【課題】高純度で高濃度なオゾンガスを安定して生成できるオゾンガス発生装置を提供する。
【解決手段】一対の電極１４，１４の各々の対向面側に、各々１つずつ誘電体１３が設けられている。一対の誘電体１３，１３の間には、原料ガス供給経路とオゾンガス取出経路とが接続された放電空隙２０が形成されている。一対の誘電体１３，１３には、放電空隙２０に面する機能膜１７が設けられている。機能膜１７は、ニオブやタンタル、モリブデンの金属酸化物からなる固体酸触媒で形成されている。 （もっと読む）

【課題】航空機の地上操向装置において正常／異常の判定を正確に行えるようにする。
【解決手段】異常判定部が、目標操向角の時間変化率の絶対値から実操向角の時間変化率の絶対値を引いた値が負でありかつ目標操向角と実操向角との差の絶対値の時間変化率が正でありかつ前記差の絶対値が所定角よりも大きいという条件、目標操向角の時間変化率が０以上でありかつ実操向角の時間変化率が０以下であるか又は目標操向角の時間変化率が負でありかつ前記実操向角の時間変化率が正であるとともに前記差の絶対値の時間変化率が正でありかつ前記差の絶対値が前記所定角よりも大きいという条件、及び、目標操向角の時間変化率の絶対値が正でありかつ実操向角の時間変化率の絶対値が０でありかつ前記差の絶対値が前記所定角よりも大きいという条件のうち少なくとも１つについて成立するか否かを判定して、該判定した条件のうち１つでも成立するときに異常と判定する。 （もっと読む）

【課題】誘導結合高周波プラズマ・リアクタと半導体ウェハの処理方法とを提供する。
【解決手段】誘導結合高周波プラズマ・リアクタ１０は、処理ガスが各チャネルに独立して供給される複数のチャネル３８，４４を有するプラズマ源１６を備える。ガス供給システム２０は、それぞれがプラズマ源１６内の複数のチャネル３８，４４に個別に流量とガス組成とを供給することのできる複数のガス供給ライン３４，３５，３６を備える。各チャネルは、個別に給電されるＲＦコイル５４，５６により囲まれて、プラズマ源１６の各チャネル３８，４４内でプラズマ密度を可変することができるようになっている。動作中は、半導体ウェハ２８の上にある材料層６６は、半導体ウェハ２８全体の各位置６４でプラズマ特性を局所的に空間制御することにより、均一にエッチングまたは付着される。 （もっと読む）

【課題】船舶用プロペラとして高い制振特性を得る。
【解決手段】船舶用プロペラは、ハブと、ハブに対してそれぞれ固定される複数のブレードＢと、を備える。各ブレードＢは、互いに材料又は構造の異なる複数の層を積層した積層構造によって構成されており、制振層１３，１７，１９，２０を含む。複数の層の内の少なくとも１つの層が粘弾性を示すエラストマーを含んで構成されることによって、特定の材料の特性に依存することのない制振特性が得られる。 （もっと読む）

【課題】より優れた操縦性を得ることができる航空機のステアリング装置などを提供する。
【解決手段】ステアリング装置１は、油圧シリンダ１０と、圧油供給部２０と、操舵輪５１の目標角度位置を出力する操縦部３０と、操舵輪５１の実角度位置を検出する検出センサ３５と、前記実角度位置が、前記目標角度位置を含む一定範囲内から外れたときには、圧油供給部２０のオンオフバルブ２３，２４のいずれか一方を開き、目標角度位置を含む一定範囲内に実角度位置が収まるように油圧シリンダ１０の駆動ロッド１３を移動させ、前記実角度位置が前記一定範囲内に収まっているときには、予め設定された時間間隔で目標角度位置の変化量を算出してこれが一定基準値を超えているか否かを確認し、超えていると判断した場合には、オンオフバルブ２３，２４のいずれか一方を予め設定された時間開いて駆動ロッド１３を移動させる制御装置４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】角速度を検出するときのＳ／Ｎ比と応答性を両立する。
【解決手段】 本発明の１つの振動ジャイロは、一様な平面を備えたリング状振動体１１と、リング状振動体を柔軟に支持するレッグ部１５と、リング状振動体の平面上に又はその上方に置かれた圧電体膜を挟む上層金属膜及び下層金属膜のいずれかにより形成される複数の電極１３ａ，１３ｂ，・・・，１３ｆとを備える。リング状振動体１１の一次振動を励起する駆動電極１３ａの１つを基準駆動電極とした場合に、代表的には、図１に示すように、その他の複数の電極１３ｂ，・・・，１３ｆが特定の箇所に配置される。この配置により、この振動ジャイロにおいては、例えば、アウト・オブ・プレーンのｃｏｓ２θの振動モードの一次振動を励起して、ｃｏｓ３θのイン・プレーンの振動モードの二次振動を検出し、抑制電極１３ｊにその二次振動を抑制する電圧が印加される。 （もっと読む）

