【課題】建屋内を暖房すると同時に、冷気の遮断を不要にして消費電力、熱量を低減し、更に体感的に感じる冷気を抑制するエアカーテンの暖房方法及びその暖房装置を提供する。
【解決手段】建屋の開口部１の両側にダクト２を配置して両側のダクト２の相対する側面８にノズル４を備えたエアカーテンの暖房方法であって、
空気を温風暖房機３により温風にして両側のダクト２に送風し、両側のダクト２のノズル４から温風を横方向へ流して温風が両側から互いに合流するようにし、開口部１を吹き出す温風を、外気から流れ込む冷気とミキシングして建屋内に流入させる。 （もっと読む）

【課題】グリースに混入する気泡を微細化して供給することができ、更に、性状が均一化したグリースを供給できるようにしたグリース供給装置を提供する。
【解決手段】圧送ポンプ１から供給されるグリースを受けてグリース中の気泡を微細化して吐出するためのグリース調整ユニット２を有するグリース供給装置であって、グリース調整ユニット２は、圧送ポンプ１から供給されるグリースを微細流路に通して気泡を分断する多孔部材５と、多孔部材５の出口面に沿って移動し多孔部材５の微細通路を通過したグリースの気泡を移動により分断する孔開きの移動部材６とからなる気泡分断装置７を備える。 （もっと読む）

【課題】スラリに含まれる磁性異物を磁石を有する吸着体により効果的に除去することができ、しかも吸着体に付着した磁性異物を効果的に取り除いて吸着体を繰り返し使用できるようにする。
【解決手段】スラリを収容するスラリ受入槽１１と、非磁性材からなる外被体の内部に磁石を移動可能に備えた吸着体１９と、外被体内の磁石を流体の作用により吸着位置と退去位置とに移動させる流体駆動手段と、吸着体１９を支持し、磁石が吸着位置に移動した吸着体１９をスラリ受入槽１１のスラリに挿入して外被体の外面にスラリ中の磁性異物を付着させた後吸着体１９をスラリから外部に取り出すようにした支持装置１５と、スラリから取り出した吸着体１９内の磁石を退去位置に移動させ磁性異物の付着力を消失させた状態で吸着体１９を洗浄することにより磁性異物を除去する洗浄装置１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】クーラントが除去されたシリコン含有材料を回収する方法を提供する。
【解決手段】本発明のシリコン含有材料の回収方法は，水溶性クーラント，砥粒及びシリコン粒を少なくとも含有する，シリコンウエハの製造プロセスでの使用済みスラリーから水溶性クーラントを予め除去することによって固形分を得て，その固形分から，水溶性クーラントに対し相溶性を有しかつ水溶性クーラントよりも沸点が低い低沸点有機溶媒を用いて前記固形分中に残留する水溶性クーラントを抽出し，抽出に用いた低沸点有機溶媒を濾過によって除去し，濾過により得られる固形分を回収することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】クーラントが除去されたシリコン含有材料を回収する方法を提供する。
【解決手段】本発明のシリコン含有材料の回収方法は，水溶性クーラント，砥粒及びシリコン粒を少なくとも含有する，シリコンウエハの製造プロセスでの使用済みスラリーから水溶性クーラントを予め除去することによって固形分を得て，その固形分から，水溶性クーラントに対し相溶性を有しかつ水溶性クーラントよりも沸点が低い低沸点有機溶媒を用いて前記固形分中に残留する水溶性クーラントを抽出し，抽出に用いた低沸点有機溶媒を遠心分離によって除去し，遠心分離により得られる固形分を回収することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】シリコンインゴット加工装置から排出される排水のシリコン微粒子を長期間に亘って効果的に濾過できるようにして濾材の耐用期間を延長する。
【解決手段】シリコンインゴット加工装置１からのシリコン微粒子を含む排水２に酸５を添加し、その排水２を濾過装置１４で濾過し、濾過した濾過水２３にアルカリ剤３１を添加し、その濾過水２３をシリコンインゴット加工装置１に加工用水として供給するに際し、濾過水２３の一部を系外へ排出する濾過水排出手段４２と、濾過水貯槽２５に置換水４５を供給する給水手段４６と、排水２の導電率を検出する導電率検出器４７と、導電率検出値４９が設定値５０以下に保持されるよう濾過水排出手段４２と給水手段４６を制御して濾過水２３の一部を置換水４５で置換する制御器４８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ケースの側面において、どの面にラベルが貼り付けられていても、液体の噴射圧を有効に作用させて、ラベルを確実に剥離できるようにする。
【解決手段】 ケース１はその底面部１Ａを上に向けて搬入部ＩＮから処理部内搬送路ＴＲに搬入された後に、噴射領域ＳＦに至る前の段階で、前向きから斜め方向に搬送するように変換され、牽引ロッド１９で斜め搬送されるようになっており、この斜め搬送状態のケース１を側部規制板２２ａ，２２ｂでガイドしながら、上部側から押え板２４で押圧しながら、上下方向に複数段、前後方向に複数列となるように設けた噴射ノズル３０から高圧の液体がケース１の側面部１Ｂ，１Ｃに向けて噴射される。 （もっと読む）