【課題】被処理基板における凹凸形状を備えた面と下地基板の表面とを仮接着した後に減圧下において処理する際の、加工精度、処理効率、及び／又は処理の安全性を高める。
【解決手段】本発明の１つの貼り合せ構造体４０の製造方法は、凹部４２Ａ及び凸部４２Ｂが形成された第１表面を備える被処理基板４１の第１表面４２上に、２５℃における粘度が０．０２Ｐａ・ｓ以上０．１Ｐａ・ｓ以下である溶液状仮接着材を供給する溶液状仮接着材供給工程と、その溶液状仮接着材を加熱することにより、第１表面４２の凸部４２Ｂを１０μｍ超２０μｍ以下の厚みの仮接着材４６Ｂによって覆う仮接着材形成工程と、その仮接着材４６Ｂを介して、第１表面４２と平板状の下地基板４８とを一時的に貼り合わせる貼り合せ工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】圧力損失の増大を回避しつつ、ヒートシンクの性能を向上させる。
【解決手段】ヒートシンク１の放熱部３には、複数のフィン３１が並び方向に所定間隔を空けて配置され、隣り合うフィン３１の側面同士の間に、当該フィン３１の前端、後端及び先端のそれぞれにおいて開口する複数のスリット状流路３０が、前後方向に延びるように区画形成される。各スリット状流路３０の先端の開口は、ダクトの内壁４によって実質的に塞がれている。各フィン３１の少なくとも一方の側面には、少なくとも基端側の領域を除く先端側の領域に、スリット状流路３０内の流れを乱流にすることで伝熱を促進する伝熱促進加工５が施されている。 （もっと読む）

【課題】電極とミラーとを近接させても、ミラーと電極との衝突を回避しつつミラーの揺動スペースを確保する。
【解決手段】ミラーデバイス１は、揺動可能なミラー２１と、ミラー２１と対向する駆動電極３１，３１，…とを備えている。ミラーデバイス１は、ミラー２１が設けられたミラー基板２と、駆動電極３１，３１，…が設けられた電極基板３と、ミラー基板２と電極基板３との間に介設され、ミラー２１と当接することによってミラー２１の揺動を所定の揺動範囲に制限するストッパ４とをさらに備えている。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で、信頼性を高い飛行体の降着装置を提供しようとする。
【解決手段】
従来の飛行体の降着装置にかわって、操作された物理量に対応する操作量を出力する操縦機器と、車輪と、飛行体の本体に支持され車輪を回転自在に支持する脚構造体と、前記車輪を前記操作量を指令値として操向できる操向機器と、飛行体が空中に浮いていると検知信号を出力せず飛行体が接地していると検知信号を出力する検知センサと、を備え、前記検知センサが前記検知信号を出力しないとき、又は、飛行体の速度が所定の第一限界速度値より大きいときに、前記操向機器が前記操作量を無視して車輪の転動する向きを飛行体の前後方向へ向けるものとした。 （もっと読む）

【課題】基板全体でのエッチングレートの面内均一性を向上させるエッチング装置を提供する。
【解決手段】エッチング装置は、基板の主表面を被覆する被覆層にエッチング液を供給して被覆層を加工する装置である。エッチング装置は、被覆層に相対的に少量のエッチング液を供給する第一給液部２１１と、第一給液部２１１よりも後段側に配置され、被覆層に相対的に多量のエッチング液を供給する第二給液部２２１とを備える。第一給液部２１１は、被覆層の表層部分を除去可能な量のエッチング液を被覆層に供給する。 （もっと読む）

