【課題】画質低下防止と装置のコンパクト化の両立を実現できる投射光学装置を提供する。
【解決手段】ライトバルブと、透過型屈折素子を含む第一光学系５および反射型屈折素子を含む第二光学系３'を有する投射光学系を備え、ライトバルブで形成された画像を投射光学系により投射面４に投射する投射光学装置において、第一光学系５は、該第一光学系５内であって、該第一光学系５が反射型素子を含む場合にはそれを除いたライトバルブ寄りの範囲内で、光軸が下方向に曲げられ、且つ、水平方向に折り曲げられている。これにより、第一光学系５の第1群５Ａは、第二光学系３'の下端を下限とする下方スペース（デッドスペース）内に収容され、装置の奥行き寸法がＤ１に狭められる。 （もっと読む）

【課題】所望の光学機能をもち、設計所自由度が大きい光学素子を高い歩留まりで製造できる光学素子製造方法を提供する。
【解決手段】基板１１上にＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料を液状で塗布する塗布工程と、塗布形成された塗布層１２０に対してプリベークを行って塗布層をゲル化してゲル層１２１とするプリベーク工程と、得られたゲル層１２１に対して、微細な凹凸構造に反転的に対応する表面形状を有する押型２００を押圧した状態で、熱および／または光によりゲル層１２１を硬化して、表面形状の反転形状をゲル層に転写する転写工程と、転写工程後に、硬化したゲル層である硬化層１２２から押型２００を型抜きする型抜き工程とを有し、プリベーク工程におけるゲル化の程度を押型２００の表面形状の転写に適したゲル化状態に調整する。 （もっと読む）

【課題】チャンバーのクリーニングを短時間で終了できるようにする。
【解決手段】エッチングチャンバー２内の上部にガス導入部６をもつドライエッチング装置では、エッチングチャンバー２内にクリーニングガスを導入し、エッチングチャンバー２内の上部でプラズマ１４の密度が高くなるようにエッチングチャンバー２にプラズマを発生させる。 （もっと読む）

【課題】膜厚の大きい「ＳｉＯ_２を骨格とする重縮合材料による薄膜」を有し、クラックの発生を有効に抑制できる新規な光学素子を実現する。
【解決手段】透明基板の少なくとも１面に、２層以上の光学薄膜が積層構造体として積層形成された光学素子であって、積層構造体のうち、透明基板１０に接して形成される第１層の光学薄膜２０は、ＳｉＯ_２を骨格とする重縮合材料の加熱硬化処理により形成される塗布膜であり、第１層の上に、第１層の膜面方向の応力を、この応力と逆向きの応力により緩和する応力緩和膜３０が第２層として積層形成され、第１層２０は、屈折率が透明基板の屈折率と異なり、積層構造体における膜面方向の応力が、積層構造体全体として、積層構造体におけるクラック発生の臨界応力より小さくなるように緩和されている。 （もっと読む）

【課題】小型に構成でき、静脈像を簡便に画像として入力できる新規な血管像入力装置を実現する。
【解決手段】レンズアレイ１０と、受光面３１上に各凸レンズＬに１：１に対応する微小受光領域ＰＳを有する受光手段２０と、凸レンズＬとこれに対応する微小受光領域ＰＳとの間の非反射性導光路を形成する孔が凸レンズＬの配列に対応して形成され、凸レンズＬごとの視野領域を微小受光領域ごとに独立させる遮光手段３０と、入力画像として取込むべき静脈部分０１を近赤外光により照明する照明手段４１、４２とを有し、静脈部分０１に近い人体表面を位置決めする位置決め部１１が形成され、静脈部分０１を含む面からの近赤外光が個々の凸レンズＬにより対応する微小受光領域ＰＳへ伝送され、微小受光領域ごとの受光量が１画素情報として静脈部分０１の画像情報を構成する血管像入力装置。 （もっと読む）

【課題】平板状の基板の反りの問題を有効に解決した新規な膜積層基板を実現する。
【解決手段】平板状の基板１００の少なくとも片面にＮ（≧２）層の薄膜１２１ａ、１２１ｂを積層形成してなる膜積層基板であって、片面に積層形成されるＮ層の薄膜全体として、膜面方向の応力が相殺され、基板に反りを生じさせる応力が作用しないようにＮ層の薄膜の材料と膜厚が設定されている。 （もっと読む）

