【課題】感度、解像度、耐熱性及び耐薬品性を低下させず、良好な形状のパターンを維持したまま、基板との密着性を向上することが出来る感光性重合体組成物を提供する。
【解決手段】下記成分（ａ）〜（ｃ）を含有してなる感光性重合体組成物。
（ａ）アルカリ性水溶液に可溶なポリマー
（ｂ）光により酸を発生する化合物
（ｃ）アルミニウム錯体接着助剤 （もっと読む）

【課題】吸湿膨張係数が小さく、現像液に対する溶解性が良好なパターンを形成し得る感光性樹脂組成物、この感光性樹脂組成物を用いたパターン形成方法及び回路形成用基板を提供する。
【解決手段】（ａ）下記式（Ａ）で表わされる構造単位を有するポリマーと、（ｂ）活性光線照射によりラジカルを発生する化合物で、下記式（Ｂ）で表される構造を含む化合物と、（ｃ）アリールスルホンアミド誘導体とを含有してなる感光性樹脂組成物。
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【課題】プリベーク後のウエハのピン上停滞による塗膜の過剰乾燥及びそれによりもたらされる現像後の開口寸法の縮小を抑制できる樹脂膜パターンの形成方法を提供する。
【解決手段】（ａ）ウエハ上に感光性樹脂組成物を塗布して塗膜を形成する塗布工程、（ｂ）前記塗膜をホットプレート上で乾燥するプリベーク工程、（ｃ）前記乾燥した塗膜を露光する露光工程、及び、（ｄ）前記露光した塗膜を現像する現像工程をこの順で含み、前記（ｂ）プリベーク工程が、（ｂ１）前記塗膜を有するウエハを、ホットプレート上で保持する工程、及び、（ｂ２）前記塗膜を有するウエハを、ホットプレートから浮いた状態で保持する工程をこの順で含む樹脂膜パターンの形成方法。 （もっと読む）

【課題】低温硬化でも耐熱性良好な硬化膜が得られるポジ型感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】本発明の樹脂組成物は、（ａ）ポリオキサゾール前駆体の構造を有するアルカリ水溶液可溶性のポリアミドと、（ｂ）ｏ−キノンジアジド化合物と、（ｃ）加熱により酸を発生する熱潜在酸発生剤とを含んでなり、（ｃ）成分が、パラトルエンスルホン酸のジ（ｔ−ブチルフェニル）ヨードニウム塩、トリフルオロメタンスルホン酸のジ（ｔ−ブチルフェニル）ヨードニウム塩、トリフルオロメタンスルホン酸のトリメチルスルホニウム塩、トリフルオロメタンスルホン酸のジメチルフェニルスルホニウム塩、トリフルオロメタンスルホン酸のジフェニルメチルスルホニウム塩、ノナフルオロブタンスルホン酸のジ（ｔ−ブチルフェニル）ヨードニウム塩、ベンゼンスルホン酸のジメチルフェニルスルホニウム塩、トルエンスルホン酸のジフェニルメチルスルホニウム塩のいずれかである。 （もっと読む）

【課題】耐熱性、機械特性、化学薬品耐性、基板密着性に優れた硬化物となり、低温プロセスで硬化可能な、感度及び解像度に優れたポジ型感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（ａ）アルカリ水溶液に可溶なポリイミド、ポリベンゾオキサゾール及びこれらの前駆体、（ｂ）光の照射により酸を発生する化合物、（ｃ）分子内に１つだけエポキシ基を有する化合物、（ｄ）分子内にエポキシ基を有さない架橋剤を含有してなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】露光時間を短縮できる高感度なポジ型感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（ａ）フェノール性水酸基又はカルボキシ基を有する重合体、（ｂ）１分子内にヨードニウム構造を２つ以上有するヨードニウム化合物、（ｃ）ジアゾナフトキノン化合物、及び（ｄ）溶剤を含むポジ型感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】耐熱性、機械特性、化学薬品耐性、基板密着性に優れた硬化物となり、低温プロセスで硬化可能な、感度及び解像度に優れたポジ型感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（ａ）アルカリ水溶液に可溶なポリベンゾオキサゾール又はアルカリ水溶液に可溶なポリベンゾオキサゾール前駆体、（ｂ）光の照射により酸を発生する化合物、（ｃ）エポキシ基を有する化合物を含有してなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】感度及び解像度に優れ、保存安定性に優れる感光性重合体組成物を提供する。
【解決手段】下記成分（ａ）〜（ｄ）を含有してなる感光性重合体組成物。（ａ）下記式（Ｉ）で表される構造単位を有するアルカリ水溶液可溶性ポリアミド、（ｂ）光により酸を発生する化合物、（ｃ）アルコキシメチル基を有するフェノール化合物、（ｄ）メチロール基を有するフェノール化合物
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【課題】硬化物の基板密着性を向上させることができ、耐薬品性、ワニスの保存安定性に優れるポジ型感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（ａ）アルカリ性水溶液に可溶なポリマーと、（ｂ）光の照射を受けて酸を発生する化合物と、（ｃ）ヒドロキシ基を有するシランカップリング化合物と、（ｄ）ウレア結合を有するシランカップリング化合物と、を含有してなり、（ｃ）成分が（ａ）成分１００重量部に対して０．１重量部超２０重量部以下であり、（ｄ）成分が（ａ）成分１００重量部に対して０．１重量部以上２０重量部未満であり、（ｃ）成分の重量部が（ｄ）成分の重量部より多いことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】硬化後の基板との密着性に優れ、ワニスの保存安定性に優れるポジ型感光性樹脂組成物を得る。
【解決手段】（ａ）アルカリ性水溶液に可溶なポリマーと、（ｂ）光の照射を受けて酸を発生する化合物と、（ｃ）酢酸と、（ｄ）ウレア結合を有するシランカップリング化合物と、を含有してなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。 （もっと読む）