【課題】基板上の場所によってばらつきのないより均一な膜のパターニング形状を得るエッチング方法およびエッチング処理装置、を提供する。
【解決手段】エッチング方法は、１断目エッチング処理槽６１において、温度ｔ１を有するエッチング液を用いて、金属膜の表層を除去する工程と、金属膜の表層を除去する工程の後に、２〜４段目エッチング処理槽６２〜６４において、温度ｔ１よりも高い温度ｔ２を有するエッチング液を用いて、金属膜をパターニングする工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】オゾン発生装置用板型放電セルにおいて、製造コストの低減を可能にし、合わせて高濃度オゾンガスの生成を可能にする。
【解決手段】 高圧電極１４０と、低圧側の冷却板を兼ねる低圧電極１２０との間に誘電体１３０，１３０を配置して放電空隙７０を形成する。高圧電極１４０の背面側に、高圧側の冷却板１６０と絶縁のために高圧絶縁板１５０を配置する。これらの板材をタイロッド１７０により締め付けて固定する。高圧絶縁板１５０の厚みを、高圧電極１５０と低圧電極１２０との間に配置される誘電体１３０，１３０の合計厚みの０．５倍以上、３．５倍以下とする。高圧電極１４０の厚みを誘電体１３０，１３０の合計厚みの５倍以上とする。 （もっと読む）

【課題】平板型ＳＯＦＣスタックにおいて、電池性能を低下させることなく、小型化・軽量化を図る。
【解決手段】単セル１５の空気極１９に酸化剤ガスを供給する酸化剤流路２３ａを有するセパレータ２３の上面に、単セル１５の中心に延在する酸化剤ガス補助経路２３ｃが設けられている。燃料極２０に燃料ガスを供給する燃料流路２４ａを有するセパレータ２４の下面に、単セル１５の中心に延在する燃料ガス補助経路２４ｃが設けられている。セパレータ３０の上面に、単セル１５の中心に延在する第１のガス供給経路３０ａが設けられており、下面に、先端３０ｄが第１のガス供給経路３０ａに重ならない第２のガス供給経路３０ｂが設けられている。第１のガス供給経路３０ａと燃料ガス補助経路２４ｃとは対向され、互いに協働して燃料ガス供給経路２８が形成される。第２のガス供給経路３０ｂと酸化剤ガス補助経路２３ｃとは対向され、互いに協働して酸化剤ガス供給経路２７が形成される。 （もっと読む）

【課題】洗浄液としてのキレート過水液の濃度変化を抑制することが可能であり、その結果、使用するキレート過水液の材料費を低減することが可能な基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板洗浄装置１Ａは、循環路と、濃度センサ２１と、制御部２６とを備える。循環路は、キレート過水液１００を用いてガラス基板２００の洗浄を行なう洗浄槽１０と、キレート過水液１００を一時的に貯留する貯留槽１６と、これら洗浄槽１０および貯留槽１６を接続する送り管１８および戻し管１５とを含んでいる。濃度センサ２１は、キレート過水液１００の濃度を検出するためのものであり、送り管１８に設けられている。制御部２６は、濃度センサ２１によって検出された濃度情報に基づいて所定量の純水を貯留槽１６に供給することでキレート過水液１００の濃度管理を行なう。 （もっと読む）

【課題】１つの駆動源で６方向を指向できる６方向指向装置を提供する。
【解決手段】６方向指向装置１は、ＸＹＺ直交座標系内に設置される。６方向指向装置１は、シャフト２０と、回転部材２１と、駆動源３と、ガイド部材４とを備える。シャフトは、Ｘ軸方向に延びる。回転部材２１は、シャフト２０に対してαｄｅｇ傾斜した傾斜軸周りを回転可能であり、シャフト２０と連結される。回転部材２１は、ｘｙｚ直交動座標系を有する。回転部材２１はさらに、球体状表面と、球体状表面のｘ軸周りに形成された軌道部ＯＰとを備える。駆動源３は、シャフト２０をＸ軸周りに回転する。ガイド部材４は、ＸＹＺ直交座標系に固定され、軌道部ＯＰと接触する。軌道部ＯＰは、シャフト２０の回転によりガイド部材４と接触しながら回転するとき、回転部材２１のｙ軸を、Ｘ軸周りの６０度おきに互いに交わるＵ軸、Ｖ軸及びＷ軸の＋及び−方向に順次向ける形状を有する。 （もっと読む）