【課題】第１ノード装置からパケットを受信し、受信されたパケットを第２ノード装置へ転送するノード装置を提供する。
【解決手段】第２ノード装置との通信が異常であると判断される場合、受信されたパケットをブロードキャストパケットとして送信する。異常か否かは、第２ノードからのアクノリッジが所定期間内に受け取られるかどうか
による。 （もっと読む）

【課題】燃料電池から排出されるオフガスを改質装置の熱源として効率良く利用することが可能な改質装置を提供する。
【解決手段】少なくとも一部に改質触媒が充填された反応管１と、前記反応管１を加熱するための手段として、該反応管１の側面側に設置された伝熱用部材２と、前記伝熱用部材２に燃焼ガスを供給するための手段として、発電用燃料オフガス供給手段３及び酸素含有ガス供給手段を備える燃焼装置とを備え、前記燃焼装置を前記反応管の少なくとも片方の底面側に設置することを特徴とする改質装置である。 （もっと読む）

【課題】脱硫時に生成される副生ガスを燃料電池排ガスと共に燃焼させて燃焼ガスとし、該燃焼ガスの熱を利用することが可能な燃料電池システムを提供する。
【解決手段】炭化水素及び脂肪族アルコールからなる群から選択される少なくとも一種の液体燃料を触媒存在下で加熱して、脱硫液体燃料及び副生ガスを生成する脱硫装置１と、前記副生ガスを燃料電池排ガスと混合して混合ガスを形成させる混合手段２と、前記混合ガスを燃焼させて燃焼ガスを生成する燃焼装置３と、前記燃焼ガスから熱を回収する熱回収手段とを備えることを特徴とする燃料電池システムである。 （もっと読む）

【課題】洗浄性能を維持しつつ、洗浄水の使用量を大幅に削減することが可能な節水型基板洗浄システムを提供する。
【解決手段】薬液処理ゾーン１０の下流側に複数の洗浄ゾーン２０，３０及び４０を基板搬送方向に沿って配列する。最上流側の洗浄ゾーン２０にパドル処理用の洗浄機構２２を設ける。最下流側の洗浄ゾーン４０における洗浄機構４１，４２に未使用の純水からなる洗浄水を供給する。使用後の洗浄水を上流側の洗浄ゾーンにおける洗浄機構へカスケード方式で順次送給する。最上流側の洗浄ゾーンでの使用済み洗浄水を廃棄する。最上流側の洗浄ゾーンに基板先端が進入する前に当該洗浄ゾーンにおける洗浄機構２２からの洗浄水の吐出を開始し、当該洗浄ゾーンから基板後端が抜け出た後も所定時間、洗浄水の吐出を続けることにより、洗浄ゾーンで使用される洗浄水の汚染度を、許容限度内で且つその限度近傍に維持する。 （もっと読む）

【課題】初期還元運転時の荷重を通常運転時の荷重に変更するとき、振動が生じて荷重機構の部品が破損したりすることがなく、発電性能を向上させる。
【解決手段】発電ユニット１を複数枚積層して電気的に接続してなる発電部２を備えた平板型燃料電池モジュール２０の初期還元運転時においては、第１の荷重機構２１によって発電部２に直接荷重を掛けるとともに、第２の荷重機構２２により第１の荷重機構２１に荷重を加えることによって発電部２に間接的に付加荷重を掛ける。初期還元後は第２の荷重機構２２を取り除き、第１の荷重機構２１のみによって発電部２に荷重を掛けて通常運転を行なう。 （もっと読む）

