【課題】本発明は、微小な欠陥を検出することができ、または／及び画素修復の成功率が高く、或いは／並びに自動化が容易で生産性の高い有機ＥＬディスプレイパネル修正設備及び修正方法を提供することにある微小な欠陥を検出でき、欠陥修復成功率や設備安定性が高く、パラメータ設定が容易で量産性の高い有機ＥＬディスプレイパネル修正設備を提供する。
【解決手段】本発明は、有機ＥＬ膜による画素が形成されたマザー基板上の前記画素の欠陥をレーザ光を照射して修正する際に、前記欠陥の位置情報と大きさに基づいて前記レーザ光を透過させる光透過パターンを有するホトマスクを介して前記欠陥の位置に照射することを第1の特徴とする。また、非点灯不良画素の画像と正常画素との画像を比較して非点灯不良画素内の前記欠陥の位置と大きさを検出することを第2の特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ＳＡＤＰのような複数の露光工程を有する製造プロセスにて形成されたギャップの種類の特定を、高精度且つ高いスループットにて実現することを目的とする。特に、ギャップ判定が困難な試料であっても、適切にその判定を可能とするパターン測定装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、荷電粒子ビームの走査に基づいて検出される信号から、複数のパターンが配列されたパターンの一端側に関する特徴量と、当該パターンの他端側に関する複数種類の特徴量を抽出し、当該複数種類の特徴量の内、適切な種類の特徴量について、前記パターンの一端側と他端側の特徴量を比較し、当該比較に基づいて、前記複数のパターン間のスペースの種類を判定するパターン測定装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】アライメントマークが複数のショットに跨って形成されている場合、完成形であるアライメントマークをＣＡＤデータから作成するためにはユーザ自身の手作業が求められる。
【解決手段】１つのアライメントマークが複数のショットに跨って作成される場合に、各アライメントマークに関連する複数のショットのＣＡＤデータを相互の位置関係に応じて合成し、アライメントマークの完成形を含む合成ＣＡＤデータを自動的に作成する。 （もっと読む）

【課題】コンタミが少なくロバスト性の高いイオン源に関する。
【解決手段】キャピラリーを軸方向に可動自在能に管に収容した状態のまま搬送するものとし、少なくとも試料溶液をイオン化した領域から他の領域に搬送する際には、管の先端からキャピラリーの先端が突き出た状態のままとする。 （もっと読む）

【課題】ＴＡＢの長手方向の両側に予めＡＣＦを貼り付けても、一側を本圧着しているときに他側のＡＣＦが硬化することを防ぐＦＰＤモジュールの組立装置および組立方法を提供する。
【解決手段】ＦＰＤモジュール組立ラインは、ＡＣＦ貼付け部と、圧着ヘッド３３０と、ＴＡＢ側遮熱機構３４０Ａとを備える。ＡＣＦ貼付け部は、ＴＡＢ２の長手方向の一側に第１のＡＣＦ層３ａ_１を貼り付けるとともに、ＴＡＢ２の長手方向の他側に第２のＡＣＦ層３ａ_２を貼り付ける。圧着ヘッド３３０は、第１のＡＣＦ層３ａ_１を介してＴＡＢ２を表示基板１に熱圧着する。ＴＡＢ側遮熱機構３４０Ａは、ＴＡＢ２を表示基板１に熱圧着するときに、ＴＡＢ２の第２のＡＣＦ層３ａ_２を熱影響から保護する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料移動ステ−ジの耐振性、特にｙ，ｚ方向の耐振性を向上して分解能を高めることのできる荷電粒子線装置を提供することにある。
【解決手段】ステージロック機構において、ロック軸を押して変位させる駆動軸とロック軸の接触面を楔のように傾けることによって、駆動軸がロック軸を押したときにロック軸が駆動軸とロック板とロック軸受内壁の３つに同時に接触して固定される。これによってロック軸はｘ，ｙおよびｚの全ての方向で固定され、ロック軸に接触固定された試料ステージも固定され、試料ステージの機械的振動が抑制される。 （もっと読む）

【課題】本発明は最終のパネル形態が樹脂封止構造であっても画素欠陥の修復が可能で、欠陥修正後の画素の信頼性が高く、または検査修正の処理時間が短く、あるいは欠陥修正の成功率が高く、自動化が可能で生産性の高い有機ＥＬディスプレイ基板の点灯検査設備または点灯検査方法、有機ＥＬディスプレイ基板の欠陥検査修正装置または欠陥検査修正方法あるいは有機ＥＬディスプレイ製造システムまたは及び製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は有機ＥＬ素子の各画素を点灯させる点灯検査用の専用配線及び専用電極パッドを有するマザー基板の前記専用電極パットに給電し前記各画素を点灯させ、前記点灯結果に基づいて前記各画素のうち点灯していない欠陥画素とその位置を検出する。そして、封止前に前記欠陥画素の異物にレーザ光を照射して欠陥を修復する。 （もっと読む）

【課題】既知量移動させて移動前後の撮像を行ったり、レンズを複数枚用意したりすることなく、レンズの歪みの影響をクリアして正確な分注量を測定することができる分注装置を提供する。
【解決手段】本発明の分注装置は、複数のエッジを有する撮像物を撮像し、カメラのレンズの中心付近のエッジ間の距離およびカメラのレンズの外周付近のエッジ間の距離のそれぞれからレンズの中心付近およびレンズの外周付近の一画素辺りの長さを求める。 （もっと読む）

【課題】複数、特に数百〜数千個以上の半導体発光素子を用いて露光光を形成しても、半導体発光素子とレンズのアライメントを容易にあるいは安全にできる光源ユニットまたは照明光照射装置、或いはそれらを用い効率または精度よく露光できる露光装置を提供することである。また、前記多数の半導体発光素子を有する発光源を効率よくまたは安全に検査できる検査装置/方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、光を発生する複数の半導体発光素子と半導体発光素子が発生した光を受けて出射するレンズを有する光源ユニットまたは露光光照射装置あるいは露光装置において、前記半導体発光素子は前記レンズに対応して設けられ、前記レンズ部は前記複数のレンズのうち隣接するレンズを接触させて固定する手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】前処理機構を備えた自動分析装置において、迅速な自動再検が可能で、かつ元検体および前処理液の消費量を抑制できる自動分析装置を提供すること。
【解決手段】元検体を収容する元検体容器と、該元検体容器から分注した元検体を前処理するための前処理容器と、元検体を該前処理容器に分注する元検体分注機構と、該前処理容器から分注した前処理済み検体を分析するための反応容器と、前処理済み検体を該反応容器に分注する前処理済み検体分注機構と、を備えた自動分析装置において、自動再検の設定有無，検体の種類の少なくともいずれかの情報に基づいて、前記元検体分注機構による前記元検体容器から前記前処理容器への元検体の分注を制御する制御機構を備えた。 （もっと読む）