【課題】 メタルハライドが封止部に滲入することを防止して長寿命のメタルハライドランプを提供すること、更にはランプを点灯する給電装置が電流を切り替えて点灯する場合でも、メタルハライドランプの封止部の不具合を回避できるメタルハライドランプ点灯装置を提供すること。
【解決手段】 石英ガラス製の発光管の内部に発光物質として鉄を含み、発光管の両端に電極の軸部を支持する保持用筒体が具備されると共に、封止部にモリブデン箔が埋設されてなるメタルハライドランプであって、保持用筒体の長さをＬ（ｍｍ）、ランプの電流をＩ（Ａ）とすると、Ｌ／Ｉ（ｍｍ／Ａ）が０．１７以上であると共に、発光管の内部に錫、ビスマス、ガリウム、鉛及び亜鉛のうち少なくとも１種が封入されていることを特徴とする。またこのメルハライドランプと給電装置とを具備したメタルハライドランプ点灯装置とする。 （もっと読む）

【課題】紫外線によりインプラントの有機汚染物除去を行うためのインプラント用紫外線照射装置において、インプラントを処理室内に容易かつスムースに出し入れできて、処理後のインプラントへの再汚染の恐れのないインプラント用紫外線照射装置の構造を提供することである。
【解決手段】開閉扉を有する筐体と、該筐体内に配設された紫外線ランプと、前記筐体内に引き出し可能に設けられたキャリッジと、該キャリッジ上に載置されて筐体内の紫外線ランプと対向配置されるインプラント保持体とからなり、該インプラント保持体が、前記キャリッジに着脱自在に載置される載置台と、該載置台に着脱自在に載置されるインプラント支持台とからなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高い効率でレジストを除去することのできるレジスト除去装置およびレジスト除去方法を提供すること。
【解決手段】レジスト除去装置は、レジスト層が形成された基板を載置するための回転駆動される載置台と、当該載置台に載置される基板上に水を含有する光反応性処理液を供給するための処理液供給手段と、当該処理液供給手段によって基板上に供給された光反応性処理液よりなる液膜を介して当該基板におけるレジスト層に紫外光を照射するための紫外線ランプとを備えており、前記載置台に載置された基板におけるレジスト層上の各部分が、当該載置台の回転に伴って、前記紫外線ランプによって形成される照射領域および非照射領域を交互に通過することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】解像度の高いパタ一ンを形成することができ、均一な照度分布を有する光を照射することができるランプユニットおよび光照射装置を提供すること。
【解決手段】ショートアーク型の放電ランプとリフレクタよりなる複数の光源素子を、ハニカム構造体１６に一方向に並べて収納し、複数列の光源素子列からなるランプユニット１０を構成する。ハニカム構造体１６の光出射側には前面ガラス１８が設けられる。ハニカム構造体１６に収納される各光源素子は、一の光源素子列の各光源素子の中心位置と、当該光源素子１に最も接近する他の光源素子列の光源素子の中心位置との光源素子列の並び方向の離間距離Ｈが、各光源素子の幅をＡとし、光源素子列の列数をＮとするとＨ＝Ａ／Ｎを満たすように設定される。これにより、一の光源素子列の照度の谷の部分を他の光源素子列の照度の山の部分で補い、照度分布を均一にすることができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、ランプの長時間の点灯によって陰極先端部が消耗して先端形状が変化した場合でも、初期の放電破壊電圧を維持できるショートアーク型放電ランプを提供すること。
【解決手段】 陽極と陰極が発光管の内部で対向配置したショートアーク型放電ランプにおいて、該陰極は先端に向かうに従って小径となるテーパー部を有し、該テーパー部には凹所が設けられ、該凹所には、該テーパー部の表面から突出する金属体が設けられ、該金属体の先端に角部が少なくとも一つ設けられ、該金属体の先端と前記陽極の先端との距離が、該陰極と該陽極との距離より離れていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】紫外線によりインプラントの有機汚染物除去を行うためのインプラント用紫外線照射装置において、筐体内に生成されるオゾンが漏出することなく、処理後も所定のオゾン除去時間が経過するまでは扉を開くことができなくしてオゾンの流出を防止して、安全に紫外線洗浄することのできるインプラント用紫外線照射装置の構造を提供することである。
