【課題】薄膜リチウムイオン二次電池を形成する電極や電極集電体の角部で脆くならない段差解消膜と、大気中の水分とリチウムとを反応させない防水膜を形成する技術を提供する。
【解決手段】蒸発源を蒸発させて基板７０表面にジアミン化合物とイソシアネート化合物とを蒸着重合させてポリウレア膜を形成する。負電極膜８４や負極集電体８５の角部の段差を解消する段差解消膜としてポリウレア膜を形成後に、大気中の水分とリチウムとを反応させない第一の防水膜としてＡｌ₂Ｏ₃膜と、Ａｌ膜と、Ａｌ₂Ｏ₃膜とを成膜し、さらに第二の防水膜としてポリウレア膜を積層させた保護膜８６は、リチウムと大気中の水分と反応させないために形成されており、段差解消膜と複数の第一、第二の防水膜から成る保護膜８６を用いることよって、薄膜リチウムイオン二次電池は従来より長期に亘り電池性能の安定性が得られる。 （もっと読む）

【課題】透過窓とチャンバとの間で気密保持するＯリングの損傷を防止することができるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】マイクロ波透過窓２０の下面２０ａの外周部であって円柱体１５の上面１５ａと連結する部分に位置する領域に、環状の導電性膜２５を形成し、マイクロ波透過窓２０の外周部分を透過するマイクロ波を該導電性膜２５にてシールドしてトッププレート側に透過させないようにした。そして、間隔保持板２３によってＯリング２１の内側に生じるマイクロ波透過窓２０の下面２０ａと円柱体１５の上面１５ａとの隙間Ｄにマイクロ波が導入されないようにした。 （もっと読む）

【課題】電極部材により給電が行われることにより加熱される触媒体の接続部の放熱を効率よく行うことができる触媒ＣＶＤ装置を提供する。
【解決手段】電極棒５の下端には保持部材１２を介してフィラメント１５の上端部が接続されている。電極棒５のすり割り部１６にフィラメント１５を嵌合し、ナット部材１４を電極棒５に螺合することによりすり割り部１６を縮径し、電極棒５に対してフィラメント１５を面接触により接続し、電気接触抵抗を小さくして接触部が高温になりすぎることを抑制する。 （もっと読む）

【課題】透明な樹脂基板の耐摩耗性を改善する積層膜、又は混合硬質膜を形成する技術を提供する。
【解決手段】図１の符号１は、窓ガラス代替物を形成する混合硬質膜を形成する混合硬質膜形成装置であって、蒸着室１２内に、ＴｉＯから成る第一蒸着源２１とＳｉＯ₂から成る第二蒸着源２２が成膜対象物の移動方向の真下に離間して並べて配置されている。この混合硬質膜形成装置１を用いて、蒸着室１２内に酸素ガスを導入し、ＴｉＯから成る第一蒸着源２１とＳｉＯ₂から成る第二蒸着源２２を加熱して蒸発させながら、ＳｉＯ₂よりＴｉＯ₂が多い位置から、ＴｉＯ₂が徐々に少なくなり、ＳｉＯ₂が増加する位置までの領域を形成し、その領域内で透明な樹脂基板を通過させて混合硬質膜を形成させる。 （もっと読む）

【課題】疎水性機能を損なうことなく、かつ比誘電率への影響が小さく、機械的特性の向上を可能とする疎水性多孔質ＳＯＧ膜の作製方法の提供。
【解決手段】ＳＯＧ膜の熱処理を酸素含有ガスの存在下で行って疎水性多孔質ＳＯＧ膜を作製する。この熱処理を、そのプロセスの所定の時期に導入した酸素分圧５Ｅ＋３Ｐａ以上の酸素含有ガス中で、３００℃〜１０００℃の温度で行う。 （もっと読む）

