【課題】高温ガスとの熱交換を利用する脱硫器であって、３５０℃以上の高温ガスを利用して加熱しても、石油系液体炭化水素燃料の突沸及び該石油系液体炭化水素燃料の炭化トラブルが発生し難く、更には脱硫容器内を均一に加熱することが可能な脱硫器を提供する。
【解決手段】石油系液体炭化水素燃料を触媒存在下で加熱して脱硫する脱硫器１において、内部に触媒５が充填されている脱硫容器２と、該脱硫容器２壁面と直接的に接して設置された内層３と、該内層３の外側に設置された、該脱硫容器２壁面と直接的に接することのない一層以上の外層４とを備えており、加熱源となる高温ガスが、前記外層４を通過してから前記内層３を通過することを特徴とする高温ガス熱交換型の燃料電池用脱硫器１である。 （もっと読む）

【課題】使用環境の如何に拘わらず、安定した耐食性が得られる熱交換器を実現する。
【解決手段】熱交換器（コア１）の通路４内に露出するプレート２の表面及びコルゲートフィン３の表面によって構成される、一次伝熱面側の表面及び二次伝熱面側の表面の内、少なくとも一次伝熱面側の表面に、流体の流れ方向に沿って樹脂製の耐食層６を設ける。一次伝熱面側の表面に設けられた耐食層６１は、二次伝熱面側の耐食層６２の厚みよりも厚く形成する（Ｔ１＞Ｔ２）。 （もっと読む）

【課題】基板の外周側縁部上面を覆う保護部材を高精度に位置決めすることができるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理装置１は、処理チャンバ１１と、基板Ｋが載置される基台２１と、処理ガスを供給するガス供給装置４５と、処理ガスをプラズマ化するプラズマ生成装置５０と、基台２１に高周波電力を供給する高周波電源５５と、環状且つ板状に形成され、基台２１の外周部に載置可能に構成されるとともに、基台２１の外周部に載置されたときに、内周側縁部によって基板Ｋの外周側縁部上面を覆う環状且つ板状の保護部材３１と、保護部材３１を支持する支持部材３５と、基台２１を昇降させる昇降シリンダ３０とを備える。保護部材３１の下面には、基台２１上に載置される際に基台２１の外周部と係合する少なくとも３つの第１突起３３がピッチ円上に形成され、このピッチ円の中心は、保護部材３１の中心軸と同軸になっている。 （もっと読む）

【課題】二重管構造の下部ヘッダーを備え、ＮＧの送出流量の変動を抑制して操業の安定化を実現できるＯＲＶを提供する。
【解決手段】ＯＲＶは、複数のフィンチューブ２をパネル状に配列し、その上下端にそれぞれ上部ヘッダー４と下部ヘッダー５を接合して成り、下部ヘッダー５に供給したＬＮＧをフィンチューブ２内に導入して気化させ、ＮＧを上部ヘッダー４から送り出す。下部ヘッダー５は、各フィンチューブ２の下端が接合され、両端が閉ざされた外管９と、外管９の内部に延在し、終端が閉塞板１２で閉ざされるとともに始端からＬＮＧが供給されるスパージパイプ１０と、から構成され、スパージパイプ１０は、下部にＬＮＧ散布孔１６が設けられ、上部にガス抜き孔１７が設けられており、外管９とフィンチューブ２との接合部同士の間に配置されたリング板１９によって外管９内で支持されている。 （もっと読む）

【課題】エッチング液に含まれるインジウムイオン及びスズイオンの内、特にインジウムイオンの濃度を適切な濃度に維持することができるエッチング方法を提供する。
【解決手段】蓚酸を含むエッチング液Ｌが貯留された貯留槽１１からノズル体１６，１７にエッチング液Ｌを供給して吐出させ、酸化インジウムスズ膜が形成された基板Ｋをエッチングするとともに、ノズル体１６，１７から吐出されたエッチング液Ｌを貯留槽１１内に回収するエッチング工程と、貯留槽１１内に貯留されたエッチング液Ｌをキレート剤が充填された吸着容器３２，３３内に通液させて、エッチングによりエッチング液Ｌに含まれるようになったインジウムイオン及びスズイオンを吸着，除去した後、貯留槽１１内に還流させる金属除去工程とを含むエッチング方法において、貯留槽１１内に貯留されるエッチング液Ｌのインジウムイオンの濃度を２６０ｐｐｍ以下に維持する。 （もっと読む）

