【課題】
基板の搬送方向の直進性に優れた基板搬送装置を提供する。
【解決手段】
基板搬送装置１は、補助回動ギア３２と回動プーリ３１とを連結するリンク部材３３を備え、リンク部材３３はリンク部材３３の連結長（貫通孔３３Ａの中心Ｐ−貫通孔３３Ｂの中心Ｑの間の長さ）を調整するためのリンク長さ調整部３４とを備えている。このため、各部材の機械加工精度に依存して組立誤差が生じても、リンク部材３３の長さ（連結長）を調整部３４により調整して、補助回動ギア３２の中心Ｏと回動プーリ３１の中心Ｒとの間の長さと、連結長とを同じに調整できる。従って、リンク部材３３により、回動プーリ３１と補助回動ギア３２との回動量つまり回動プーリ３１と回動ギア３０の回動量を一致させて、基板の搬送方向の直進性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】ヒーターの絶縁支持構造の信頼性を向上させることができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施の形態に係る熱処理装置１は、発熱体（ヒーター板Ｈ４）を支持する支持機構Ｓ４において、発熱体を支持する支持部材４０２が金属材料で構成されている。このため、発熱体が炭素系材料のような材料で構成されている場合でも、発熱体と第２の部材との間の熱反応による当該第２の部材の変質あるいは融解を防止できる。また、支持部材４０２は電気絶縁性の絶縁部材４０３を介して金属製の支持軸４０１に支持されているため、発熱体の絶縁耐圧を安定に確保することができる。 （もっと読む）

【課題】有効成膜領域および装置サイズを変更することなく、ターゲットの使用効率および寿命の改善を図る。
【解決手段】表面上にターゲットを配置するバッキングプレートの裏面側に、磁石構成体１０を揺動可能に配設してカソード電極とし、磁石構成体１０は、一定幅Ｗ１の棒状の中心磁石２と、中心磁石２を囲むように配置された一定幅Ｗ２の略楕円形状の周囲磁石３と、両磁石によってターゲット表面に生じる磁界を局部的に弱くするシャント４とを有し、シャント４は、中心磁石２をその長さ方向に周囲磁石３まで延ばしたと仮想した場合に占有する領域ＦＥ０内に埋め込み配置されている。 （もっと読む）

【課題】発熱体の給電端子との接続部における熱ロスを低減することができるヒーターユニット及び熱処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施の形態に係るヒーターユニットＨＵａは、発熱体Ｈａと、給電端子２０と、中間体４０とを具備する。給電端子２０は、金属材料でなり、発熱体Ｈａへ電力を供給する。中間体４０は、炭素系材料でなり、発熱体Ｈａと給電端子２０との間に接続されている。中間体４０は、発熱体Ｈａと給電端子２０との間を断熱する機能を有する。このため、給電端子２０が冷却操作されているような場合においても、発熱体Ｈａの熱ロスを抑制することが可能となる。したがって、上記ヒーターユニットＨＵａによれば、発熱体Ｈａの給電端子２０との接続部における温度低下を防止して、均熱性の向上を図ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】膜厚が均一で付着強度の高いアナターゼ型酸化チタン薄膜を提供する。
【解決手段】成膜対象物１１表面にスパッタリングによりルチル型酸化チタン薄膜１２’を形成し、この表面にレーザー光線８８を照射すると、ルチル型酸化チタン薄膜１２’はルチル型からアナターゼ型に変換されるので、光触媒活性の高い、アナターゼ型酸化チタン薄膜１３を得ることができる。また、反射手段８５と配置手段５２を移動させ、ルチル型酸化チタン薄膜１２’表面のレーザー光線８８の照射位置を移動させると、ルチル型酸化チタン薄膜１２’全体をアナターゼ型に変換することができる。 （もっと読む）

【課題】吐出不良が生じない吐出装置を提供する。
【解決手段】タンク５内に複数の吐出機構を設けた回転体２を配置し、タンク５の底面に吐出先端部２０を配置し、天井に押圧装置２５を配置し、回転体２を回転させたときに、押圧装置２５により、吐出先端部２０上に位置する吐出機構から吐出液を吐出先端部２０に供給し、吐出孔２０ｂから吐出させる。吐出先端部２０上から吐出機構９が移動すると、その吐出機構の貫通孔１１₁〜１１₃の内部に、底面１４間の吐出液が吸引される。回転体２が一回転する間、吐出機構の数だけ吐出することができる。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で旋回半径を小さくすることができ、しかも搬送速度が大きい搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置１は、一方の端部Ａ、Ｂに第１及び第２の駆動軸１１、１２が同心状に配設された第１及び第２のアーム２１、２２を有する。第１及び第２のアーム２１、２２の他方の端部Ｃ、Ｄには、第３及び第４のアーム２３、２４の一方の端部Ｅ、Ｆが、支軸２３ａ、２４ａを中心としてそれぞれ回転自在に取り付けられている。第３及び第４のアーム２３、２４は、その他方の端部Ｇ、Ｈが、連結軸３０ａを中心として同心的に回転できるように構成されている。第２のアーム２２の駆動軸１２の回転動力を第３のアーム２３に伝達するための第１の動力伝達機構４と、第１のアーム２１の一方の端部Ｃにおける回転動力を連結軸３０ａに伝達するための第２の動力伝達機構５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】イオン注入を阻害するマスクで覆われている箇所と他の箇所との境界でのイオン注入量の分布において高い急峻さが得られる膜製造方法と、その膜製造方法を利用して磁性材料の膜が形成された磁気記憶媒体と、そのような磁気記憶媒体が搭載された情報記憶装置とを提供する。
【解決手段】磁気ディスク１０を製造する磁気ディスク製造方法において、ガラス基板６１上に磁性層６２を形成する製膜工程（Ａ）と、磁性層６２上に、磁性ドットとなる箇所へのイオンの注入を阻害する、厚みが縁でステップ状に減少するレジストドット６３ａを形成するナノインプリント工程（Ｂ）と、レジスト６３が形成された磁性層６１の上からイオンを注入するイオン注入工程（Ｃ）とを実行する。 （もっと読む）

【課題】 複数の透明基材に対して、連続して蒸着が行われる防護層への不純物の混入を抑え、膜質の優れた防護層を提供する。
【解決手段】 成膜室内において、無機材料により構成される密着層を備えた透明基材に対してフッ素系樹脂により構成される防護層を蒸着するための方法であって、前記透明基材と前記蒸着源との間に前記防護層の蒸着量を制御するための蒸着量制御手段を設け、前記蒸着量制御手段を閉じた状態で前記蒸着量制御手段を前記フッ素系樹脂の沸点以上の温度まで加熱した後、前記防護層を蒸着する工程を複数の前記透明基材に対して繰り返し行い、複数の前記透明基材に連続して前記防護層を蒸着することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を所定の載置位置に高精度に位置決めする事が可能なキャリア、およびこれを備えた基板搬送装置を提供する。
【解決手段】位置決め手段３１は、略Ｌ字状の支持部材３２と、この支持部材３２を回動させる付勢部材３３とを備えている。支持部材３２は、例えば、全体が樹脂によって形成された略Ｌ字型の部材である。この支持部材３２は、回転軸３４によってキャリアフレーム１５に回動自在に軸着されている。また、支持部材３２は、ガラス基板１１の底辺１１ｂ、および側辺１１ｃにそれぞれ当接する。こうした、支持部材３２がガラス基板１１に当接する部分は、円周面を成す形状、例えば、半円形のロール部３２ａ、３２ｂを形成しているのが好ましい。 （もっと読む）