感光性重合体組成物を（ａ）下記一般式（Ｉ）
【化１】


（式中、Ｕは４価の有機基を示し、Ｖは２価の有機基を示す。ｐは繰り返し単位数を表す整数である。）で表される繰り返し単位を有するポリアミド、（ｂ）光により酸を発生する化合物、および、（ｃ）下記一般式（ＩＩ）
【化２】


（式中、ｍ及びｎは各々独立に１か２の整数であり、Ｒは各々独立に水素、アルキル基又はアシル基であり、Ｒ¹及びＲ²は各々独立に炭素数１〜３のフルオロアルキル基を示す。）で表される化合物を含有して構成する。 （もっと読む）