体とし、この基体上に硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆超硬合金製インサートにおいて、WC基超硬合金の基体表面には、5〜35μmの平均厚さのCo富化表面領域を形成し、かつ、WC基超硬合金の基体エッジ部のCo含有量及びZr含有量を、それぞれ、超硬合金内部のCo含有量の0.80〜0.95、Zr含有量の1.10〜1.45(いずれも質量比)とする。 (もっと読む)


【課題】膜に対して縦方向の接触抵抗を大幅に低減し、その結果として、太陽電池セルを構成した際に、変換効率を決める因子の一つであるフィルファクターを増大し得る、スーパーストレート型太陽電池の透明導電膜、複合膜及びその製造方法を提供する。
【解決手段】スーパーストレート型太陽電池の光電変換層上に導電性酸化物微粒子分散液を湿式塗工法を用いて塗布することにより、導電性酸化物微粒子の塗膜を形成した後、導電性酸化物微粒子の塗膜上にバインダ分散液を湿式塗工法を用いて塗布することにより、バインダ成分を含浸し焼成することで形成する透明導電膜が、光電変換層上にバインダ成分を含む第1層と、この第1層上に形成され第1層に比べバインダ成分の含有量が少ない第2層とにより構成されている。 (もっと読む)


【課題】プラズマ式の蒸着法により蒸着膜を成膜する際、特に蒸着材の昇華が始まる初期段階において、従来よりも低エネルギーでの成膜を実現し、かつ装置の改良を行うことなく昇華した蒸着材料に指向性を付与し得る蒸着材及び該蒸着材を用いて成膜された蒸着膜を提供する。
【解決手段】上面に1又は2以上の突起11が形成された基部10aと、少なくとも突起11と同数の貫通孔12が突起11と対応する位置に設けられ基部10aの上面にすべての突起11を貫通孔12が収容するように設置されたマスク10bとを含み、突起11は基部10a表面からの最大高さhが1〜10mmであり、基部10a表面から突出する部分の最大幅wが1〜10mmであり、マスク10bに設けられた貫通孔12は高さHが突起11の最大高さhの1.2〜3倍であり、かつ幅Wが突起11の最大幅wの1〜4倍であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】切削インサートの部品点数を増加させることなく、被削材の周面に沿って端面溝入れ加工する場合であっても加工精度を十分に確保できる刃先交換式溝入れ工具及び端面溝入れ加工方法を提供する。
【解決手段】切削インサート30は、インサート本体31の延在方向の中央及び該延在方向に直交する幅方向の中央を通りこれら延在方向及び幅方向に直交するインサート高さ軸線C3に関して回転対称、かつ、インサート高さ軸線C3を含み前記延在方向に垂直なインサート仮想平面VS1に関して面対称に形成され、インサート長手軸線C1が、一方の切れ刃32Aにおける一対のコーナー部のうち少なくともいずれかのコーナー部及び回転軸線WOを含む工具仮想平面VS3に対して傾斜しているとともに、一方の延在方向C1Aへ向かうに従い漸次工具仮想平面VS3に接近するように延びていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】切削インサートの部品点数を増加させることなく、被削材の端面に沿って周面溝入れ加工する場合であっても加工精度を十分に確保できる刃先交換式溝入れ工具及び周面溝入れ加工方法を提供する。
【解決手段】切削インサート30は、インサート本体31の延在方向の中央及び該延在方向に直交する幅方向の中央を通りこれら延在方向及び幅方向に直交するインサート高さ軸線C3に関して回転対称、かつ、インサート高さ軸線C3を含み前記延在方向に垂直なインサート仮想平面VS1に関して面対称に形成され、前記幅方向のうち、一方のコーナー部43Aから他方のコーナー部43Bに向かう方向を他方の幅方向C2Aとして、他方の切れ刃32Bにおける前記他方の幅方向C2Aとは反対側に位置する一方のコーナー部43Cが、一方の切れ刃32Aにおける一方のコーナー部43Aよりも前記他方の幅方向C2A側に配置されている。 (もっと読む)


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