【課題】単一の対物レンズで、異なる基板厚さの複数の光記録媒体に良好なスポットを形成し、複数の情報記録面を持つ多層光記録媒体の隣接層からの干渉光を抑制する。
【解決手段】回折光学素子１０６は収差補正機能の同心円状に分割された２つの領域１０６ｂ，１０６ｃと不要光対策の領域１０６ａを有する。領域１０６ｂはＮＡ０.６５の回折構造で波長４０５ｎｍの入射光束を０次透過光と＋１次回折光に配分する。領域１０６ｃはＮＡ０.６５〜ＮＡ０.８５の平坦構造でＮＡ制限し、領域１０６ａには隣接層の干渉光対策用の回折を形成する。領域１０６ｂは、対物レンズとの組合せで２焦点レンズ構成となり、各光記録媒体にスポットを形成、また情報記録面集光時に生じる球面収差を補正する。領域１０６ａの回折構造により、対象層で反射された±１次回折光とオーバーラップされる隣接層の０次透過光を回折させて、隣接層からの干渉光の受光を抑制する。 （もっと読む）

【課題】耐環境性、信頼性及び長期安定性に優れた光学素子を安価に製造できるようにし、フィリングファクタも大きくできるようにする。
【解決手段】光学素子のサブ波長構造で無機材料からなるものを以下の工程（Ａ）から（Ｄ）を含んで製造する。
（Ａ）基板表面に形状転写可能な樹脂層を形成する工程、
（Ｂ）サブ波長構造と同じ構造をもつ金型を前記樹脂層に押し当てて金型のサブ波長構造を反転したサブ波長構造を前記樹脂層に転写する工程を含んで、基板表面に金型のサブ波長構造の凹部に対応する凸部からなる前記樹脂によるサブ波長構造を形成する工程、
（Ｃ）前記表面に粘度が２００ｍＰａ・ｓ以下の無機又は有機・無機複合のゾル−ゲル材料を塗布して前記樹脂によるサブ波長構造の凹部を埋め、その後、塗布されたゾル−ゲル材料を硬化させる工程、
（Ｄ）基板表面から前記樹脂を除去して硬化したゾル−ゲル材料によるサブ波長構造を前記基板表面に残す工程。 （もっと読む）

【課題】製造工程中又は光学機器への取付け中などに周期構造の形状維持が容易な丈夫な構造をした光学素子の提供。
【解決手段】サブ波長の凹凸の周期構造を持ち、周期構造の凹条に、隣接する凸条を結合する支柱を設けた位相板、好ましくは、凹条における支柱は、所定間隔ＰＹで周期的に配置されており、凹条における支柱の間隔ＰＹは、波長の周期より広く、支柱の凹条の溝方向における幅ＬＹは、周期構造における凸条の幅Ｌ以上である位相板。 （もっと読む）

【課題】開口切替えと収差補正を位相シフタ面だけで行い、基板厚の異なる光記録媒体の再生，記録を同一波長の光束と単一の対物レンズで実現する。
【解決手段】収差補正手段５０１の位相シフタ面５０２は、光束が通過する領域５０２ｂのうち領域５０２ａの範囲内に、光軸中心で同心円状に光軸方向の高さが異なる矩形または階段状の段差が形成される。段差は、波長４０５ｎｍの光束をそのまま透過させ、光記録媒体１１７に生じる球面収差を補正する位相差を付与する。段差のうち波長に対し２πの整数倍となる位相差を付与する輪帯状の領域（段差の高さｄが２πの０倍すなわち段差のない領域）の光束は、光記録媒体１０７に集光する。また外側領域５０２ｃ（平坦部）の光束は、光記録媒体１０７に対物レンズ１０６で集光され、光記録媒体１１７には集光されない。位相シフタ面５０２により、光記録媒体１１７の収差補正と開口を切替えて良好なスポットを形成する。 （もっと読む）