【課題】縁面放電の発生が回避され、変位量が大きく、しかも製造が容易な積層素子を提供する。
【解決手段】積層素子１０は積層面形状が四角形である圧電層１１と内部電極とが交互に積層されて構成される。内部電極は、積層素子１０の三側面に露出するが一側面には露出しない第１パターン電極１２ａ，１２ｂと、積層素子１０の一側面に露出するが三側面には露出しない第２パターン電極１３ａ，１３ｂを有し、積層方向において第２パターン電極１３ａ，１３ｂが逐次反転して配置されてなる積層部の間に第１パターン電極１２ａ，１２ｂが配置された内部電極構造を有する。 （もっと読む）

【課題】減圧環境下で使用されるセラミックス部品において、処理物への汚染の少ないセラミックス部品の装着方法および有機物の汚染の少ない半導体製造装置用セラミックス部品の製造方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線光電子分光法で表面の深さ方向の測定をし、表面から５ｎｍ以深の深さで検出される炭素量が５ｍａｓｓ％以下である状態で半導体製造装置に装着することを特徴とする半導体製造装置用非汚染性セラミックス部品の装着方法である。 （もっと読む）

【課題】ガラス質の絶縁層と基盤とを一体化することによって、電極間の絶縁性をガラス質のバルク並みに充分大きな値を確保し、かつ、ガラス質の絶縁層または基盤に対して微細な溝加工を行い電極形成をすることにより、電極間隔を狭くして充分に大きいグレーディエント力を発揮させる。
【解決手段】 ガラス質絶縁層となるガラス質素材板に溝を加工する工程と、前記溝に電極を配置する工程と、前記ガラス質素材板とガラス質基盤とを間に電極が具備されるように接合する工程と、前記ガラス質素材板の表面を研磨して所望の厚みのガラス質絶縁層となす工程と、を含むことを特徴とするガラス質絶縁層とガラス質基盤との間に少なくとも一対以上の電極を具備するガラス質静電チャックの製造方法。 （もっと読む）

【課題】燃料電池の作動温度を低下させても電導性を高く維持することができる緻密な薄い固体電解質膜およびその製造方法を提供する。
【解決手段】燃料極または空気極として機能する電極部材を成膜の対象として準備する成膜準備工程（ステップＳ１）と、金属塩とクエン酸水溶液とを混合し、無水クエン酸錯体ゲルを作製するゲル作製工程（ステップＳ２）と、無水クエン酸錯体ゲルをエステル化し、無水クエン酸錯体溶液を作製する溶液作製工程（ステップＳ３）とを行う。そして、無水クエン酸錯体溶液を用いて、電極部材の表面に、作製された無水クエン酸錯体溶液を用いて成膜処理する成膜工程（ステップＳ４〜Ｓ７）を行う。これにより、無水クエン酸錯体溶液における金属イオンの分散性が高くなることから、クラックやピンホールのない緻密な固体電解質膜を作製することができる。 （もっと読む）

【課題】ウエハ等の基板を基板載置装置に載置したときに基板に付着するパーティクルを効果的に低減するため、シリコンウエハと載置面の接触面積の小さい、表面に突起を形成した載置装置を提供する。
【解決手段】突起先端面に基板を載置する基板載置装置において、前記突起先端面の表面粗さ(最大高さ)Ｒｚが０．５μｍ以下であって、前記突起先端面のＲｚに対する突起側面および底面の表面粗さの比（側面および底面のＲｚ／先端面のＲｚ）が１．５〜３であることを特徴とする基板載置装置。また、前記突起先端からなる平面の平面度が３μｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】耐蝕性部材等に応用可能であり、表面にクラックやピンホール等がほとんどない緻密なセラミック薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】金属塩とクエン酸水溶液とを混合し、無水クエン酸錯体ゲルを作製するゲル作製工程（ステップＳ１）と、作製された無水クエン酸錯体ゲルとアルコール溶媒とを混合することで、無水クエン酸錯体ゲルをエステル化し、無水クエン酸錯体溶液を作製する溶液作製工程と（ステップＳ２）を行うことで、無水クエン酸錯体溶液を得る。そして、被膜対象となる基材の表面に、作製された無水クエン酸錯体溶液を用いて成膜処理する成膜工程（ステップＳ３〜Ｓ６）を行う。これにより、金属イオンの分散性を高め、クラックやピンホールのない緻密なセラミック薄膜を作製することができ、たとえば加工性や費用の面で優れ、かつ耐蝕性の高い部材を製造することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体プロセスにおいて、多様な環境化でウエハ等の精密な均熱制御を実現するセラミックスヒーターを提供する。
【解決手段】 セラミックス基材の内部に埋設された複数の発熱抵抗体と、セラミックス基材の表面に形成された被加熱物を載置する載置面と、載置面の反対面側に前記複数の発熱抵抗体の埋設された略平面を貫くように設けられ、発熱抵抗体の作用領域を仕切る少なくとも１つの仕切り溝と、を具備することを特徴とするセラミックスヒーター。 （もっと読む）

【課題】 セラミックス部材が金属−セラミックス複合部材の凹部に隙間のない状態で嵌合されており、かつ、セラミックス部材にはクラックがない嵌合体とその製造方法を提供する。
【解決手段】 セラミックス強化材からなるプリフォームに凹部を形成する凹部形成工程と、前記凹部にセラミックス部材を嵌め込む嵌め込み工程と、前記ブリフォームと前記セラミックス部材との隙間にセラミックス強化材粉末を充填する工程と、前記プリフォームの細孔および前記充填したセラミックス強化材粉末の間隙に溶融金属を加圧下で浸透させる浸透工程と、を含むことを特徴とする嵌合体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】高純度セラミックス粒子を焼結助剤無添加で、従って、多孔質体として高純度を保持したまま結合し、気孔率と気孔径を同時に制御したバインダレス化焼結体からなる多孔質体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】純度９９．５％以上のセラミックス粒子の結合体からなり、結合材として焼結助剤成分を含まない高純度であり、結合体を構成するセラミックス粒子の平均粒径が、１０μｍ〜５０μｍであり、かつ平均粒径の０．５倍粒径以下の粒子と平均粒径の２．５倍粒径以上の粒子を除いた残りの粒子が、９５重量%以上であることにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】圧電セラミックスに信頼性に優れたスルーホール電極が形成されてなる圧電素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子１０は、圧電材料を成形してなるグリーンシートの所定位置に貫通孔を設け、その貫通孔に第１の導体ペーストを充填し、その後、複数のグリーンシートを貫通孔が重なるように重ねて接着し、焼成する工程と、得られた焼成体において貫通孔によって形成されたスルーホール電極１５が露出した２つの対向する面を同時に平坦化する工程と、こうして平坦化された面にそれぞれ第２の導体ペーストを塗布し、焼成工程での焼成温度よりも低い温度で焼成することにより、この平坦化された面に表面電極１３ａ，１３ｂ，１４を設ける工程を経て製造される。 （もっと読む）