【課題】板状の試料を試料台の所定の位置に吸着させるために、試料の外周面を押さえて試料を所定の位置に保持したまま、試料を平坦化や吸着しても、試料を擦らずに発塵しない位置決め装置を提供する。
【解決手段】位置決め装置は、所定の位置に試料７を保持するために、試料７の外周部を試料台９の表面と平行な多方向から試料台９へ押したまま、試料台９の表面の法線方向と平行に外周部と共に移動する移動機構１３を備えたオリフラ出しアーム８１、中心出しアーム８２を有する。 （もっと読む）

【課題】分析、メンテナンス等で使用する洗剤・試薬残量を管理する機能を有する自動分析装置において、分析項目依頼数に対して洗剤・試薬量が不足すると、分析されないかまたは結果不正の恐れがあり、再分析の手間や分析結果の信頼性を失うという問題があった。
【解決手段】分析開始実行入力時、分析に必要な洗剤・試薬量を算出する機能を設けることで実現できる。洗剤・試薬に不足がある場合、警告を促すことで再分析の手間を省くことができる。 （もっと読む）

【課題】コンタミネーションの発生を抑制しつつ、試薬注入後に迅速に撹拌することができる自動分析装置を提供する。
【解決手段】反応容器８を搬送する反応ディスク９と、反応容器８に試料を注入する試料分注装置１２と、試料が注入された反応容器８に試薬を注入する試薬分注装置１５Ａ，１５Ｂと、反応容器８内の試料及び試薬を撹拌する撹拌装置１６とを備えた自動分析装置において、撹拌装置１６で撹拌する反応容器８の位置を、試薬分注装置１５Ｂで試薬を注入する反応容器８の位置Ｃと同じにする。 （もっと読む）

【課題】安定して処理室内の圧力制御を実現できる処理装置を提供する。
【解決手段】処理室内部に形成したプラズマを用いて試料を処理するプラズマ処理装置であって、内部に処理用ガスを供給しつつ、プラズマを形成する処理室と、上面に処理される試料が戴置される試料台と、試料下方から処理室内のガスを排出して減圧し、ケース内に配置され同軸状の複数の翼を有する回転翼及び固定翼と回転翼から排出された前記ガスをケース外に排出する排気口と回転翼の下方向に配置され不活性ガスが導入される導入口を円周上に複数備えた真空ポンプと不活性ガスのガス貯溜部とガス導入口との間に配置され、真空ポンプ内に供給する不活性ガスを調整するＭＦＣ（流量調整器）とを備えた。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置のRecipeで設定するCell Area の設定が自動化かつ、正確に設定することが出来る。
【解決手段】従来、人間がマウスでクリックして設定していたCell Mat Areaの区別をCell Mat Areaと非Cell Mat AreaのGray Levelの分布特徴の差を用いてImageをスキャンして、その結果からCell Mat Areaと非Cell Mat Areaを分ける方法を取った。具体的にはCell Matの始点と終点を区別するための基準になる閾値をMemory CellだけあるArea で計算した後、その閾値を適用して始点と終点を探してそのそれぞれを繋げてCell Area を作成した。 （もっと読む）

【課題】クロスコンタミネーションの防止についての精度をさらに向上させた自動分析装置を提供する。
【解決手段】サンプル分注プローブ洗浄機構８１，試薬分注プローブ洗浄機構８２，攪拌機構洗浄機構８３それぞれの制御作動中、対応する液流検出部１１１，１１２，１１３，１１４，１１５，１１６及び液面検出部１２１，１２２から供給される検出信号に基づいて、分注プローブ４２，５２への洗浄液吐出液量や洗浄槽における洗浄液の貯留液量を取得する。これら取得した洗浄液吐出液量や貯留液量を予め定めた基準量と比較することによって、分注プローブ４２，５２への洗浄液の供給や洗浄槽における洗浄液の貯留及び排出に異常があるか否かを監視し、異常が判別された場合には、プリンタ１０８やＣＲＴ１０６によって報知する。 （もっと読む）

【課題】広い濃度範囲において信号成分とノイズ成分の比が高い飛行時間型質量分析装置を実現する。
【解決手段】判定部５はＡＤＣ機能部４からの信号に基づいて、サンプルが数え落としの無い濃度範囲の場合には、スイッチ７、８をＴＤＣ機能部３側に設定し、ＴＤＣ方式により信号処理を行う。判定部５は条件１（真の信号カウント数と計測カウント数との比が一定値以下となる場合）が成立する場合、若しくは条件２（リアルタイムに入射するイオン強度が大である場合）が成立する場合には、スイッチ７、８をＡＤＣ機能部４側に切り替えて、ＡＤＣ方式により信号処理を行う。 （もっと読む）

【課題】分類される欠陥の種類を増加する。
【解決手段】互いに平行な直線群を含む回路パターンが形成された被検査対象物１を載置して、直線群に直角又は平行に走行するステージ３０１，３０２，３０３と、長手方向が前記ステージの走行方向に対して略直角方向になるようにスリット状の光であるスリット状ビームを被検査対象物１の表面に照明し、直線群の方向とスリット状の光の光軸の被検査対象物１への投影線とが第１の傾斜角を有する照明光学系１００と、被検査対象物１の反射散乱光を方位分布の違いに基づいて分類する欠陥分類手段２０２と、欠陥分類手段２０２で分類された反射散乱光をイメージセンサ２９５，２０６で検出する検出光学系２００とを備えた。さらに、スリット状ビームの入射方向と平面的に対向する方向から被検査対象物に照明する他のスリット状ビームを照射する。 （もっと読む）

【課題】同時に表示される複数のウィンドウのいずれを拡大表示しても、全てのウィンドウが夫々全範囲表示させるようにする。
【解決手段】表示画面３０のウィンドウ表示エリア３１では、図４（ａ）に示すように、４個のタイルウィンドウ３２〜３５がタイルが張り付けられたように表示され、そのうちの１つ、例えば、タイルウィンドウ３５をポインタ３８でフォーカスすると、図４（ｂ）に示すように、このフォーカスされたタイルウィンドウ３５が拡大表示される。これとともに、フォーカスされなかった他のタイルウィンドウ３２〜３４は縮小表示され、しかも、これら縮小されたタイルウィンドウ３２〜３４は、ウィンドウ表示エリア３１での拡大されたタイルウィンドウ３５の表示範囲以外の範囲内で、互いに重ならないように、表示される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、種々のエラーミスが一挙に容易に解消できる自動分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、反応ディスク、試薬ディスク、分注機構等を含む分析部と、コンピュータを含む操作部と、分析指示情報、測定結果やエラーミス情報を記憶する記憶装置を有し、アラーム、計測データ異常、メンテナンス忘れを含む前記エラーミス情報に対しエラーミス原因の解消をするメンテナンス機能を有する自動分析装置において、前記エラーミス情報に対する前記メンテナンス機能の個別的な修復対応関係を確立し、発生するエラーミスに対しては前記修復対応関係に照らして実施すべき個々のメンテナンス機能を自動的に抽出し、抽出の結果を操作者へ報知する機能を有するとともに、抽出の結果に個々のメンテナンス機能を一括して実施できる機能を有することを特徴とする。 （もっと読む）