【課題】デバイスの抗折強度を低下させることなく、ゲッタリング効果を維持することができるとともに、ウエーハの厚みが薄くなっても破損させることなく研削することができる研削ホイールを提供する。
【解決手段】回転可能なチャックテーブルに保持された被加工物の被研削面を研削する研削ホイール５であって、中心部に研削水供給穴４４０を備えた円形状のホイール基台５１と、ホイール基台の下面に装着され中心部に該研削水供給穴と連通する連通穴５２１を備えた円形状の研削砥石５２とからなり、研削砥石は粒径が５μm以下のダイヤモンド砥粒をビトリファイドボンドで結合して焼成し円形状に形成され、連通穴の内周から外周までの径方向長さがチャックテーブルに保持される被加工物の半径より長い値に設定されている。 （もっと読む）

【課題】所望の中間搬送位置に被搬送物を搬送可能な、簡易で且つ安価な構成の搬送機構を提供する。
【解決手段】圧縮エアにより第一の搬送位置Ａと第二の搬送位置Ｂ間を選択的に往復動するピストン部材５４とを含むエアアクチュエータ５０と、ピストン部材５４に連結され被搬送物を保持する保持手段と、を具備する。第一の搬送位置Ａと第二の搬送位置Ｂとの間の所望の位置に少なくとも１個の中間搬送位置Ｍを有し、中間搬送位置に対応して停止手段５２が配設されている。当接部材６６が作用位置に位置づけられると、エアアクチュエータ５０によって移動される保持手段が当接部材６６に当接することによって保持手段の移動が停止され、当接部材６６が非作用位置に位置づけられると、保持手段が当接部材６６に当接することなく移動することができる。 （もっと読む）

【課題】 素子の発光能力を十分発揮可能な発光ダイオードを提供することである。
【解決手段】 サファイア基板の上面に緩衝層を介して積層されたｎ型窒化物半導体層と、該ｎ型窒化物半導体層上に積層されたｐ型窒化物半導体層と、該ｎ型窒化物半導体層に接続されたｎ電極と、該ｐ型窒化物半導体層に接続されたｐ電極とを備えた発光ダイオードであって、該ｎ電極は、該サファイア基板の下面から上面に貫通し、該緩衝層を介して該ｎ型窒化物半導体層に電気的に接続される貫通電極から構成され、該ｐ電極は、該サファイア基板の下面から上面に貫通し、更に該ｎ型窒化物半導体層を貫通して該ｐ型窒化物半導体層に電気的に接続される貫通電極とから構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウエーハをストリートに沿って正確に分割するとともに分割されたデバイスの厚みを薄く形成することができるウエーハの加工方法を提供する。
【解決手段】分割溝を形成する分割溝形成工程と、表面に複数の溝４１が形成されている剛性板４の表面にウエーハ２の表面を紫外線を照射すると硬化して保持力が増加するとともに水分を含むと膨潤して保持力が低下する粘着樹脂によって貼着する剛性板貼着工程と、ウエーハ２の裏面２ｂを研削して裏面２ｂに分割溝を表出させる裏面研削工程と、ウエーハの裏面に粘着テープを粘着する粘着テープ貼着工程と、ウエーハおよび剛性板を温水に浸漬して粘着樹脂を膨潤させて粘着樹脂の保持力を低下させる保持力低下工程と、剛性板４をウエーハ２の表面２ａから剥離する剛性板剥離工程とを含み、保持力低下工程は浸透層を通して粘着樹脂に水を誘導することにより粘着樹脂を膨潤せしめる。 （もっと読む）

【課題】保持したワークに加工や処理を施した際に、摩擦による静電気発生が抑えられてワークに電荷が溜まりにくく帯電量を小さくし、静電破壊を抑制する。
【解決手段】枠体４１１の上面に吸着部４１２が嵌合され、吸着部４１２の上面が保持面４１３とされたスピンナテーブル４１と、スピンナテーブル４１を回転可能に支持する回転ベース４２とからなるワーク保持装置４０において、吸着部４１２と枠体４１１をともにフッ素樹脂等の絶縁体で形成し、回転ベース４２をアルミニウム等の導体で形成する。導体であるウェーハ１と回転ベース４２との間に絶縁体のスピンナテーブル４１を挟んだコンデンサ構造を有し、間の絶縁体すなわちスピンナテーブル４１の厚さを大きくしてウェーハ１への帯電を抑える。 （もっと読む）

