【課題】ＬＭＩＳ汚染を発生させることなく、膜中の異物を正確に検出し電子顕微鏡による観察を迅速に行うことができる荷電粒子線装置、試料加工方法及び半導体検査装置を提供する。
【解決手段】他の光学式検査装置によって検出された、膜６６中に存在する欠陥の原因となる異物６５を他の光学式検査装置で取得された位置情報を基に光学式顕微鏡４３で検出し、電子顕微鏡画像やイオン顕微鏡画像による異物６５の観察やＥＤＸによる異物６５の元素分析ができるように非金属のイオンビーム２２で試料３１を加工する。 （もっと読む）

【課題】
欠陥検査装置において，膜厚の違いやパターン幅のばらつきなどから生じるパターンの明るさむらの影響を低減して，高感度な欠陥検査を実現する。また，多種多様な欠陥を顕在化でき，広範囲な工程への適用が可能な欠陥検査装置を実現する
【解決手段】
同一パターンとなるように形成されたパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置を，検査対象画像の各画素について，特徴空間にプロットし，特徴空間上のはずれ値を欠陥として検出する画像比較部を備えて構成した。これにより，ウェハ内の膜厚の違いに起因して画像間の同一パターンで明るさの違いが生じている場合であっても，正しく欠陥を検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤによる照明装置の製造コスト低減。
【解決手段】照明装置は、第１の面に、発光波長が異なる複数群のＬＥＤチップを均一に搭載する領域と、各チップの第１の電極または第２の電極にそれぞれ電気的に接続される複数の第１の電極パッド及び第２の電極パッドと、前記各群の前記第１の電極パッドに電気的に接続される１乃至複数の各群の第１の外部電極端子と、前記各群の前記第２の電極パッドに電気的に接続される１乃至複数の各群の第２の外部電極端子とを有する配線基板、配線基板に搭載される複数のチップ、各チップを囲む反射体、反射体の内側に充填されてチップを覆いかつ表面が平坦になる透明でかつ絶縁体からなる樹脂体、を有し、反射体の内側の周面はチップから発光される光を反射して配線基板の第１の面の前方に導くような反射面になっている。チップを搭載する領域は配線基板に均一に設けられている。チップは赤色、緑色、青色を発光し、照明装置は白色光を放射する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、自動機を用いない手作業での装填作業の負担を軽減できるノズルチップ装填方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、検体の試料を分注するノズルの先に着脱されるノズルチップを収納するラックに前記ノズルチップを装填する自動分析装置用ノズルチップの装填方法において、薄板に複数のノズルチップが縦置きに並ぶノズルチップ装着保持体を装填用冶具の上に載置し、前記ノズルチップが挿入される縦向きの挿入穴が複数形成されているラックを前記ノズルチップ装着保持体の下になるように装填用冶具に入れ、前記ノズルチップと前記挿入穴の位置合わせを行い、前記ラックを上側に移動して前記挿入穴に前記ノズルチップを挿入して収め、前記ノズルチップが収まった前記ラックを前記装填用冶具の上方または手前に移動させて前記装填用冶具から取り出すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワーク（ウェハ）の平坦ではないエッジ部を走査した際に、そこから生じる散乱光を少しでも低減し、異物検出感度の低下および検出器の劣化を低減することにある。
【解決手段】ワーク（ウェハ）保持機構の移動方向と斜方から照射されたレーザビームの照射方向とが180度反対方向になるように構成される手段を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】帯電が起こりにくく、かつ帯電による漏れ電界を遮蔽し、その影響を最小限にとどめる偏向器、その偏向器を用いて露光処理の信頼性を高める露光装置、及びその露光装置を用いてデバイス製造の信頼性を高めるデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】基板５１６と、基板５１６に形成された開孔５１２と、開孔５１２の側面に対向して配置される第１及び第２偏向電極５１１ａ，５１１ｂと、第１偏向電極５１１ａに第１電位を印加する第１電位印加手段５１３ａと、第２偏向電極に第２電位を印加する第２電位印加手段５１３ｂとを有する偏向器であって、第１及び第２偏向電極５１１ａ，５１１ｂは凹形状の両端部を有し、第１偏向電極５１１ａの凹形状の両端部の間に第２偏向電極５１１ｂの凹形状の両端部が接触しないで挿入される構成を有する。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出の分解能（精度）を向上させるためには、θエンコーダの分解能を上げることが必要であるが、エンコーダの分解能を向上させるには限度があり、欠陥検出の位置精度向上が困難であった。
【解決手段】欠陥検出を行うＡ／Ｄ変換のサンプリング時間間隔を、ウェーハが回転移転するときに得られる角度情報（θエンコーダ）の時間間隔より小さくなるように構成し、サンプリングされたＡ／Ｄ変換結果から、そのピーク位置が角度情報の１単位内のどこに存在するかを計測（Δθを計測）する手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】試料の処理中にその面内に生じる温度差を抑制し、処理の均一性を向上できるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】真空容器と、この真空容器内部に配置されて上部に試料が載置される試料載置面を有した試料台とを備え、前記処理室内にプラズマを形成して前記試料載置面上に載置された試料を処理するプラズマ処理装置であって、前記試料台内部に配置され内部に冷媒が供給される空間と、前記試料載置面と対向して配置され前記冷媒が複数箇所から衝突する前記空間の天井面と、前記天井面と衝突して蒸発した冷媒が前記試料台から排出される排出口とを備えたプラズマ処理装置。 （もっと読む）

【課題】
ディスクの表裏面の検査効率を向上させることができ、ディスク検査装置の小型化が可能なディスク搬送機構，ディスク検査装置，ディスクの検査方法を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、所定距離離れたそれぞれの初期位置に、ディスク検査のためにスピンドルが設定される検査位置を挟んで直線状に配置された第１，第２のスピンドルを有し、検査位置の前側あるいは後ろ側のいずれか一方にディスク反転機構が設けられ、第１のスピンドルに装着されたディスクが検査位置の位置に移送されるときに、同時に第２のスピンドルに装着されたディスクが検査位置の位置から自己の初期位置に戻され、第２のスピンドルに装着されたディスクが検査位置の位置に移送されるときに、同時に第１のスピンドルに装着されたディスクが検査位置の位置から自己の初期位置に戻されるものである。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡へのカバー部の取り付け作業を簡略化できるようにする。
【解決手段】電子銃部２や鏡筒３からなる電子顕微鏡本体部１は架台筐体２４上に載置されており、その周りがカバー部６で密閉上に囲まれている。カバー部６は、枠部２９にパネルや開閉扉１１ａ，１１ｂ，窓部１４などが取り付けられたものであり、枠部２９は、電子顕微鏡本体部１や架台筐体２４の後部側を囲む後部枠体と前部側を囲む前部枠体とが連結されたものである。カバー部６の取り付けに際しては、まず、後部枠体が取り付けられ、位置決めジグ３１ａ，３１ｂと位置決めブロック３２ａ，３２ｂとにより、この後部枠体の架台筐体２４に対する位置決めがなされ、位置決めされた後部枠体に前部枠体が取り付けられて枠体６が取り付けられる。 （もっと読む）