【解決手段】開閉扉を有する筐体と、該扉を筐体に密閉するロック機構と、前記筐体内に配設された紫外線ランプと、オゾン除去手段からなるとともに、前記紫外線ランプの点灯開始前に該扉をロック状態とし、当該紫外線ランプの消灯後に、オゾン除去処理を開始し、一定時間経過後に該扉のロック状態を解除する制御部を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空吸着によりワークを吸着保持するワークステージにおいて、中央部が凸に変形したワークであっても、その反りを矯正して全面で吸着保持できるようにすること。
【解決手段】ワークＷが搬送されると、ピン５ａが上昇し、ワークＷを受け取りピン５ａが下降する。これによりワークＷはワークステージ上４に置かれる。ピン５ａとともに鍔部材７も下降し、鍔部材７の下面が蓋部材６の上面に密着する。鍔部材７と蓋部材６が密着することにより、ワークステージ４の貫通孔４ｃは閉じられる。この状態で、真空吸着孔４ｂに真空が供給されると、ワークＷとワークステージ４の間の空間は減圧し、ワークＷはワークステージ４に吸着保持される。ピン５ａが下降したとき鍔部材７と蓋部材６により貫通孔４ｃが閉じるので、貫通孔４ｃを通って大気が流入せず、ワークＷが椀を伏せたように変形していたとしても確実にワークＷを吸着保持することができる。 （もっと読む）

【課題】 ランプ点灯後、長時間にわたって陰極の先端面に凹凸ができるのを防止して、フリッカー現象の発生を長時間抑制した使用寿命の長いキセノンショートアークランプを提供すること。
【解決手段】 デジタルプロジェクター用のキセノンショートアークランプにおいて、陽極と、電子放射性物質を備えたタングステンからなる陰極本体を備えた陰極と、石英ガラス製の発光管とを具備してなるデジタルプロジェクター用のキセノンショートアークランプであって、前記陰極は、先端面における表層に、タングステン（Ｗ）の相中にタングステンの炭化物の縞状の相を有してなり、前記発光管の内部に炭素および／または炭化物を備えると共に前記発光管における内表面のＯＨ基濃度が１００ｗｔ−ｐｐｍ以上であり、前記発光管の内部に水素選択性を有するゲッターを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】金属部分上に形成された硬化膜の除去を達成することにより、金属部分と樹脂部分との高い密着性を確保しながらも、金属露出部分が形成されて電気的導通を容易にとることができる回路基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】回路基板の製造方法は、導電部における少なくとも一部の金属部分の表面にシランカップリング剤が硬化されてなる硬化膜が形成された回路基板の製造方法において、前記硬化膜の一部に紫外線を照射する紫外線照射工程と、前記紫外線により照射された被照射部分を除去する被照射部分除去工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板から剥離後の材料層におけるクラックの発生を極力防止することができるレーザリフトオフ方法および装置を提供すること。
【解決手段】基板上に材料層が形成されたワーク３に対し、基板を通してパルスレーザ光を照射領域を刻々と変えながら照射する。レーザ光は、前記ワーク３の移動方向と平行方向に伸びる２辺を有する四角形状に形成され、隣接する各照射領域が重畳するように照射される。基板１から順次に剥離される剥離領域において、基板からはじめて剥離される材料層の剥離辺が２辺になり、かつ、ワークの移動方向と交差する方向に伸びる剥離辺Ａと、剥離済みの領域のワークの移動方向と平行方向に伸びる辺Ｂ´のなす角（未分解領域側から見た角θ１）が鈍角となるように、ワークに対して照射する。これにより、材料層２に割れを生じさせることなく材料層２を基板１から剥離させることができる。 （もっと読む）