【課題】ワークの交換時間を短くして、装置の利用効率を上げること。
【解決手段】ワークトレイ６Ａ〜６Ｄを複数用意し、ワークトレイ６Ａ〜６Ｄを基台５に対して着脱可能とし、基台５に、ワークトレイ６Ａ〜６Ｄの内の一つを装着してワークステージ４を構成する。ワークトレイ６Ａ〜６Ｄを基台５から分離し、例えばワークトレイ６Ａに複数のワークＷを載せて基台５上に置き、ワークＷに対して一枚毎にアライメントを行い、光照射部１からの光をマスクＭを介してワークＷに対して照射し、逐次露光処理を行う。ワークトレイ６ＡのワークＷの露光処理をしている間に、他のワークトレイ６Ｂ〜６Ｄ上に未処理のワークＷを載せる作業を行い、上記露光処理が終わると、ワークトレイ６Ａを取り外し、未処理のワークが載せられたワークトレイ６Ｂ〜６Ｄを基台５に載せて露光処理を行う。また、同時にワークトレイ６Ａから露光済みのワークＷを回収する。 （もっと読む）

【課題】定格電力の交流電力を供給する第１点灯モードから定格電力より低い交流電力を供給する第２点灯モードに切り替えたときに、第２点灯モードによる放電ランプの点灯中においてフリッカの発生が防止または抑制される放電ランプ点灯装置を提供する。
【解決手段】それぞれ先端に突起が形成されたタングステン製の一対の電極を有する放電ランプと、この放電ランプに交流電力を供給する給電装置とを具えてなる放電ランプ点灯装置において、前記給電装置は、前記放電ランプに定格電力を供給する第１点灯モードと、前記放電ランプに定格電力より低い電力を供給する第２点灯モードとを切り替えて前記放電ランプを点灯する機能を有し、前記第１点灯モードから前記第２点灯モードに切り替えるモード切替期間において、平均電力変化率が０．０１〜２．１Ｗ／ｓとなる条件で、前記放電ランプに供給する電力を制御するものであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 例えばプロジェクタ装置用の光源として用いられる、明るさを低下させることなく、スペックルノイズを低減することのできるレーザ光源装置を提供すること。
【解決手段】 このレーザ光源装置は、レーザ光源と、レーザ光源からのレーザ光が通過する一方の光学的平面がレーザ光の光路に対して直交する状態で設けられたプリズムと、プリズムを、レーザ光の光路と直交しない他方の光学的平面が位置される平面に沿って、プリズム中のレーザ光の光路長が変化する方向に平行移動するよう、振動させる振動駆動機構とを備えてなる。また、各々頂角を構成する二つの光学的平面を有するプリズム要素の複数が、一方の光学的平面が同一平面上に位置されると共に他方の光学的平面のレベルが互いに異なる状態で、高さ方向に密接して配置されてなる複合プリズムを、いずれか一方の光学的平面がレーザ光の光路に直交する状態で設けた構成とすることができる。 （もっと読む）

【課題】石英ガラスからなる発光管と、励起されることにより紫外光を放射する蛍光体層とを備えた蛍光ランプにおいて、製造時に焼成工程を減らして１回で済むようにして、製造にかかるコストおよび時間を低く抑えつつ、発光管に蛍光体層を強固に安定的に保持・形成することができる蛍光ランプの構造及びその製造方法を提供する。
【解決手段】蛍光体層が、蛍光体粒子とシリカ粒子を含むものであり、好ましくは、前記蛍光体層に含まれるシリカ粒子は、平均粒径が１０〜１００ｎｍであり、該蛍光体層に含まれる割合が２〜２０ｗｔ％であり、更に好ましくは、前記シリカ粒子の平均粒径が１０〜５０ｎｍである。また、蛍光ランプの製造方法は、蛍光体粒子とシリカ粒子などと有機溶媒とを混合して蛍光体塗布液を調製し、これを石英ガラスからなる管に塗布し、乾燥および焼成する。 （もっと読む）

