【課題】圧電セラミックスに信頼性に優れたスルーホール電極が形成されてなる圧電素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子１０は、圧電材料を成形してなるグリーンシートの所定位置に貫通孔を設け、その貫通孔に第１の導体ペーストを充填し、その後、複数のグリーンシートを貫通孔が重なるように重ねて接着し、焼成する工程と、得られた焼成体において貫通孔によって形成されたスルーホール電極１５が露出した２つの対向する面を同時に平坦化する工程と、こうして平坦化された面にそれぞれ第２の導体ペーストを塗布し、焼成工程での焼成温度よりも低い温度で焼成することにより、この平坦化された面に表面電極１３ａ，１３ｂ，１４を設ける工程を経て製造される。 （もっと読む）

【課題】 サファイア基板のように剛性の高い被吸着物を吸着させた場合であっても、均熱性に優れた静電チャックを提供する。
【解決手段】 ヤング率が３００ＧＰａ以上の被吸着物を吸着する静電チャックであって、静電チャックの誘電体と被吸着物の剛性比（被吸着物のヤング率/誘電体のヤング率）が１．０以上であり、前記誘電体の吸着面は環状稜部を有し、前記環状稜部の直径Ｄと前記誘電体の直径Ｄｄの比Ｄ／Ｄｄが０．７５以上であり、前記環状稜部から中央部側の吸着面は凹面形状を成し、吸着面の中央部の深さＨと前記環状稜部の直径Ｄとの比Ｈ／Ｄが２×１０^−５以下であることを特徴とする静電チャック。 （もっと読む）

【課題】吸着面とウエハ等との間に生じている電界を制御することにより、ウエハ等へのパーティクルの付着が極めて少ない静電チャックを提供する。
【解決手段】絶縁性基体と、単極型の静電吸着用電極とを備え、前記絶縁性基体の基板吸着面側の平面に設けられた突起先端に基板を吸着する静電チャックであって、前記突起先端は、基板と接触する導電性領域を有することを特徴とする静電チャック。前記導電性領域と前記静電吸着用電極とは、それぞれ別個の電位制御手段に接続される。 （もっと読む）

【課題】パーティクル発生が抑制され、優れた耐食性および耐久性を有するセラミックコーティング部材を提供する。また、複雑な形状の基材や大型の基材にパーティクル発生が少なく耐食性および耐久性に優れたセラミック膜を容易に形成することを可能とするセラミックコーティング部材の製造方法を提供する。
【解決手段】セラミックコーティング部材は、基材表面に、純度が９８％以上、膜厚が０．０５μｍ以上１０μｍ以下、平均粒径が５０ｎｍ以下のセラミック膜が形成された構造を有する。セラミック膜は、基材の表面に、金属アルコキシド，有機金属錯体，酸化物ナノ粒子または非酸化物ナノ粒子の少なくとも一種以上を含む溶液を用いて塗布膜を湿式成膜し、この塗布膜を乾燥し、３００℃以上１０００℃以下の温度で熱処理することにより、形成する。 （もっと読む）

【課題】室温での塑性変形加工により容易かつ高い生産性で安価に製造することができるＡｌ基複合材製ネジおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】Ａｌ基複合材製ネジ１０は、Ａｌ基金属を主成分とした軸芯部１２の外側に、軸芯部１２と同種のＡｌ基金属に強化材粒子が分散されてなる複合材料からなるネジ山部１４が、この軸芯部１２と連続して形成された構造を有している。このネジ１０は、鋳型２２内で強化材粒子４４を分散させたＡｌ基融体４２を生成し、強化材粒子４４がＡｌ基融体４２の周縁部に移動するようにＡｌ基融体４２を構成する溶融金属に電磁力を作用させ、Ａｌ基融体４２を固化させて鋳型２２から複合材からなる無垢棒を取り出し、これに転造法によりネジ山を形成することで製造される。 （もっと読む）

【課題】シリコンウエハ等の基板を載置した際に、基板と接触した突起の磨耗により発生するパーティクルを効果的に低減する。
【解決手段】突起先端面に基板を載置する基板載置装置であって、前記突起先端面の縁角部がラウンド形状であることを特徴とする基板載置装置であり、前記突起先端面は、相対密度が９８％以上、気孔率は０．５％以下のセラミックスからなり、前記ラウンド形状の曲率半径が、前記セラミックスの平均粒径の２．０倍以上である。 （もっと読む）

【課題】 電圧が印加された場合に放電が生じる等の不都合が生じず、かつ高い熱伝導率を維持しつつ、低い体積抵抗率を有する窒化アルミニウム焼結体およびそれを用いた静電チャックを提供すること。
【解決手段】 ランタノイド元素を酸化物換算の含有量で、０．５質量％以上、７質量％以下含有させて、窒化アルミニウム結晶の粒界にランタノイド元素とアルミニウムとの複合酸化物が形成され、常温での体積抵抗率が１×１０^９〜１×１０^１４Ω・ｃｍである窒化アルミニウム焼結体を得る。この窒化アルミニウム焼結体を被吸着体を吸着する誘電体層２として用い、その下に設けられた電極３に電圧を印加することにより被吸着体１０を吸着する。 （もっと読む）

【課題】薄型構造を有し、ゴミの発生を抑制した駆動装置を提供する
【解決手段】駆動装置の一実施形態であるＡＦユニット１０は、短冊状の形状を有し、駆動電圧の印加によって屈曲変位を生じる２個の圧電素子１２と、略Ｈ型の平面形状を有する被駆動体たるレンズキャリア１４と、レンズキャリア１４と係合するガイド１６と、これらを収容するユニットケース１８を有しており、圧電素子１２は電源たる制御部１０Ａにより駆動される。圧電素子１２にレンズキャリア１４を移動させる向きに凸となる屈曲変位をレンズキャリア１４が移動しない変位速度で生じさせ、圧電素子１２の屈曲変位の解除または反転をその際に圧電素子１２に生じる慣性力を利用してレンズキャリア１４を所定の向きに移動させることができる変位速度で行う。 （もっと読む）

【課題】 Cl_２のような腐食性の高いガスを使用して、電子デバイスを製造する場合、通常のY₂O₃溶射膜では、腐食性ガス曝露後の密着力を維持できず、膜剥離が起こる。
【解決手段】0.2〜5.0％のSiO_２を含有するY₂O₃原料を用いてY₂O₃溶射膜を形成することによって、プラズマ耐性を維持したまま腐食性の高いガスに対して腐食しにくく、且つ、密着性も良いY₂O₃ 溶射膜が得られる。 （もっと読む）

【課題】駆動部４と非駆動部５から成る積層圧電素子のおいて、焼成や分極による反りを抑制できる積層圧電素子を提供する。
【解決手段】非駆動部５に駆動部４よりも厚さが厚く、広い面積の電極層を設け、場合によりこの電極層を用いて分極し、積層圧電素子の反りを抑制する。その方法として、駆動部４の電極層になる導電ペースに比べ、非駆動部５の電極層になる導電ペーストの導電材料の比率や塗布量を増やし印刷して電極層を形成する。 （もっと読む）