【課題】 航空機用エンジンのオイルクーラー等として使用される積層型熱交換器において、熱交換性能を高める。
【解決手段】 コルゲートフィンが配置された層状でＵターン形式の高温流体流路１１と、コルゲートフィンが配置された層状でＵターン形式の低温流体流路１２とを交互に積層して積層コア１０を構成する。積層コア１０の両側面にミキシングヘッダ５０ａ及び５０ｂをそれぞれ設け、往路側及び復路側の両方で各流路を流通する高温流体を積層コア１０外のミキシングヘッダ５０ａ及び５０ｂに経由させる。ミキシングヘッダ５０ａ及び５０ｂではＵターン流路の内側部分を流通する高温流体と外側部分を流通する高温流体とを混合する。積層された複数の高温流体流路１１間でも高温流体の混合を行う。往路及び流路の横幅方向で高温流体の温度分布を均一化する。 （もっと読む）

【課題】絶縁溝と絶縁部材とで構成された絶縁部を有する半導体基板において、反りの発生を抑制する。
【解決手段】ミラーアレイデバイス１は、電極基板４を備えている。電極基板４は、その厚み方向に導通し且つ絶縁部５で囲まれることによって周辺の部分から絶縁された駆動電極４１を有している。絶縁部５は、電極基板４の表面４ａから形成された絶縁溝５１と、電極基板の裏面４ｂから埋め込まれて絶縁溝５１内に突出する絶縁部材５２とで構成されている。電極基板４には、電極基板４の応力を緩和するための応力緩和溝６が絶縁部材５２が埋め込まれた裏面４ｂ側から形成されている。 （もっと読む）

【課題】センサの誤作動ないし誤検出に基づく処理を未然に回避し得るシステムを提供する。
【解決手段】降着装置１は、機体が脚部１１に支持されている状態と支持されていない状態とを区別する状態信号を出力する出力手段と、状態信号を受けて処理を実行する処理手段５１とを備える。出力手段は、機体の支持状態と非支持状態との間で脚部の状態変化に応じた第１又は第２状態信号を処理手段に出力するセンシング部４を複数有して冗長化されていると共に、脚部１１の状態に拘わらず、第１及び第２状態信号のいずれか一方の状態信号である正常信号を処理手段に常時出力する、各センシング部４の近傍に配置されたダミーセンシング部４５を有する。処理手段５１は、ダミーセンシング部４５からの信号が正常信号であるときには、センシング部４からの状態信号に応じた処理を実行する一方、正常信号でないときには状態信号に応じた処理を実行しない。 （もっと読む）

【課題】コア２３と、コア２３に第１流体を導入する導入部２４と、コア２３から第１流体を導出する導出部２５と、を有し、第１流体が概略コ字状に流れるように構成した本体２を備えた熱交換器における偏流抑制と圧力損失の増大抑制とを両立させる。
【解決手段】導入部２４に、コア２３の奥行き方向に対して、第１流体が偏流することを抑制する偏流抑制部材を配設する。偏流抑制部材は、導入部２４からコア２３への開口２３３に配設されたメッシュフィルタ４、開口２３３の近傍位置で、奥行き方向に並設された複数のガイドベーン５、及び、導入部２４の入口２１から奥行き方向に延びると共に、導入部２４内をコア２３に近い側と離れた側とに区画するように配設される仕切り板６、の内の、１つ又は２つ以上を組み合わせて構成される。 （もっと読む）

【課題】少なくとも一方向の寸法を小さくすることができる、レーザ光等の２次元走査が可能なＭＥＭＳアクチュエータを提供することを目的とする。
【解決手段】第１軸線Ｘ周りに揺動する第１可動部２１を支持する第１固定部２２、２３が積層された第２軸線Ｙ周りに揺動する第２可動部３１を支持する第２固定部３２、３３を、第２可動部３１の内側に配置、又は、第２可動部３１の狭小部分３１２Ａと連結して配置することで、第１可動部２１の法線方向から見たときのＭＥＭＳアクチュエータ１の寸法を小さくすることを可能としている。 （もっと読む）