【課題】重量を軽く、保持テーブルの外周部上面と被加工物を保持する保持部の上面とに段差が生じない保持テーブルを備えた切削装置のチャックテーブルを提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブル４であって、吸引手段に連通する嵌合凹部４１１ａを備えた基台４１と保持テーブル４２とからなり、保持テーブル４２は、保持領域４２１ａと保持領域４２１ａを囲繞し、保持領域４２１ａより低い環状の段差部４２１ｂを備え、下面中央部に嵌合凹部４１１ａの直径より小さい吸引凹部４２１ｃを備えた多孔性セラミックス板４２１と、多孔性セラミックス板４２１の段差部４２１ｂと側面４２１ｄと下面に被覆された金属被覆部４２２と、吸引凹部４２１ｃより大きい直径を有し中央部に連通穴４２３ａを備え多孔性セラミックス板４２１の下面に被覆された金属被覆部４２２に電気的に接続された連結部材４２３とを具備している。 （もっと読む）

【課題】ポンプを用いて排液タンク内に貯留された排液を外部に送液する場合において、排液に異物が混入していたり粘性があったりする場合でも排液タンク内の排液の量に応じてポンプを適切に稼働させ、経済性も向上させる。
【解決手段】排液タンク本体３に貯留した排液をポンプ４によって排液調整手段４０へ送液する排液処理装置１において、排液の液位に応じて遮光板駆動手段９が遮光板８を駆動して光センサ７の状態をオン／オフさせることにより制御手段６がポンプ４の稼働を制御する構成とし、遮光板駆動手段９は、遮光板８に固定され遮光板８の厚さ方向の軸心を有する回転シャフト部１０と、回転シャフト部１０から回転シャフト部１０の径方向に延伸し排液タンク本体３内に垂下する延伸部１２とを有するアーム１３と、延伸部１２の端に配設された浮子１４とを備え、浮子１４の上下に対応して遮光板８が回動する構成とする。 （もっと読む）

【課題】ウエーハをストリートに沿って正確に分割するとともに分割されたデバイスの厚みを薄く形成することができるウエーハの加工方法を提供する。
【解決手段】ウエーハ２をストリートに沿って個々のデバイスに分割する方法であって、ウエーハの表面側からストリートに沿ってデバイスの仕上がり厚みに相当する深さの分割溝を形成する工程と、ウエーハ貼着領域に複数の貫通孔が形成された剛性板４に分割溝が形成されたウエーハを粘着樹脂４０によって貼着する工程と、粘着樹脂に紫外線を照射５して硬化させることで粘着力を増加せしめる工程と、ウエーハ裏面を分割溝に達するまで研削して個々のデバイスに分割する工程と、ウエーハの裏面を粘着テープに貼着する工程と、ウエーハおよび剛性板を温水に浸漬してウエーハと粘着樹脂を膨潤させることで粘着樹脂の保持力を低下せしめる工程と、剛性板をウエーハの表面から剥離する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】ウォータジェットの停止動作時において切替弁の閉弁動作を適切に行うことができると共に、部品の長寿命化を図ることができるウォータジェット加工装置を提供すること。
【解決手段】砥粒が混入された加工水と高圧水とが混合された高圧加工水をワークに対して噴射する噴射ノズル３と、加工水の供給路と高圧水の供給路との合流部分において、加工水と高圧水とを混合する混合室７１が形成された混合部４５ａと、混合室７１に円錐台状に突出して形成され、加工水の供給路の加工水供給口７６を有する弁座部７５と、加工水の供給停止時時に、弁座部７５に被せて加工水供給口７６を塞ぐ弁体８１とを備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】安全に紫外線ランプが交換可能な安全機構を具備した紫外線分解装置を提供する。
【解決手段】紫外線を遮光する材料で形成された廃液収容器４２と、該廃液収容器の中に隙間をもって設置され、紫外線を透過する材料で形成された紫外線ランプ収容器５０と、該紫外線ランプ収容器への該紫外線ランプの出し入れを阻害する閉位置と、該紫外線ランプ収容器への該紫外線ランプの出し入れを可能とする開位置との間で選択的に位置付け可能なカバー６０と、電源７２と、該電源及び該紫外線ランプに接続され、該紫外線ランプを選択的に該電源に通電して発光させるスイッチ７４と、該電源と該スイッチと該紫外線ランプとが直列に接続された電気回路上に設置され、該カバーが開位置に位置づけられている際に該電気回路を遮断し、該カバーが閉位置に位置づけられた際に該電気回路を接続して閉回路とするインターロック機構６５と、を具備する。 （もっと読む）