【課題】処理領域を洗浄可能な多軸位置決め装置を提供する。
【解決手段】
処理対象物を支持するテーブル（５）と、処理対象物に対して所定の処理を施す処理機構とを、互いに相対的に移動させる多軸駆動機構を有し、該多軸駆動機構は、少なくとも１つの直動機構（２）（３）を有し、該直動機構（２）（３）の移動範囲と前記支持テーブル（５）の移動範囲とを分離する隔壁（２２）（２３）を備えている。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドなどの吐出ヘッドを用いて液滴を吐出することによって非対称積層製剤を製造するに当って、一の液滴層の範囲内に他の液滴層を確実に形成する。
【解決手段】予め設定された、基材上の液滴着弾理想位置をメモリに保持しておき、基材上に供給された液滴の実際の着弾位置を画像処理によって検出し、検出された着弾位置と液滴着弾理想位置との差を算出して、着弾位置補正データとしてメモリに保持しておき、前記動作指令を着弾位置補正データにより補正して新たな動作指令を生成する。 （もっと読む）

【課題】大きさの異なる基板であっても共通の基板処理装置で容易に基板を位置決めすることができる基板位置決め装置、基板位置決め方法及び塗布装置を提供する。
【解決手段】ステージの表面に載置された基板をステージに設けられた複数の基板位置決め部材を基板に当接させることにより基板を位置決めする基板位置決め装置において、ステージには、基板が載置されることにより一部のみが当該基板で覆われる挿通孔が、各基板のサイズに応じた位置に複数箇所形成されており、基板位置決め部材は、挿通孔に挿通された状態でステージに着脱自在に構成されており、所定の大きさの基板を位置決めする場合には、予め当該基板の大きさに応じた挿通孔に基板位置決め部材を取付けて、挿通孔内に収容された基板当接部を挿通孔から突出させて挿通孔の一部を覆う基板部分に当させる。 （もっと読む）

【課題】外部の発熱体から熱を受けながら回転している円筒状基体の温度上昇を軸方向で均一に制御できる円筒状基体の温度制御装置を提供すること。また、その温度制御装置を用いた電子写真感光体の製造方法およびこの製造方法により製造された長寿命、高性能の電子写真感光体を提供すること。
【解決手段】外部の発熱体から熱を受けながら回転している円筒状基体の内部に、前記円筒状基体の内面部全体に接触する円筒状弾性体を有し、前記円筒状弾性体の内部に冷媒として液体を供給し、前記円筒状基体の温度上昇を抑制して、温度制御する円筒状基体の温度制御装置であって、該円筒状弾性体の厚みが、前記温度制御装置の内部に流れる冷媒の供給口で厚く、排出口側で薄いことを特徴とする円筒状基体の温度制御装置。 （もっと読む）

【課題】制御デバイスの性能を十分に引き出し、複数メーカの制御デバイスをコントロールしても、モーション制御のためのアプリケーションソフトの作成、変更を容易にするような制御システムを構築する方法を提供する。
【解決手段】汎用の高速ネットワークを用い、階層化された構造のソフトウェアを用い、統一されたモーション言語を用いて多種類の制御デバイスの制御を可能ならしめる。 （もっと読む）

【課題】 複雑なインク供給配管を持つ塗布装置において、吐出不良を起こすノズルの発生を抑制する。
【解決手段】 インクジェットヘッドを有する塗布装置であって、負圧を印加する第１の手段、低圧を印加する第２の手段、高圧を印加する第３の手段、及び制御手段と、前記制御手段により制御される開閉弁をインク補充・供給配管に、そして複数の切換え弁をメインタンクへの圧力付加配管路等を備え、
タンクに低圧を印加しタンクからノズル吐出先端部にインクを充填し、さらにタンクに高圧を印加して供給配管中の滞留空気を排出し、タンクに所定の負圧を加えて「メニスカス」を形成して印字する直前に、タンクに印加する圧力を高圧から低圧へ１回以上切換えるよう圧力供給源及び開閉・切換弁等の制御を行なう。 （もっと読む）

【課題】マスクパターンの位置が理想の位置に収束するまでの露光回数が少なくて済む、帯状ワークの露光方法および露光装置を提供する。
【解決手段】初回の回路パターンの露光時に露光マスクに設けられた帯状ワークの側端位置を検出するエッジセンサの第１の出力を記憶し、２回目の露光の前に、帯状ワークを所定の搬送距離だけ搬送した後、初回の回路パターンの端部に露光された露光マークと、露光マスクの端部に設けられた撮像窓と、の位置合わせを行い、前記エッジセンサの第２の出力を記憶し、初回の回路パターンの露光時に記憶したエッジセンサの第１の出力と、２回目の露光の前に記憶したエッジセンサの第２の出力から帯状ワークに対する露光マスクの傾きを計算し、求められた傾きに基づいて露光マスクの角度を補正し２回目の回路パターンの露光を行う。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドの塗布液の加圧パージ及び吸引パージ後にノズル孔出口面に残留する塗布液を、ノズル孔出口面上の撥液層を損傷することなく全て短時間で除去する残留塗布液除去手段を具現化して、残留塗布液除去性能に優れるインクジェットヘッドの塗布液除去装置ならびに塗布液除去方法を提供する。さらには低コストで塗布欠点の全くない高品質のカラーフィルターを製造できるカラーフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドのノズル孔出口面に残留する塗布液の除去装置であって、塗布液を吸収して除去する布材をノズル孔出口面に当接／当接解除する押し当て手段と、布材のノズル孔出口面への当接速度と当接時間と当接／当接解除回数とを調整する制御装置とを備え、さらに布材は目付が２００ｇ／ｍ^２未満の編物であることを特徴とするインクジェットヘッドの塗布液除去装置 （もっと読む）

【課題】 チップの下面側に接着剤などの粘着物があっても確実に下面認識マークまたは外形シルエットを認識してチップを基板に搭載するチップ搭載方法および搭載装置を提供すること。
【解決手段】 チップ搭載前に前記チップの前記基板への搭載面のサイズよりも小さい支持面を備える搬送ツールで前記チップをチップ保持手段の下側に搬送する工程と、前記チップ保持手段の下面側に前記チップを吸着保持し、前記チップ保持手段の上下に配置した認識手段で前記チップの上面側のアライメントマークと、前記チップの下面側のアライメントマークまたは前記チップの外形シルエットとを認識する工程とを含むチップ搭載方法およびチップ搭載装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】少ないノズル数で、境界部にムラを生じない塗布装置および塗布方法を提供すること。
【解決手段】複数のインクジェットヘッド（５１）で、原色数（Ｎ）のインクを塗布してカラーフィルタを製造する塗布装置において、
同じ色のインクを供給する１つ以上のインクジェットヘッド（５１）でヘッドモジュール（５２）を構成し、該ヘッドモジュール（５２）を少なくともヘッドモジュール（５２）のインク吐出幅の両端が隣接あるいは重なり合うようにピッチＰでスキャン方向に配列し、これらのヘッドモジュール（５２）をスキャン方向と直交方向に連続して長さＬだけ配列したヘッドブロック（５０）を構成し、該ヘッドブロック（５０）のヘッドモジュール（５２）毎に順次色を変えてインクを供給し、かつ
カラーフィルタの必要塗布幅Ｗに対して、Ｌが次式であることを特徴とする塗布装置。
〔式１〕
Ｌ≧Ｗ＋（Ｎ−１）×Ｐ （Ｎ＝１，２，３・・） （もっと読む）