【課題】Ｃｒを用いずにＰＤＰのブラックマトリックスを形成する。
【解決手段】本発明のＰＤＰ１−３は、第一、第二の基板１０、２０を有しており、第一の基板１０はブラックマトリックス４１−４３を有している。ブラックマトリックス４１−４３は、金属酸化物の密着層３１と、密着層３１上に配置された金属膜３２とを有する。密着層３１は遮光性が高いので、光が遮断され、金属膜３２と密着層３１を積層することで反射光が減衰される。ブラックマトリックス４１−４３は金属や金属酸化物で構成されるため耐熱性が高く、また、密着層３１により金属膜３２が第一の基板本体１１に固定されるため、ブラックマトリックス４１−４３は剥がれ難い。 （もっと読む）

【課題】 支持体へのリガンドの固定化量を正確に測定する必要がなく、測定溶液に含まれる結合物質の濃度を正確に測定するための相互作用パラメータの決定方法及び測定溶液中の結合物質の濃度の測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 リガンドが固定化された支持体表面に、前記リガンドに対して相互作用可能な結合物質を含む測定溶液を接触させて、前記支持体表面の周波数、誘電率又は光の干渉の変動に基づいて、前記測定溶液中の前記結合物質の濃度を測定する過程において、前記リガンドに対する前記結合物質の相互作用パラメータを決定する方法であって、前記測定溶液を前記支持体表面に接触させる前工程又は後工程において、前記リガンドに対して相互作用可能な結合物質を含み、且つ、該結合物質の濃度が既知のキャリブレーション用溶液を前記支持体表面に接触させて、周波数、誘電率又は光の干渉の変動を測定し、前記結合物質の相互作用パラメータを決定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】吸収波長領域が広く変換効率の高い光電変換素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の光電変換素子１は、導電性支持体と、光電変換層４と、電解質層５と、対向電極３とをこの順で積層してなる光電変換素子において、前記光電変換層が、半導体粒子４１と、少なくとも一種以上の増感色素４３及びこの増感色素とは異なる光の吸収波長領域を有するシリコン含有微粒子とを備える。 （もっと読む）

【課題】 複雑な形状に形成されたダイキャスト等の鋳造により製造されたアルミニウム又はアルミニウム合金の母材の表面に、欠陥のない、耐食性に優れた酸化皮膜を形成することを目的とする。
【解決手段】 アルミニウム又はアルミニウム合金から構成された母材を、アルカリ溶液中に浸漬して、火花放電を伴うアノード酸化処理を行うことにより、前記母材表面に酸化皮膜を形成する方法であって、前記アノード酸化処理は、２００Ｖ以上の第１の電圧で所定の時間処理する工程と、電流密度に応じて第１の電圧よりも低い他の電圧で所定の時間処理する工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＭｇＯ保護膜の結晶配向強度分布を改善する。
【解決手段】基板１０の一辺を先頭して搬送しながらＭｇＯ膜を成膜すると、基板１０の先頭と直角な二辺（両側辺）が、両側辺の間の中央よりも（１１１）結晶配向強度が低くなる。アニール用のヒーター３８を複数本の細長ヒーター３８ａに分割し、基板１０の両側辺が中央よりも高温になるよう加熱すると、両側辺の（１１１）結晶配向強度が高くなり、（１１１）結晶配向強度の面内分布が向上する。 （もっと読む）

【課題】プラズマ生成空間を区画形成する部材同士がそれぞれ膨張・収縮の際に直接に摩擦接触させるのを防止して摩耗による劣化及びパーティクルの発生を防止することができるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】トッププレート５の円柱体６に形成した貫通穴７の上下両開口部をマイクロ波透過窓８と下蓋１３とで閉塞させることでプラズマ生成室Ｓが区画形成される。この下蓋１３をトッププレート５に締結固定するとき、下蓋１３とトッププレート５の連結部分に、緩衝用シート１８を介在させて締結固定し、フランジ部１５の上面１５ａと嵌合凹部１０の奥面１０ａが直接に接触しないようにする。 （もっと読む）

【課題】回転成膜が可能で膜厚分布の向上が可能で、マスク本体の複数の開口部を任意の順序で開口させて種々の条件の蒸着が可能な技術を提供する。
【解決手段】本発明の真空処理装置１は、真空槽２内において複数の開口部８を有するマスク７を介して基板５０上に蒸着を行う。マスク７には、所定の基準配列方向に沿って複数の開口部８の列が設けられたマスク本体９を有し、マスク本体９には、複数の開口部８の列と対応し基準配列方向に延びる複数のマスクシャッター１０Ａ〜１０Ｄが一体的に設けられている。真空槽２内に把持部２５、２６を挿入してマスク７の所定のマスクシャッター１０を保持して基準配列方向に移動させ所定の開口部８を開口させる。蒸着時には把持部２５、２６を真空槽２外に取り出して基板５０をマスク７と共に一体的に回転させる。 （もっと読む）

【課題】温度や歪みを計測するためのセンサ付ウェーハを安価に製造でき、しかも精度よく温度や歪みの計測を行えるようにする。
【解決手段】基板１０の表面に、当該基板１０表面に下地膜１１が形成されていない場合と比較して、ナノ粒子分散インクの基板１０に対する密着力を高め、ナノ粒子分散インクの基板１０中への拡散を抑制し、ナノ粒子分散インクに含まれる金属結晶の粒成長を抑制できる下地膜１１が形成される。基板１０表面の下地膜１１の表面に、ナノ粒子分散インクを用いて、センサ１の配線パターンが描画され、ナノ粒子分散インクが焼成され、金属化される。 （もっと読む）

【課題】１軸方向に移動自在なステージを用いてガラス基板にシール剤を矩形状に能率良く塗布できるようにしたシール剤塗布装置を提供する。
【解決手段】ガラス基板Ｓを保持する１軸方向に移動自在なステージ３と、ステージ３の移動方向をＸ軸方向として、ステージ３の移動経路を跨ぐようにして配置した門型のフレーム５にＸ軸方向に直交するＹ軸方向に位置調整自在に配置したシール剤の塗布ヘッド６_１〜６_４と、ガラス基板ＳをＸ軸方向及びＹ軸方向に直交するＺ軸方向の軸線回りに回転させる回転機構１１とを備える。そして、回転機構１１でガラス基板Ｓを９０°回転することにより、ステージ３をＸ軸方向に移動させたときのガラス基板Ｓに対する塗布ヘッド６_１〜６_４の走査方向を９０°切り替える。 （もっと読む）

【課題】処理枚数が増えた場合であっても特性を劣化させずに、良好な性能を有する光電変換装置を安定して製造でき、生産コスト及び効率を改善可能な光電変換装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、ｐ層、ｉ層、ｎ層を積層したｐｉｎ型の第一光電変換ユニットと第二光電変換ユニットとを、透明導電膜に順に重ねて設けてなる光電変換装置の製造方法であり、第一光電変換ユニットのｐ層、ｉ層、ｎ層と第二光電変換ユニットのｐ層とを各々別々のプラズマＣＶＤ反応室内で形成し（第一ステップ）、第二光電変換ユニットのｐ層を大気中に露呈させ（第二ステップ）、大気中に露呈された第二光電変換ユニットのｐ層上に、第二光電変換ユニットを構成するｉ層、ｎ層を同一のプラズマＣＶＤ反応室内で形成し（第三ステップ）、第二光電変換ユニットのｎ層上に、ｉ層を第三ステップと同一のプラズマＣＶＤ反応室内で形成する（第四ステップ）ことを特徴とする。 （もっと読む）