【課題】石英ガラスからなり内部に一対の電極を有する発光部と、この発光部の両端に形成された封止部とよりなり、該封止部内に埋設された金属箔を介して前記電極に給電する高圧放電ランプにおいて、前記電極の芯線は、該芯線の軸方向に伸びる溝が円周方向全体にわたって形成されており、封止時に当該溝の封止部側端部で石英ガラスとの間に隙間ができることを防止した構造を提供することにある。
【解決手段】前記電極芯線に形成する複数の溝において、封止部側端部における深さがその他の部分よりも深いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ランプの点灯状態を、比較的高い電力と比較的低い電力の間で間欠的に点灯とし、その結果、ランプ温度にばらつきが発生した場合でも、使用寿命が長いメタルハライドランプを提供すること。
【解決手段】 石英ガラスからなる発光管の内部に、一対の電極が対向配置され、水銀、希ガス、鉄、タリウム及びビスマスが封入され、更に少なくとも沃素を含むハロゲンが封入されてなるメタルハライドランプにおいて、鉄、タリウム及びビスマスが、鉄とタリウムの原子量比Ｆｅ／Ｔｌが１５〜２５の範囲、鉄とビスマスの原子量比Ｆｅ／Ｂｉが２〜４の範囲、ビスマスとタリウムの原子量比Ｂｉ／Ｔｌが５〜１０の範囲で封入されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】両端に第１電極と第２電極が配置された長尺状の発光管よりなるフラッシュランプおよびフラッシュランプ発光装置において、フラッシュランプを長尺化しても、パルス幅の伸びを抑制しつつ、充電電圧を小さくすることができる構造のフラッシュランプ及びフラッシュランプ発光装置を提供することである。
【解決手段】前記フラッシュランプの発光管の中間部には、第３電極が配設されるとともに、これらの隣り合う全ての電極間で個別に且つ同時に閃光放電することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プロジェクタ装置の高圧放電ランプ点灯装置において、処理速度が遅いプロセッサを用いて、ランプの平均電力を所望の値に制御することができるようにすること。
【解決手段】カラーホイール７は回転し、ランプ１０からの光を各色成分に分光する。ランプ１０への供給電力はカラーホイール７のセグメント毎に異なった大きさに制御される。給電装置制御部３０は、給電装置２０からランプ１０へ供給される電力をサンプリング周期Ｔｓでサンプリングして平均電力を求め、平均電力が点灯モードに応じた基準電力になるようにフィードバック制御する。カラーホイールの全セグメント数をｃ、カラーホイール７の回転周期をＴｃとしたとき、Ｔｓ＞Ｔｃ／ｃかつ、Ｔｓ≠ｎ×Ｔｃ（ｎは整数）になるようにサンプリング周期を設定する。これにより、処理速度が遅いプロセッサを用いてランプ１０の平均電力に相当した値を求めて平均電力を制御することができる。 （もっと読む）

【課題】 複数の放電ランプが所定方向に並んで配設されてなる構成のものにおいて、不具合の発生した放電ランプの特定および異常の状態の判別を行うことができて、装置の正常動作状態を確認することのできる光照射装置を提供すること。
【解決手段】 この光照射装置は、ショートアーク型の放電ランプ、および当該放電ランプを取り囲むよう配置された、当該放電ランプからの光を反射するリフレクタよりなる光源素子の複数が、一方向に並んで配置されてなる光源素子列を有する光出射部と、個々の放電ランプによる光到達領域における複数の測定箇所からの拡散光の光量を検出する光検出素子アレイとを備えてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】一対の主電極を放電空間内に有する高圧放電ランプと、この高圧放電ランプの点灯始動時のみ当該放電空間に向けて紫外光を放射する始動補助光源（ＵＶセル）と、この高圧放電ランプおよびＵＶセルを点灯させるための給電装置とよりなる放電ランプ装置において、低電圧でも安定して放電ランプを点灯始動させることができるような構造を提供することにある。
【解決手段】前記給電装置は、前記高圧放電ランプの点灯始動時に始動用高電圧を発生させて、その後に定常点灯用電圧に移行させるものであって、前記ＵＶセルは、前記始動用高電圧では発光するが、定常点灯用電圧では発光しないものであって、かつ、該ＵＶセルには、少なくとも始動用希ガスと、発光物質として一酸化炭素（ＣＯ）を含むことを特徴とする。 （もっと読む）