【課題】各種の情報を収集する複数の末端ノード装置と、該末端ノード装置が収集した前記情報を所定期間で要求するホストと、を無線で中継する中継ノード装置を提供する。
【解決手段】 前記ホストから前記末端ノード装置に対する前記情報の要求が前記中継ノード装置の下流側で不通信であると当該中継ノード装置が判断した場合に、その上流側の前記ホストに対して不通信に対応する信号を送信する。 （もっと読む）

【課題】小型化省電力化を図り、検出感度を向上させる。
【解決手段】一様な平面を備えたリング状振動体と、振動体を支持するレッグ部１５と、上層下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む電極１３ａ，１３ｓ，１３ｔ，１３ｈ及び固定電位電極１６とを備え、複数の電極は、ｃｏｓＮθの振動モードでその振動体の一次振動を励起する円周方向に（３６０／Ｎ）°離れた角度に配置された駆動電極と、電極各々から（１８０／Ｎ）°離れた角度に配置された電極とを含む一群の駆動電極１３aと、駆動電極１３ａから（９０／Ｎ）°離れた角度に配置され、角速度の二次振動を検出する第１検出電極１３ｓと、さらに（１８０／Ｎ）°離れた角度に配置され二次振動を検出する第２検出電極１３ｔとを含み、各駆動電極１３ａは、その振動体の外周縁からその外周縁の近傍か、振動体の内周縁からその内周縁の近傍に至るまでの領域とのいずれか又は両方の領域に配置される。 （もっと読む）

【課題】小型可能な簡易構造で、複数の回転軸を測定する、振動ジャイロを提供する。
【解決手段】一様な平面を備えたリング状振動体１１と、リング状振動体を柔軟に支持するレッグ部１５と、圧電体膜を厚み方向に挟む上層金属膜及び下層金属膜により形成される複数の電極とを備えている。ｃｏｓＮθの振動モードでリング状振動体１１の一次振動を励起する駆動電極１３ａの１つを基準駆動電極とした場合に、その他の複数の電極１３ｂ，・・・，１３ｆが特定の箇所に配置される。この配置により、アウト・オブ・プレーンのｃｏｓ２θの振動モードの一次振動が励起されるとともに、ｃｏｓ３θのイン・プレーンの振動モードの二次振動検出手段を用いて１軸乃至２軸の角速度を検出することができる。加えて、一群の駆動電極を備えることにより、円周方向に（３６０／Ｎ）°離れた角度のみに配置された一群の駆動電極に比べて、振幅の増大又は省電力化が達成される。 （もっと読む）

【課題】基地局と中継ノード装置を介して無線で接続されると共に、所定間隔をあけて設置され、ターゲットを検出可能な末端ノード装置を提供する。
【解決手段】末端ノードは、他の末端ノード装置がターゲットを検出した際に送信される該検出に対応する第１信号を受信し、前記第１信号を受信した受信時刻とターゲットを検出した際の検出時刻とに対応する第２信号を、前記基地局に送信する。 （もっと読む）