【課題】小型で簡素な構成の真空装置で薄膜リチウム二次電池を製造する技術を提供する。
【解決手段】本発明の薄膜リチウム二次電池製造装置１は、仕込取出室４と、基板１０上に分子中にリチウムを含む正極層をスパッタリングによって形成する第２のスパッタリング室６と、基板１０上に真空蒸着によって負極層を形成する負極層形成室８と、基板１０上に分子中にリチウムを含む固体電解質層をスパッタリングによって形成する第３のスパッタリング室７と、基板１０上に正極集電体層と負極集電体層をスパッタリングによって形成する第１のスパッタリング室５と、基板１０上に保護層を形成する保護層形成室９とが、搬送ロボット３を有する搬送室２の周囲にそれぞれ配置され接続されている。仕込取出室４内には、基板１０上に形成された正極層をアニール処理するための加熱ヒータ４６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】測定に必要なガスの量が少なく、水蒸気透過性が小さい測定対象物についても水蒸気透過性を評価することが可能な水蒸気透過量測定装置及び水蒸気透過量測定方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る水蒸気透過量測定方法は、チャンバ２を第１の室１１と第２の室１２との２室に区画するように測定対象物Fを配置し、第２の室１２に乾燥ガスを導入し、第２の室１２から乾燥ガスを排出し、第１のバルブ１７及び第２のバルブ１９を閉止することで乾燥ガスの導入及び乾燥ガスの排出を停止し、第１の室１１に水蒸気を含む試料ガスを導入し、第２の室１２と、ガス導入経路１６と、ガス排出経路１８とによって画成される測定空間に向け測定対象物Fを透過した、試料ガス中の水蒸気の量を測定空間で測定する。測定中は乾燥ガスの流通が停止されるため、必要な乾燥ガス量が低減され、また、測定対象物Fを透過した水蒸気が排出されることが防止される。 （もっと読む）

【課題】 極めて高い保磁力を有する高性能なネオジウム鉄ボロン系の焼結磁石を提供する。
【解決手段】 本発明のネオジウム鉄ボロン系の焼結磁石は、ネオジウム、プラセオジウム、ジスプロシウム及びテルビウムのうち少なくとも１つを含む希土類元素を有する合金原料を磁場配向させて液相焼結してなるものであり、焼結磁石表面に付着させたジスプロシウム及びテルビウムのうち少なくとも一方を熱処理により焼結磁石の結晶粒界に拡散させることで、前記焼結磁石の結晶粒界のネオジウムの濃度が主相のものより低く、かつ、前記結晶粒界のジスプロシウムまたはテルビウムの濃度が主相のもの高い組成を備える。 （もっと読む）

【課題】 高アスペクト比の微細ホールに対して高いボトムカバレッジ率で、かつ、膜厚分布の面内均一性よく成膜できる高い生産性の成膜方法を提供する。
【解決手段】真空チャンバ１内で基板Ｗを保持し、チャンバ内が、１０〜３０Ｐａの高圧力領域に保持されるようにスパッタガスを導入し、基板に対向近接配置されたターゲット２に直流電圧を印加すると共に、基板に高周波バイアス電圧を印加し、ターゲット側の直流プラズマと基板側の高周波バイアスプラズマとが重畳されたプラズマをターゲット及び基板間に発生させてターゲットをスパッタして成膜する。ターゲットの下方に磁場を局所的に形成する磁石ユニット６をターゲット中央から径方向外方にオフセット配置し、成膜中、少なくともターゲットの中央部を除くその外周が侵食されるように磁石ユニットを回転移動する。 （もっと読む）

【課題】酸を含まない水を用いて防着板やマスクの洗浄を行える技術を提供する。
【解決手段】Ｌｉイオン二次電池を製造する工程で用いられる、マスクと防着装置等の、電解質膜が厚く形成される真空部品は、真空槽から着脱自在であるように構成されている。これらの部品を洗浄する場合は、電解質膜が付着した真空部品を取り外し、付着した電解質膜に、中性の水(ｐＨ６〜８)を注水、又は散布して、真空部品から電解質膜を剥離させる。モル比Ｑの値が大きくなるに従って残渣率が小さくなる傾向があり、モル比Ｑの値が０．２６以上の値では、試験基板表面に成膜されたＬｉＰＯＮ薄膜の８０％以上が剥離しており、中性の水によってＬｉＰＯＮ薄膜を剥離できた。方法は、モル比Ｑの値が０．２６以上のＬｉＰＯＮ薄膜を剥離するのに効果的である。 （もっと読む）