【課題】小さい膜厚比が得られる成膜ガスと、大きい膜厚比が得られる成膜ガスとを用いて、所定膜厚比の酸化膜を形成することができる成膜方法を提供する。
【解決手段】穴８７の側壁及び底面を除いた基板８１の表面に形成される酸化膜８８の膜厚の、穴８７の底面に形成される酸化膜８８の膜厚に対する膜厚比が所定の膜厚比となるように、穴８７の側壁及び底面を除く基板８１の表面に、穴８７の底面よりも厚い膜厚の酸化膜８８を形成するに当たり、テトラエトキシシラン及び酸素の混合ガスをプラズマ化して酸化膜８８ａを形成した後、テトラエトキシシラン及び酸素の混合ガスよりも高い膜厚比が得られる、シラン及び亜酸化窒素の混合ガスをプラズマ化して酸化膜８８ｂを形成し、テトラエトキシシラン及び酸素から形成される酸化膜８８ａと、シラン及び亜酸化窒素から形成される酸化膜８８ｂとによって、所定膜厚比の酸化膜８８を形成する。 （もっと読む）

【課題】所望のテーパ角度を容易に達成すると共に、テーパ表面の平滑化を実現でき、またオーバーハング形状が生じないシリコンエッチング方法及び装置並びにそれによって作製したエッチングシリコン体を提供する。
【解決手段】反応器１内を減圧し、ガス導入管４からプロセスガス（ＳＦ₆ ，Ｃ₄ Ｆ₈ 及びＯ₂ の混合ガス）をプラズマ発生室２ａ内に導入する。コイル３に交流電圧を印加してプラズマ発生室２ａ内にてプロセスガスのプラズマを発生させ、同時に基板電極１１に交流電圧を印加して、発生させたプラズマを反応室２ｂ内に引き込み、引き込んだプラズマにより、プラテン６に載置した試料２０（エッチングマスクが形成されたシリコン材）をテーパ状にエッチングする。エッチング後のシリコン材のエッチングマスクに接する面積が、エッチングマスクより狭い。 （もっと読む）

【課題】その配置位置を容易に特定できるノード装置を提供する。
【解決手段】ホスト装置が発行する命令を表す電波を受信する受信部と、前記命令に応答して光を、前記ホスト装置に結合された撮像装置に送る発光部と、前記発光部を制御する制御部と、取得した物理状態を表す情報を出力するセンサと、前記情報を表す電波を前記ホスト装置に送信する送信部とを備える。 （もっと読む）

【課題】二重管構造の下部ヘッダーを備え、ＮＧの送出流量の変化を抑制して安定した運転を実現できるＯＲＶを提供する。
【解決手段】ＯＲＶは、複数のフィンチューブ２をパネル状に配列し、その上下端にそれぞれ上部ヘッダー４と下部ヘッダー５を接合して成り、下部ヘッダー５に供給したＬＮＧをフィンチューブ２内に導入して気化させ、ＮＧを上部ヘッダー４から送り出す。下部ヘッダー５は、各フィンチューブ２の下端が接合され、両端が閉ざされた外管９と、外管９の内部に延在し、始端からＬＮＧが供給されるスパージパイプ１０と、から構成され、スパージパイプ１０は、ＬＮＧ散布孔１６が設けられており、外管９との間の環状空間１５を長手方向で複数の領域に仕切る複数のリング板１９によって外管９内で支持されている。 （もっと読む）

【課題】高温ガスとの熱交換を利用する脱硫器であって、３５０℃以上の高温ガスを利用して加熱しても、石油系液体炭化水素燃料の突沸及び該石油系液体炭化水素燃料の炭化トラブルが発生し難く、更には脱硫容器内を均一に加熱することが可能な脱硫器を提供する。
【解決手段】石油系液体炭化水素燃料を触媒存在下で加熱して脱硫する脱硫器１において、内部に触媒５が充填されている脱硫容器２と、該脱硫容器２壁面と直接的に接して設置された内層３と、該内層３の外側に設置された、該脱硫容器２壁面と直接的に接することのない一層以上の外層４とを備えており、加熱源となる高温ガスが、前記外層４を通過してから前記内層３を通過することを特徴とする高温ガス熱交換型の燃料電池用脱硫器１である。 （もっと読む）