【課題】放出されるプラズマ原子の純度を高め、不純物の混入を防止し、イオン濃度の制御性を良くしたラジカル発生装置を提供する。
【解決手段】放電管１０の外側周囲を高周波コイル４で巻き回されており、高周波コイル４の端子は、高周波電源９に接続されている。放電管１０は、放電室１、蓋２、ガス導入用底板３で構成されている。また、支持台８が設けられており、支持台８には支柱６が配置され、支柱６にはシャッター５が接続されている。斜線が付されている構成部品、すなわち、シャッター５、蓋２、放電室１、ガス導入用底板３については、これらのすべて、又は一部について石英等のシリコン系化合物で形成されている。 （もっと読む）

【課題】外部との電気的な接続に用いる複数の突起電極と、これらの突起電極が設けられた面を絶縁被覆して保護する樹脂層を備えた半導体装置、及びこの半導体装置における突起電極の形成方法において、突起電極の配設ピッチを小さくすることにより小型化された半導体装置、及びこの半導体装置における突起電極の形成方法を提供する。
【解決手段】突起電極を複数の金属層の積層体で形成する。さらに、積層体における上層側の金属層と下層側の金属層とで面積を異ならせる。特に、積層体における上層側の金属層の面積を、下層側の金属層の面積よりも小さくする。または、積層体における順次積層された第１の金属層と、第２の金属層と、第３の金属層のうち、第２の金属層の面積を第１の金属層の面積及び第３の金属層の面積よりも大きくする。 （もっと読む）

【課題】パワーデバイスなどへの適用に適したIII族窒化物半導体を用いた窒化物半導体積層構造およびその形成方法、ならびにこの形成方法により形成される窒化物半導体積層構造部を有する窒化物半導体素子およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】III族窒化物半導体からなる窒化物半導体積層構造の形成工程において、ｎ型ＧａＮ層７の上には、開口部９を有する絶縁膜マスク８が形成される。そして、この絶縁膜マスク８の開口部９から露出するｎ型ＧａＮ層７から、III族窒化物半導体からなるｎ型ＧａＮ層３、ｐ型ＧａＮ層４およびｎ型ＧａＮ層５が、この順に成長させられてｎｐｎ構造からなるメサ状積層部１５が形成される。 （もっと読む）

【課題】デバイスへの集積度が向上すると共に、放熱性に優れ、パワーデバイスなどへの適用に適したIII族窒化物半導体素子およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】この電界効果トランジスタは、素子チップ２０を備えている。素子チップ２０は、ｎ型ＧａＮ層２と、ｐ型ＧａＮ層３と、ｎ型ＧａＮ層４とからなる窒化物半導体積層構造部１を備えている。ｎ型ＧａＮ層４の表面にはソース電極１１が接続されており、ｎ型ＧａＮ層２の表面にはドレイン電極６が形成されている。また、素子チップ２０には、ソース電極１１およびソース側配線１６Ｓ、ならびにゲート電極９およびゲート側配線１６Ｇがそれぞれ電気的に接続するように、サブマウント１４が接着されている。 （もっと読む）

【課題】面的な領域を効率的に照明するのに好適な新たな光源装置を提供することをその課題とする。
【解決手段】樹脂により一体形成され、長手方向に延びる本体部１３０、および、この本体部の両端に形成された第１の端部１２１と第２の端部１２２を備えた導光部材１２０と、上記第１の端部１２１と上記第２の端部１２２の少なくともいずれか一方に対向して配置されたＬＥＤ発光装置２００と、を備えた光源装置であって、上記本体部１２０は、略同一の基準平面内において蛇行もしくは屈曲させられている。 （もっと読む）

【課題】酸素を含む雰囲気中で膜の成長や加熱処理を行う場合に、容易に劣化せず、赤外線を大量に吸収することもない赤外線リフレクターとこれを備えた加熱装置を提供する。
【解決手段】基材１上に誘電体膜２、Ａｕ（金）膜３、酸化膜４が順に形成されている。この構成の赤外線リフレクターは、被加熱体側に酸化膜４が向くように使用される。Ａｕ膜３という反射メタルにより加熱源からの赤外線を反射して被加熱体側に集めることができる。また、基材１上に誘電体膜２が形成されているので、高温下でのＡｕの拡散を防止することができ、赤外線リフレクターの劣化を防止する。 （もっと読む）

【課題】自分の位置と相手の位置を同一の地図上に表示する際に使いやすい位置表示装置を提供する。
【解決手段】自分の位置情報だけでなく相手の位置情報に基づいても地図の方向を決定できるようにし、相手の視点から見た地図を表示することができるようにする。位置情報から地図の向きが決められないときは北方を上にする。自分と相手のいずれの位置情報により地図の向きを決めるか任意に選択できる。また、相手に送る写真を撮影するときは自動的に相手の位置情報に基づいて地図の方向を決め、この地図の進行方向に合わせて写真を撮れば相手の視点から見た風景が撮影できるようにする。 （もっと読む）

【課題】受光素子の剥離を防止することが可能な光通信モジュールを提供すること。
【解決手段】基板１と、基板１に搭載された発光素子２と、受光面３ａを有しており、かつ基板１に搭載された受光素子３と、発光素子２および受光素子３を覆う樹脂パッケージ５と、を備える光通信モジュールＡであって、基板１には、貫通孔１ａが形成されており、受光素子３は、貫通孔１ａの少なくとも一部を覆っており、受光素子３のうち受光面３ａと反対側の部分には、複数の凹部３ｂが形成されており、樹脂パッケージ５の一部は、複数の凹部３ｂを覆っている。 （もっと読む）

【課題】カーナビゲーションや携帯電話のナビゲーションをさらに使いやすいよう改良する。
【解決手段】ナビゲーションの目的地となる絶対位置情報を外部からも受信して記憶できるようにする。外部から受信した目的地は通常目的地と識別可能とする。自ら記憶している目的地情報を共有のため外部に送信する。送信情報の記憶を指示する信号も送信する。自らが取得した自らの絶対位置情報を相手の目的地として送信する。取得した自らの絶対位置情報を複数記憶するとともに複数の目的地候補として地図上に一覧表示する。記憶した複数の目的地への案内を同時表示する。記憶した複数の目的地を巡る順路を地図上に表示する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ＬＥＤに与える駆動電圧のフィードバック制御と駆動電流のＰＷＭ制御を共に実施することが可能な発光ダイオード駆動装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係るＬＥＤ駆動装置１０は、ＬＥＤの駆動電圧Ｖｏｕｔを生成する駆動電圧生成部１１と；ＬＥＤに流れる駆動電流ｉＷ１〜ｉＷ３のＰＷＭ制御を行う駆動電流制御部１２と；駆動電圧Ｖｏｕｔをモニタし、前記駆動電流のオフ期間中には、所定の参照電圧Ｖｒｅｆを基準として、駆動電圧Ｖｏｕｔの変動分が重畳されたモニタ電圧Ｖｍを生成するモニタ電圧生成部１３と；を有して成り、駆動電圧生成部１１は、前記駆動電流のオン期間には、帰還電圧ＶＷ１〜ＶＷ３が参照電圧Ｖｒｅｆと一致するように駆動電圧Ｖｏｕｔのフィードバック制御を行い、前記駆動電流のオフ期間には、モニタ電圧Ｖｍが参照電圧Ｖｒｅｆと一致するように駆動電圧Ｖｏｕｔのフィードバック制御を行う。 （もっと読む）